JP2008096204A - エンコーダ - Google Patents

エンコーダ Download PDF

Info

Publication number
JP2008096204A
JP2008096204A JP2006276600A JP2006276600A JP2008096204A JP 2008096204 A JP2008096204 A JP 2008096204A JP 2006276600 A JP2006276600 A JP 2006276600A JP 2006276600 A JP2006276600 A JP 2006276600A JP 2008096204 A JP2008096204 A JP 2008096204A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
detected
encoder
scale
detected light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2006276600A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4890190B2 (ja
Inventor
Seiichiro Mizuno
誠一郎 水野
Takayuki Suzuki
貴幸 鈴木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hamamatsu Photonics KK
Original Assignee
Hamamatsu Photonics KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hamamatsu Photonics KK filed Critical Hamamatsu Photonics KK
Priority to JP2006276600A priority Critical patent/JP4890190B2/ja
Priority to US11/605,474 priority patent/US7544925B2/en
Priority to CN2007800379783A priority patent/CN101523163B/zh
Priority to KR1020097004178A priority patent/KR20090074725A/ko
Priority to DE112007002449T priority patent/DE112007002449T5/de
Priority to PCT/JP2007/062278 priority patent/WO2008044367A1/ja
Publication of JP2008096204A publication Critical patent/JP2008096204A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4890190B2 publication Critical patent/JP4890190B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/347Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
    • G01D5/3473Circular or rotary encoders
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/347Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
    • G01D5/34776Absolute encoders with analogue or digital scales
    • G01D5/34784Absolute encoders with analogue or digital scales with only analogue scales or both analogue and incremental scales
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/36Forming the light into pulses

Abstract

【課題】 スケールに対する被検出光の照射位置が基準からずれた場合でも、絶対角度を精度良く検出することができるエンコーダを提供する。
【解決手段】 エンコーダ1では、半円状の開口部17が形成された歯車付き回転板8に被検出光を通すことにより、スケール板11のうち、配列ラインL1,L2の半周分を含む領域に被検出光が照射される明部19が形成され、明部19を除く領域に被検出光が照射されない暗部20が形成される。これにより、エンコーダ1では、スケール板11に対する被検出光の照射位置が基準からずれている場合であっても、角度検出時における光強度波形Pの半値幅Wに対応する角度範囲と基準角度範囲との差α°に基づく補正量を加減し、測定対象物の絶対角度を精度良く検出することができる。
【選択図】 図1

Description

本発明は、光学式のエンコーダに関する。
従来の光学式のエンコーダとして、例えば特許文献1に記載の光学式エンコーダがある。この従来のエンコーダは、異なる回折パターンを持つ格子窓が環状に配置された光学スケールを有しており、スリットを通して格子窓に照射した被検出光の回折パターンをイメージセンサで撮像する。そして、撮像した回折パターンから格子窓を特定すると共に、画像中における回折パターンの位置に基づいて格子窓の位置を特定し、測定対象物の絶対角度を検出する。
特公平8−10145号公報
しかしながら、上述した従来の光学式のエンコーダでは、特定された各格子窓の位置から直接絶対角度の検出を行っている。そのため、例えばスケールの円板加工の困難性やその後の経時変化等によって光学系を構成する各部材の配置関係がずれ、スケールに対する被検出光の照射位置が基準からずれてしまうと、絶対角度の検出精度が低下するという問題があった。
本発明は、上記課題の解決のためになされたものであり、スケールに対する被検出光の照射位置が基準からずれた場合でも、絶対角度を精度良く検出することができるエンコーダを提供することを目的とする。
上記課題の解決のため、本発明に係るエンコーダは、回転体と、回転体に対して被検出光を出射する光源装置と、複数の受光素子が配列されたスケール、及び回転体を経由して受光素子に入射する被検出光の光強度に基づく出力信号を出力する出力部を有する受光装置とを備え、受光素子は、環状の配列ラインに沿ってスケールに配列され、回転体は、スケールにおいて、配列ラインの一部を含む領域を被検出光が照射される明部とし、配列ラインの一部を除く他の部分を含む領域を被検出光が照射されない暗部とすることを特徴としている。
このエンコーダは、複数の受光素子が環状に配列されたスケールにおける配列ラインの一部を含む領域を被検出光が照射される明部とし、配列ラインの一部を除く他の部分を含む領域を被検出光が照射されない暗部とする回転体を有している。これにより、受光素子からの出力信号の1次元プロファイルの半値中心を基準点とし、この基準点に対応する受光素子を特定することによって絶対角度を算出することができる。一方、出力信号の1次元プロファイルの半値幅に対応する角度範囲(基準角度範囲)は、スケールに形成される明部の形状から予め把握しておくことができる。ここで、スケールに対する被検出光の照射位置が基準からずれている場合、角度検出時における出力信号の1次元プロファイルの半値幅に対応する角度範囲は、基準角度範囲から一定量変化することとなる。そこで、このエンコーダでは、角度範囲の変化量を補正量として算出し、基準点が示す絶対角度に対して補正量を加減することにより、スケールに対する被検出光の照射位置が基準からずれた場合でも、絶対角度を精度良く検出することができる。
また、回転体には、配列ラインに対応する径の半円状の光透過部が形成されており、明部は、光透過部を通過した被検出光によって形成されていることが好ましい。さらに、光透過部は、開口部であることも好ましい。このような半円状の光透過部や開口部を用いる場合、従来のようにスリットを用いる場合に比べて塵埃による目詰まりが生じにくく、出力信号のレベル低下等による絶対角度の検出精度の低下を抑制することが可能となる。
また、回転体には、配列ラインに対応する径の半円状の光反射部が形成されており、明部は、光反射部で反射した前記被検出光によって形成されていることが好ましい。この場合も、従来のようにスリットを用いる場合に比べて塵埃による目詰まりが生じにくく、出力信号のレベル低下等による絶対角度の検出精度の低下を抑制できる。また、スケール側に光源装置を配置することが可能となるので、光学系の小型化が図られる。
また、光反射部は、被検出光の光軸中心からずれた位置に形成されていることが好ましい。この場合、受光素子に被検出光のピーク部分が直接入射することを回避できるので、受光素子の飽和によるエンコーダの検出精度の低下を抑制できる。
また、受光素子は、配列ラインに沿って千鳥状に配列されていることが好ましい。この場合、スケールを小型に保ちつつ、角度検出の分解能を向上させることができる。
また、スケールにおいて、受光素子が配列された領域を除く領域には、光吸収膜が形成されていることが好ましい。こうすると、被検出光の多重反射等の影響を緩和でき、受光素子から得られる出力信号の1次元プロファイルのSN比を向上させることができる。
以上説明したように、本発明に係るエンコーダによれば、スケールに対する被検出光の照射位置が基準からずれた場合でも、絶対角度を精度良く検出することができる。
以下、図面を参照しながら、本発明に係るエンコーダの好適な実施形態について詳細に説明する。
[第1実施形態]
図1は、本発明の第1実施形態に係るエンコーダを示す斜視図である。図1に示すエンコーダ1は、いわゆるアブソリュート型のロータリエンコーダであり、例えば自動車のハンドルといった測定対象物(図示しない)の絶対角度を検出するデバイスである。このエンコーダ1は、測定対象物に連結される回転軸2と、この回転軸2に固定された歯車付き円板3とを備えている。歯車付き円板3は、測定対象物と連動する回転軸2の回転に伴って、矢印A方向に回転する。
図2は、エンコーダ1の光学系Sを示す斜視図である。図2に示すように、エンコーダ1の光学系Sは、被検出光を出射する点光源のLED(光源装置)6と、LED6に対向するように配置され、被検出光を受光する受光装置7と、歯車付き円板3と噛合する歯車付き回転板(回転体)8と、歯車付き回転板8を挟むように配置された一対の平行レンズ9A,9Bとによって構成されている。
受光装置7は、図3に示すように、複数のPD(受光素子)10が配列されてなるスケール板11と、各PD10からの出力信号を出力する出力部12とを有している。スケール板11には、同心円状の第1配列ラインL1及び第2配列ラインL2が設定されており、各PD10は、各配列ラインL1,L2に渡って円環状かつ千鳥状に配置されている。各PD10には、1番目のPD10(0°)から最終番目のPD10(359.5°)まで、例えば時計回りに0.5°刻みで角度情報が割り当てられている。また、スケール板11の表面において、PD10が配列された領域を除いた領域には、例えばカーボンを含有する黒色の樹脂からなる光吸収膜18が印刷等によって形成されている。
出力部12は、複数(本実施形態では4個)のシフトレジスタ13と、ビデオライン14と、信号処理部16とを有している。各シフトレジスタ13は、各配列ラインL1,L2よりも内側で、スケール板11と同心に略矩形状に配置され、各PD10に対して、受光した被検出光の光強度に基づく出力信号を出力させるための走査信号を供給する。また、ビデオライン14は、各配列ラインL1,L2よりも外側で同心円状に配置され、各PD10からの出力信号を信号処理部16に出力する。そして、信号処理部16は、ビデオライン14を介して各PD10から受け取った出力信号を外部出力する。なお、各シフトレジスタ13への駆動信号の供給ライン(図示しない)は、例えば、PD10とPD10との間に接続されている。
一方、歯車付き回転板8は、図4に示すように、LED6から出射した被検出光の一部を通過させる開口部17を有している。開口部17は、歯車付き回転板8と同心の半円状をなしており、開口部17の径は、スケール板11における配列ラインL1,L2よりも大径となっている。この開口部17は、測定対象物が回転すると、歯車付き円板3と歯車付き回転板8との協働により、図1に示すように、被検出光の光軸X周りに矢印B方向に回転する。また、歯車付き回転板8の表面において、開口部17を除く領域には、光吸収膜18と同じ材料からなる光吸収膜21が形成されている。
歯車付き回転板8に向けて出射した被検出光のうち、開口部17を通過した部分は、開口部17の形状と同様に半円状となる。これにより、図5に示すように、スケール板11のうち、配列ラインL1,L2の半周分を含む領域に、被検出光が照射される明部19が形成される。また、被検出光のうち、開口部17を通過しなかった部分は、光吸収膜21によって吸収される。これにより、スケール板11のうち、明部19を除いた領域には、被検出光が照射されない暗部20が形成される。
このような光学系Sでは、図2に示すように、点光源であるLED6から被検出光が出射されると、この被検出光が平行レンズ9Aによって平行光束化され、開口部17に入射する。開口部17を通過して半円状となった被検出光は、平行レンズ9Bによって収束され、円環状に配列された各PD10のうち、配列ラインL1,L2の半周分に相当する各PD10に入射する。各PD10からは、受光した被検出光の光強度に基づく出力信号がそれぞれ出力され、信号処理部16から外部出力される。
次に、図6に示すフローチャートを参照しながら、上述した構成を有するエンコーダ1によって測定対象物の絶対角度を検出する際の処理について説明する。
まず、各PD10から得られる出力信号をそれぞれ収集し、各PD10に対する被検出光の光強度の1次元プロファイルを取得する(ステップS01)。このとき、エンコーダ1では、開口部17を通過した被検出光は、配列ラインL1,L2の半周分に相当する各PD10に入射するので、1次元プロファイルを解析すると、図7(a)に示すように、頂部がほぼフラットの幅広な光強度波形Pが得られる。
次に、所定のコンパレートレベルに基づいて、図7(b)に示すように、得られた光強度波形Pを二値化する(ステップS02)。そして、二値化した光強度波形Pの半値中心に対応するPD10を特定し、このPD10に割り当てられた角度情報に基づいて、基準点の角度を検出する(ステップS03)。基準点の角度を検出した後、光強度波形Pの半値幅Wを検出し、この半値幅Wに対応する角度範囲を検出する(ステップS04)。
ここで、エンコーダ1においては、歯車付き回転板8に半円状の開口部17が形成されている。そのため、スケール板11に対する被検出光の照射位置が基準からずれていない場合には、光強度波形Pの半値幅Wに対応する角度範囲(以下、「基準角度範囲」と称す)は、一義的に180°と算出される。一方、例えば歯車付き回転板8の軸ずれ及び回転ずれ等により、スケール板11に対する開口部17の位置ずれが生じており、スケール板11に対する被検出光の照射位置が基準からずれている場合には、図8に示すように、スケール板11において、配列ラインL1,L2の半周以上を含む領域に明部19が形成される。この場合、図9に示すように、光強度波形Pの半値幅Wに対応する角度範囲が基準角度範囲に対してα°増加し、基準点の位置は、真の値からα°/2ずれることとなる。
そこで、ステップS04で検出した角度範囲と基準角度範囲との間に差α°が生じた場合には、これに対応するα°/2を位置ずれの補正量として算出する(ステップS05)。そして、ステップS03で検出した基準点の角度から補正量α°/2を加算(または減算)することにより、基準点における絶対角度を算出する(ステップS06)。
以上説明したように、エンコーダ1では、歯車付き回転板8に形成された半円状の開口部17に被検出光を通すことにより、スケール板11のうち、配列ラインL1,L2の半周分を含む領域に被検出光が照射される明部19が形成され、明部19を除く領域に被検出光が照射されない暗部20が形成される。したがって、被検出光の光強度波形Pの半値幅Wに対応する角度範囲(基準角度範囲)は、一義的に180°と算出できる。これにより、エンコーダ1では、スケール板11に対する被検出光の照射位置が基準からずれている場合であっても、角度検出時における光強度波形Pの半値幅Wに対応する角度範囲と基準角度範囲との差α°に基づく補正量を算出し、基準点が示す角度に対して補正量を加減することにより、測定対象物の絶対角度を精度良く検出することができる。
また、エンコーダ1では、明部19及び暗部20の形成にあたって、半円状の開口部17を用いているので、従来のようにスリットを用いる場合に比べて開口しているサイズが大きく、塵埃による目詰まりが生じにくい。したがって、エンコーダ1では、長期間の使用によっても、出力信号のレベル低下等による絶対角度の検出精度の低下を抑制することが可能となる。
一方、受光装置7側では、各PD10に入射する被検出光の光強度に基づく出力信号を外部出力するといった簡素な処理のみが行われるので、信号処理が迅速になされる。また、フレームメモリ等も不要であり、受光装置7の小型化及び低コスト化が図られる。さらに、受光装置7では、各シフトレジスタ13は、配列ラインL1,L2の内側で、スケール板11と同心に略矩形状に配置されている。このように、配列ラインL1,L2の内側にある余剰なスペースに各シフトレジスタ13を配置することにより、受光装置7の一層の小型化が図られる。
また、スケール板11において、各PD10は、円環状の各配列ラインL1,L2に渡って千鳥状に配列されている。このようなPD10の配置により、スケール板11を小型に保ちつつ、角度検出の分解能を向上させることができる。これに加え、スケール板11の表面において、PD10が配列された領域を除く領域には、光吸収膜18が形成されている。これにより、被検出光の多重反射等の影響を緩和でき、各PD10から得られる出力信号の1次元プロファイルのSN比を向上させることができる。
[第2実施形態]
続いて、本発明の第2実施形態に係るエンコーダについて説明する。図10に示すように、第2実施形態に係るエンコーダ30は、スケール板11に明部19及び暗部20を形成するにあたり、LED6から出射した被検出光を歯車付き回転板31の光反射部32で反射させる点で、被検出光を歯車付き回転板8の開口部17から通過させる第1実施形態と異なっている。
すなわち、エンコーダ30の光学系Saにおいて、歯車付き回転板31は、LED6から出射した被検出光の一部を反射させる光反射部32を有している。光反射部32は、例えばアルミニウム薄膜によって歯車付き回転板31と同心の半円状に形成されている。光反射部32の径は、スケール板11における配列ラインL1,L2よりも大径となっている。また、歯車付き回転板31において、光反射部32を除く部分には、例えばカーボンを含有する黒色の樹脂からなる光吸収膜33が印刷等によって形成されている。さらに、LED6は、受光装置7におけるスケール板11の中央部分に配置されている。
このエンコーダ30では、LED6から歯車付き回転板31に向けて被検出光が出射されると、この被検出光のうち、光反射部32に当たった半円状の部分が受光装置7側に反射する。これにより、スケール板11において、配列ラインL1,L2の半周分に相当するPD10が含まれる領域に、被検出光が照射される明部19が形成される(図5参照)。また、被検出光のうち、光反射部32に当たらなかった部分は、光吸収膜33によって吸収される。これにより、スケール板11のうち、明部19を除いた領域には、被検出光が照射されない暗部20が形成される。そして、各PD10からは、受光した被検出光の光強度に基づく出力信号がそれぞれ出力され、信号処理部16から外部出力される。したがって、このエンコーダ30においても、第1実施形態と同様の手順に従って被検出光の出力信号の1次元プロファイルを解析することにより、スケール板11に対する被検出光の照射位置が基準からずれた場合でも、測定対象物の絶対角度を精度良く検出することができる。
また、エンコーダ30では、明部19及び暗部20の形成にあたって半円状の光反射部32を用いているので、第1実施形態と同様に、塵埃による目詰まりが生じにくい。したがって、長期間にわたって使用した場合でも、出力信号のレベル低下等による絶対角度の検出精度の低下を抑制することが可能となる。さらに、スケール板11側にLED6を配置することが可能となるので、光学系Saの小型化が図られる。
本発明は、上記実施形態に限られるものではなく、種々の変形を適用し得る。例えば、第1実施形態に係るエンコーダ1では、歯車付き回転板8において、開口部17を除く領域には光吸収膜21を形成しているが、光吸収膜21に代えて光反射膜(図示しない)を形成してもよい。この場合、開口部17を通過しない被検出光は、光反射膜によって受光装置7の反対側に反射するので、各PD10から得られる出力信号の1次元プロファイルのSN比を向上させることができる。
また、第2実施形態に係るエンコーダ30において、例えば図11に示すように、円弧の両端を結ぶ辺が歯車付き回転板31の中心よりも円弧側に位置するような半円状の反射部35を形成するようにしてもよい。このように、歯車付き回転板31の中心からずれた位置に反射部35を形成すると、反射部35と被検出光の光軸中心とがずれるので、PD10に被検出光のピーク部分が直接入射することを回避できる。したがって、PD10の飽和によるエンコーダ30の検出精度の低下を抑制できる。また、第2実施形態に係るエンコーダ30において、LED6から出射される被検出光の反射が直接LED6に戻らないように、歯車付き回転板31の中心付近において、被検出光の光軸方向から見て配列ラインL1,L2の内側の領域には、光反射部32に代えて光吸収膜33を設けてもよい。
この他、歯車付き回転体は、スケール板11の一部の領域を被検出光が入射する明部とし、他の領域を被検出光が入射しない暗部とするものであればよく、例えば歯車付き回転体そのものの形状を半円状とし、その表面に光吸収膜又は光反射膜を形成してもよい。
本発明の第1実施形態に係るエンコーダを示す斜視図である。 図1に示したエンコーダの光学系を示す斜視図である。 受光装置の平面図である。 歯車付き回転板の平面図である。 開口部とスケールとの配置関係を示す図である。 図1に示したエンコーダによって測定対象物の絶対角度を検出する際の処理を示すフローチャートである。 被検出光の光強度の1次元プロファイルを示す図である。 位置ずれが生じている場合の開口部とスケールとの配置関係を示す図である。 位置ずれが生じている場合の被検出光の光強度の1次元プロファイルを示す図である。 本発明の第2実施形態に係るエンコーダを示す斜視図である。 変形例に係る歯車付き回転板の平面図である。
符号の説明
1,30…エンコーダ、6…LED(光源装置)、7…受光装置、8,31…歯車付き回転板(回転体)、10…PD(受光素子)、11…スケール板、12…出力部、13…シフトレジスタ、17…開口部(光透過部)、18…光吸収膜、19…明部、20…暗部、32…光反射部、L1…第1配列ライン、L2…第2配列ライン、X…光軸。

Claims (7)

  1. 回転体と、
    前記回転体に対して被検出光を出射する光源装置と、
    複数の受光素子が配列されたスケール、及び前記回転体を経由して前記受光素子に入射する前記被検出光の光強度に基づく出力信号を出力する出力部を有する受光装置とを備え、
    前記受光素子は、環状の配列ラインに沿って前記スケールに配列され、
    前記回転体は、前記スケールにおいて、前記配列ラインの一部を含む領域を前記被検出光が照射される明部とし、前記配列ラインの一部を除く他の部分を含む領域を前記被検出光が照射されない暗部とすることを特徴とするエンコーダ。
  2. 前記回転体には、前記配列ラインに対応する径の半円状の光透過部が形成されており、
    前記明部は、前記光透過部を通過した前記被検出光によって形成されていることを特徴とする請求項1記載のエンコーダ。
  3. 前記光透過部は、開口部であることを特徴とする請求項2記載のエンコーダ。
  4. 前記回転体には、前記配列ラインに対応する径の半円状の光反射部が形成されており、
    前記明部は、前記光反射部で反射した前記被検出光によって形成されていることを特徴とする請求項1記載のエンコーダ。
  5. 前記光反射部は、前記被検出光の光軸中心からずれた位置に形成されていることを特徴とする請求項4記載のエンコーダ。
  6. 前記受光素子は、前記配列ラインに沿って千鳥状に配列されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項記載のエンコーダ。
  7. 前記スケールにおいて、前記受光素子が配列された領域を除く領域には、光吸収膜が形成されていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項記載のエンコーダ。
JP2006276600A 2006-10-10 2006-10-10 エンコーダ Active JP4890190B2 (ja)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006276600A JP4890190B2 (ja) 2006-10-10 2006-10-10 エンコーダ
US11/605,474 US7544925B2 (en) 2006-10-10 2006-11-29 Encoder including rotating member, light source device and photodetecting device including a scale having photodetecting elements arranged thereon
CN2007800379783A CN101523163B (zh) 2006-10-10 2007-06-19 编码器
KR1020097004178A KR20090074725A (ko) 2006-10-10 2007-06-19 인코더
DE112007002449T DE112007002449T5 (de) 2006-10-10 2007-06-19 Codeumsetzer
PCT/JP2007/062278 WO2008044367A1 (fr) 2006-10-10 2007-06-19 Codeur

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006276600A JP4890190B2 (ja) 2006-10-10 2006-10-10 エンコーダ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2008096204A true JP2008096204A (ja) 2008-04-24
JP4890190B2 JP4890190B2 (ja) 2012-03-07

Family

ID=39274321

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006276600A Active JP4890190B2 (ja) 2006-10-10 2006-10-10 エンコーダ

Country Status (6)

Country Link
US (1) US7544925B2 (ja)
JP (1) JP4890190B2 (ja)
KR (1) KR20090074725A (ja)
CN (1) CN101523163B (ja)
DE (1) DE112007002449T5 (ja)
WO (1) WO2008044367A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105378436A (zh) * 2013-07-08 2016-03-02 爱默生过程管理阀门自动化公司 绝对位置检测器

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1936331A4 (en) * 2005-10-13 2015-12-09 Hamamatsu Photonics Kk ENCODER AND LIGHT RECEIVING DEVICE FOR ENCODER
JP2008096205A (ja) * 2006-10-10 2008-04-24 Hamamatsu Photonics Kk エンコーダ及びエンコーダ用受光装置
US8212202B2 (en) * 2009-01-08 2012-07-03 Avago Technologies Ecbu Ip (Singapore) Pte. Ltd. Reflective optical encoder package and method
US8063355B2 (en) * 2009-01-08 2011-11-22 Avago Technologies Limited Reflective multi-turn encoders with different light sensing systems
EP3276856B1 (en) * 2015-03-25 2021-05-05 Kuang-Chi Intelligent Photonic Technology Ltd. Optical signal reception apparatus
CN104792351B (zh) * 2015-04-20 2017-04-26 哈尔滨工业大学 用于绝对式码盘的复合式码盘误码校正方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6114518A (ja) * 1984-06-25 1986-01-22 エナジ− イノベ−シヨンズ インコ−ポレイテツド 非接触軸角度検出器
JPH01196514A (ja) * 1988-02-01 1989-08-08 Fuji Electric Co Ltd 光電変換式回転位置検出器
JP2003315101A (ja) * 2002-04-22 2003-11-06 Olympus Optical Co Ltd 光学式エンコーダ
JP2004317357A (ja) * 2003-04-17 2004-11-11 Sanyo Electric Co Ltd 受光素子及びそれを備える光エンコーダ

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3035012C2 (de) * 1980-09-17 1982-08-12 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Einrichtung zur Winkelmessung
JPS6047917A (ja) 1983-08-26 1985-03-15 Fuji Electric Corp Res & Dev Ltd 回転角度検出装置
JPS60210718A (ja) 1984-04-04 1985-10-23 Sumitomo Electric Ind Ltd 光検出方式
JPS61169703A (ja) 1985-01-24 1986-07-31 Nissan Motor Co Ltd 位置検出装置
JPS61241621A (ja) 1985-04-19 1986-10-27 Japan Aviation Electronics Ind Ltd 光フアイバロ−タリエンコ−ダ
JPS6288917A (ja) * 1985-10-16 1987-04-23 Fuji Electric Co Ltd 回転位置検出装置
AT385682B (de) 1985-11-08 1988-05-10 Voest Alpine Ag Verfahren zum trennen von gasgemischen, sowie vorrichtung zur durchfuehrung dieses verfahrens
JPH0810145A (ja) 1994-06-28 1996-01-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd 炊飯器
JP3631551B2 (ja) * 1996-01-23 2005-03-23 株式会社ミツトヨ 光学式エンコーダ
JP4182299B2 (ja) 1997-11-14 2008-11-19 株式会社安川電機 光学式エンコーダおよび光学式エンコーダの固定側素子取り付け方法
US6127676A (en) * 1998-02-20 2000-10-03 Tseng; Hsin Te Photo sensing device with means to eliminate light beam interference
JP3659029B2 (ja) 1998-11-04 2005-06-15 富士電機機器制御株式会社 アブソリュートエンコーダ
JP4981203B2 (ja) 2000-08-01 2012-07-18 オリンパス株式会社 光学式エンコーダー
US6713756B2 (en) * 2000-05-09 2004-03-30 Olympus Corporation Optical encoder and optical rotary encoder
JP2002139353A (ja) 2000-11-06 2002-05-17 Olympus Optical Co Ltd 光学式ロータリエンコーダ
ES2244823T3 (es) * 2002-01-17 2005-12-16 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Dispositivo de medicion de posicion.
JP2005121612A (ja) 2003-10-20 2005-05-12 Hamamatsu Photonics Kk アブソリュートエンコーダ及び角度検出方法
JP2006119082A (ja) 2004-10-25 2006-05-11 Hitachi Cable Ltd 操舵角検出装置
US7784694B2 (en) * 2005-11-21 2010-08-31 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Reflective encoder with lens on code strip

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6114518A (ja) * 1984-06-25 1986-01-22 エナジ− イノベ−シヨンズ インコ−ポレイテツド 非接触軸角度検出器
JPH01196514A (ja) * 1988-02-01 1989-08-08 Fuji Electric Co Ltd 光電変換式回転位置検出器
JP2003315101A (ja) * 2002-04-22 2003-11-06 Olympus Optical Co Ltd 光学式エンコーダ
JP2004317357A (ja) * 2003-04-17 2004-11-11 Sanyo Electric Co Ltd 受光素子及びそれを備える光エンコーダ

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105378436A (zh) * 2013-07-08 2016-03-02 爱默生过程管理阀门自动化公司 绝对位置检测器

Also Published As

Publication number Publication date
CN101523163A (zh) 2009-09-02
US7544925B2 (en) 2009-06-09
KR20090074725A (ko) 2009-07-07
US20080083869A1 (en) 2008-04-10
DE112007002449T5 (de) 2009-09-03
CN101523163B (zh) 2011-07-20
WO2008044367A1 (fr) 2008-04-17
JP4890190B2 (ja) 2012-03-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5335970B2 (ja) エンコーダ
JP4890190B2 (ja) エンコーダ
JP5479236B2 (ja) ロータリーエンコーダ
US10514255B2 (en) Eccentricity calculating method, rotary encoder, robotic arm and robot apparatus
EP2434261B1 (en) Optical rotation encoder
US20190017848A1 (en) Method of manufacturing rotary scale, rotary scale, rotary encoder, driving apparatus, image pickup apparatus and robot apparatus
JP2009294073A (ja) アブソリュートエンコーダ
JP5177003B2 (ja) レーザ距離測定装置
JP4360762B2 (ja) 光学式エンコーダ装置
WO2008044428A1 (fr) Codeur et photodetecteur pour codeur
JP2013002874A (ja) エンコーダ
JP4636858B2 (ja) 光学式エンコーダ
JP3448658B2 (ja) 光電子信号の多重検出方法及び多重検出装置
JP5472986B2 (ja) 測角器、測角器の製造方法及びx線分析装置
JP4704021B2 (ja) ドラム位置検出装置
JP2007241671A (ja) ペン式バーコードスキャナー
JP2011043674A (ja) ガルバノスキャナ
JPH0769190B2 (ja) ロ−タリィ・エンコ−ダ
JP2005308483A (ja) 風速計
JPH0640012B2 (ja) エンコ−ダ
JPH045143B2 (ja)

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20090609

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110927

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20111122

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20111213

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20111214

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4890190

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141222

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250