JPH045143B2 - - Google Patents
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- JPH045143B2 JPH045143B2 JP18617184A JP18617184A JPH045143B2 JP H045143 B2 JPH045143 B2 JP H045143B2 JP 18617184 A JP18617184 A JP 18617184A JP 18617184 A JP18617184 A JP 18617184A JP H045143 B2 JPH045143 B2 JP H045143B2
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- light
- radiation grating
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- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 39
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 6
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P3/00—Measuring linear or angular speed; Measuring differences of linear or angular speeds
- G01P3/36—Devices characterised by the use of optical means, e.g. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01P3/366—Devices characterised by the use of optical means, e.g. using infrared, visible, or ultraviolet light by using diffraction of light
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/38—Forming the light into pulses by diffraction gratings
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P13/00—Indicating or recording presence, absence, or direction, of movement
- G01P13/02—Indicating direction only, e.g. by weather vane
- G01P13/04—Indicating positive or negative direction of a linear movement or clockwise or anti-clockwise direction of a rotational movement
- G01P13/045—Indicating positive or negative direction of a linear movement or clockwise or anti-clockwise direction of a rotational movement with speed indication
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は回転情報検出計に関し、時に円周上に
例えば透光部と反射部の格子模様を複数個、周期
的に刻んだ放射格子を回転物体に取付け、該放射
格子に例えばレーザーからの光束を照射し、該放
射格子からの回折光を利用して、放射格子若しく
は回転物体の回転速度や回転速度の変動量を光電
的に検出する回転情報検出計に関するものであ
る。
例えば透光部と反射部の格子模様を複数個、周期
的に刻んだ放射格子を回転物体に取付け、該放射
格子に例えばレーザーからの光束を照射し、該放
射格子からの回折光を利用して、放射格子若しく
は回転物体の回転速度や回転速度の変動量を光電
的に検出する回転情報検出計に関するものであ
る。
従来よりフロツピーデイスクの駆動等のコンピ
ユータ機器、プリンター等の事務機器、あるいは
NC工作機械さらにはVTRのキヤプステンモータ
ーや回転ドラム等の回転機構の回転速度や回転速
度の変動量を検出する為の手段として光電的トー
タリーエンコーダーが利用されてきている。
ユータ機器、プリンター等の事務機器、あるいは
NC工作機械さらにはVTRのキヤプステンモータ
ーや回転ドラム等の回転機構の回転速度や回転速
度の変動量を検出する為の手段として光電的トー
タリーエンコーダーが利用されてきている。
光電的ロータリーエンコーダーを用いる方法は
回転軸に連絡した円板の周囲に透光部と遮光部を
等間隔に設けた、所謂メインスケールとこれに対
応してメインスケールと等しい間隔で透光部と遮
光部とを設けた所謂固定のインデツクススケール
との双方のスケールを投光手段と受光手段で挾ん
で対向配置した所謂インデツクススケール方式の
構成を採つている。この方法はメインスケールの
回転に伴つて双方のスケールと透光部と遮光部の
間隔に同期した信号が得られ、この信号を周波数
解析して回転軸の回転速度を変動の検出してい
る。この為双方のスケールの透光部と遮光部との
スケール間隔を細かくすればする程、検出精度を
高めることができる。しかしながらスケール間隔
を細かくすると回折光の影響で受光手段からの出
力信号のＳ／Ｎ比が低下し検出精度が低下してし
まう欠点があつた。この為メインスケールの透光
部と遮光部の格子の総本数を固定させ、透光部と
遮光部の間隔を回折光の影響を浮けない程度まで
拡大しようとするとメインスケールの円板の直径
が増大し更に厚さも増大し装置全体が大型化し、
この結果被検回転物体への負荷が大きくなつてく
る等の欠点があつた。
回転軸に連絡した円板の周囲に透光部と遮光部を
等間隔に設けた、所謂メインスケールとこれに対
応してメインスケールと等しい間隔で透光部と遮
光部とを設けた所謂固定のインデツクススケール
との双方のスケールを投光手段と受光手段で挾ん
で対向配置した所謂インデツクススケール方式の
構成を採つている。この方法はメインスケールの
回転に伴つて双方のスケールと透光部と遮光部の
間隔に同期した信号が得られ、この信号を周波数
解析して回転軸の回転速度を変動の検出してい
る。この為双方のスケールの透光部と遮光部との
スケール間隔を細かくすればする程、検出精度を
高めることができる。しかしながらスケール間隔
を細かくすると回折光の影響で受光手段からの出
力信号のＳ／Ｎ比が低下し検出精度が低下してし
まう欠点があつた。この為メインスケールの透光
部と遮光部の格子の総本数を固定させ、透光部と
遮光部の間隔を回折光の影響を浮けない程度まで
拡大しようとするとメインスケールの円板の直径
が増大し更に厚さも増大し装置全体が大型化し、
この結果被検回転物体への負荷が大きくなつてく
る等の欠点があつた。
本発明は被検回転物体の負荷を小さくし、被検
回転物体への回転速度検出用の放射格子の取付け
偏心の影響を軽減した小型でしかも高精度の回転
情報検出計の提供を目的とする。
回転物体への回転速度検出用の放射格子の取付け
偏心の影響を軽減した小型でしかも高精度の回転
情報検出計の提供を目的とする。
本発明の目的を達成する為の回転情報検出計
は、回転物体に連結され、格子模様を複数個等角
度に配置した放射格子と、前記放射格子の第１の
位置に光束を入射させる為の第１の照明手段と、
前記放射格子の入射した前記光束からの反射回折
光若しくは透過回折光のうち、特定の次数の２つ
の回折光を前記第１照明手段による光束の入射位
置に対する前記放射格子上の前記回転物体の回転
中心と略点対称の第２の位置に再度入射させる為
の第２の照明手段と、前記放射格子により再度回
折された特定の次数の２つの回折光を重ね合わせ
た後、前記重ね合わせた光束を受光する為の受光
手段とを有する回転情報検出計において、前記第
２照明手段は、前記第１の位置からの前記２つの
回折光を各々反射させる第１、第２反射面と、第
１、第２反射面からの各光路内にあつて前記第２
の位置へ光を受ける第３、第４反射面を有し、回
転軸方向から見て第１、第３反射面を結ぶ光路
と、第２、第４反射面を結ぶ光路を交差させたこ
とを特徴としている。
は、回転物体に連結され、格子模様を複数個等角
度に配置した放射格子と、前記放射格子の第１の
位置に光束を入射させる為の第１の照明手段と、
前記放射格子の入射した前記光束からの反射回折
光若しくは透過回折光のうち、特定の次数の２つ
の回折光を前記第１照明手段による光束の入射位
置に対する前記放射格子上の前記回転物体の回転
中心と略点対称の第２の位置に再度入射させる為
の第２の照明手段と、前記放射格子により再度回
折された特定の次数の２つの回折光を重ね合わせ
た後、前記重ね合わせた光束を受光する為の受光
手段とを有する回転情報検出計において、前記第
２照明手段は、前記第１の位置からの前記２つの
回折光を各々反射させる第１、第２反射面と、第
１、第２反射面からの各光路内にあつて前記第２
の位置へ光を受ける第３、第４反射面を有し、回
転軸方向から見て第１、第３反射面を結ぶ光路
と、第２、第４反射面を結ぶ光路を交差させたこ
とを特徴としている。
次に本発明の一実施例を各図と共に説明する。
第１図は本発明の一実施例の概略図である。同
図において１はレーザー等の光源、２はコリメー
ターレンズ、３1〜３3，３1′〜３3′はシリンドリ
カルレンズ、４1，４2，４1′，４2′は反射鏡、５
は円板上に例えば透光部と反射部の格子模様を等
角度でもけた放射格子、６は被検回転物体の回転
軸、７は受光素子である。
図において１はレーザー等の光源、２はコリメー
ターレンズ、３1〜３3，３1′〜３3′はシリンドリ
カルレンズ、４1，４2，４1′，４2′は反射鏡、５
は円板上に例えば透光部と反射部の格子模様を等
角度でもけた放射格子、６は被検回転物体の回転
軸、７は受光素子である。
レーザー１より放射された光束はコリメーター
レンズ２により略平行光束となり、シリンドリカ
ルレンズ３1によつて放射格子５上の位置M1に線
状に照射される。このように線状照射することに
より放射格子５上での光束の照射部分に相当する
透光部と反射部の格子模様のピツチ誤差を軽減す
ることができる。
レンズ２により略平行光束となり、シリンドリカ
ルレンズ３1によつて放射格子５上の位置M1に線
状に照射される。このように線状照射することに
より放射格子５上での光束の照射部分に相当する
透光部と反射部の格子模様のピツチ誤差を軽減す
ることができる。
尚シリンドリカルレンズの代わりにスリツト若
しくはレンズとスリツトを用いて線状照射するよ
うにしても良い。
しくはレンズとスリツトを用いて線状照射するよ
うにしても良い。
レーザー１からの光束は放射格子５の格子模様
によつて反射回折される。いま光束の照射位置
M1における格子模様のピツチをｐとすれば±ｍ
次の反射回折光L1，L2の回折角度θnは sinθn＝mλ／ｐ ……(1) で表わされる。ここでλは光束の波長である。一
方測定点M1での放射格子５の周速度をｖとすれ
ば±ｍ次の反射回折光L1，L2の周波数は Δ＝±vsinθn／λ ……(2) で表わされる量だけ所謂トツプラーシフトを受け
る。
によつて反射回折される。いま光束の照射位置
M1における格子模様のピツチをｐとすれば±ｍ
次の反射回折光L1，L2の回折角度θnは sinθn＝mλ／ｐ ……(1) で表わされる。ここでλは光束の波長である。一
方測定点M1での放射格子５の周速度をｖとすれ
ば±ｍ次の反射回折光L1，L2の周波数は Δ＝±vsinθn／λ ……(2) で表わされる量だけ所謂トツプラーシフトを受け
る。
そして、シリンドリカルレンズ３2，３3を介し
て、反射鏡４1，４2で、±ｍ次の反射回折光を、
放射格子５の回転中心に点対称な位置M2に、反
射鏡４1′，４2′、シリンドリカルレンズ３2′，３
3′を介して、再び線状に照射する。このとき、放
射格子の位置M2への入射角は、各々の回折光に
対して、位置M1における反射回折角度θnと等し
く、しかも放射格子の周速度方向との角度も等し
くなるように、反射鏡４1′，４2′を配置しておく。
すると、位置M2において、±ｍ次の反射回折光は
重なり合つてシリンドリカルレンズ３1′を介し
て、受光素子７に入射する。このとき、位置M2
で再び、(2)式のドツプラー周波数シフトΔを受
けるので、位置M2で反射される±ｍ次の反射回
折光のドツプラー周波数シフト量は、全体に±
2Δとなる。このように、±ｍ次の回折を２回受
けた光束が重なり合うため、受光素子７の出力信
号の周波数は、2Δ−（2Δ）＝4Δとなる。つま
り、受光素子７の出力信号の周波数Ｆは、Ｆ＝
4Δ＝4vsinθn／λとなるが、(1)式の回折条件の
式から、Ｆ＝4mv／ｐとなる。ここで、回転角速
度をω、回転数をｆ、放射格子５の等角度ピツチ
をΔ、格子模様の分割数（総本数）をＮ、回転
中心と点対称なレーザー光束の照射位置M1，M2
の回転中心からの距離をｒとすれば、ｖ＝rω、
ω＝2πf、ｐ＝rΔ、Δ＝2π／Ｎの関係式から、
結局、受光素子の出力信号の周波数Ｆは、 Ｆ＝4mNf ……(3) となつて、回折次数ｍ、分割数Ｎ、回転数ｆで表
わされる。
て、反射鏡４1，４2で、±ｍ次の反射回折光を、
放射格子５の回転中心に点対称な位置M2に、反
射鏡４1′，４2′、シリンドリカルレンズ３2′，３
3′を介して、再び線状に照射する。このとき、放
射格子の位置M2への入射角は、各々の回折光に
対して、位置M1における反射回折角度θnと等し
く、しかも放射格子の周速度方向との角度も等し
くなるように、反射鏡４1′，４2′を配置しておく。
すると、位置M2において、±ｍ次の反射回折光は
重なり合つてシリンドリカルレンズ３1′を介し
て、受光素子７に入射する。このとき、位置M2
で再び、(2)式のドツプラー周波数シフトΔを受
けるので、位置M2で反射される±ｍ次の反射回
折光のドツプラー周波数シフト量は、全体に±
2Δとなる。このように、±ｍ次の回折を２回受
けた光束が重なり合うため、受光素子７の出力信
号の周波数は、2Δ−（2Δ）＝4Δとなる。つま
り、受光素子７の出力信号の周波数Ｆは、Ｆ＝
4Δ＝4vsinθn／λとなるが、(1)式の回折条件の
式から、Ｆ＝4mv／ｐとなる。ここで、回転角速
度をω、回転数をｆ、放射格子５の等角度ピツチ
をΔ、格子模様の分割数（総本数）をＮ、回転
中心と点対称なレーザー光束の照射位置M1，M2
の回転中心からの距離をｒとすれば、ｖ＝rω、
ω＝2πf、ｐ＝rΔ、Δ＝2π／Ｎの関係式から、
結局、受光素子の出力信号の周波数Ｆは、 Ｆ＝4mNf ……(3) となつて、回折次数ｍ、分割数Ｎ、回転数ｆで表
わされる。
そして第１図に示すように、受光素子９から出
力信号を、コンパレーターなどを通して２値化
し、週明数−電圧変換器等によつ周波数解析し
て、表示すれば周波数Ｆが求められ、回転物体の
回転速度の変位量を求めることができる。
力信号を、コンパレーターなどを通して２値化
し、週明数−電圧変換器等によつ周波数解析し
て、表示すれば周波数Ｆが求められ、回転物体の
回転速度の変位量を求めることができる。
尚(3)式より明らかなように周波数Ｆを波長と無
関係に求めることがきるので光源としてレーザー
に限らずどのような光源であつても使用すること
ができる。
関係に求めることがきるので光源としてレーザー
に限らずどのような光源であつても使用すること
ができる。
一方従来から使用されているインデツクススケ
ール方式の光電式ロータリーエンコーダーでは、
受光素子からの出力信号の周波数F′は、F′＝Nf
である。
ール方式の光電式ロータリーエンコーダーでは、
受光素子からの出力信号の周波数F′は、F′＝Nf
である。
従つて本実施例によれば従来例に比べて4m倍
の周波数が得られるので、回転速度の変動検出精
度が、従来例よりも4m倍だけ向上することにな
る。
の周波数が得られるので、回転速度の変動検出精
度が、従来例よりも4m倍だけ向上することにな
る。
また、従来のインデツクススケール方式の光電
式ロータリーエンコーダーにおいては、透光部と
遮光部のピツチ間隔は、光の回折の影響を考慮す
ると、10μｍ程度が限界であつた。いま、角度分
解能として、たとえば30秒を得るためには、従来
例では、メインスケールの分割数として、Ｎ＝
360×60×60/30＝43200だけ必要である。そこで、
メインスケール最外周での、透光部と遮光部の間
隔を10μｍとすれば、メインスケールの直径は、
0.01mm×43200／π＝137.5mm必要になる。しかる
に、本実施例によれば、放射格子の分解数は、従
来例の1/4ｍでよいので、30秒の角度分解能を得
るための分割数は10800（ｍ＝１）でよい。そし
て、本実施例では、レーザー等からの回折光を用
いれば、透光部と反射部の間隔は狭くてよいの
で、たとえば4μｍとすると、放射格子の直径は、
0.004mm×10800／π＝13.75mmでよいことになる。
すなわち、本実施例によれば、従来のインデツク
ススケール方式の光電式ロータリーエンコーダー
と同等の分解能を得る為の放射格子の形状として
は従来例に比べ1/10以下の大きさで良い。従つて
被検回転物体への負荷も従来例に比べてはるかに
小さくなり、より高精度の測定が可能となる。
式ロータリーエンコーダーにおいては、透光部と
遮光部のピツチ間隔は、光の回折の影響を考慮す
ると、10μｍ程度が限界であつた。いま、角度分
解能として、たとえば30秒を得るためには、従来
例では、メインスケールの分割数として、Ｎ＝
360×60×60/30＝43200だけ必要である。そこで、
メインスケール最外周での、透光部と遮光部の間
隔を10μｍとすれば、メインスケールの直径は、
0.01mm×43200／π＝137.5mm必要になる。しかる
に、本実施例によれば、放射格子の分解数は、従
来例の1/4ｍでよいので、30秒の角度分解能を得
るための分割数は10800（ｍ＝１）でよい。そし
て、本実施例では、レーザー等からの回折光を用
いれば、透光部と反射部の間隔は狭くてよいの
で、たとえば4μｍとすると、放射格子の直径は、
0.004mm×10800／π＝13.75mmでよいことになる。
すなわち、本実施例によれば、従来のインデツク
ススケール方式の光電式ロータリーエンコーダー
と同等の分解能を得る為の放射格子の形状として
は従来例に比べ1/10以下の大きさで良い。従つて
被検回転物体への負荷も従来例に比べてはるかに
小さくなり、より高精度の測定が可能となる。
第２図は第１図の一部分の放射格子５上の光束
の照射位置M1，M2と放射格子５の中心と被検回
転物体の回転中心との偏心の説明図である。
の照射位置M1，M2と放射格子５の中心と被検回
転物体の回転中心との偏心の説明図である。
本実施例においては放射格子５上の、回転中心
に関して点対称な２点M1，M2を照射点、つまり
測定点とし、放射格子５の中心と、被検回転体の
回転中心との偏心の影響を軽減している。すなわ
ち、放射格子５の中心と、回転中心とを完全に一
致させることは困難であり、両者の偏心は避けら
れない。たとえば、第２図に示すように、放射格
子５の中心Ｏと、回転中心O′との間に、偏心量
がａだけあつたとき、回転中心から距離ｒの位置
にある測定点M1でのドツプラー周波数シフトは、
偏心がないときとくらべて、ｒ／（ｒ＋ａ）か
ら、ｒ／（ｒ−ａ）まで変化する。一方、このと
き位置M1と、回転中心に対して点対称な位置に
あと測定点M2での周波数シフトは、位置M1での
変化とは逆に、ｒ／（ｒ−ａ）からｒ／（ｒ＋
ａ）まで変化するから、位置M1とM2の同時に２
点を測定点とすることによつて、偏心の影響を軽
減することができ、この結果高精度に回転速度を
検出することができる。
に関して点対称な２点M1，M2を照射点、つまり
測定点とし、放射格子５の中心と、被検回転体の
回転中心との偏心の影響を軽減している。すなわ
ち、放射格子５の中心と、回転中心とを完全に一
致させることは困難であり、両者の偏心は避けら
れない。たとえば、第２図に示すように、放射格
子５の中心Ｏと、回転中心O′との間に、偏心量
がａだけあつたとき、回転中心から距離ｒの位置
にある測定点M1でのドツプラー周波数シフトは、
偏心がないときとくらべて、ｒ／（ｒ＋ａ）か
ら、ｒ／（ｒ−ａ）まで変化する。一方、このと
き位置M1と、回転中心に対して点対称な位置に
あと測定点M2での周波数シフトは、位置M1での
変化とは逆に、ｒ／（ｒ−ａ）からｒ／（ｒ＋
ａ）まで変化するから、位置M1とM2の同時に２
点を測定点とすることによつて、偏心の影響を軽
減することができ、この結果高精度に回転速度を
検出することができる。
第３図は本発明の他の実施例の一部分の概略図
であり第１図の放射格子５に光束が入射する付近
を示している。同図において各要素に付された番
号は第１図で示したものと同じ要素を示す。放射
格子５の位置M1に入射した光束の±ｍ次の透過
回折光をシリンドリカルレンズ３2，３3，３2′，
３3′、反射鏡４1，４2，４1′，４2′を介して回転軸
６の中心と略点対称の位置M2に再度入射させ第
１図に示した実施例と同様の効果を得ている。
であり第１図の放射格子５に光束が入射する付近
を示している。同図において各要素に付された番
号は第１図で示したものと同じ要素を示す。放射
格子５の位置M1に入射した光束の±ｍ次の透過
回折光をシリンドリカルレンズ３2，３3，３2′，
３3′、反射鏡４1，４2，４1′，４2′を介して回転軸
６の中心と略点対称の位置M2に再度入射させ第
１図に示した実施例と同様の効果を得ている。
前述した各実施例では±ｍ次の２つの回折光を
用いた場合を示したが±ｍ次の回折光のかわりに
次数の異つた２つの回折光を用いても良い。
用いた場合を示したが±ｍ次の回折光のかわりに
次数の異つた２つの回折光を用いても良い。
又放射格子上の格子模様を透過部のみ又は反射部
のみで構成し透過回折光又は反射回折光のみを用
いるようにしても良い。
のみで構成し透過回折光又は反射回折光のみを用
いるようにしても良い。
以上のように本発明によれば被検回転物体の負
荷の小さい、放射格子の中心と回転物体の回転中
心の偏心誤差を軽減した小型でしかも高精度の回
転情報検出計を達成することができる。
荷の小さい、放射格子の中心と回転物体の回転中
心の偏心誤差を軽減した小型でしかも高精度の回
転情報検出計を達成することができる。
第１図は本発明の一実施例の概略図、第２図は
第１図の一部分の説明図、第３図は本発明の他の
実施例の一部分の概略図である。 図中１は光源、２はコリメーターレンズ、３1
〜３3，３1′〜３3′はシリンドリカルレンズ、４1，
４2，４1′，４2′は反射鏡、５は放射格子、６は回
転軸である。
第１図の一部分の説明図、第３図は本発明の他の
実施例の一部分の概略図である。 図中１は光源、２はコリメーターレンズ、３1
〜３3，３1′〜３3′はシリンドリカルレンズ、４1，
４2，４1′，４2′は反射鏡、５は放射格子、６は回
転軸である。
Claims (1)
- １ 回転物体に連結され、格子模様を複数個等角
度に配置した放射格子と、前記放射格子の第１の
位置に光束を入射させる為の第１の照明手段と、
前記放射格子に入射した前記光束からの反射回折
光若しくは透過回折光のうち、特定の次数の２つ
の回折光を前記第１照明手段による光束の入射位
置に対する前記放射格子上の前記回転物体の回転
中心と略点対称の第２の位置に再度入射させる為
の第２の照明手段と、前記放射格子により再度回
折された特定の次数の２つの回折光を重ね合わせ
た後、前記重ね合わせた光束を受光する為の受光
手段とを有する回転情報検出計において、前記第
２照明手段は、前記第１の位置からの前記２つの
回折光を各々反射させる第１、第２反射面と、第
１、第２反射面からの各光路内にあつて前記第２
の位置へ光を向ける第３、第４反射面を有し、回
転軸方向から見て第１、第３反射面を結ぶ光路
と、第２、第４反射面を結ぶ光路を交差させたこ
とを特徴とする回転情報検出計。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18617184A JPS6165166A (ja) | 1984-09-05 | 1984-09-05 | 回転情報検出計 |
| US07/481,684 US4967072A (en) | 1984-09-05 | 1990-02-20 | Interferometric rotating condition detection apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18617184A JPS6165166A (ja) | 1984-09-05 | 1984-09-05 | 回転情報検出計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6165166A JPS6165166A (ja) | 1986-04-03 |
| JPH045143B2 true JPH045143B2 (ja) | 1992-01-30 |
Family
ID=16183632
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18617184A Granted JPS6165166A (ja) | 1984-09-05 | 1984-09-05 | 回転情報検出計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6165166A (ja) |
-
1984
- 1984-09-05 JP JP18617184A patent/JPS6165166A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6165166A (ja) | 1986-04-03 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |