JPS6047917A - 回転角度検出装置 - Google Patents
回転角度検出装置Info
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- JPS6047917A JPS6047917A JP58156032A JP15603283A JPS6047917A JP S6047917 A JPS6047917 A JP S6047917A JP 58156032 A JP58156032 A JP 58156032A JP 15603283 A JP15603283 A JP 15603283A JP S6047917 A JPS6047917 A JP S6047917A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P13/00—Indicating or recording presence, absence, or direction, of movement
- G01P13/02—Indicating direction only, e.g. by weather vane
- G01P13/04—Indicating positive or negative direction of a linear movement or clockwise or anti-clockwise direction of a rotational movement
- G01P13/045—Indicating positive or negative direction of a linear movement or clockwise or anti-clockwise direction of a rotational movement with speed indication
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34707—Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
- G01D5/34715—Scale reading or illumination devices
Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
この発明は、回転体の回転角度、回転方向1回転位置1
回転数などを検出する装置に関する。
回転数などを検出する装置に関する。
回転体の回転角度2回転位置及び回転数(以下回転角度
と総称)を計測する装置として、ロータリーエンコーダ
、回転パルス発生器などが知られている。ロータリーエ
ンコーダは、アナログ量である回転量をデジタル量に変
換するもので、回転体から与えられた回転量に比例した
パルス信号を発生するようになりており、鋼板などの連
続切断ラインの長さの測定、ロボットの腕や胴体の移動
距離の検出、角度測定によるマシニングセンタのツール
選択、自動車の走行速度やエンジン回転数の検出、テー
プレコーダ、ファクシミリ、プリンタなどに使用される
直流電動機の位置制御などに用いられている。回転パル
ス発生器は、原理的にはロータリーエンコーダと同じで
、特に低速の回転体の回転速度の検出に適している。
と総称)を計測する装置として、ロータリーエンコーダ
、回転パルス発生器などが知られている。ロータリーエ
ンコーダは、アナログ量である回転量をデジタル量に変
換するもので、回転体から与えられた回転量に比例した
パルス信号を発生するようになりており、鋼板などの連
続切断ラインの長さの測定、ロボットの腕や胴体の移動
距離の検出、角度測定によるマシニングセンタのツール
選択、自動車の走行速度やエンジン回転数の検出、テー
プレコーダ、ファクシミリ、プリンタなどに使用される
直流電動機の位置制御などに用いられている。回転パル
ス発生器は、原理的にはロータリーエンコーダと同じで
、特に低速の回転体の回転速度の検出に適している。
第1図に、この種の回転角度検出装置の原理図を示す。
4は電動機で5回転角度が検出される対象である。電動
機4の軸5には、回転板3が連結されている。第2図は
回転板3の上面図で、光が通過できる光透過部16 、
26二つの円周上に等間隔に設けられ、これ以外の部分
は光を遮るようになっている。回転板3をはさんで発光
ダイオード11゜21と、この光を受光できるホトダイ
オードなどの受光素子12 、22がそれぞれ軸5を中
心軸とし、透過部16または26の存在する円周と同一
半径の想定円筒上でしかも同一半径面上に位置している
。しかし発光素子11.受光素子12と発光素子21.
受光素子nとがそれぞれ異なる半径面上に位置し、透過
部は両発光素子11 、21の何れの光も透過できる大
きさを有していてもよい。
機4の軸5には、回転板3が連結されている。第2図は
回転板3の上面図で、光が通過できる光透過部16 、
26二つの円周上に等間隔に設けられ、これ以外の部分
は光を遮るようになっている。回転板3をはさんで発光
ダイオード11゜21と、この光を受光できるホトダイ
オードなどの受光素子12 、22がそれぞれ軸5を中
心軸とし、透過部16または26の存在する円周と同一
半径の想定円筒上でしかも同一半径面上に位置している
。しかし発光素子11.受光素子12と発光素子21.
受光素子nとがそれぞれ異なる半径面上に位置し、透過
部は両発光素子11 、21の何れの光も透過できる大
きさを有していてもよい。
このような構成において、回転板3が矢印方向Aに回転
すると、光透過部16からの光が断続的に受光素子12
に到達し、第3図tar K示すような近似的な正弦波
の出力電流17が得られる。これは、図示しないシュミ
ット回路などで波形整形することにより、第3図[bl
に示すパルス波形列18とちれる。
すると、光透過部16からの光が断続的に受光素子12
に到達し、第3図tar K示すような近似的な正弦波
の出力電流17が得られる。これは、図示しないシュミ
ット回路などで波形整形することにより、第3図[bl
に示すパルス波形列18とちれる。
同様に光透過部26からの光も断続的に受光素子部に到
達し、その出力電流から第3図(biに示すパルス波形
列Zが得られる。この両者の波形はη−)0位相がずれ
るように受光素子または光透過部が構成されている。す
なわち両組の受光累子筐たは両組の受光素子に対応する
光透過部は円周方向の幅の一部が半径方向に重なり合う
がその中心角のずれは一つの組に属する隣接受光素子ま
たは発光素子の中心角の4程度であるように配置されて
いる。
達し、その出力電流から第3図(biに示すパルス波形
列Zが得られる。この両者の波形はη−)0位相がずれ
るように受光素子または光透過部が構成されている。す
なわち両組の受光累子筐たは両組の受光素子に対応する
光透過部は円周方向の幅の一部が半径方向に重なり合う
がその中心角のずれは一つの組に属する隣接受光素子ま
たは発光素子の中心角の4程度であるように配置されて
いる。
この両波系列を用いて回転数、回転角度、回転方向の検
出を行うのに第4図に示す検出回路な用いる。微分回路
41は信号18の立ち上がりをとるためのもので、第3
図(blの波形で信号部が1のとき信号18の立ち上が
りが生ずると、AND回路42を経て端子43に出力信
号を生じ回転板3がA方向に回転していることを示す。
出を行うのに第4図に示す検出回路な用いる。微分回路
41は信号18の立ち上がりをとるためのもので、第3
図(blの波形で信号部が1のとき信号18の立ち上が
りが生ずると、AND回路42を経て端子43に出力信
号を生じ回転板3がA方向に回転していることを示す。
微分回路44はNOT回路45を介することにより信号
18の立ち下がりを゛とるためのもので、信号列が1の
とき信号18の文ち下がりが生ずると、AND回路46
を経て端子48に出力信号を生じ回転板3が入方向と逆
に回転していることを示す。両AND回路42 、46
に接続されたOR回路47からは何れの回転においても
回転パルスを端子49に生ずる。
18の立ち下がりを゛とるためのもので、信号列が1の
とき信号18の文ち下がりが生ずると、AND回路46
を経て端子48に出力信号を生じ回転板3が入方向と逆
に回転していることを示す。両AND回路42 、46
に接続されたOR回路47からは何れの回転においても
回転パルスを端子49に生ずる。
いま、回転板3に設けられている光透過部16または漢
の数をNo個、回転を始めてからの電動機4の回転数を
m(正の整数)回、この間に端子49から出力されるパ
ルス数をN個とすると、(1)式が成り旦つ。
の数をNo個、回転を始めてからの電動機4の回転数を
m(正の整数)回、この間に端子49から出力されるパ
ルス数をN個とすると、(1)式が成り旦つ。
N/No=m−1−(N−mNo)/No ・−−11
](1)式中の(’N −rnNo ) /Noを36
0倍した値は、電動機40回転数を数える静止部側基準
点からの電動機4側基準点のずれ角度を示している。し
たがって、ずれ角度測定精度は360ハ0で与えられ、
この精度をあげるには、NOを大きくする必要がある。
](1)式中の(’N −rnNo ) /Noを36
0倍した値は、電動機40回転数を数える静止部側基準
点からの電動機4側基準点のずれ角度を示している。し
たがって、ずれ角度測定精度は360ハ0で与えられ、
この精度をあげるには、NOを大きくする必要がある。
しかし、一般に受光素子1.2 、22として使用され
るホトダイオードや太陽電池などの感度は、100ルツ
クス下で約10〜20μA/dの出力電流密度が得られ
るに過ぎない。一方、出力電流は1μA程度以上ないと
、必要とてれる表示、制御などを低摩かつ容易に行うこ
とができないので、光透過部6の大きさには実用しやす
さでの下限が存在することになる。実用性を考慮し、一
般的に入手可能なものを受光素子2に用いるとして試算
してみると、1μA程度の出力電流を得るためには3
rm x 3 mの面積の光透過部16 、26が必要
で、回転板3の直径が40票の場合、光透過部16,2
f3の数はそれぞれ15個程度となり、角度検出精度は
潤度となる。1μ八へ度以上の出力電流があれば、便宜
上これを10 kΩ程度の電気抵抗における10mVの
電圧降下に変え。
るホトダイオードや太陽電池などの感度は、100ルツ
クス下で約10〜20μA/dの出力電流密度が得られ
るに過ぎない。一方、出力電流は1μA程度以上ないと
、必要とてれる表示、制御などを低摩かつ容易に行うこ
とができないので、光透過部6の大きさには実用しやす
さでの下限が存在することになる。実用性を考慮し、一
般的に入手可能なものを受光素子2に用いるとして試算
してみると、1μA程度の出力電流を得るためには3
rm x 3 mの面積の光透過部16 、26が必要
で、回転板3の直径が40票の場合、光透過部16,2
f3の数はそれぞれ15個程度となり、角度検出精度は
潤度となる。1μ八へ度以上の出力電流があれば、便宜
上これを10 kΩ程度の電気抵抗における10mVの
電圧降下に変え。
さらに汎用増幅器により100倍程度増幅して以後の処
理に用いるのが普通である。しかし、たとえば現存の1
回転当たり6000パルスを出力できる回転板3では、
光検出部の出力電流は1μAの1/400(:15/6
000 )となるはずであるので、更に400倍の増幅
が必要であり、電子回路の安定性確保と増幅器の費用面
で問題があった。
理に用いるのが普通である。しかし、たとえば現存の1
回転当たり6000パルスを出力できる回転板3では、
光検出部の出力電流は1μAの1/400(:15/6
000 )となるはずであるので、更に400倍の増幅
が必要であり、電子回路の安定性確保と増幅器の費用面
で問題があった。
また、軸5が回転板3の中心からずれて取りつけられた
場合は、光透過部16 、26を通過する光量にかたよ
りが発生し、例えば第3図ra+の出力電流17に回転
板301回転を周期とする脈動が生じる。
場合は、光透過部16 、26を通過する光量にかたよ
りが発生し、例えば第3図ra+の出力電流17に回転
板301回転を周期とする脈動が生じる。
このことは、シュミット回路によりパルス波形列18
、28を作るときの波形精度をおとす原因となり。
、28を作るときの波形精度をおとす原因となり。
検出精度に影響を与えるので問題となる。
回転板3は、金属薄板に光透過部16 、26かエンチ
ング法によりスリットとして穿孔するか、または透明ガ
ラス板に光透過部16 、26が残るように不透明部分
を印刷して得られる。したがって、加工法によって差は
あるものの、各光透過部16 、26については、その
形状、寸法及び位置のバラツキは避けられない。このた
め、出力電流170波形ひいてはパルス波形列18 、
28の中の個々のパルス波形が変動し、検出精度に影響
を与える問題があった。
ング法によりスリットとして穿孔するか、または透明ガ
ラス板に光透過部16 、26が残るように不透明部分
を印刷して得られる。したがって、加工法によって差は
あるものの、各光透過部16 、26については、その
形状、寸法及び位置のバラツキは避けられない。このた
め、出力電流170波形ひいてはパルス波形列18 、
28の中の個々のパルス波形が変動し、検出精度に影響
を与える問題があった。
この発明は、検出精度向上のため光透過部の数を増して
も、出力電流を特に大きく増幅したり、壜幅率をあげる
ことにより複雑化する電子回路の安定性確保のために特
殊の回路方式を用いたりする必要がなく、また回転板と
光検出板との相対的位置ずれや光透過部の形状1寸法、
位置的バラツキなどによって測定精度が左右されないよ
うな回転角度検出装置を提供することを目的とする。
も、出力電流を特に大きく増幅したり、壜幅率をあげる
ことにより複雑化する電子回路の安定性確保のために特
殊の回路方式を用いたりする必要がなく、また回転板と
光検出板との相対的位置ずれや光透過部の形状1寸法、
位置的バラツキなどによって測定精度が左右されないよ
うな回転角度検出装置を提供することを目的とする。
この発明は、光透過部からの透過光を受けるため、隣接
する光透過部のなす回転板の中心に対する中心角と等し
いかもしくはその整数分の−の中心角を回転板の軸の中
心に対してなして隣接する光検出部を、2列にそれぞれ
並列接続して光検出板の回転板側に配設し、更に2個以
上の光透過部を同時照射する光源を回転板の反光検出板
側に設け、光透過部の同時照射数と光検出部の全数の少
なくとも一方がその配設される前記各版上全周にわたっ
て存在するようにすることにより、回転方向の検出にも
利用できる2組の並列接続された光検出部から得られる
位相のずれた出力電流が、常に回転板と光検出板との取
付位置ずれや光透過部螢光検出部の形状2寸法1位置な
ど各種の製作精度のバラツキを平均化し小さく反映する
ものとして。
する光透過部のなす回転板の中心に対する中心角と等し
いかもしくはその整数分の−の中心角を回転板の軸の中
心に対してなして隣接する光検出部を、2列にそれぞれ
並列接続して光検出板の回転板側に配設し、更に2個以
上の光透過部を同時照射する光源を回転板の反光検出板
側に設け、光透過部の同時照射数と光検出部の全数の少
なくとも一方がその配設される前記各版上全周にわたっ
て存在するようにすることにより、回転方向の検出にも
利用できる2組の並列接続された光検出部から得られる
位相のずれた出力電流が、常に回転板と光検出板との取
付位置ずれや光透過部螢光検出部の形状2寸法1位置な
ど各種の製作精度のバラツキを平均化し小さく反映する
ものとして。
しかも特別な増幅を行う必要のない程度に大きく。
出力Bれるようにしたものである。光検出部は薄膜シリ
コン太陽電池として形成されることが有効である。
コン太陽電池として形成されることが有効である。
第5図は、本発明の実施例の、一部を断面として示した
側面図である。電動機4は、回転角度が検出される対象
で、細5には回転板3が連結されている。回転板3の下
方には1回転板3の光透過部6からの透過光を受けるた
めの光検出部13 、23を回転板3の側に向けて形成
した光検出板7が配置烙れている。光源IOは1発光ダ
イオードなどの発光素子111反射鏡8、光拡散板9な
どを用いて構成きれている。第6図は第4図のB−B線
に沿りた断面図で1発光素子11、光拡散板9などの配
置状態を示すだめのものである。発光素子12の数。
側面図である。電動機4は、回転角度が検出される対象
で、細5には回転板3が連結されている。回転板3の下
方には1回転板3の光透過部6からの透過光を受けるた
めの光検出部13 、23を回転板3の側に向けて形成
した光検出板7が配置烙れている。光源IOは1発光ダ
イオードなどの発光素子111反射鏡8、光拡散板9な
どを用いて構成きれている。第6図は第4図のB−B線
に沿りた断面図で1発光素子11、光拡散板9などの配
置状態を示すだめのものである。発光素子12の数。
反射鏡8の形状などは、公知技術を用いることによ・す
、回転板3の上面が一様に照射できるように構成ちれて
いる。光拡散板9はこのときの照射光の一様性を助長す
るための効果がある。
、回転板3の上面が一様に照射できるように構成ちれて
いる。光拡散板9はこのときの照射光の一様性を助長す
るための効果がある。
第7図は回転板3、第8図は光検出板7をそれぞれ上か
ら見た平面図である。回転板3の光透過部6と光検出板
7の外側の光検出部13および内側の光検出部Zは、互
いに同数が軸5を中心軸とするM定円周と回転板3およ
び光検出板7とがそれぞれ交わってなす円の周上にそれ
ぞれ等間隔で半径方向に横切るように全周にわたって設
けられる。
ら見た平面図である。回転板3の光透過部6と光検出板
7の外側の光検出部13および内側の光検出部Zは、互
いに同数が軸5を中心軸とするM定円周と回転板3およ
び光検出板7とがそれぞれ交わってなす円の周上にそれ
ぞれ等間隔で半径方向に横切るように全周にわたって設
けられる。
光検出部13および乙は互いに分離した状態でそれぞれ
同心円上に円周方向にずらして形成する。従って回転板
3が矢印Aの方向に回転すると、光透過部6な通過した
光は検出部&を照射しメ始めズから後検出部13を照射
しはじめ、検出部乙を照芽し終えた後検出部13を照射
し終り、次いで次の検出部おを照射しはじめて同じ経過
をくり返す。
同心円上に円周方向にずらして形成する。従って回転板
3が矢印Aの方向に回転すると、光透過部6な通過した
光は検出部&を照射しメ始めズから後検出部13を照射
しはじめ、検出部乙を照芽し終えた後検出部13を照射
し終り、次いで次の検出部おを照射しはじめて同じ経過
をくり返す。
回転板3に対する光透過部6の形成は、既に知られてい
る方法、たとえば金属薄板にエツチング法によりスリッ
トとして穿孔するか、透明ガラス板に光透過部6が残る
よう不透明部分を印刷する方法などによって行われる。
る方法、たとえば金属薄板にエツチング法によりスリッ
トとして穿孔するか、透明ガラス板に光透過部6が残る
よう不透明部分を印刷する方法などによって行われる。
第9図は光検出部13.23の断面図で、その形成は次
のように行われる。咬ず、ステンレス鋼などの導電性基
板7のうえに、アモルファスシリコン層30として、約
500 X厚さのp形層31、約0.5μm厚さのノン
ドープ層32及び約100人厚さのn形層33がつぎつ
ぎにグロー放電によって、−面に積層される。更に、そ
の上に透明電、極34が回転板3の光透過部6と同一中
心角でリング状に同数形成される。透明電極34ば、イ
ンジウム錫隈化膜を真空蒸着法で形成後、ホトエゾチン
グ技術により所要パターンを現出させて得られる。透明
電極34の働きは、この部分に入射した光にだけ電気出
力を与えるためのもので、これの蒸着でれていない個所
からは、アモルファスシリコン層Iがあっても集電上の
電気抵抗が大きいため有効な出力は取り出し得ないので
ある。分離形成された複数の透明電極あは、第8図に示
すように、その一部に金属電極14 、24を重ねて蒸
着することにより相互間が電気的に並列接続され、出力
電極15 、25へも接続される。端子nは出力のため
のいま一方の端子である。
のように行われる。咬ず、ステンレス鋼などの導電性基
板7のうえに、アモルファスシリコン層30として、約
500 X厚さのp形層31、約0.5μm厚さのノン
ドープ層32及び約100人厚さのn形層33がつぎつ
ぎにグロー放電によって、−面に積層される。更に、そ
の上に透明電、極34が回転板3の光透過部6と同一中
心角でリング状に同数形成される。透明電極34ば、イ
ンジウム錫隈化膜を真空蒸着法で形成後、ホトエゾチン
グ技術により所要パターンを現出させて得られる。透明
電極34の働きは、この部分に入射した光にだけ電気出
力を与えるためのもので、これの蒸着でれていない個所
からは、アモルファスシリコン層Iがあっても集電上の
電気抵抗が大きいため有効な出力は取り出し得ないので
ある。分離形成された複数の透明電極あは、第8図に示
すように、その一部に金属電極14 、24を重ねて蒸
着することにより相互間が電気的に並列接続され、出力
電極15 、25へも接続される。端子nは出力のため
のいま一方の端子である。
このように光透過部6と光検出部13 、23を形成す
ると、回転板30回転につれ、光透過部6は光検出部1
3−1.たはnの1ピツチごとに常にその全数が同時に
光検出部13または乙に正対向し、光検出部13または
乙から光起電力を発生させることになる。正対向からの
ずれに応じて光起電力は減少していき、光検出部13ま
たは乙の1ピツチで1周期の光起電力となる。
ると、回転板30回転につれ、光透過部6は光検出部1
3−1.たはnの1ピツチごとに常にその全数が同時に
光検出部13または乙に正対向し、光検出部13または
乙から光起電力を発生させることになる。正対向からの
ずれに応じて光起電力は減少していき、光検出部13ま
たは乙の1ピツチで1周期の光起電力となる。
この実施例が従来と異なる点は、光検出板7上の光検出
部13 、23を、すべての光検出部13またはるが常
に同時に光透過部6を透過する光源10からの光を受け
ることができるように形成し、しかもこれらを互いに並
列接続しているので、出力電流は常にこれらの合計とな
る点である。したがって、各光透過部6の光透過面積が
測定精度向上の目的で小さくなっても、光検出部13ま
たはn全体でたとえば01□′以上の面積を確保してい
れば、出力電流7が減少することはない。すなわち、こ
の発明によると、出力電流を特別に大きく増幅する必要
がなくなり、安価な電子回路を使用して回転角度検出精
度をあげることができ、産業上得られる効果は非常に大
きい。
部13 、23を、すべての光検出部13またはるが常
に同時に光透過部6を透過する光源10からの光を受け
ることができるように形成し、しかもこれらを互いに並
列接続しているので、出力電流は常にこれらの合計とな
る点である。したがって、各光透過部6の光透過面積が
測定精度向上の目的で小さくなっても、光検出部13ま
たはn全体でたとえば01□′以上の面積を確保してい
れば、出力電流7が減少することはない。すなわち、こ
の発明によると、出力電流を特別に大きく増幅する必要
がなくなり、安価な電子回路を使用して回転角度検出精
度をあげることができ、産業上得られる効果は非常に大
きい。
出力電極15および部と端子nとの間に得られる出力電
流から第3図(bl K示すようなパルス波形列18.
28が形成でき、第4図に示す検出回路を用いて回転角
度、回転方向、回転数を検出することができる。パルス
波形18 、28の位相のずれは90°になるように検
出部13 、23を円周方向にずらす。位相のずれは9
0°に固定されるものではないが45°−135°の範
囲にあるのが望ましい。
流から第3図(bl K示すようなパルス波形列18.
28が形成でき、第4図に示す検出回路を用いて回転角
度、回転方向、回転数を検出することができる。パルス
波形18 、28の位相のずれは90°になるように検
出部13 、23を円周方向にずらす。位相のずれは9
0°に固定されるものではないが45°−135°の範
囲にあるのが望ましい。
発明者は、幅50μm、長さ5mのスリット状光透過部
を800個設けた直径40調の回転板を作成し、光検出
板はアモルファスシリコン層を一面に形成し1幅間μm
、長さ1.51の透明電極を二つのリング状に各8()
0程合周にわたって第8図のように設けた。この2周の
リング状パターンを形成する各透明電極がリング中心か
らみて0.11’ずれるように形成した。この回転板と
光検出板とを約1mの間隔を隔てて平行に対向させた装
置を使作し、それぞれの出力端子15.25に抵抗52
と演算増幅器53とを組合せ光検出部51の出力電流を
測定し、θμAビークを得た。また、10個の試作品に
ついての出力電流波形は、周期がほぼ一定で、脈動がほ
とんど認められなかった。このことは、常に各光検出部
の出力電流の和を利用しているため、回転板と光検出板
との相対的位置ずれや光透過部・光検出部の形状、寸法
、位置などの製作精度のバラツキに対して平均化効果が
あられれ出力特性が改善きれたことを示している。
を800個設けた直径40調の回転板を作成し、光検出
板はアモルファスシリコン層を一面に形成し1幅間μm
、長さ1.51の透明電極を二つのリング状に各8()
0程合周にわたって第8図のように設けた。この2周の
リング状パターンを形成する各透明電極がリング中心か
らみて0.11’ずれるように形成した。この回転板と
光検出板とを約1mの間隔を隔てて平行に対向させた装
置を使作し、それぞれの出力端子15.25に抵抗52
と演算増幅器53とを組合せ光検出部51の出力電流を
測定し、θμAビークを得た。また、10個の試作品に
ついての出力電流波形は、周期がほぼ一定で、脈動がほ
とんど認められなかった。このことは、常に各光検出部
の出力電流の和を利用しているため、回転板と光検出板
との相対的位置ずれや光透過部・光検出部の形状、寸法
、位置などの製作精度のバラツキに対して平均化効果が
あられれ出力特性が改善きれたことを示している。
次に、図示しないが、上記実施例において、光検出部1
3 、23の数を光透過部6の数の整数分にすると、回
転板3の回転につれ、光検出部13 、23の1ピツチ
ごとに常に光透過部6の全数が同時に光検出部13.2
3の上記整数分の−だけの数に正対向するので1回転板
3側を変更せずに、整数倍分だけ角度検出精度がよくな
る。しかし、光検出部13゜乙に到達する光量に変わり
はなく、出力電流は光検出部数の整数倍前と同じだけ得
られる。
3 、23の数を光透過部6の数の整数分にすると、回
転板3の回転につれ、光検出部13 、23の1ピツチ
ごとに常に光透過部6の全数が同時に光検出部13.2
3の上記整数分の−だけの数に正対向するので1回転板
3側を変更せずに、整数倍分だけ角度検出精度がよくな
る。しかし、光検出部13゜乙に到達する光量に変わり
はなく、出力電流は光検出部数の整数倍前と同じだけ得
られる。
なお、光源10は回転板3の上面を全面的に一様に照射
するのが最も望ましいが、実用上の見地からこれが出来
にくい場合もしくはそfib士どの必要のない場合には
、2個以上できるだけ多くの光透過部6を照射するよう
にしても、この発明の・特長は依然として存在すること
はこれまでの説明により明らかである。また光検出部1
3 、23あるいは光透過部6の一方な全周でなく1円
周上の一部分にだけ設けることも可能である。
するのが最も望ましいが、実用上の見地からこれが出来
にくい場合もしくはそfib士どの必要のない場合には
、2個以上できるだけ多くの光透過部6を照射するよう
にしても、この発明の・特長は依然として存在すること
はこれまでの説明により明らかである。また光検出部1
3 、23あるいは光透過部6の一方な全周でなく1円
周上の一部分にだけ設けることも可能である。
上の実施例では光検出部が二つの同心円上に位置をずら
1.てそ」tぞれ形成され、透過部を通過する光はその
双方に達するが、第2図に示すように透過部な二つの同
心円上に位置をずらして形成し、2組の光検出部は同一
半径」二に並べて設けてもよ℃1゜ 〔発明の効果〕 この発明では、回転角度検出装置において、回転板側の
光透過部からの透過光を受けるため、隣接する光透過部
のなす回転板の中心に対する中心角と等しいかもしくは
その整数分の−の中心角を回転板の軸の中心に対してな
して隣接する光検出部の2組を、並列接続して光検出板
の回転板側に配設し、更に2個以上の光透過部な同時照
射する光源を回転板の反光検出板側に設け、光透過部の
同時照射数と光検出部の全数の少なくとも一方がその配
設される前記各板上全周にわたって存在するようにした
ので1回転板の回転につれ、光検出部の1ピツチごとに
、常に、光が通過している光透過部の全数が同時に光検
出部に正対向することになり、並列接続された光検出部
からは比較的大きな出力電流が得られるので、出力電流
を更に大きく増幅したり、電子回路の安定性向上のため
に特別の回路を付加したすせずに、検出精度の高い安価
な回転角度測定装置を得ることができる。また、並列接
続された光検出部から得られる出力電流は、常に回転板
と光検出板との相対的位置ずれや光透過部・光検出部の
形状2寸法2位置などの各種製作精度のバラツキが平均
化さ九小さくなるので、この面でも回1蔽角度測足精度
が没)がる。避ら番てリング状に2周に形成はれた2組
の光検出部の出力のずれから回転方向が判定できるが、
この光検出部のパターンはホトエツチングにより所定の
寸法、形状通り洗容易に形成でき、回転板と光検出板の
位置合せも第5図のような形に仮組をして光検出・阪7
を移動して、最大の出力が得られるような位置をとるこ
とにより容易にできる。
1.てそ」tぞれ形成され、透過部を通過する光はその
双方に達するが、第2図に示すように透過部な二つの同
心円上に位置をずらして形成し、2組の光検出部は同一
半径」二に並べて設けてもよ℃1゜ 〔発明の効果〕 この発明では、回転角度検出装置において、回転板側の
光透過部からの透過光を受けるため、隣接する光透過部
のなす回転板の中心に対する中心角と等しいかもしくは
その整数分の−の中心角を回転板の軸の中心に対してな
して隣接する光検出部の2組を、並列接続して光検出板
の回転板側に配設し、更に2個以上の光透過部な同時照
射する光源を回転板の反光検出板側に設け、光透過部の
同時照射数と光検出部の全数の少なくとも一方がその配
設される前記各板上全周にわたって存在するようにした
ので1回転板の回転につれ、光検出部の1ピツチごとに
、常に、光が通過している光透過部の全数が同時に光検
出部に正対向することになり、並列接続された光検出部
からは比較的大きな出力電流が得られるので、出力電流
を更に大きく増幅したり、電子回路の安定性向上のため
に特別の回路を付加したすせずに、検出精度の高い安価
な回転角度測定装置を得ることができる。また、並列接
続された光検出部から得られる出力電流は、常に回転板
と光検出板との相対的位置ずれや光透過部・光検出部の
形状2寸法2位置などの各種製作精度のバラツキが平均
化さ九小さくなるので、この面でも回1蔽角度測足精度
が没)がる。避ら番てリング状に2周に形成はれた2組
の光検出部の出力のずれから回転方向が判定できるが、
この光検出部のパターンはホトエツチングにより所定の
寸法、形状通り洗容易に形成でき、回転板と光検出板の
位置合せも第5図のような形に仮組をして光検出・阪7
を移動して、最大の出力が得られるような位置をとるこ
とにより容易にできる。
第1図は従来の回転角度検出装置の原理図、第2図は回
転板の平面図、第3図talはこの回転角度検出装置の
出力電流波形図、第3図tblはこれを処理して得たパ
ルス波形図、第4図はこのノくルス波形出力より回転角
度、回転方向、回転数を検出するための検出回路図、第
5図は本発明の一実施例を一部断面で示した側面図、第
6図は第5図の已−13線矢視断面図、第7図は第5図
の装置の回転板の平面図、第8図は光検出板の平面図、
第9図は光検出部構成を示す断面図、第10図は光検出
部の出力電流の測定回路である。 3・・・回転板、6・・・光透過部、7・・・光検出板
、10・・・光源、1.3 、23・・・光検出部、1
4 、24・・・金属′電極、30・・・アモルファス
シリコン層、異・・・透明電極。 Q[l−,2 22 材z[121 才4圀 す4図 オフ面 1 才B聞 才10区
転板の平面図、第3図talはこの回転角度検出装置の
出力電流波形図、第3図tblはこれを処理して得たパ
ルス波形図、第4図はこのノくルス波形出力より回転角
度、回転方向、回転数を検出するための検出回路図、第
5図は本発明の一実施例を一部断面で示した側面図、第
6図は第5図の已−13線矢視断面図、第7図は第5図
の装置の回転板の平面図、第8図は光検出板の平面図、
第9図は光検出部構成を示す断面図、第10図は光検出
部の出力電流の測定回路である。 3・・・回転板、6・・・光透過部、7・・・光検出板
、10・・・光源、1.3 、23・・・光検出部、1
4 、24・・・金属′電極、30・・・アモルファス
シリコン層、異・・・透明電極。 Q[l−,2 22 材z[121 才4圀 す4図 オフ面 1 才B聞 才10区
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)複数の光透過部を設けた、軸のまわりに回転可能な
回転板と、該回転板に平行に対向し、その対向する側に
2組のそれぞれ並列接続された光検出部を設けた光検出
板と、前記回転板の反光検出板側に配置された光源とを
備えており、前記両組の一つの属して隣接する光検出部
はそれぞれ前記軸を中心軸とする想定円筒と光検出板と
が交ってなす円を両組共通の等しい中心角をなして半径
方向に横切り、隣接する前記光透過部は各組の光検出部
に対する前記想定円筒と回転板とが交ってなす円を前記
中心角と等しいかまたはその整数倍の中心角をなして横
切り、前記光源は一つの組の光検出部のうちの二つ以上
に対応する光透過部を同時に照射でき、光透過部の同時
透過数と各組の光検出部の全数の少なくとも一方が全周
にわたって存在し、一方の組の光検出部と他方の組の光
検出部あるいは一方の組の光検出部に対応する光透過部
と他方の組の光検出部に対応する光透過部はその中心を
通る半径が重ならないように位置するが、その円周方向
の幅の一部分が半径方向に互いに重なるように配置でれ
たことを特徴とする回転角度検出装置。 2、特許請求の範囲第1項記載の装置において、光検出
部が薄膜シリコン太11’4池であることを特徴とする
回転角度検出装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58156032A JPS6047917A (ja) | 1983-08-26 | 1983-08-26 | 回転角度検出装置 |
US06/643,719 US4658133A (en) | 1983-08-26 | 1984-08-24 | Rotational angle detecting device with full circumference illumination and detection |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58156032A JPS6047917A (ja) | 1983-08-26 | 1983-08-26 | 回転角度検出装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6047917A true JPS6047917A (ja) | 1985-03-15 |
Family
ID=15618819
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58156032A Pending JPS6047917A (ja) | 1983-08-26 | 1983-08-26 | 回転角度検出装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4658133A (ja) |
JP (1) | JPS6047917A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5003239A (en) * | 1990-01-11 | 1991-03-26 | Baxter International Inc. | Peristaltic pump monitoring device |
US5279556A (en) * | 1989-04-28 | 1994-01-18 | Sharp Kabushiki Kaisha | Peristaltic pump with rotary encoder |
WO2008044428A1 (fr) * | 2006-10-10 | 2008-04-17 | Hamamatsu Photonics K.K. | Codeur et photodetecteur pour codeur |
JP2008524044A (ja) * | 2004-12-20 | 2008-07-10 | ビショップ イノヴェーション リミテッド | 複合ステアリングラック |
US7544925B2 (en) | 2006-10-10 | 2009-06-09 | Hamamatsu Photonics K.K. | Encoder including rotating member, light source device and photodetecting device including a scale having photodetecting elements arranged thereon |
US8044340B2 (en) | 2005-10-13 | 2011-10-25 | Hamamatsu Photonics K.K. | Encoder and light receiving device for encoder |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS6255511A (ja) * | 1985-09-05 | 1987-03-11 | Sharp Corp | ロ−タリ−エンコ−ダ |
NL8502988A (nl) * | 1985-11-01 | 1987-06-01 | Philips Nv | Halfgeleidende radieele fotodetector, en inrichting bevattende een dergelijke detector. |
JPH06101186B2 (ja) * | 1986-12-30 | 1994-12-12 | ティアツク株式会社 | デイスク装置 |
US4994991A (en) * | 1988-12-30 | 1991-02-19 | Mcdonnell Douglas Corporation | Digital synchronous detector sampling |
DE3939620A1 (de) * | 1989-11-30 | 1991-06-06 | Microtap Gmbh | Drehwinkelgeber |
DE19629005A1 (de) * | 1996-07-18 | 1998-01-22 | Teves Gmbh Alfred | Mechanische Toleranzabgrenzung einer optischen Übertragungsstrecke |
DE102016217690A1 (de) | 2016-09-15 | 2018-03-15 | Rolls-Royce Deutschland Ltd & Co Kg | Vorrichtung und Verfahren zur Messung einer Rotationsbewegung, insbesondere einer Rotationsrichtung, sowie zur Erkennung eines Wellenbruchs |
DE102016217687A1 (de) * | 2016-09-15 | 2018-03-15 | Rolls-Royce Deutschland Ltd & Co Kg | Vorrichtung und Verfahren zur Messung einer Rotationsbewegung eines drehbaren Bauteils, insbesondere einer Rotationsrichtung |
DE102019109469A1 (de) * | 2019-04-10 | 2020-10-15 | Vishay Semiconductor Gmbh | Optischer Encoder |
CN111856274A (zh) * | 2020-07-02 | 2020-10-30 | 长沙格力暖通制冷设备有限公司 | 电机旋转检测装置 |
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JPS5179378A (ja) * | 1975-01-06 | 1976-07-10 | Hitachi Ltd | Hikarishikitakomeeta |
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IT1144232B (it) * | 1981-06-15 | 1986-10-29 | Olivetti & Co Spa | Trasduttore ottico |
-
1983
- 1983-08-26 JP JP58156032A patent/JPS6047917A/ja active Pending
-
1984
- 1984-08-24 US US06/643,719 patent/US4658133A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
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JPS4919867A (ja) * | 1972-03-20 | 1974-02-21 | ||
JPS5179378A (ja) * | 1975-01-06 | 1976-07-10 | Hitachi Ltd | Hikarishikitakomeeta |
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WO1991010934A1 (en) * | 1990-01-11 | 1991-07-25 | Baxter International Inc. | Peristaltic pump monitoring device and method |
EP0462238B1 (en) * | 1990-01-11 | 1997-03-19 | Baxter International Inc. | Device for monitoring the rotation of a drive shaft, for instance in a peristaltic pump |
JP2008524044A (ja) * | 2004-12-20 | 2008-07-10 | ビショップ イノヴェーション リミテッド | 複合ステアリングラック |
US8044340B2 (en) | 2005-10-13 | 2011-10-25 | Hamamatsu Photonics K.K. | Encoder and light receiving device for encoder |
WO2008044428A1 (fr) * | 2006-10-10 | 2008-04-17 | Hamamatsu Photonics K.K. | Codeur et photodetecteur pour codeur |
JP2008096205A (ja) * | 2006-10-10 | 2008-04-24 | Hamamatsu Photonics Kk | エンコーダ及びエンコーダ用受光装置 |
US7544925B2 (en) | 2006-10-10 | 2009-06-09 | Hamamatsu Photonics K.K. | Encoder including rotating member, light source device and photodetecting device including a scale having photodetecting elements arranged thereon |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4658133A (en) | 1987-04-14 |
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