JPS6165166A - 回転情報検出計 - Google Patents
回転情報検出計Info
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P3/00—Measuring linear or angular speed; Measuring differences of linear or angular speeds
- G01P3/36—Devices characterised by the use of optical means, e.g. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01P3/366—Devices characterised by the use of optical means, e.g. using infrared, visible, or ultraviolet light by using diffraction of light
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/38—Forming the light into pulses by diffraction gratings
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P13/00—Indicating or recording presence, absence, or direction, of movement
- G01P13/02—Indicating direction only, e.g. by weather vane
- G01P13/04—Indicating positive or negative direction of a linear movement or clockwise or anti-clockwise direction of a rotational movement
- G01P13/045—Indicating positive or negative direction of a linear movement or clockwise or anti-clockwise direction of a rotational movement with speed indication
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は回転速度計に関し、特に円周上に例えば透光部
と反射部の格子模様を複数個、周期的に刻んだ放射格子
を回転物体に取付け、該放射格子に例えばレーザーから
の光束を照射し、該放射格子からの回折光を利用して、
放射格子若しくは回転物体の回転速度や回転速度の変動
鍍金光電的に検出する回転速度計に関するものである。
と反射部の格子模様を複数個、周期的に刻んだ放射格子
を回転物体に取付け、該放射格子に例えばレーザーから
の光束を照射し、該放射格子からの回折光を利用して、
放射格子若しくは回転物体の回転速度や回転速度の変動
鍍金光電的に検出する回転速度計に関するものである。
従来よりフロッピーデスクの駆動等のコンピューター機
器、プリンター等の事務機器、あるイハＮＣ工作機械さ
らにはＶＴＲのキャプステンモーターや回転ドラム等の
回転機構の回転速度や回転速度の変動量を検出する為の
手段とじて光電的ロータリーエンコーダーが利用されて
きている。
器、プリンター等の事務機器、あるイハＮＣ工作機械さ
らにはＶＴＲのキャプステンモーターや回転ドラム等の
回転機構の回転速度や回転速度の変動量を検出する為の
手段とじて光電的ロータリーエンコーダーが利用されて
きている。
光電的ロータリーエンコーダーを用いる方法は回転軸に
連絡した円板の周囲に透光部と遮光部を等間隔に設けた
、所謂メインスケールとこれに対応してメインスケール
と等しい間隔で透光部と遮光部とを設けた所謂固定のイ
ンデックススケールとの双方のスケールを投光手段と受
光手段で挾んで対向配置した所謂インデックススケール
方式の構成を採っている。この方法はメインスケールの
回転に伴って双方のスケールの透光部と遮光部の間隔に
同期した信号が得られ、この信号を周波数解析して回転
軸の回転速就の変動を検出している。この為双方のスケ
ールの透光部と遮光部とのスケール間隔ｔｌ−細かくす
ればする程、検出精度を高めることができる。
連絡した円板の周囲に透光部と遮光部を等間隔に設けた
、所謂メインスケールとこれに対応してメインスケール
と等しい間隔で透光部と遮光部とを設けた所謂固定のイ
ンデックススケールとの双方のスケールを投光手段と受
光手段で挾んで対向配置した所謂インデックススケール
方式の構成を採っている。この方法はメインスケールの
回転に伴って双方のスケールの透光部と遮光部の間隔に
同期した信号が得られ、この信号を周波数解析して回転
軸の回転速就の変動を検出している。この為双方のスケ
ールの透光部と遮光部とのスケール間隔ｔｌ−細かくす
ればする程、検出精度を高めることができる。
しかしながらスケール間隔を細かくすると回折光の影響
で受光手段からの出力信号の８／Ｎ比が低下し検１ｆｊ
ｎ１度が低下してしま９欠点があった。この為メインス
クールの透光部と遮光部の格子の総本数全固定させ、遮
光部と、１・奥元部の間隔を回折光の影＃を受けない８
度まで拡大しようとするとメインスケールの円板の直径
が増大し更に厚さも増大し装置全体が大型化し、この結
果被検回転物体への負荷が大きくなってくる等の欠点が
ｂつｋ。
で受光手段からの出力信号の８／Ｎ比が低下し検１ｆｊ
ｎ１度が低下してしま９欠点があった。この為メインス
クールの透光部と遮光部の格子の総本数全固定させ、遮
光部と、１・奥元部の間隔を回折光の影＃を受けない８
度まで拡大しようとするとメインスケールの円板の直径
が増大し更に厚さも増大し装置全体が大型化し、この結
果被検回転物体への負荷が大きくなってくる等の欠点が
ｂつｋ。
不発明は被検回転物体の負荷金小シ＜シ、被検回転物体
への回転速度検出用の放射格子の取付は偏心の影響を軽
減した小型でしかも高精度の回転速度計の提供を目的と
する。
への回転速度検出用の放射格子の取付は偏心の影響を軽
減した小型でしかも高精度の回転速度計の提供を目的と
する。
本兄明の目的を達成する為の回転速度計の王たる特徴は
円板の周囲上に格子模様全６数個等角度に配置した放射
格子と前記放射格子と連結した回転物体と前記放射格子
に光束を入射させる為の第１の照明手段と前記放射格子
に入射した前記光束からの反射回折光若しくは透過回折
光のうち特定の次数の２つの回折光全前記第１の照明手
段による光束の入射位置に対する前記放射格子上の前記
回転物体の回転中ノし・と略点対称の位置に再度入射さ
せる為の第２の照明手段と前記放射格子によフ再度回折
され九特定の次数の２つの回折光を重ね合わせた後、前
記重ね合わせた光束を受光する為の受光手段とを有し、
前記受光手段からの出力信号を利用して前記回転物体の
回転速度を求めたことである。
円板の周囲上に格子模様全６数個等角度に配置した放射
格子と前記放射格子と連結した回転物体と前記放射格子
に光束を入射させる為の第１の照明手段と前記放射格子
に入射した前記光束からの反射回折光若しくは透過回折
光のうち特定の次数の２つの回折光全前記第１の照明手
段による光束の入射位置に対する前記放射格子上の前記
回転物体の回転中ノし・と略点対称の位置に再度入射さ
せる為の第２の照明手段と前記放射格子によフ再度回折
され九特定の次数の２つの回折光を重ね合わせた後、前
記重ね合わせた光束を受光する為の受光手段とを有し、
前記受光手段からの出力信号を利用して前記回転物体の
回転速度を求めたことである。
次に本発明の一実施例を各図と共に説明する。
第１図は本発明の一実施例の概略図でろる。
同図においてｌはし〜ザー等の光源、２＃ｉコリメータ
ーレンズ、３１〜３３ 、 ３’〜３３′はシリンド
リカルレンズ、４１，４２，４□／、 ４ｉは反射鏡
、５は円板上に例えば透光部と反射部の格子模様を等角
度で設けた放射格子、６は被検回転物体の回転軸、７は
受光素子である。
ーレンズ、３１〜３３ 、 ３’〜３３′はシリンド
リカルレンズ、４１，４２，４□／、 ４ｉは反射鏡
、５は円板上に例えば透光部と反射部の格子模様を等角
度で設けた放射格子、６は被検回転物体の回転軸、７は
受光素子である。
レーザー１より放射され次光束砿コリメーメーレンズ２
によＶ略平行光束となり、シリンドリカルレンズ３□に
よって放射格子５上の位１１Ｍ１ Ｋ線状に照射される
。このように線状照射することにより放射格子５上での
光束の照射部分に相当する透光部と反射部の格子模様の
ピンチ誤差を軽減することができる。
によＶ略平行光束となり、シリンドリカルレンズ３□に
よって放射格子５上の位１１Ｍ１ Ｋ線状に照射される
。このように線状照射することにより放射格子５上での
光束の照射部分に相当する透光部と反射部の格子模様の
ピンチ誤差を軽減することができる。
尚シリンドリカルレンズの代わりにスリット若しくはレ
ンズとスリットヲ用いて線状照射するようにしても良い
。
ンズとスリットヲ用いて線状照射するようにしても良い
。
レーザー１からの光束は放射格子５の格子模様によって
反射回折される。いま光束の照射位置Ｍ□における格子
模様のピッチｔｐとすれば±ｍ次の反射回折光Ｌ□ 、
Ｌ２の回折角度 θ。
反射回折される。いま光束の照射位置Ｍ□における格子
模様のピッチｔｐとすれば±ｍ次の反射回折光Ｌ□ 、
Ｌ２の回折角度 θ。
け
５１ｆａｒｎ””ｍλ／ｐ ＝・・・
・・・・（１１で表わされる。ここでλは光束の波長で
ある〇一方測定点ｂｒ１での放射格子５の周速度をＶと
すれば±ｍ次の反射回折光り、Ｌ２０周波数は Δｆ−±ｖｓｉｎθ／λ ・・・・・・・・
・＋２）で表わされる量だけ所謂ドツプラーシフトを受
ける。
・・・・（１１で表わされる。ここでλは光束の波長で
ある〇一方測定点ｂｒ１での放射格子５の周速度をＶと
すれば±ｍ次の反射回折光り、Ｌ２０周波数は Δｆ−±ｖｓｉｎθ／λ ・・・・・・・・
・＋２）で表わされる量だけ所謂ドツプラーシフトを受
ける。
そして、シリンドリカルレンズ３２． ３３’ｉ介して
、反射鏡４，４□で、±ｍ次の１５Ｌ射回折光を、放射
格子５０回転中心に点対称な位置Ｍ２ に、反射鏡４
□／ 、 ４２Ｊ 、７リンドリカルレンズ３□′、
３３′を介して、再び線状に照射する。
、反射鏡４，４□で、±ｍ次の１５Ｌ射回折光を、放射
格子５０回転中心に点対称な位置Ｍ２ に、反射鏡４
□／ 、 ４２Ｊ 、７リンドリカルレンズ３□′、
３３′を介して、再び線状に照射する。
このとき、放射格子の位置Ｍ２への入射角は、各々の回
折光に対して、位ｆｆｉ Ｍ、における反射回折角度θ
。と等しく、シかも放射格子の周速度方向との角度本等
しくなるよりに、反射鏡４□′、４゜′を配置しておく
。すると、位ＩＩｔ Ｍ２において、±ｍ次の反射回折
光は重なり合ってシリンドリカルレンズ３□ｌを介して
、受光素子７に入射する。このとき、位＃、Ｍ２で再び
、（２）式のドツプラー周波数７７トΔｆを受けるので
、位置Ｍ２で反射される±ｍ矢の反射回折光のドツプラ
ー周波数シフトｚは、全体に±２Δｆとなる。このよう
に、±ｍ次の回折を２回受けた光束が重なり合うため、
受光素子７の出力信号の周波数は、２Δｆ−Ｃ−ｚΔｆ
）−４Δｆとなる。つまり、受光素子７の出力信号の周
波数Ｆは、Ｆ−４Δｆ−４マ３ｉ１１θ／λとなるが、
（１）式の回折条件の式から、Ｆ −４ｍｖ ／ ｐ
となる０ここで、回転角逐肛をω、回転数をＪ Ｘ放
射格子５の等角糺ピッチをΔ９、格子模様の分割数（総
本数）ｔＮ１回転中心と点対称なレーザー光束の照射位
＃Ｍエ １Ｍ２の回転中心からの距離ｆｒとすれば、ｖ
”−ｒω、ω栃２πｆ、ｐ鴫ｒΔψ、Δψ−Ｚｘ／Ｎ
の関係式から、結局、受光素子の出力信号の周波数Ｆは
、 Ｆ −４ｍＮ／ −・−ｆ３１とな
って、回折次處ｍ１分割数Ｎ１回転数ノ“で表わされる
。
折光に対して、位ｆｆｉ Ｍ、における反射回折角度θ
。と等しく、シかも放射格子の周速度方向との角度本等
しくなるよりに、反射鏡４□′、４゜′を配置しておく
。すると、位ＩＩｔ Ｍ２において、±ｍ次の反射回折
光は重なり合ってシリンドリカルレンズ３□ｌを介して
、受光素子７に入射する。このとき、位＃、Ｍ２で再び
、（２）式のドツプラー周波数７７トΔｆを受けるので
、位置Ｍ２で反射される±ｍ矢の反射回折光のドツプラ
ー周波数シフトｚは、全体に±２Δｆとなる。このよう
に、±ｍ次の回折を２回受けた光束が重なり合うため、
受光素子７の出力信号の周波数は、２Δｆ−Ｃ−ｚΔｆ
）−４Δｆとなる。つまり、受光素子７の出力信号の周
波数Ｆは、Ｆ−４Δｆ−４マ３ｉ１１θ／λとなるが、
（１）式の回折条件の式から、Ｆ −４ｍｖ ／ ｐ
となる０ここで、回転角逐肛をω、回転数をＪ Ｘ放
射格子５の等角糺ピッチをΔ９、格子模様の分割数（総
本数）ｔＮ１回転中心と点対称なレーザー光束の照射位
＃Ｍエ １Ｍ２の回転中心からの距離ｆｒとすれば、ｖ
”−ｒω、ω栃２πｆ、ｐ鴫ｒΔψ、Δψ−Ｚｘ／Ｎ
の関係式から、結局、受光素子の出力信号の周波数Ｆは
、 Ｆ −４ｍＮ／ −・−ｆ３１とな
って、回折次處ｍ１分割数Ｎ１回転数ノ“で表わされる
。
そして第１図に示すエラに、受光素子９からの出力信号
を、コンパレーターなどを通してｚ値化し、周波数−゛
直圧及換器等によって周波数解析して、表示すれば周波
数Ｆが求められ、回転物体の回転速度の変位量を求める
ことができる。
を、コンパレーターなどを通してｚ値化し、周波数−゛
直圧及換器等によって周波数解析して、表示すれば周波
数Ｆが求められ、回転物体の回転速度の変位量を求める
ことができる。
尚（３）式より明らかのように周波数Ｆを波長と無関係
に求めることができるので光源としてレーザーに限らず
どのような光源であっても使用することができる。
に求めることができるので光源としてレーザーに限らず
どのような光源であっても使用することができる。
一万従来から使用されているインデックススケール方式
の光電式ロータリーエフコーダーでは、受光素子からの
出力信号の周波数Ｆ′は、Ｆ′−Ｎｆ である。
の光電式ロータリーエフコーダーでは、受光素子からの
出力信号の周波数Ｆ′は、Ｆ′−Ｎｆ である。
従って本実施例によれば従来例に比べて ４ｍ倍の周波
数が得られるので、回転速度の変動検出精度が、従来例
よシも４ｍ倍だけ同上することになる。
数が得られるので、回転速度の変動検出精度が、従来例
よシも４ｍ倍だけ同上することになる。
また、従来のインデックススケール方式の光に弐Ｃ２−
タリーエンコーダーにおいては、透光部と遮光部のピッ
°チ間隔は、光の回折の影響を考慮すると、１０μｍ
程度が限度であった。いま、角に分解能として、たとえ
ば３０秒を得るためには、従来例では、メインスケール
の分割数として、Ｎ −３６０Ｘ ６０ Ｘ６０／３０
−４１２００ だけ必要でめる。そこで、メインスケ
ール最外周での、透光部と遮光部の間隔を１０μｍ と
すれば、メインスケールの直径は、０．０１ ｍ Ｘ
４＆２００ ／π−１３７，５圏必要になる。しかるに
、本実施例によれば、放射格子の分割数は、従来例の１
／４ｍでよいので、３０秒の角度分解能を得るための分
割数は１０．８００ （ｍ −１）でよい。そして、本
実施例では、レーザー等からの回折光を用いれば、透光
部と反射部の間隔は狭くてよいので、たとえば４μｍ
とすると９、放射格子の直径は、 ０．００４ｍｍＸ
Ｉｏ、８００／ ｘ ＝ １ｙ１７５ ｒｒａａでよい
ことＫなる。すなわち、本実施例によれば、従来のイン
デックススケール方式の光電式ロータリーエフコーダー
と同等の分解能を得る為の放射格子の形状としては従来
例に比べて１／１０以下の大きさで良い。
タリーエンコーダーにおいては、透光部と遮光部のピッ
°チ間隔は、光の回折の影響を考慮すると、１０μｍ
程度が限度であった。いま、角に分解能として、たとえ
ば３０秒を得るためには、従来例では、メインスケール
の分割数として、Ｎ −３６０Ｘ ６０ Ｘ６０／３０
−４１２００ だけ必要でめる。そこで、メインスケ
ール最外周での、透光部と遮光部の間隔を１０μｍ と
すれば、メインスケールの直径は、０．０１ ｍ Ｘ
４＆２００ ／π−１３７，５圏必要になる。しかるに
、本実施例によれば、放射格子の分割数は、従来例の１
／４ｍでよいので、３０秒の角度分解能を得るための分
割数は１０．８００ （ｍ −１）でよい。そして、本
実施例では、レーザー等からの回折光を用いれば、透光
部と反射部の間隔は狭くてよいので、たとえば４μｍ
とすると９、放射格子の直径は、 ０．００４ｍｍＸ
Ｉｏ、８００／ ｘ ＝ １ｙ１７５ ｒｒａａでよい
ことＫなる。すなわち、本実施例によれば、従来のイン
デックススケール方式の光電式ロータリーエフコーダー
と同等の分解能を得る為の放射格子の形状としては従来
例に比べて１／１０以下の大きさで良い。
従って被検回転物体への負荷も従来例に比べてはるかく
小さくなり、より高精度の測定が可能となる。
小さくなり、より高精度の測定が可能となる。
第２図は第１図の一部分の放射格子５上の光束の照射位
置Ｍエ ９Ｍ２と放射格子５の中心と被検回転物体の回
転中心との偏心の説明図で６る。
置Ｍエ ９Ｍ２と放射格子５の中心と被検回転物体の回
転中心との偏心の説明図で６る。
本実施例においては放射格子５上の、回転中心に関して
点対称な２点Ｍよ ２Ｍ２を照射点、つま５１１１１１
定点とし、放”射格子５の中心と、被検回転体の回転中
心との偏心の影響を軽減している。すなわち、放射格子
５の中心と、回転中心とを完全に一致させることは困難
であり、両者の偏心は避けられない。友とえば、第２図
に示すように、放射格子５の中心０と、回転中心０′と
の聞く、偏心量がａだけあったとき、回転中心から距離
ｒの位置にある測定点Ｍ１でのドツプラー周波数ンフト
は、偏心がないときとくらべて、ｒ／（ｒ十ａ） か
ら、ｒ／（ｒ−ａ） まで変化する。一方、このとき
位置Ｍ□ と、回転中心に対して点対称な位置にある測
定点Ｍ２での周波数シフトは、位−１ｉｔ Ｍ、での変
化とは逆に、ｒ／（ｒ−ａ） からｒ／（ｒ＋ａ）
まで変化するから、位置Ｍ工とＭ２ と同時に２点を
測定点とすることによって、偏心の影響を軽減すること
ができ、この結果高精度に回転速度を検出することがで
きる。
点対称な２点Ｍよ ２Ｍ２を照射点、つま５１１１１１
定点とし、放”射格子５の中心と、被検回転体の回転中
心との偏心の影響を軽減している。すなわち、放射格子
５の中心と、回転中心とを完全に一致させることは困難
であり、両者の偏心は避けられない。友とえば、第２図
に示すように、放射格子５の中心０と、回転中心０′と
の聞く、偏心量がａだけあったとき、回転中心から距離
ｒの位置にある測定点Ｍ１でのドツプラー周波数ンフト
は、偏心がないときとくらべて、ｒ／（ｒ十ａ） か
ら、ｒ／（ｒ−ａ） まで変化する。一方、このとき
位置Ｍ□ と、回転中心に対して点対称な位置にある測
定点Ｍ２での周波数シフトは、位−１ｉｔ Ｍ、での変
化とは逆に、ｒ／（ｒ−ａ） からｒ／（ｒ＋ａ）
まで変化するから、位置Ｍ工とＭ２ と同時に２点を
測定点とすることによって、偏心の影響を軽減すること
ができ、この結果高精度に回転速度を検出することがで
きる。
第３図は本発明の他の実施例の一部分の概略図であり第
１図の放射格子５に光束が入射する付近を示している。
１図の放射格子５に光束が入射する付近を示している。
同図において各袂索に付された番号Ｆｉ第１図で示した
ものと同じ要素を示す。放射格子Ｓの位９１Ｍ工に入射
した光束の±ｒｎ？７．．の透過回折光をシリンドリカ
ルレンズ３□、 ３３．３□′１３３′、反射鏡４□
、４゜、４□′。
ものと同じ要素を示す。放射格子Ｓの位９１Ｍ工に入射
した光束の±ｒｎ？７．．の透過回折光をシリンドリカ
ルレンズ３□、 ３３．３□′１３３′、反射鏡４□
、４゜、４□′。
４□′を介して回転軸６の中、心と略点対称の位置Ｍ２
に再度入射させ第１図に示した実施例と同様の効果
を得ている。
に再度入射させ第１図に示した実施例と同様の効果
を得ている。
前述した各実施例では±ｍ次の２つの回折光を用いた場
合を示し九が±ｍ次の回折光のかわりに次数の異った２
つの回折光を用いても良い。
合を示し九が±ｍ次の回折光のかわりに次数の異った２
つの回折光を用いても良い。
又放射格子上の格子模様金透過部のみ又は反射部のみで
構成し透過回折光又は反射回折光のみを用いるようにし
ても良い。
構成し透過回折光又は反射回折光のみを用いるようにし
ても良い。
以上のように本発明によれば被検回転物体の負荷の小さ
い、放射格子の中心と回転物体の回転中心との偏心誤差
金軽減し次小型でしかも高精度の回転速度計１ｆｃ達成
することができる。
い、放射格子の中心と回転物体の回転中心との偏心誤差
金軽減し次小型でしかも高精度の回転速度計１ｆｃ達成
することができる。
第１図は本発明の一実施例の概略図、第２図は第１図の
一部分の説明図、第３図は本発明の他の実施例の一部分
の概略図で６る。 図中１は光源、２はコリメーターレンズ、３１〜３３１
３１′〜３３′はシリンドリカルレンズ。 ４□、４□、４□′、４□′は反射鏡、５は放射格子、
６は回転軸である。
一部分の説明図、第３図は本発明の他の実施例の一部分
の概略図で６る。 図中１は光源、２はコリメーターレンズ、３１〜３３１
３１′〜３３′はシリンドリカルレンズ。 ４□、４□、４□′、４□′は反射鏡、５は放射格子、
６は回転軸である。
Claims (3)
- （１）円板の周囲上に格子模様を複数個等角度に配置し
た放射格子と前記放射格子と連結した回転物体と前記放
射格子に光束を入射させる為の第１の照明手段と前記放
射格子に入射した前記光束からの反射回折光若しくは透
過回折光のうち特定の次数の２つの回折光を前記第１の
照明手段による光束の入射位置に対する前記放射格子上
の前記回転物体の回転中心と略点対称の位置に再度入射
させる為の第２の照明手段と前記放射格子により再度回
折された特定の次数の２つの回折光を重ね合わせた後、
前記重ね合わせた光束を受光する為の受光手段とを有し
、前記受光手段からの出力信号を利用して前記回転物体
の回転速度を求めたことを特徴とする回転速度計。 - （２）前記第１及び第２の照明手段は前記放射格子の格
子の放射方向と直交する方向に線状に前記光束を照射さ
せたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の回転
速度計。 - （３）前記格子模様を透光部と反射部より構成したこと
を特徴とする特許請求の範囲第２項記載の回転速度計。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18617184A JPS6165166A (ja) | 1984-09-05 | 1984-09-05 | 回転情報検出計 |
| US07/481,684 US4967072A (en) | 1984-09-05 | 1990-02-20 | Interferometric rotating condition detection apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18617184A JPS6165166A (ja) | 1984-09-05 | 1984-09-05 | 回転情報検出計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6165166A true JPS6165166A (ja) | 1986-04-03 |
| JPH045143B2 JPH045143B2 (ja) | 1992-01-30 |
Family
ID=16183632
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18617184A Granted JPS6165166A (ja) | 1984-09-05 | 1984-09-05 | 回転情報検出計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6165166A (ja) |
-
1984
- 1984-09-05 JP JP18617184A patent/JPS6165166A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH045143B2 (ja) | 1992-01-30 |
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| JPS62200221A (ja) | ロ−タリ−エンコ−ダ− |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |