JP2008078424A - 切削装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】吸着部221aが多孔質材料で形成されたテープマウント方式用の第1のテーブル221と、被加工物の形状に対応する吸着領域にのみ第2の負圧生成源に連通する吸引孔が形成されて直置加工方式用の金属製の第2の吸着テーブルとを吸着ベース21に対して交換自在に備え、これら第1の吸着テーブル221と第2の吸着テーブルに対応して、吸着機構20をエジェクタ51aと水封式真空ポンプ52aとにそれぞれ選択的に連通させる第1の配管経路61と第2の配管経路62とを備え、使用する吸着テーブルの種類に対応して第1の配管経路61と第2の配管経路62とを制御手段70で排他的に切換え選択するようにした。
【選択図】 図3
Description
21 吸着ベース
22 吸着テーブル
30 切削手段
40 切削水供給手段
51 第1の負圧源
51a エジェクタ
52 第2の負圧源
52a 水封式真空ポンプ
61 第1の配管経路
62 第2の配管経路
70 制御手段
221 第1の吸着テーブル
222 第2の吸着テーブル
Claims (3)
- 吸着テーブルと吸着ベースとからなり被加工物を吸引保持する吸着機構と、該吸着機構に吸引保持された被加工物を切削する切削手段と、被加工物を切削する際に切削水を供給する切削水供給手段とを備え、前記吸着機構は、吸着特性の異なる第1の吸着テーブルと第2の吸着テーブルとが前記吸着ベースに対して交換自在な切削装置であって、
前記吸着機構を第1の負圧生成源に選択的に連通させる第1の配管経路と、
前記吸着機構を第2の負圧生成源に選択的に連通させる第2の配管経路と、
前記第1の吸着テーブル使用時には前記第1の配管経路を選択し、前記第2の吸着テーブル使用時には前記第2の配管経路を選択するように前記第1の配管経路と前記第2の配管経路とを排他的に切換える制御手段と、
を備えることを特徴とする切削装置。 - 前記第1の負圧生成源は、エジェクタからなり、
前記第2の負圧生成源は、水封式真空ポンプからなることを特徴とする請求項1に記載の切削装置。 - 前記第1の吸着テーブルは、吸着部が多孔質材料で形成されたテーブルであり、
前記第2の吸着テーブルは、被加工物の形状に対応する吸着領域にのみ前記第2の負圧生成源に連通する吸引孔が形成された金属製のテーブルであることを特徴とする請求項1または2に記載の切削装置。
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