JPS6120817A - 回転数検出装置 - Google Patents
回転数検出装置Info
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- JPS6120817A JPS6120817A JP14171184A JP14171184A JPS6120817A JP S6120817 A JPS6120817 A JP S6120817A JP 14171184 A JP14171184 A JP 14171184A JP 14171184 A JP14171184 A JP 14171184A JP S6120817 A JPS6120817 A JP S6120817A
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 26
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 abstract description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 4
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 abstract description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 abstract 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 3
- 230000010349 pulsation Effects 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical group [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34707—Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
- G01D5/34715—Scale reading or illumination devices
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Indicating Or Recording The Presence, Absence, Or Direction Of Movement (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は電動機のような回転体の軸に直結した回転板を
備え、回転板の一方に配置された光が回転板の光透過部
分を通って入射する、例えば太陽電池を用いた光検出部
に発生する光起電力により回転体の回転角度９回転位置
１回転数２回転方向などを検出する回転数検出装置に関
する。
備え、回転板の一方に配置された光が回転板の光透過部
分を通って入射する、例えば太陽電池を用いた光検出部
に発生する光起電力により回転体の回転角度９回転位置
１回転数２回転方向などを検出する回転数検出装置に関
する。
上述のような回転数検出装置において、光検出部の出力
電流を大−きくするために軸を中心とする二つの想定円
筒と光検出板と交わってなす円上にそれぞれ分散配置さ
れた２組の光検出部を各組毎に並列接続したものが既に
出願されている。（特願昭５８−１５６０３２号）、第
４図（ａｌ、 （ｂｌ、 （０）はその特許出願明細書
に示された実施例で、第４図＋８）は一部を断面として
示した側面図である。電動機１は、回転角度が検出され
る対象で、軸２には回転板３が連結されている。回転板
３の下方には、回転板３の光透過部４からの透過光を受
けるための光検出部５１．５２を回転板３の側に向けて
形成した光検出板６が配置されている。光源７は、発光
ダイオードなどの発光素子７１１反射鏡７２．光拡散板
７３を用いて回転板３の上面を一様に照射できるように
構成されている。第４図伽）は回転板３．第４図（Ｑ）
は光検出板６をそれぞれ上から見た平面図であ□る。 回転板３の光透過部４と光検出板６の外側の光検出部５
１および内側の光検出部５２は、互いに同数が軸２を中
心軸とする二つの想定円筒と回転板３および光検出板６
とがそれぞれ交わってなす円の周上にそ札ぞれ等間隔で
半径方向に横切るように全周にわたって設けられる。光
検出部５１及び５２は互いに分離した状態でそれぞれ・
同心円上に円周方向にずらして形成する。従って回転板
３が矢印Ａの方向に回転すると、光検出部４を通過した
光は検出部５２を照、射し始めてから後検出部５１を照
射しはじめ、検出部５２を照射し終えた後検出部５１を
照射し終わり、次いで次の検出部５２を照射しはじめて
同じ経過を繰り返す。すなわち、回転板３の回転につれ
、光通過部４は光検出部５１または５２の１ピツチごと
に常にその全数が同時に光検出部５１または５２に正対
向し、光検出部５１または５２から光起電力を発生させ
ることになる。正対向からのずれに応じて光起電力は減
少していき、光検出部５１または５２の１ピンチで１周
期の光起電力となる。光検出部５１および５２はそれぞ
れ導体５３および５４によって並列接続されており、光
検出部５１．５２はそれぞれが同時に光透過部４を透過
する光源７からの光を受けるので、端子５５．５６と基
板端子５７とから得られる出力電流は常にこれらの合計
となる。この出力電流の一方から回転角度１回転数を検
出できると同時に両出力電流間に位相のずれがあること
を利用して回転方向も検出することができる。 しかし、この構造では光源７は両光検出部５１゜５２の
双方を照射しなければならず、広い幅の光を発する必要
があること、また光透過部４の長さも長くなり、例えば
スリットとして形成するときには寸法精度の確保が困難
になる。
電流を大−きくするために軸を中心とする二つの想定円
筒と光検出板と交わってなす円上にそれぞれ分散配置さ
れた２組の光検出部を各組毎に並列接続したものが既に
出願されている。（特願昭５８−１５６０３２号）、第
４図（ａｌ、 （ｂｌ、 （０）はその特許出願明細書
に示された実施例で、第４図＋８）は一部を断面として
示した側面図である。電動機１は、回転角度が検出され
る対象で、軸２には回転板３が連結されている。回転板
３の下方には、回転板３の光透過部４からの透過光を受
けるための光検出部５１．５２を回転板３の側に向けて
形成した光検出板６が配置されている。光源７は、発光
ダイオードなどの発光素子７１１反射鏡７２．光拡散板
７３を用いて回転板３の上面を一様に照射できるように
構成されている。第４図伽）は回転板３．第４図（Ｑ）
は光検出板６をそれぞれ上から見た平面図であ□る。 回転板３の光透過部４と光検出板６の外側の光検出部５
１および内側の光検出部５２は、互いに同数が軸２を中
心軸とする二つの想定円筒と回転板３および光検出板６
とがそれぞれ交わってなす円の周上にそ札ぞれ等間隔で
半径方向に横切るように全周にわたって設けられる。光
検出部５１及び５２は互いに分離した状態でそれぞれ・
同心円上に円周方向にずらして形成する。従って回転板
３が矢印Ａの方向に回転すると、光検出部４を通過した
光は検出部５２を照、射し始めてから後検出部５１を照
射しはじめ、検出部５２を照射し終えた後検出部５１を
照射し終わり、次いで次の検出部５２を照射しはじめて
同じ経過を繰り返す。すなわち、回転板３の回転につれ
、光通過部４は光検出部５１または５２の１ピツチごと
に常にその全数が同時に光検出部５１または５２に正対
向し、光検出部５１または５２から光起電力を発生させ
ることになる。正対向からのずれに応じて光起電力は減
少していき、光検出部５１または５２の１ピンチで１周
期の光起電力となる。光検出部５１および５２はそれぞ
れ導体５３および５４によって並列接続されており、光
検出部５１．５２はそれぞれが同時に光透過部４を透過
する光源７からの光を受けるので、端子５５．５６と基
板端子５７とから得られる出力電流は常にこれらの合計
となる。この出力電流の一方から回転角度１回転数を検
出できると同時に両出力電流間に位相のずれがあること
を利用して回転方向も検出することができる。 しかし、この構造では光源７は両光検出部５１゜５２の
双方を照射しなければならず、広い幅の光を発する必要
があること、また光透過部４の長さも長くなり、例えば
スリットとして形成するときには寸法精度の確保が困難
になる。
本発明は、上述のように軸のまわりに回転可能な回転板
に設けられた光透過部を介して照射される光により、同
一検出板上に設けられてそれぞれ並列接続された２組の
光検出部に位相のずれた光起電力が生ずる回転数検出装
置をさらに改良してより製造の容易な構造とすることを
目的とする。
に設けられた光透過部を介して照射される光により、同
一検出板上に設けられてそれぞれ並列接続された２組の
光検出部に位相のずれた光起電力が生ずる回転数検出装
置をさらに改良してより製造の容易な構造とすることを
目的とする。
本発明による回転数検出装置は、複数の光透過部を設け
た、軸のまわりに回転可能な回転板と、その回転板に平
行に対向し、その対向する側に２組のそれぞれ並列接続
された光検出部を設けた光検出板と、前記回転板の反光
検出板側に配置された光源とを備えており、隣接する光
透過部同志は前記の軸を中心軸とする想定円筒と回転板
とが交わってなす円を等しい中心角をなして横切り、光
検出部はすべてその想定円筒と光検出板とが交わってな
す円を横切り、一つの組に属して隣接する光検出部同志
はそれぞれ光透過部のなす前記中心角の２以上の整数倍
の中心角をなすが、一つの組に属する光検出部と他の組
に属する光検出部は相互に前記中心角の半分の整数倍に
等しくない中心角をなし、光源は一つの組の光検出部の
うちの二つ以上に対応する光透過部を同時に照射でき、
光通過部の同時透過数と各組の光検出部の全数の少なく
とも一方が全周にわたって存在することによって上記の
目的が達成される。一つの組のに属する光検出部と他の
組に属する光検出部とのなす中心角は、隣接する光透過
部同志のなす中心角の半分の整数倍にその４分の１を加
えるかあるいは減じた角度の前後であることが望ましい
。光検出部としては薄膜シリコン太陽電池を用いるのが
有効である。
た、軸のまわりに回転可能な回転板と、その回転板に平
行に対向し、その対向する側に２組のそれぞれ並列接続
された光検出部を設けた光検出板と、前記回転板の反光
検出板側に配置された光源とを備えており、隣接する光
透過部同志は前記の軸を中心軸とする想定円筒と回転板
とが交わってなす円を等しい中心角をなして横切り、光
検出部はすべてその想定円筒と光検出板とが交わってな
す円を横切り、一つの組に属して隣接する光検出部同志
はそれぞれ光透過部のなす前記中心角の２以上の整数倍
の中心角をなすが、一つの組に属する光検出部と他の組
に属する光検出部は相互に前記中心角の半分の整数倍に
等しくない中心角をなし、光源は一つの組の光検出部の
うちの二つ以上に対応する光透過部を同時に照射でき、
光通過部の同時透過数と各組の光検出部の全数の少なく
とも一方が全周にわたって存在することによって上記の
目的が達成される。一つの組のに属する光検出部と他の
組に属する光検出部とのなす中心角は、隣接する光透過
部同志のなす中心角の半分の整数倍にその４分の１を加
えるかあるいは減じた角度の前後であることが望ましい
。光検出部としては薄膜シリコン太陽電池を用いるのが
有効である。
第１図（ａ）、 （ｂｌ、 （０１は本発明の一実施例
を示し、第４図と同様にＴａｌは一部を断面で示した側
面図。 山）は回転板、ｃ句は光検出板をそれぞれ上から見た平
面図であり、第４図と共通の部分には同一の符号が付さ
れている。光源７は、発光ダイオードなどの発光素子７
１１反射光７２．光拡散板７３を用いて回転板３の全周
にわたって一様に照射できる。電動機１の軸２に連結さ
れた回転板（エンコーダ）には多数の光透過部４が等し
い中心角θをなして隣接するように設けられている。図
では光透過部４の数は３６個、従ってθ−１０″である
。エンコーダ３に対する光透過部４の形成は、既に知ら
れている方法、例・えは金属薄板にエツチング法により
スリットとして穿孔するか、透明ガラス板に光透過部４
が残るよう不透明部分を印刷する方法などによって行わ
れる。光検出板６の２組の光検出部５１および５２は何
れも光透過部４の直下の同一円周上に両側の接続導体５
３．５４から交互に張り出して゛・する、光検出部５１
．５２のそれぞれは、３θの中心角すなわち３０°をな
して隣接している。また隣接。 する光検出部５１および５２相互のなす角αはθ／２の
整数倍でない角、例え゛ば３θの２／１に１／４θを加
えるかあるいは減した角、すなわち１１／４θあるいは
１３／４θをなしている。従ってθを１０°とすればα
は１２．５°あるいは１７．５ ＠である。 第２図は光検出部５１あるいは５２の構造を示し、ステ
ンレス鋼等の導電性基板６の上にアモルファスシリコン
からなるｐ形層８１を約５００ Ｋ、ノンドープ層８２
を約０．５μ■、ｎ形層８３を約１００＾の厚さにシラ
ンガスのグロー放電分解により形成する。 その上に、例えばＩＴＯからなる透明導電膜９を蒸着し
、フォトエツチング技術を用いて第１図（ｃｌに示すパ
ターンを形成する。光検出部５１および５２の各組の並
列接続のための導体５３および５４も同時に形成できる
が、これらは基板６と絶縁しておく・必要がある。エン
コーダ３の隣接光透過部４、各組の光検出部５１．５２
のそれぞれの中心角がすべて３０であるから、一つの光
透過部４が光検出部５２の一つの上に位置したときには
その光検出部５２のすべての上に光透過部４が位置し、
各光検出部５２に極大の光電流が発生する。この光電流
はエンコーダの透過部４が矢印Ａの方向に移動するにつ
れて減少し次の光透過部４が近づ（と再び増加するから
、第３図（ａｌの１１３２が示すようにエンコーダのθ
だけの回転を周期とする脈動を生ずる。−力先検出部５
１には、エンコーダ３の回転のαだけのずれにより同様
な脈動３１が生ずる。αが１１／４θの場合には脈動５
２．５１の間の位相のずれは９０＠である。光検出部５
１．５２はそれぞれ並列接続されているのでこの出力電
流は合計され、例えば直径４゜ＩＩＩＩのエンコーダで
５０＃ｍ Ｘ １．５μ論の寸法のスリットを光透過部
として８００個明けた場合には、２μＡのピーク電流値
を得ることができる。、ｙｌＲ動ｓｘ。 ３２よりシュミット回路を用いて第３図（ｂｌに示すよ
うなパルス波形列３３．３４を形成でき、このパルス係
数および立上がりのずれの前後から回転角度。 回転方向１回転数を検出することができる。 特に回転角度の検出精度を高めるために上記のような多
数の光透過部を設けた場合、２組の光検出部のピッチを
光透過部と同じにすると、９０″の位相差を生ずるため
には隣接する異なった光検出部５１．５２の間の中心角
は１／４θとしなければならず、製造工程中のフォトエ
ツチング工程において塵などの付着により両組の光検出
部間に短絡が生ずる確立が高くなり、良品率を低下させ
る。しかるに本発明によればこの間隔を広くとることが
でき、例えば上記のα＝１１／４θの場合は５倍になる
ためフォトエツチング工程における欠陥の発生が大幅に
減少する。各組の隣接光検出部のなす中心角を２０とし
、α−３／４θにとった場合でも間隔は３倍になって有
効である。 両組の光検出部５１．５２によって得られる出力電流の
位相のずれは９０＠に固定されるものではないが４５〜
１３５ ”の範囲にあるのが望ましい。 なお、光源７は回転板３の上面を全面的に一様に照射す
るのが最も望ましいが、実用上の見地がらこれが出来に
くい場合もしくはそれほどの必要のない場合には、２個
以上できるだけ多くの光透過部４を照射するようにして
も、この発明の特長は依然として存在することはこれま
での説明により明らかである。また光検出部５Ｌ ５２
あるいは光透過部４の一方を全周でな（、円周上の一部
分にだけ設けることも可能である。 【発明の効果］ 本発明は、回転軸の回りの回転板に設けられた′光透過
部の隣接するものの関の中心角の２以上の整数倍の中心
角をなして隣接する光検出部を光検出板の同一円周上に
２組配置し、さらに光透過部を通して両組の光検出部に
入射する光により生ずる光起電力の極値が一致しないよ
うにすることによって回転角度２回転位置１回転方向２
回転数を検出するものである。この場合、２組の光検出
部が同一円周上にあるため光透過部の長さは短（てすみ
、さらに異なる組の隣接光検出部間の間隔を広げること
ができるので、短絡のおそれがなく、製造の容易な高精
度の回転角度測定装置を得ることができるのでその効果
は大きい。
を示し、第４図と同様にＴａｌは一部を断面で示した側
面図。 山）は回転板、ｃ句は光検出板をそれぞれ上から見た平
面図であり、第４図と共通の部分には同一の符号が付さ
れている。光源７は、発光ダイオードなどの発光素子７
１１反射光７２．光拡散板７３を用いて回転板３の全周
にわたって一様に照射できる。電動機１の軸２に連結さ
れた回転板（エンコーダ）には多数の光透過部４が等し
い中心角θをなして隣接するように設けられている。図
では光透過部４の数は３６個、従ってθ−１０″である
。エンコーダ３に対する光透過部４の形成は、既に知ら
れている方法、例・えは金属薄板にエツチング法により
スリットとして穿孔するか、透明ガラス板に光透過部４
が残るよう不透明部分を印刷する方法などによって行わ
れる。光検出板６の２組の光検出部５１および５２は何
れも光透過部４の直下の同一円周上に両側の接続導体５
３．５４から交互に張り出して゛・する、光検出部５１
．５２のそれぞれは、３θの中心角すなわち３０°をな
して隣接している。また隣接。 する光検出部５１および５２相互のなす角αはθ／２の
整数倍でない角、例え゛ば３θの２／１に１／４θを加
えるかあるいは減した角、すなわち１１／４θあるいは
１３／４θをなしている。従ってθを１０°とすればα
は１２．５°あるいは１７．５ ＠である。 第２図は光検出部５１あるいは５２の構造を示し、ステ
ンレス鋼等の導電性基板６の上にアモルファスシリコン
からなるｐ形層８１を約５００ Ｋ、ノンドープ層８２
を約０．５μ■、ｎ形層８３を約１００＾の厚さにシラ
ンガスのグロー放電分解により形成する。 その上に、例えばＩＴＯからなる透明導電膜９を蒸着し
、フォトエツチング技術を用いて第１図（ｃｌに示すパ
ターンを形成する。光検出部５１および５２の各組の並
列接続のための導体５３および５４も同時に形成できる
が、これらは基板６と絶縁しておく・必要がある。エン
コーダ３の隣接光透過部４、各組の光検出部５１．５２
のそれぞれの中心角がすべて３０であるから、一つの光
透過部４が光検出部５２の一つの上に位置したときには
その光検出部５２のすべての上に光透過部４が位置し、
各光検出部５２に極大の光電流が発生する。この光電流
はエンコーダの透過部４が矢印Ａの方向に移動するにつ
れて減少し次の光透過部４が近づ（と再び増加するから
、第３図（ａｌの１１３２が示すようにエンコーダのθ
だけの回転を周期とする脈動を生ずる。−力先検出部５
１には、エンコーダ３の回転のαだけのずれにより同様
な脈動３１が生ずる。αが１１／４θの場合には脈動５
２．５１の間の位相のずれは９０＠である。光検出部５
１．５２はそれぞれ並列接続されているのでこの出力電
流は合計され、例えば直径４゜ＩＩＩＩのエンコーダで
５０＃ｍ Ｘ １．５μ論の寸法のスリットを光透過部
として８００個明けた場合には、２μＡのピーク電流値
を得ることができる。、ｙｌＲ動ｓｘ。 ３２よりシュミット回路を用いて第３図（ｂｌに示すよ
うなパルス波形列３３．３４を形成でき、このパルス係
数および立上がりのずれの前後から回転角度。 回転方向１回転数を検出することができる。 特に回転角度の検出精度を高めるために上記のような多
数の光透過部を設けた場合、２組の光検出部のピッチを
光透過部と同じにすると、９０″の位相差を生ずるため
には隣接する異なった光検出部５１．５２の間の中心角
は１／４θとしなければならず、製造工程中のフォトエ
ツチング工程において塵などの付着により両組の光検出
部間に短絡が生ずる確立が高くなり、良品率を低下させ
る。しかるに本発明によればこの間隔を広くとることが
でき、例えば上記のα＝１１／４θの場合は５倍になる
ためフォトエツチング工程における欠陥の発生が大幅に
減少する。各組の隣接光検出部のなす中心角を２０とし
、α−３／４θにとった場合でも間隔は３倍になって有
効である。 両組の光検出部５１．５２によって得られる出力電流の
位相のずれは９０＠に固定されるものではないが４５〜
１３５ ”の範囲にあるのが望ましい。 なお、光源７は回転板３の上面を全面的に一様に照射す
るのが最も望ましいが、実用上の見地がらこれが出来に
くい場合もしくはそれほどの必要のない場合には、２個
以上できるだけ多くの光透過部４を照射するようにして
も、この発明の特長は依然として存在することはこれま
での説明により明らかである。また光検出部５Ｌ ５２
あるいは光透過部４の一方を全周でな（、円周上の一部
分にだけ設けることも可能である。 【発明の効果］ 本発明は、回転軸の回りの回転板に設けられた′光透過
部の隣接するものの関の中心角の２以上の整数倍の中心
角をなして隣接する光検出部を光検出板の同一円周上に
２組配置し、さらに光透過部を通して両組の光検出部に
入射する光により生ずる光起電力の極値が一致しないよ
うにすることによって回転角度２回転位置１回転方向２
回転数を検出するものである。この場合、２組の光検出
部が同一円周上にあるため光透過部の長さは短（てすみ
、さらに異なる組の隣接光検出部間の間隔を広げること
ができるので、短絡のおそれがなく、製造の容易な高精
度の回転角度測定装置を得ることができるのでその効果
は大きい。
第１図は本発明の一実施例を示し、＋ＩＳ＋は一部断面
で示した側面図、 （ｂ）は回転板の平面図、（Ｃ）は
光検出板の平面図、第２図は実施例における光検出部の
構成を示す断面図、第３図は本発明の一実施７例によっ
て得られる出力波形で、（ａｌは出力電流波形図、 （
ｂ）はこれを処理して得たパルス波形図、第４図は従来
例を示し、（ａｌは一部断面で示した側面図、伽）は回
転板の平面図、（Ｃ）は光検出板の平面図である。 ２：回転軸、３：回転板、４：光透過部、５１゜５２：
光検出部、５３，５４：接続導体、６：光検出板、７：
光源、８１８ｐ形ａ−３ｔ層、８２：ノンドープミー３
ｉ層、８３：ｎ形ａ −５ｉ層・ 才Ｚ口 才３図
で示した側面図、 （ｂ）は回転板の平面図、（Ｃ）は
光検出板の平面図、第２図は実施例における光検出部の
構成を示す断面図、第３図は本発明の一実施７例によっ
て得られる出力波形で、（ａｌは出力電流波形図、 （
ｂ）はこれを処理して得たパルス波形図、第４図は従来
例を示し、（ａｌは一部断面で示した側面図、伽）は回
転板の平面図、（Ｃ）は光検出板の平面図である。 ２：回転軸、３：回転板、４：光透過部、５１゜５２：
光検出部、５３，５４：接続導体、６：光検出板、７：
光源、８１８ｐ形ａ−３ｔ層、８２：ノンドープミー３
ｉ層、８３：ｎ形ａ −５ｉ層・ 才Ｚ口 才３図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）複数の光透過部を設けた軸の回りに回転可能な回転
板と、該回転板に平行に対向し、その対向する側に２組
のそれぞれ並列接続された光検出部を設けた光検出板と
、前記回転板の反光検出板側に配置された光源とを備え
ており、隣接する光透過部同志は前記軸を中心軸とする
想定円筒と回転板とが交わってなす円を等しい中心角を
なして横切り、光検出部はすべて前記想定円筒と光検出
板とが交わってなす円を横切り、一つの組に属して隣接
する光検出部同志はそれぞれ光透過部のなす前記中心角
の２以上の整数倍の中心角をなすが、一つの組に属する
光検出部と他の組に属する光検出部は相互に光透過部の
なす前記中心角の半分の整数倍に等しくない中心角をな
し、光源は一つの光検出部のうちの二つ以上に対応する
光透過部を同時に照射でき、光透遇部の同時透過数と各
組の光検出部の全数の少なくとも一方が全周にわたって
存在することを特徴とする回転数検出装置。 ２）特許請求の範囲第１項記載の装置において、一つの
組に属する光検出部と他の組に属する光検出部のなす中
心角は、隣接する光透過部同志のなす中心角の半分の整
数倍との差が該中心角の４分の１前後であることを特徴
とする回転数検出装置。 ３）特許請求の範囲第１項または第２項記載の装置にお
いて、光検出部が薄膜シリコン太陽電池であることを特
徴とする回転数検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14171184A JPS6120817A (ja) | 1984-07-09 | 1984-07-09 | 回転数検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14171184A JPS6120817A (ja) | 1984-07-09 | 1984-07-09 | 回転数検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6120817A true JPS6120817A (ja) | 1986-01-29 |
Family
ID=15298420
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14171184A Pending JPS6120817A (ja) | 1984-07-09 | 1984-07-09 | 回転数検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6120817A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5913904A (ja) * | 1982-07-15 | 1984-01-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光学式回転検出装置 |
-
1984
- 1984-07-09 JP JP14171184A patent/JPS6120817A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5913904A (ja) * | 1982-07-15 | 1984-01-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光学式回転検出装置 |
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