JP2008091761A - 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 - Google Patents

基板処理装置及び半導体装置の製造方法 Download PDF

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Abstract

【課題】予備室と処理室との圧力差を低減し、該圧力差に起因するガスの急激な流動を抑制し、もって基板のパーティクル汚染を防止する基板処理装置及び半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】基板処理装置は、ロードロック室内の圧力が設定された第１の設定圧力値となるよう第２の圧力センサの検出する圧力値に基づいてロードロック室内の圧力を調整する第１の圧力調整部２８８と、処理室内の圧力が第２の設定圧力値となるよう第１の圧力センサ２４５の検出する圧力値に基づいて処理室内の圧力を調整する第２の圧力調整部２９０と、差圧計２８０が検出するロードロック室と処理室との圧力差に基づいて第２の設定圧力値を更新する設定圧力値更新部２９２とを備える。
【選択図】図５

Description

本発明は、半導体デバイス等の基板を処理するための基板処理装置及び半導体装置の製造方法に関する。
この種の基板処理装置において、反応室（処理室）やロードロック室（予備室）等の隣接する複数の気密室を有し、これらの気密室間を閉塞手段により開閉するものが知られている。例えば、隣接する２つの気密室の圧力差が所定値以下となったときに隣接する２つの気密室を連通することにより、一方の気密室と他方の気密室との圧力差に起因するガスの急激な流動を抑制し、発塵を防止するものが公知である（例えば特許文献１）。
特開平６−１７７０６０
しかしながら、上記従来発明においては、ロードロック室と反応室との圧力差を調整するために、ロードロック室と反応室とを連通する連絡管に設けられたバルブを開けていたため、処理室側のパーティクルがロードロック室内に入るおそれがある。ロードロック室内にパーティクルが入ると、処理前及び処理後の基板上にパーティクルが付着することがあり、これを防ぐためにもロードロック室内を洗浄しなければならない。しかしながら、ロードロック室はいったん設置してしまうと、基板処理装置からの取り付け及び取り外しが困難であり、また、人手によるふき取り作業では多大な労力と時間とを費やすとともに洗浄具合にむらが生じるとの問題があった。
本発明は、上記問題を解消し、処理室と予備室との圧力差に起因するガスの急激な流動を抑制し、もって基板上にパーティクルが付着することを防止する基板処理装置及び半導体装置の製造方法を提供することを目的としている。
本発明の特徴とするところは、基板を処理する処理室と、前記処理室に隣接する予備室と、前記処理室と前記予備室との間を開閉する蓋体と、前記処理室内を排気する第１の排気ラインと、前記予備室内を排気する第２の排気ラインと、前記処理室内の絶対圧力値を検出する第１の圧力検出器と、前記予備室内の絶対圧力値を検出する第２の圧力検出器と、前記処理室と前記予備室との圧力差を検出する差圧検出器と、前記予備室内の圧力が設定された第１の設定圧力値となるよう前記第２の圧力検出器の検出する圧力値に基づいて前記予備室内の圧力を調整する第１の圧力調整部と、前記処理室内の圧力が第２の設定圧力値となるよう前記第１の圧力検出器の検出する圧力値に基づいて前記処理室内の圧力を調整する第２の圧力調整部と、前記差圧検出器が検出する前記予備室と前記処理室との圧力差に基づいて前記第２の設定圧力値を更新する設定圧力値更新部とを備える基板処理装置にある。
本発明に係る半導体装置の製造方法は、予備室内の圧力を調整する第１の圧力調整部により予備室内の圧力が設定された第１の設定圧力値となるよう第２の圧力検出器の検出する圧力値に基づいて第２の排気ラインから前記予備室内を排気することで前記予備室内の圧力を調整する工程と、処理室内の圧力を調整する第２の圧力調整部により処理室内の圧力が第２の設定圧力値になるよう第１の圧力検出器の検出する圧力値に基づいて第１の排気ラインから前記処理室内を排気することで前記処理室内の圧力を調整する工程と、設定圧力値更新部により差圧検出器の検出する圧力値に基づいて前記第２の設定圧力値を更新する工程と、前記処理室と前記予備室との間を開閉する蓋体を開く工程と、基板を前記処理室内に搬入する工程と、基板を処理する工程とを有する。
好適には、さらに、前記第１の排気ラインに設けられ前記処理室内の圧力を調整する圧力調整弁と、前記第２の排気ラインに設けられる開閉弁と、前記第１の排気ライン及び前記第２の排気ラインに接続され前記圧力調整弁及び前記開閉弁の下流側に配置される排気ポンプとを備える。
好適には、前記第１の圧力調整部は、前記蓋体が開くのに先立って、前記開閉弁を開にして前記排気ポンプにより前記第２の排気ラインから排気し、前記第２の圧力検出器の検出する圧力値が前記第１の設定圧力値に到達したら前記開閉弁を閉じるように制御する。
好適には、前記第２の圧力調整部は、前記蓋体が開くのに先立って、前記圧力調整弁を開にし、前記排気ポンプにより前記第１の排気ラインから排気し、前記第１の圧力検出器の検出する圧力値が前記第２の設定圧力値を維持するよう前記圧力調整弁を制御する。
好適には、前記設定圧力更新部は、前記蓋体が開くのに先立って、前記第２の圧力検出器の検出する圧力値が前記第１の設定圧力値となり、前記第１の圧力検出器の検出する圧力値が前記第２の設定圧力値となった際に、前記差圧検出器の検出する圧力差を前記第２の設定圧力値に加算又は減算し、該第２の設定圧力値を更新する。
好適には、前記第２の圧力調整部は、前記設定圧力更新部により前記第２の設定圧力値が更新された際には、該更新された設定圧力値に基づいて前記圧力調整弁を制御する。
好適には、さらに、前記処理室にガスを供給する処理室内ガス供給部と、前記予備室にガスを供給する予備室内ガス供給部とを備える。
好適には、前記第１の設定圧力値及び前記第２の設定圧力値は負圧である。
好適には、前記第１の設定圧力値及び前記第２の設定圧力値は略同一である。
本発明によれば、設定圧力更新部により差圧検出器が検出する予備室と処理室との圧力差に基づいて第２の設定圧力値が更新され、予備室と処理室との圧力差が低減されるので、該圧力差に起因するガスの急激な流動を抑制し、もって基板のパーティクル汚染を防止することができる。
本発明を実施するための最良の形態において、基板処理装置１００は、一例として、半導体装置（IC）の製造方法における処理工程を実施する半導体製造装置として構成されている。尚、以下の説明では、基板処理装置１００として基板に酸化、拡散処理やＣＶＤ処理などを行なう縦型の装置（以下、単に処理装置という）を適用した場合について述べる。図１は、本発明に適用される基板処理装置１００の平面透視図として示されている。また、図２は図１に示す基板処理装置１００の側面透視図である。
図１および２に示されているように、シリコン等からなるウエハ（基板）２００を収納したウエハキャリアとしてフープ（基板収容器。以下ポッドという。）１１０が使用されている本発明の基板処理装置１００は、筐体１１１を備えている。筐体１１１の正面壁１１１ａの正面前方部にはメンテナンス可能なように設けられた開口部としての正面メンテナンス口１０３が開設され、この正面メンテナンス口１０３を開閉する正面メンテナンス扉１０４、１０４がそれぞれ建て付けられている。
筐体１１１の正面壁１１１ａにはポッド搬入搬出口（基板収容器搬入搬出口）１１２が筐体１１１の内外を連通するように開設されており、ポッド搬入搬出口１１２はフロントシャッタ（基板収容器搬入搬出口開閉機構）１１３によって開閉されるようになっている。ポッド搬入搬出口１１２の正面前方側にはロードポート（基板収容器受渡し台）１１４が設置されており、ロードポート１１４はポッド１１０を載置されて位置合わせするように構成されている。ポッド１１０はロードポート１１４上に工程内搬送装置（図示せず）によって搬入され、かつまた、ロードポート１１４上から搬出されるようになっている。
筐体１１１内の前後方向の略中央部における上部には、回転式ポッド棚（基板収容器載置棚）１０５が設置されており、回転式ポッド棚１０５は複数個のポッド１１０を保管するように構成されている。すなわち、回転式ポッド棚１０５は垂直に立設されて水平面内で間欠回転される支柱１１６と、支柱１１６に上下四段の各位置において放射状に支持された複数枚の棚板（基板収容器載置台）１１７とを備えており、複数枚の棚板１１７はポッド１１０を複数個宛それぞれ載置した状態で保持するように構成されている。
筐体１１１内におけるロードポート１１４と回転式ポッド棚１０５との間には、ポッド搬送装置（基板収容器搬送装置）１１８が設置されており、ポッド搬送装置１１８は、ポッド１１０を保持したまま昇降可能なポッドエレベータ（基板収容器昇降機構）１１８ａと搬送機構としてのポッド搬送機構（基板収容器搬送機構）１１８ｂとで構成されており、ポッド搬送装置１１８はポッドエレベータ１１８ａとポッド搬送機構１１８ｂとの連続動作により、ロードポート１１４、回転式ポッド棚１０５、ポッドオープナ（基板収容器蓋体開閉機構）１２１との間で、ポッド１１０を搬送するように構成されている。
筐体１１１内の前後方向の略中央部における下部には、サブ筐体１１９が後端にわたって構築されている。サブ筐体１１９の正面壁１１９ａにはウエハ２００をサブ筐体１１９内に対して搬入搬出するためのウエハ搬入搬出口（基板搬入搬出口）１２０が一対、垂直方向に上下二段に並べられて開設されており、上下段のウエハ搬入搬出口１２０、１２０には一対のポッドオープナ１２１、１２１がそれぞれ設置されている。
ポッドオープナ１２１はポッド１１０を載置する載置台１２２、１２２と、ポッド１１０のキャップ（蓋体）を着脱するキャップ着脱機構（蓋体着脱機構）１２３、１２３とを備えている。ポッドオープナ１２１は載置台１２２に載置されたポッド１１０のキャップをキャップ着脱機構１２３によって着脱することにより、ポッド１１０のウエハ出し入れ口を開閉するように構成されている。
サブ筐体１１９はポッド搬送装置１１８や回転式ポッド棚１０５の設置空間から流体的に隔絶された移載室１２４を構成している。移載室１２４の前側領域にはウエハ移載機構（基板移載機構）１２５が設置されており、ウエハ移載機構１２５は、ウエハ２００を水平方向に回転ないし直動可能なウエハ移載装置（基板移載装置）１２５ａおよびウエハ移載装置１２５ａを昇降させるためのウエハ移載装置エレベータ（基板移載装置昇降機構）１２５ｂとで構成されている。これら、ウエハ移載装置エレベータ１２５ｂおよびウエハ移載装置１２５ａの連続動作により、ウエハ移載装置１２５ａのツイーザ（基板保持体）１２５ｃをウエハ２００の載置部として、ボート（基板保持具）２１７に対してウエハ２００を装填（チャージング）および脱装（ディスチャージング）するように構成されている。
図１に示されているように移載室１２４のウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ側と反対側である右側端部には、清浄化した雰囲気もしくは不活性ガスであるクリーンエア１３３を供給するよう供給ファンおよび防塵フィルタで構成されたクリーンユニット１３４が設置されており、ウエハ移載装置１２５ａとクリーンユニット１３４との間には、ウエハの円周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合わせ装置１３５が設置されている。
クリーンユニット１３４から吹き出されたクリーンエア１３３は、ノッチ合わせ装置１３５およびウエハ移載装置１２５ａに流通された後に、図示しないダクトにより吸い込まれて、筐体１１１の外部に排気がなされるか、もしくはクリーンユニット１３４の吸い込み側である一次側（供給側）にまで循環され、再びクリーンユニット１３４によって、移載室１２４内に吹き出されるように構成されている。
移載室１２４の後側領域には、大気圧未満の圧力（以下、負圧という。）を維持可能な機密性能を有する筐体（以下、耐圧筐体という。）１４０が設置されており、この耐圧筐体１４０によりボート２１７を収容可能な容積を有するロードロック方式の予備室であるロードロック室１４１が形成されている。
耐圧筐体１４０の正面壁１４０ａにはウエハ搬入搬出開口（基板搬入搬出開口）１４２が開設されており、ウエハ搬入搬出開口１４２はゲート（基板搬入搬出口開閉機構）１４３によって開閉されるようになっている。耐圧筐体１４０の一対の側壁には後述する第２のガス供給ライン２８２と第２の排気ライン２７０とがそれぞれ接続されている。ロードロック室１４１上方には、該ロードロック室１４１に隣接する処理炉２０２が設けられている。処理炉２０２の下端部は処理炉２０２とロードロック室１４１との間を開閉する蓋体としての炉口ゲートバルブ（炉口開閉機構）１４７により開閉されるように構成されている。耐圧筐体１４０の正面壁１４０ａの上端部には、炉口ゲートバルブ１４７を処理炉２０２の下端部の開放時に収容する炉口ゲートバルブカバー（図示省略）が取り付けられている。
図１に示されているように、耐圧筐体１４０にはボート２１７を昇降させるためのボートエレベータ（基板保持具昇降機構）１１５が設置されている。ボートエレベータ１１５に連結された連結具としてのアーム１２８には処理炉２０２とロードロック室１４１との間を開閉する蓋体としてのシールキャップ２１９が水平に据え付けられており、シールキャップ２１９はボート２１７を垂直に支持し、処理炉２０２の下端部を閉塞可能なように構成されている。ボート２１７は複数本の保持部材を備えており、複数枚（例えば、５０枚〜１２５枚程度）のウエハ２００をその中心を揃えて垂直方向に整列させた状態で、それぞれ水平に保持するように構成されている。
次に、本発明の処理装置の動作について説明する。
図１および２に示されているように、ポッド１１０がロードポート１１４に供給されると、ポッド搬入搬出口１１２がフロントシャッタ１１３によって開放され、ロードポート１１４の上のポッド１１０はポッド搬送装置１１８によって筐体１１１の内部へポッド搬入搬出口１１２から搬入される。
搬入されたポッド１１０は回転式ポッド棚１０５の指定された棚板１１７へポッド搬送装置１１８によって自動的に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、棚板１１７から一方のポッドオープナ１２１に搬送されて載置台１２２に移載されるか、もしくは直接ポッドオープナ１２１に搬送されて載置台１２２に移載される。この際、ポッドオープナ１２１のウエハ搬入搬出口１２０はキャップ着脱機構１２３によって閉じられており、移載室１２４にはクリーンエア１３３が流通され、充満されている。例えば、移載室１２４にはクリーンエア１３３として窒素ガスが充満することにより、酸素濃度が約２０ｐｐｍ以下と、筐体１１１の内部（大気雰囲気）の酸素濃度よりも遥かに低く設定されている。
載置台１２２に載置されたポッド１１０は、その開口側端面がサブ筐体１１９の正面壁１１９ａにおけるウエハ搬入搬出口１２０の開口縁辺部に押し付けられるとともに、そのキャップがキャップ着脱機構１２３によって取り外され、ポッド１１０のウエハ出し入れ口が開放される。また、予め内部が大気圧状態とされていたロードロック室１４１のウエハ搬入搬出開口１４２がゲート１４３の動作により開放されると、ウエハ２００はポッド１１０からウエハ移載装置１２５ａのツイーザ１２５ｃによってウエハ出し入れ口を通じてピックアップされ、ノッチ合わせ装置１３５にてウエハを整合した後、ウエハ搬入搬出開口１４２を通じてロードロック室１４１に搬入され、ボート２１７へ移載されて装填（ウエハチャージング）される。ボート２１７にウエハ２００を受け渡したウエハ移載装置１２５ａはポッド１１０に戻り、次のウエハ１１０をボート２１７に装填する。
この一方（上段または下段）のポッドオープナ１２１におけるウエハ移載装置１２５によるウエハのボート２１７への装填作業中に、他方（下段または上段）のポッドオープナ１２１には回転式ポッド棚１０５ないしロードポート１１４から別のポッド１１０がポッド搬送装置１１８によって搬送され、ポッドオープナ１２１によるポッド１１０の開放作業が同時進行される。
予め指定された枚数のウエハ２００がボート２１７に装填されると、ウエハ搬入搬出開口１４２がゲート１４３によって閉じられ、ロードロック室１４１は排気管１４５から真空引きされることにより、減圧される。後述する同圧化工程により、ロードロック室１４１と処理炉２０２内の圧力とが減圧下で同圧化されると、処理炉２０２の下端部が炉口ゲートバルブ１４７によって開放される。このとき、炉口ゲートバルブ１４７は炉口ゲートバルブカバー（図示省略）の内部に搬入されて収容される。続いて、シールキャップ２１９がボートエレベータ１１５の昇降台１６１によって上昇されて、シールキャップ２１９に支持されたボート２１７が処理炉２０２内へ搬入（ローディング）されて行く。
ローディング後は、処理炉２０２にてウエハ２００に任意の処理が実施される。
処理後は、後述する同圧化工程により、処理炉２０２内の圧力とロードロック室１４１との圧力とが減圧下で同圧化されると、ボートエレベータ１１５によりボート２１７が引き出され、更に、ロードロック室１４０内部を大気圧に復圧させた後にゲート１４３が開かれる。その後は、ノッチ合わせ装置１３５でのウエハの整合工程を除き、概上述の逆の手順で、ウエハ２００およびポッド１１０は筐体１１１の外部へ払出される。
図３は本発明の第１の実施形態で好適に用いられる基板処理装置１００の処理炉２０２の概略構成図であり、図１のａ−ａ線断面図として示されている。
図３に示されているように、処理炉２０２は加熱機構としてのヒータ２０６を有する。ヒータ２０６は円筒形状であり、保持板としてのヒータベース２５１に支持されることにより垂直に据え付けられている。
ヒータ２０６の内側には、ヒータ２０６と同心円状に反応管としてのプロセスチューブ２０３が配設されている。プロセスチューブ２０３は内部反応管としてのインナーチューブ２０４と、その外側に設けられた外部反応管としてのアウターチューブ２０５とから構成されている。インナーチューブ２０４は、例えば石英（ＳｉＯ２）または炭化シリコン（ＳｉＣ）等の耐熱性材料からなり、上端および下端が開口した円筒形状に形成されている。インナーチューブ２０４の筒中空部には基板を処理する処理室２０１が形成されており、基板としてのウエハ２００を後述するボート２１７によって水平姿勢で垂直方向に多段に整列した状態で収容可能に構成されている。アウターチューブ２０５は、例えば石英または炭化シリコン等の耐熱性材料からなり、内径がインナーチューブ２０４の外径よりも大きく上端が閉塞し下端が開口した円筒形状に形成されており、インナーチューブ２０４と同心円状に設けられている。
アウターチューブ２０５の下方には、アウターチューブ２０５と同心円状にマニホールド２０９が配設されている。マニホールド２０９は、例えばステンレス等からなり、上端および下端が開口した円筒形状に形成されている。マニホールド２０９は、インナーチューブ２０４とアウターチューブ２０５に係合しており、これらを支持するように設けられている。なお、マニホールド２０９とアウターチューブ２０５との間にはシール部材としてのＯリング２２０ａが設けられている。マニホールド２０９がヒータベース２５１に支持されることにより、プロセスチューブ２０３は垂直に据え付けられた状態となっている。プロセスチューブ２０３とマニホールド２０９により反応容器が形成される。
後述するシールキャップ２１９にはノズル２３０が処理室２０１内に連通するように接続されており、ノズル２３０には処理室２０１内にガスを供給する処理室内ガス供給部としての第１のガス供給ライン２３２が接続されている。第１のガス供給ライン２３２のノズル２３０との接続側と反対側である上流側には、ガス流量制御器としての第１のＭＦＣ（マスフローコントローラ）２４１を介して図示しない処理ガス供給源や不活性ガス供給源が接続されている。第１のＭＦＣ２４１には、ガス流量制御部（ガス流量コントローラ）２３５が電気的に接続されており、供給するガスの流量が所望の量となるよう所望のタイミングにて制御するように構成されている。
マニホールド２０９には、処理室２０１内の雰囲気を排気する第１の排気ライン２３１が設けられている。第１の排気ライン２３１は、インナーチューブ２０４とアウターチューブ２０５との隙間によって形成される筒状空間２５０の下端部に配置されており、筒状空間２５０に連通している。第１の排気ライン２３１のマニホールド２０９との接続側と反対側である下流側には処理室２０１内の絶対圧力値を検出する第１の圧力検出器としての第１の圧力センサ２４５及び圧力調整装置としての圧力調整弁２４２を介して排気装置としての排気ポンプ２４６が接続されており、処理室２０１内の圧力が所定の圧力（真空度）となるよう真空排気し得るように構成されている。圧力調整弁２４２及び第１の圧力センサ２４５には、圧力制御部（圧力コントローラ）２３６が電気的に接続されており、圧力制御部２３６は第１の圧力センサ２４５により検出された圧力に基づいて圧力調整弁２４２により処理室２０１内の圧力が所望の圧力となるよう所望のタイミングにて制御するように構成されている。
マニホールド２０９の下方には、マニホールド２０９の下端開口を気密に閉塞可能な炉口蓋体としてのシールキャップ２１９が設けられている。シールキャップ２１９はマニホールド２０９の下端に垂直方向下側から当接されるようになっている。シールキャップ２１９は例えばステンレス等の金属からなり、円盤状に形成されている。シールキャップ２１９の上面にはマニホールド２０９の下端と当接するシール部材としてのＯリング２２０ｂが設けられる。シールキャップ２１９の処理室２０１と反対側には、ボートを回転させる回転機構２５４が設置されている。回転機構２５４の回転軸２５５はシールキャップ２１９を貫通して、後述するボート２１７に接続されており、ボート２１７を回転させることでウエハ２００を回転させるように構成されている。シールキャップ２１９はプロセスチューブ２０３の外部に垂直に設備された昇降機構としてのボートエレベータ１１５によって垂直方向に昇降されるように構成されており、これによりボート２１７を処理室２０１に対し搬入搬出することが可能となっている。回転機構２５４及びボートエレベータ１１５には、駆動制御部（駆動コントローラ）２３７が電気的に接続されており、所望の動作をするよう所望のタイミングにて制御するように構成されている。
基板保持具としてのボート２１７は、例えば石英や炭化珪素等の耐熱性材料からなり、複数枚のウエハ２００を水平姿勢でかつ互いに中心を揃えた状態で整列させて多段に保持するように構成されている。なおボート２１７の下部には、例えば石英や炭化珪素等の耐熱性材料からなる円板形状をした断熱部材としての断熱板２１６が水平姿勢で多段に複数枚配置されており、ヒータ２０６からの熱がマニホールド２０９側に伝わりにくくなるよう構成されている。
プロセスチューブ２０３内には、温度検出器としての温度センサ２６３が設置されている。ヒータ２０６と温度センサ２６３には、電気的に温度制御部２３８が接続されており、温度センサ２６３により検出された温度情報に基づきヒータ２０６への通電具合を調整することにより処理室２０１内の温度が所望の温度分布となるよう所望のタイミングにて制御するように構成されている。
ガス流量制御部２３５、圧力制御部２３６、駆動制御部２３７、温度制御部２３８は、操作部、入出力部をも構成し、基板処理装置全体を制御する主制御部（メインコントローラ）２３９に電気的に接続されている。これら、ガス流量制御部２３５、圧力制御部２３６、駆動制御部２３７、温度制御部２３８、主制御部２３９はコントローラ２４０として構成されている。
次に、上記構成に係る処理炉２０２を用いて、半導体デバイスの製造工程の一工程として、ＣＶＤ法によりウエハ２００上に薄膜を形成する方法について説明する。尚、以下の説明において、基板処理装置を構成する各部の動作はコントローラ２４０により制御される。
複数枚のウエハ２００がボート２１７に装填（ウエハチャージ）されると、図３に示されているように、複数枚のウエハ２００を保持したボート２１７は、ボートエレベータ１１５によって持ち上げられて処理室２０１に搬入（ボートローディング）される。この状態で、シールキャップ２１９はＯリング２２０ｂを介してマニホールド２０９の下端をシールした状態となる。
処理室２０１内が所望の圧力（真空度）となるように真空排気装置２４６によって真空排気される。この際、処理室２０１内の圧力は、第１の圧力センサ２４５で測定され、この測定された圧力に基づき圧力調整弁２４２が、フィードバック制御される。また、処理室２０１内が所望の温度となるようにヒータ２０６によって加熱される。この際、処理室２０１内が所望の温度分布となるように温度センサ２６３が検出した温度情報に基づきヒータ２０６への通電具合がフィードバック制御される。続いて、回転機構２５４により、ボート２１７が回転されることで、ウエハ２００が回転される。
次いで、処理ガス供給源から供給され、ＭＦＣ２４１にて所望の流量となるように制御されたガスは、第１のガス供給ライン２３２を流通してノズル２３０から処理室２０１内に導入される。導入されたガスは処理室２０１内を上昇し、インナーチューブ２０４の上端開口から筒状空間２５０に流出して排気管２３１から排気される。ガスは処理室２０１内を通過する際にウエハ２００の表面と接触し、この際に熱ＣＶＤ反応によってウエハ２００の表面上に薄膜が堆積（デポジション）される。
予め設定された処理時間が経過すると、不活性ガス供給源から不活性ガスが供給され、処理室２０１内が不活性ガスに置換されるとともに、処理室２０１内が減圧状態に維持される。
その後、後述する同圧化工程により、ロードロック室１４１と処理室２０１とが減圧下で同圧にされると、ボートエレベータ１１５によりシールキャップ２１９が下降されて、マニホールド２０９の下端が開口されるとともに、処理済ウエハ２００がボート２１７に保持された状態でマニホールド２０９の下端からプロセスチューブ２０３の外部に搬出（ボートアンローディング）される。その後、処理済ウエハ２００はボート２１７より取出される（ウエハディスチャージ）。
なお、一例まで、本実施の形態の処理炉にてウエハを処理する際の処理条件としては、例えば、ＳｉＮ膜（シリコン窒化膜）の成膜においては、処理温度４００〜８００℃、処理圧力１〜５０Ｔｏｒｒ、成膜ガス種ＳｉＨ２Ｃｌ２，ＮＨ３、成膜ガス供給流量ＳｉＨ２Ｃｌ２：０．０２〜０．３０ｓｌｍ，ＮＨ３：０．１〜２．０ｓｌｍが例示され、また、Ｐｏｌｙ−Ｓｉ膜（ポリシリコン膜）の成膜においては、処理温度３５０〜７００℃、処理圧力１〜５０Ｔｏｒｒ、成膜ガス種ＳｉＨ４、成膜ガス供給流量０．０１〜１．２０ｓｌｍが例示され、それぞれの処理条件を、それぞれの範囲内のある値で一定に維持することでウエハ２００に処理がなされる。
次に、図４に処理室２０１及びロードロック室１４１の周辺構造について詳述する。
図４に示すように、ロードロック室１４１には該ロードロック室１４１内の雰囲気を排気する第２の排気ライン２７０が設けられている。第２の圧力検出器としての第２の圧力センサ２７２は、第２の排気ライン２７０に設けられ、ロードロック室１４１内の絶対圧力値を検出するようになっている。開閉弁２７４は、第２の排気ライン２７０に設けられ、第２の圧力センサ２７２よりも下流側に配置されている。差圧検出ライン２７６は、第１の排気ライン２３１と第２の排気ライン２７０とに接続されており、該差圧検出ライン２７６には２つのエアバルブ２７８ａ、２７８ｂと差圧検出器としての差圧計２８０とが配設されている。差圧検出器２８０は、２つのエアバルブ２７８ａとエアバルブ２７８ｂとの間に配置されており、処理室２０１とロードロック室１４１との圧力差を検出するようになっている。排気ポンプ２４６は、第１の排気ライン２３１及び第２の排気ライン２７０に接続されており、圧力調整弁２４２及び開閉弁２７４の下流側に配設されている。上述したように、処理室２０１とロードロック室１４１との間には該処理室２０１とロードロック室１４１との間を開閉する蓋体としての炉口ゲートバルブ１４７が設けられている。
また、予備室内ガス供給部としての第２のガス供給ライン２８２は、ガス流量制御器としての第２のＭＦＣ（マスフローコントローラ）２８４を介してロードロック室１４１に接続されており、該ロードロック室１４１内に窒素ガス等の不活性ガスを供給するようになっている。
流量制御部２３５は、第１のＭＦＣ２４１と第２のＭＦＣ２８４とに接続されており、処理室２０１内及びロードロック室１４１内に供給するガス流量を制御するように構成されている。なお、第１のＭＦＣ２４１及び第２のＭＦＣ２８４は、単数のみならず、複数ずつ、例えばガス種、ガス流量に応じそれぞれ接続するようにしてもよい。
図５に圧力制御部２３６の機能構成が示されている。
圧力制御部２３６は、第１の圧力調整部２８８、第２の圧力調整部２９０及び設定圧力更新部２９２を有する。また、この圧力制御部２３６は、第１の圧力センサ２４５、第２の圧力センサ２７２及び差圧計２８０と接続されており、これら第１の圧力センサ２４５、第２の圧力センサ２７２及び差圧計２８０の検出する圧力値を受信するようになっている。また、圧力制御部２３６は、圧力調整弁２４２及び開閉弁２７４、エアバルブ２７８ａ及びエアバルブ２７８ｂ（図４に示す）と接続されており、これら圧力調整弁２４２及び開閉弁２７４、エアバルブ２７８ａ及びエアバルブ２７８ｂの動作を制御するようになっている。
設定圧力更新部２９２には、予め所定の設定圧力値が記憶されている。より具体的には、設定圧力更新部２９２には、予めロードロック室１４１内の圧力値を設定した第１の設定圧力値と、処理室２０１内の圧力値を設定した第２の設定圧力値とが記憶されている。これら第１の設定圧力値と第２の設定圧力値は負圧（大気圧未満の圧力）に設定されている。第２の設定圧力値は、好ましくは、第１の設定圧力値と略同一の値に設定するとよい。なお、第１の設定圧力値及び代２の設定圧力値ともに任意に変更可能に構成されている。
次に図４乃至６に基づいて、本実施形態に係る基板処理装置１００の処理室２０１とロードロック室１４１との間の同圧化工程について説明する。 図６（ａ）にも示すように、圧力制御部２３６は、ロードロック室１４１内を大気圧状態から負圧状態とする。より具体的には、圧力制御部２３６の第２の圧力調整部２９０は、炉口ゲートバルブ１４７が開くのに先立って開閉弁２７４を開にし、ロードロック室１４１内の雰囲気を第２の排気ライン２７０を介して排気ポンプ２４６により排気する。このとき、第１の圧力調整部２８８は、ロードロック室１４１内の圧力、すなわち第２の圧力センサ２７２の検出する圧力値が設定圧力更新部２９２に予め記憶された第１の設定圧力値となるようロードロック室１４１内の圧力を調整する。なお、このとき必要に応じ、第２の圧力センサ２７２の検出する圧力値が設定圧力更新部２９２に予め記憶された第１の設定圧力値となるよう流量制御部２３５を介して第２のＭＦＣ２８４を制御し、ロードロック室１４１に供給されるガス流量を調整し、ロードロック室１４１内の圧力を調整してもよい。第１の圧力調整部２８８は、第２の圧力センサ２７２の検出する圧力値が第１の設定圧力値に達したら開閉弁２７４を閉じる。
図６（ｂ）にも示すように、圧力制御部２３６は、処理室２０１内を負圧状態とする。より具体的には、圧力制御部２３６の第２の圧力調整部２９０は、炉口ゲートバルブ１４７が開くのに先立って圧力調整弁２４２を動作させ（開度を調整し）、処理室２０１内の雰囲気を第１の排気ライン２３１を介して排気ポンプ２４６により排気する。このとき、第２の圧力調整部２９０は、処理室２０１内の圧力、すなわち第１の圧力センサ２４５の検出値が設定圧力更新部２９２に予め記憶された初期値である第２の設定圧力値となるよう（第２の設定圧力値を維持するよう）圧力調整弁２４２を制御し、処理室２０１から排気されるガス流量を調節し、処理室２０１内の圧力を調整する。なお、このとき必要に応じ、第２の圧力調整部２９０は、第１の圧力センサ２４５の検出値が設定圧力更新部２９２に予め記憶された第２の設定圧力値となるよう圧力調整弁２４２に加えて第１のＭＦＣ２４１を制御し、処理室２０１から排気されるガス流量と該処理室２０１に供給される不活性ガスのガス流量とを調整し、処理室２０１内の圧力を調整するようにしてもよい。
続いて、圧力制御部２３６の設定圧力更新部２９２は、ゲートバルブ１４７が開くのに先立って、第２の圧力センサ２７２が検出する圧力値が第１の設定圧力値となり、第１の圧力センサ２４５が検出する圧力値が第２の設定圧力値となった際に、エアバルブ２７８ａ，２７８ｂを開き、差圧計２８０から出力される処理室２０１とロードロック室１４１との圧力差を該設定圧力更新部２９２に記憶された第２の設定圧力値に加算又は減算し、第２の設定圧力値を更新する。続いて、第２の圧力調整部２９０は、更新された設定圧力値に基づいて圧力調整弁２４２を動作させ、差圧計２８０から出力される処理室２０１とロードロック室１４１との圧力差が所定の範囲内となるよう処理室２０１内の圧力を調整する。好ましくは、例えば１秒以内の制御周期で第２の圧力調整部２９０がＰＩＤ（Proportional Integral Differential）演算を行ない、圧力調整弁２４２の開度を調整可能なように所定時刻毎（リアルタイム）に更新された第２の設定圧力値をさらに更新（補正）し、処理室２０１内の圧力を自動調整するとよい。なお、このとき必要に応じ、第２の圧力調整部２９０は、更新された設定圧力値に基づいて、圧力調整弁２４２を動作させるのに加えて第１のＭＦＣ２４１を制御し、処理室２０１から排気されるガス流量と該処理室２０１に供給される不活性ガスのガス流量とを調整し、処理室２０１内の圧力を調整するようにしてもよい。
これにより、処理室２０１内とロードロック室１４１内との圧力差を低減させる共に処理室２０１内及びロードロック室１４１内の圧力を安定させることができる。なお、差圧計２８０による測定可能な範囲は予め設定されており、該差圧計２８０が検出した圧力値が所定の範囲外であればエラー処理が行なわれるようにしてもよい。
図６（ｃ）にも示すように、駆動制御部２３７（図３に示す）は、炉口ゲートバルブ１４７を開く。続いて、駆動制御部２３７は、ボート２１７をロードロック室１４１から処理室２０１内へ搬入する。コントローラ２４０は、処理室２０１内においてボート２１７に支持された基板（ウエハ２００）を処理する。
続いて、基板を処理した後、第２の圧力調整部２９０は、圧力調整弁２４２を動作させるとともに第１のＭＦＣ２４１を制御し、不活性ガスを処理室２０１内に供給し、処理室２０１内を不活性ガスに置換する。置換後もしくは置換しつつ、処理室２０１内を負圧状態で維持する。
より具体的には、圧力制御部２３６の第２の圧力調整部２９０は、シールキャップ２１９が開くのに先立って圧力調整弁２４２を動作させ（開度を調整し）、処理室２０１内の雰囲気を第１の排気ライン２３１を介して排気ポンプ２４６により排気する。このとき、第２の圧力調整部２９０は、処理室２０１内の圧力、すなわち第１の圧力センサ２４５の検出値が設定圧力更新部２９２に予め記憶された初期値である第２の設定圧力値となるよう（第２の設定圧力値を維持するよう）圧力調整弁２４２を制御し、処理室２０１内の圧力を調整する。なお、このとき第２の圧力調整部２９０は、第１の圧力センサ２４５の検出値が設定圧力更新部２９２に予め記憶された第２の設定圧力値となるよう圧力調整弁２４２に加えて第１のＭＦＣ２４１を制御し、処理室２０１から排気されるガス流量と該処理室２０１に供給される不活性ガスのガス流量とを調整し、処理室２０１内の圧力を調整するようにしてもよい。
また、圧力制御部２３６の第２の圧力調整部２９０は、シールキャップ２１９が開くのに先立って開閉弁２７４を開にし、ロードロック室１４１内の雰囲気を第２の排気ライン２７０を介して排気ポンプ２４６により排気する。このとき、第１の圧力調整部２８８は、ロードロック室１４１内の圧力、すなわち、第２の圧力センサ２７２の検出する圧力値が設定圧力更新部２９２に予め記憶された第１の設定圧力値となるようロードロック室１４１内の圧力を調整する。なお、このとき必要に応じ、第２の圧力センサ２７２の検出する圧力値が圧力設定更新部２９２に予め記憶された第１の設定圧力値となるようガス流量制御部２３５を介して第２のＭＦＣ２８４を制御し、ロードロック室１４１に供給されるガス流量を調整し、ロードロック室１４１内の圧力を調整してもよい。第１の圧力調整部２８８は、第２の圧力センサ２７２の検出する圧力値が第１の設定圧力値に達したら開閉弁２７４を閉じる。
続いて、圧力制御部２３６の設定圧力更新部２９２は、シールキャップ２１９が開くのに先立って、第２の圧力センサ２７２が検出する圧力値が第１の設定圧力値となり、第１の圧力センサ２４５が検出する圧力値が第２の設定圧力値となった際に、エアバルブ２７８ａ，２７８ｂを開き、圧力調整弁２４２を差圧計２８０から出力される処理室２０１とロードロック室１４１との圧力差を該設定圧力更新部２９２に記憶された第２の設定圧力値に加算又は減算し、第２の設定圧力値を更新する。続いて、第２の圧力調整部２９０は、更新された設定圧力値に基づいて圧力調整弁２４２を動作させ、差圧計２８０から出力される処理室２０１の圧力を調整する。
好ましくは、例えば１秒以内の制御周期で第２の圧力調整部２９２がＰＩＤ演算を行い、圧力調整弁２４２の開度を調整可能なように所定時刻毎に更新された第２の設定圧力値をさらに更新し、処理室２０１内の圧力を自動調整するとよい。なお、このとき必要に応じ、第２の圧力調整部２９０は、更新された設定圧力値に基づいて、圧力調整弁２４２を動作させるのに加えて第１のＭＦＣ２４１を制御し、処理室２０１から排気されるガス流量と該処理室２０１に供給されるガス流量とを調整し、処理室２０１内の圧力を調整するようにしてもよい。
処理室２０１内の圧力とロードロック室１４１内の圧力との同圧化が図れた後、駆動制御部２３７は、シールキャップ２１９を開きつつ、ボート２１７を処理室２０１からロードロック室１４１へ搬出する。
次に比較例及び実施例を図７及び図１０に基づいて説明する。
[比較例１]
処理室２０１内及びロードロック室１４１内の雰囲気を排気して負圧状態とし、処理室２０１内及びロードロック室１４１内の圧力値の推移を計測した。図７（ａ）及び図１０（ａ）に示すように、第２の圧力センサ２７２により検出されたロードロック室１４１内の圧力値（図中実線）は、圧力上昇要因（ゲートバルブ１４３又は炉口ゲートバルブ１４７とロードロック室１４１との密閉部分等のシール部の微少リーク等）により時間の経過と共に上昇した。第１の圧力センサ２４５により検出された処理室２０１内の圧力値（図中一点鎖線）は、第２の圧力調整部２９０による圧力調整弁２４２の動作によりほぼ一定となった。差圧計２８０により検出された処理室２０１とロードロック室１４１との差圧（図中破線）は、時間の経過と共に上昇した。
[比較例２]
処理室２０１内及びロードロック室１４１内の雰囲気を排気して負圧状態とし、処理室２０１内及びロードロック室１４１内の圧力値の推移を計測した。本比較例では、処理室２０１内の圧力を第１の圧力センサ２４５及び第２の圧力センサ２７２の検出値に基づいて制御した。図１０（ｂ）に示すように、第１の圧力センサ２４５及び第２の圧力センサ２７２により検出される処理室２０１とロードロック室１４１との相対的な圧力差（図中破線）は比較例１と比較し低減したが、処理室２０１とロードロック室１４１との絶対的な圧力差（図中実線と一点鎖線との差）は使用環境、センサ校正状況等の要因により低減しなかった。
[実施例]
処理室２０１側の設定圧力値（第２の設定圧力値）に差圧センサ２８０が検出する処理室２０１とロードロック室１４１との圧力差を加算又は減算し、第２の設定圧力値を更新し、該更新した設定圧力値に基づいて処理室２０１の圧力を調整した。図７（ｂ）に示すように、比較例１及び２と比較して、処理室２０１とロードロック室１４１との相対的な圧力差（図中破線）及び処理室２０１とロードロック室１４１との絶対的な圧力差（図中実線と一点鎖線との差）が低減し、該処理室２０１とロードロック室１４１との圧力は略同一となった。
以上のように、本発明に係る基板処理装置１００によれば、処理室２０１内の圧力を検出する第１の圧力センサ２４５及びロードロック室１４１内の圧力を検出する圧力センサ２７２のいずれかのゼロ点がずれた場合、すなわち校正されていない場合や、処理室２０１内の圧力又はロードロック室１４１内の圧力が圧力上昇要因により上昇してしまった場合であっても、処理室２０１とロードロック室１４１との圧力差を低減することができる。すなわち、差圧計２８０により検出された差圧値を処理室２０１の設定圧力値に加算又は減算して該設定圧力値を更新し、更新された設定圧力値に基づいて処理室２０１内の圧力を調整することで、ロードロック室１４１内の圧力変動に応じて、処理室２０１内の圧力を圧力変動させることができるので、確実に処理室２０１内とロードロック室内１４１内との圧力差をほぼゼロに（同圧化）することができる。これにより、処理室２０１とロードロック室１４１との圧力差に起因するガスの急激な流動を抑制し、もってパーティクルの発生を防止する。なお、処理室２０１とロードロック室１４１との圧力差はゼロに近い値になればよく、好ましくはゼロがよい。なお、処理室２０１とロードロック室１４１とを同圧化させる圧力が大気圧であっても本発明の実施形態を適用すれば、同圧化は図れるが、好ましくは、減圧である場合に適用するとよい。さらに好ましくは、３０〜１２００Ｐａの範囲の高真空下での同圧化に適用するとよい。
また、処理室２０１内とロードロック室内１４１内とを同圧化する際に、差圧がある状態で処理室２０１とロードロック室１４１とを連通しないので、処理室２０１内でパーティクルが舞い上がったり、処理室２０１側のパーティクルがロードロック室１４１内に入ったりするのを防止することができる。すなわち、基板のパーティクル汚染を防ぐことができる。
また、処理室２０１内とロードロック室内１４１内との圧力差を差圧計２８０から出力される圧力差により、設定圧力更新部２９２に記憶された第２の設定圧力値を所定時刻毎（リアルタイム）に複数回更新し、圧力調整するので、該圧力差を低減させると共に精度良く安定させることができ、再現性及び信頼性の向上をさせることができる。
また、差圧計２８０より検出された差圧値により、処理室２０１の設定圧力値を更新し、該更新された設定圧力値に基づいて処理室２０１内の圧力を調整するようにしたので、処理室２０１内の圧力を制御する制御系統を一元化することができる。例えば、差圧計２８０で検出された圧力値で直接、圧力調整弁２４２を制御するようにするためには、差圧計２８０用専用の制御系統や、差圧計２８０と第１の圧力センサ２４５それぞれの制御系統とのいずれかを選択するよう切替える機能等を備える必要があるが、それらを備える必要もなく、圧力の管理を絶対圧として一元管理することができる。また、圧力制御系の切替えに起因する制御遅れや圧力変動の発生等を防ぐことができる。
また、処理室２０１内とロードロック室内１４１内とを同圧化する際には圧力調整弁２４２を備える処理室２０１側で圧力調整するので、ロードロック室１４１側に排気圧力調整ユニット、例えば圧力調整弁を設ける必要がない。また、圧力調整弁２４２は、基板処理時に用いられる排気圧力調整ユニットとして用いられるものをそのまま使用することができる。また、処理室２０１とロードロック室１４１とを連通する連絡管を設ける必要がない。さらに、第１の排気ライン２３１と第２の排気ライン２７０とを排気ポンプ２４６に配設させたので、１つの排気ポンプ２４６を共用化することができる。したがって、装置の簡素化を実現することができる。
なお、処理室２０１内とロードロック室内１４１内とを同圧化する際に、差圧計２８０が検出する圧力差を第２の設定圧力値に加算又は減算したときに、処理室２０１及びロードロック室１４１内の圧力が所定範囲内にあるか否かを確認するようにしてもよい。これにより、圧力調整後に再び圧力調整を行なうことを防止することができる。すなわち、処理室用圧力センサ及びロードロック室用圧力センサの検出値に基づいて圧力調整した後、差圧センサの検出する値をゼロになるように調整すると、差圧センサの検出する値がゼロになったとしても、第１の圧力設定値として予定していた圧力値とかけ離れてしまうことになり、処理室及びロードロック室内の圧力値が第１の圧力設定値とかけ離れて所定範囲外になった場合には再び圧力調整を行なう必要が生じてしまうのを防止することができる。
次に本発明の第２の実施形態を図８に基づいて説明する。
図８に本実施形態におけるコントローラ２４０の機能構成が示されている。コントローラ２４０は、主制御部２３９と圧力制御部２３６とを有し、該主制御部２３９と圧力制御部２３６とは接続されている。主制御部２３９は、第１の圧力調整部２８８と設定圧力更新部２９２とを有し、該主制御部２９２には第２の圧力センサ２７２と差圧計２７８とが接続されている。圧力制御部２３６は、第２の圧力調整部２９０を有し、該圧力制御部２３６には第１の圧力センサ２４５と圧力調整弁２４２とが接続されている。
本実施形態に係るコントローラ２４０の作用を説明する。
主制御部２３９は、差圧計２８０より検出された処理室２０１とロードロック室１４１との差圧値を受信する。続いて、主制御部２３９は、設定圧力更新部２９２により該差圧値を該設定圧力更新部２９２に記憶された設定圧力値に加算又は減算して設定圧力値を更新（補正）し、更新された設定圧力値を圧力制御部２３６に送信する。好ましくは、主制御部２３９は、圧力制御部２３６に対して更新された設定圧力値を所定時刻毎（リアルタイム）に送信する。圧力制御部２３６は、第２の圧力調整部２９０により主制御部２３９から更新された設定圧力値が送信される毎（リアルタイム）に設定圧力値を更新し、該更新された設定圧力値に基づいて圧力調整弁２４２を動作させる。
これにより、処理室２０１とロードロック室１４１の圧力差がほぼゼロになるよう調整する制御が継続される。したがって、ロードロック室１４１内の圧力が変動（例えば上昇）した場合であっても、処理室２０１とロードロック室１４１との圧力差がほぼゼロに保持される。
なお、本発明の第２の実施形態の説明において、本発明の第１の実施形態と同一部分については、図面に同一番号を付してその省略した。
次に本発明に係る第３の実施形態を図９に基づいて説明する。
図９に本実施形態におけるコントローラ２４０の機能構成が示されている。コントローラ２４０は、主制御部２３９と圧力制御部２３６とを有し、該主制御部２３９と圧力制御部２３６とは接続されている。主制御部２３９は、第１の圧力調整部２８８を有し、該主制御部２３９には第２の圧力センサ２７２が接続されている。圧力制御部２３６は、第２の圧力調整部２９０と設定圧力更新部２９２とを有し、該圧力制御部２３６には第１の圧力センサ２４５、差圧計２８０及び圧力調整弁２４２接続されている。
本実施形態に係るコントローラ２４０の作用を説明する。
圧力制御部２３６は、差圧計２８０より検出された処理室２０１とロードロック室１４１との差圧値を受信する。続いて、圧力制御部２３６は、設定圧力更新部２９２により該差圧値を設定圧力値に加算又は減算して設定圧力値を更新（補正）する。なお、このとき圧力制御部２３６に第２の圧力調整部２９０及び設定圧力更新部２９２が一体的に設けられているため、圧力データの送信や圧力値計算等の負荷を主制御部２３９に与えることなく制御することができる。主制御部２３９は、圧力制御部２３６に対して圧力制御モードの設定圧力切替情報を送信することが可能となっている。ここで、圧力制御モード情報とは複数の設定圧力値のいずれかの設定圧力値に基づいて圧力制御を行なうモードであり、設定圧力切替情報はいずれかの設定圧力値を選択する情報である。
圧力制御部２３６は、主制御部２３９から設定圧力切替情報が送信された場合には、該設定圧力切替情報により、所定の設定圧力値に基づいて圧力調整弁２４２を作動させる。すなわち、圧力制御部２３６は、第２の圧力調整部２９０により、設定圧力更新部２９２において更新された設定圧力値もしくは更新される前の設定圧力値に基づいて圧力制御弁２４２を作動させる。このように、主制御部２３９から出力される設定圧力切替情報に基づいて、圧力制御部２３６により制御される圧力制御モードを切替えるようにしてもよい。
なお、本発明の第３の実施形態の説明において、本発明の第１の実施形態と同一部分については、図面に同一番号を付してその省略した。
本発明は、半導体デバイス等の基板を処理する基板処理装置及び半導体装置の製造方法において、パーティクルの発生を防止する必要があるものに利用することができる。
本発明の第１の実施形態に係る基板処理装置を示す平面図である。 本発明の第１の実施形態に係る基板処理装置を示す側面図である。 本発明の第１の実施形態に係る基板処理装置の処理炉を示し、図１のａ−ａ線断面図である。 本発明の第１の実施形態に係る基板処理装置に用いられる処理室及びロードロック室の周辺構造を示す模式図である。 本発明の第１の実施形態に係る基板処理装置に用いられるコントローラの機能構成を示すブロック図である。 本発明の第１の実施形態に係る基板処理装置においてロードロック室から処理室にボードを搬入までの処理を示し、（ａ）はロードロック室が減圧状態、（ｂ）は処理室及びロードロック室が減圧状態、（ｃ）は炉口ゲートバルブが開いた状態を示す模式図である。 処理室内の圧力、ロードロック室内の圧力及びロードロック室と処理室との差圧を示し、（ａ）は比較例１、（ｂ）は実施例を説明するグラフである。 本発明の第２の実施形態に係る基板処理装置に用いられるコントローラの機能構成を示すブロック図である。 本発明の第３の実施形態に係る基板処理装置に用いられるコントローラの機能構成を示すブロック図である。 処理室内の圧力、ロードロック室内の圧力及びロードロック室と処理室との差圧を示し、（ａ）は比較例１、（ｂ）は比較例２を説明するグラフである。
符号の説明
１００ 基板処理装置
１４１ ロードロック室
１４７ 炉口ゲートバルブ
２００ ウエハ
２０１ 処理室
２３１ 第１の排気ライン
２４２ 圧力調整弁
２４５ 第１の圧力センサ
２７０ 第２の排気ライン
２７２ 第２の圧力センサ
２８０ 差圧計
２８８ 第１の圧力調整部
２９０ 第２の圧力調整部
２９２ 設定圧力更新部

Claims (2)

  1. 基板を処理する処理室と、
    前記処理室に隣接する予備室と、
    前記処理室と前記予備室との間を開閉する蓋体と、
    前記処理室内を排気する第１の排気ラインと、
    前記予備室内を排気する第２の排気ラインと、
    前記処理室内の絶対圧力値を検出する第１の圧力検出器と、
    前記予備室内の絶対圧力値を検出する第２の圧力検出器と、
    前記処理室と前記予備室との圧力差を検出する差圧検出器と、
    前記予備室内の圧力が設定された第１の設定圧力値となるよう前記第２の圧力検出器の検出する圧力値に基づいて前記予備室内の圧力を調整する第１の圧力調整部と、
    前記処理室内の圧力が第２の設定圧力値となるよう前記第１の圧力検出器の検出する圧力値に基づいて前記処理室内の圧力を調整する第２の圧力調整部と、
    前記差圧検出器が検出する前記予備室と前記処理室との圧力差に基づいて前記第２の設定圧力値を更新する設定圧力値更新部と、
    を備えることを特徴とする基板処理装置。
  2. 予備室内の圧力を調整する第１の圧力調整部により予備室内の圧力が設定された第１の設定圧力値となるよう第２の圧力検出器の検出する圧力値に基づいて第２の排気ラインから前記予備室内を排気することで前記予備室内の圧力を調整する工程と、
    処理室内の圧力を調整する第２の圧力調整部により処理室内の圧力が第２の設定圧力値となるよう第１の圧力検出器の検出する圧力値に基づいて第１の排気ラインから前記処理室内を排気することで前記処理室内の圧力を調整する工程と、
    設定圧力値更新部により差圧検出器の検出する圧力値に基づいて前記第２の設定圧力値を更新する工程と、
    前記処理室と前記予備室との間を開閉する蓋体を開く工程と、
    基板を前記処理室内に搬入する工程と、
    基板を処理する工程と、
    を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
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