JP2008091550A - 半導体装置の製造方法および製造システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体装置の製造方法は、半導体基板上に絶縁膜を形成する工程と、前記半導体基板の所定の箇所に素子分離用のトレンチを形成する工程と、前記トレンチを埋め込み酸化膜で埋め込む工程と、前記半導体基板上に堆積された前記埋め込み酸化膜を前記絶縁膜が露出するまで研磨する工程と、前記研磨後の前記絶縁膜の残膜厚を測定する工程と、前記残膜厚の測定値に基づいて、前記研磨後の埋め込み酸化膜のエッチング量を決定する工程と、前記エッチング量に基づいて、前記研磨後の埋め込み酸化膜をエッチング処理する工程と、を含む。
【選択図】図2
Description
(a)半導体基板上に絶縁膜を形成する工程と、
(b)前記半導体基板の所定の箇所に素子分離用のトレンチを形成する工程と、
(c)前記トレンチを埋め込み酸化膜で埋め込む工程と、
(d)前記半導体基板上に堆積された前記埋め込み酸化膜を、前記絶縁膜が露出するまで研磨する工程と、
(e)前記研磨後の前記絶縁膜の残膜厚を測定する工程と、
(f)前記残膜厚の測定値に基づいて、前記研磨後の前記埋め込み酸化膜のエッチング量を決定する工程と、
(g)前記エッチング量に基づいて、前記研磨後の前記埋め込み酸化膜をエッチング処理する工程と、
を含む。
(a)素子分離用のトレンチ内に埋め込まれた埋め込み酸化膜を研磨する際のストッパーとして半導体基板上に形成されているストッパー膜の残膜厚を、前記埋め込み酸化膜の研磨後に測定する膜厚測定部と、
(b)前記ストッパー膜の残膜厚の測定値に基づいて、前記研磨後の埋め込み酸化膜の処理量を決定する処理量決定部と、
(c)前記決定された処理量に基づいて、前記埋め込み酸化膜を処理するレシピを設定するレシピ設定部と、
(d)前記設定されたレシピに基づいて、前記埋め込み酸化膜を処理する洗浄処理装置と
を含む。
(付記1) 半導体基板上に絶縁膜を形成する工程と、
前記半導体基板の所定の箇所に素子分離用のトレンチを形成する工程と、
前記トレンチを埋め込み酸化膜で埋め込む工程と、
前記半導体基板上に堆積された埋め込み酸化膜を、前記絶縁膜が露出するまで研磨する工程と、
前記研磨後の前記絶縁膜の残膜厚を測定する工程と、
前記残膜厚の測定値に基づいて、前記研磨後の前記埋め込み酸化膜のエッチング量を決定する工程と、
前記決定されたエッチング量に基づいて、前記研磨後の前記埋め込み酸化膜をエッチング処理する工程
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
(付記2) 前記埋め込み酸化膜の前記エッチング量に基づいて、前記研磨後の前記埋め込み酸化膜を前記エッチング処理する処理レシピを設定する工程、
をさらに含み、前記埋め込み酸化膜の前記エッチング処理の工程は、前記設定された前記処理レシピに基づいて行われることを特徴とする付記1に記載の半導体装置の製造方法。
(付記3) 前記埋め込み酸化膜の前記処理レシピ量を、前記埋め込み酸化膜の前記エッチング処理に用いられる処理液の循環持続時間(ライフタイム)および/またはロット処理回数(ライフカウント)に基づいて補正する工程
をさらに含むことを特徴とする付記1又は2に記載の半導体装置の製造方法。
(付記4) 前記絶縁膜の残膜厚と、前記研磨後の前記埋め込み酸化膜の前記エッチング量との関係をあらかじめ求める工程、
をさらに含むことを特徴とする、付記1乃至3いずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
(付記5) 前記研磨後の前記埋め込み酸化膜の前記エッチング処理量と、当該埋め込み酸化膜を前記エッチング処理する前記処理レシピとの関係をあらかじめ求める工程、
をさらに含むことを特徴とする、付記1乃至4いずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
(付記6) 前記処理液の前記ライフタイムおよび/または前記ライフカウントと、前記埋め込み酸化膜のエッチングレートとの関係をあらかじめ求める工程
をさらに含むことを特徴とする付記3に記載の半導体装置の製造方法。
(付記7) 前記絶縁膜を除去する工程と、
前記半導体基板上の前記埋め込み酸化膜を、前記決定された前記エッチング量だけ除去する工程と、
前記素子分離用のトレンチで区画される前記半導体基板上にトランジスタを形成する工程と
をさらに含むことを特徴とする付記1乃至6いずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
(付記8) 前記エッチング量は、前記トランジスタのゲート電極が形成される段階で、前記トレンチ内の埋め込み酸化膜の表面位置と前記半導体基板表面との間に段差が生じないように決定されることを特徴とする付記7に記載の半導体装置の製造方法。
(付記9) 前記絶縁膜はシリコン窒化膜であり、前記埋め込み酸化膜はシリコン酸化膜であることを特徴とする付記1乃至8のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
(付記10) 前記処理液はフッ酸溶液であることを特徴とする付記3乃至9いずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
(付記11) 素子分離用のトレンチ内に埋め込まれた埋め込み酸化膜を研磨する際のストッパーとして半導体基板上に形成されているストッパー膜の残膜厚を、前記埋め込み酸化膜の研磨後に測定する膜厚測定部と、
前記ストッパー膜の残膜厚の測定値に基づいて、前記研磨後の埋め込み酸化膜の処理量を決定する処理量決定部と、
前記決定された処理量に基づいて、前記埋め込み酸化膜を処理するレシピを設定するレシピ設定部と、
前記設定されたレシピに基づいて、前記埋め込み酸化膜を処理する洗浄処理装置と
を含むことを特徴とする半導体装置製造システム。
(付記12) 前記残膜厚の測定値から前記処理量を求めるためのパラメータを記憶する第1のパラメータ記憶部
をさらに有することを特徴とする付記11に記載の半導体装置の製造システム。
(付記13) 前記処理量から前記レシピを求めるためのパラメータを記憶する第2のパラメータ記憶部
をさらに有することを特徴とする付記11又は12に記載の半導体装置製造システム。
(付記14) 前記残膜厚の測定値に基づいて決定される前記埋め込み酸化膜の処理量を補正するためのパラメータを記憶する第3のパラメータ記憶部
をさらに有することを特徴とする付記11又は12に記載の半導体装置製造システム。
(付記15) 前記第1のパラメータ記憶部は、前記ストッパー膜の残膜厚と前記埋め込み酸化膜の処理量との一次関係式を記憶することを特徴とする付記12に記載の半導体装置製造システム。
(付記16) 前記第2のパラメータ記憶部は、前記処理量と前記レシピとの一次関係式を記憶することを特徴とする付記13に記載の半導体装置製造システム。
(付記17) 前記第3のパラメータ記憶部は、前記埋め込み酸化膜を処理するための処理液のライフタイム(液循環持続時間)および/またはライフカウント(ロット処理回数)と、前記処理量との関係式を記憶することを特徴とする付記14に記載の半導体装置製造システム。
(付記18) 前記レシピ設定部は、前記洗浄処理装置による前記埋め込み酸化膜の処理時間を設定することを特徴とする付記11に記載の半導体装置製造システム。
(付記19) 前記処理量決定部は、前記ストッパー膜の残膜厚の測定値に基づいて、前記研磨後のストッパー膜の処理量を決定し、
前記レシピ設定部は、前記ストッパーの処理量に基づいて、前記洗浄処理装置による絶縁膜の処理時間を設定する
ことを特徴とする付記11に記載の半導体装置製造システム。
(付記20) 前記ストッパー膜はシリコン窒化膜であり、
前記測定部は、前記シリコン窒化膜の残膜厚を非破壊で測定する
ことを特徴とする付記1に記載の半導体装置製造システム。
12 熱酸化膜
13 シリコン窒化膜(ストッパー膜)
15、15' 埋め込み酸化膜
16 トレンチ
21 ゲート酸化膜(ゲート絶縁膜)
23 ゲート電極
50 半導体製造システム
60 窒化膜厚測定器
63 膜厚測定部
70 サーバ
71 中央処理装置(処理量決定部、レシピ設定部)
75、76、77 パラメータ記憶部
80 洗浄処理装置
81 濃度計
82 フッ酸槽
84 リン酸槽
90 装置内PC
91 中央処理装置
92 フッ酸ライフカウント管理部
94 フッ酸濃度管理部
95 フッ酸ライフタイム管理部
96 レシピ内容記憶部
Claims (10)
- 半導体基板上に絶縁膜を形成する工程と、
前記半導体基板の所定の箇所に素子分離用のトレンチを形成する工程と、
前記トレンチを埋め込み酸化膜で埋め込む工程と、
前記半導体基板上に堆積された前記埋め込み酸化膜を、前記絶縁膜が露出するまで研磨する工程と、
前記研磨後の前記絶縁膜の残膜厚を測定する工程と、
前記残膜厚の測定値に基づいて、前記研磨後の前記埋め込み酸化膜のエッチング量を決定する工程と、
前記エッチング量に基づいて、前記研磨後の前記埋め込み酸化膜をエッチング処理する工程と
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記埋め込み酸化膜の前記エッチング量に基づいて、前記研磨後の前記埋め込み酸化膜を前記エッチング処理する処理レシピを設定する工程、
をさらに含み、前記埋め込み酸化膜の前記エッチング処理工程は、前記設定された前記処理レシピに基づいて行われることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記埋め込み酸化膜の前記処理レシピを、前記埋め込み酸化膜の前記エッチング処理に用いられる処理液の循環持続時間(ライフタイム)および/またはロット処理回数(ライフカウント)に基づいて補正する工程
をさらに含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記絶縁膜の残膜厚と、前記研磨後の埋め込み酸化膜の前記エッチング量との関係をあらかじめ求める工程、
をさらに含むことを特徴とする請求項1乃至3いずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記研磨後の埋め込み酸化膜の前記エッチング処理量と、前記埋め込み酸化膜を前記エッチング処理する前記処理レシピとの関係をあらかじめ求める工程、
をさらに含むことを特徴とする請求項付記1乃至4いずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記処理液の前記ライフタイムおよび/または前記ライフカウントと、前記埋め込み酸化膜のエッチングレートとの関係をあらかじめ求める工程
をさらに含むことを特徴とする請求項3に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記絶縁膜を除去する工程と、
前記半導体基板上の前記埋め込み酸化膜を、前記決定されたエッチング量だけ除去する工程と、
前記半導体基板上の、前記素子分離用のトレンチで区画される領域にトランジスタを形成する工程と
をさらに含むことを特徴とする請求項1乃至6いずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記エッチング量は、前記トランジスタのゲート電極が形成される段階で、前記トレンチ内の前記埋め込み酸化膜の表面位置と前記半導体基板表面との間に段差が生じないように決定されることを特徴とする請求項7に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記絶縁膜はシリコン窒化膜であり、前記埋め込み酸化膜はシリコン酸化膜であることを特徴とする請求項1乃至8いずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
- 素子分離用のトレンチ内に埋め込まれた埋め込み酸化膜を研磨する際のストッパーとして半導体基板上に形成されているストッパー膜の残膜厚を、前記埋め込み酸化膜の研磨後に測定する膜厚測定部と、
前記ストッパー膜の残膜厚の測定値に基づいて、前記研磨後の埋め込み酸化膜の処理量を決定する処理量決定部と、
前記決定された処理量に基づいて、前記埋め込み酸化膜を処理するレシピを設定するレシピ設定部と、
前記設定されたレシピに基づいて、前記埋め込み酸化膜を処理する洗浄処理装置と
を含むことを特徴とする半導体装置製造システム。
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