JP2008028376A - 回路基板、半導体モジュールおよび回路基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】回路基板は、コア部材として開口部2を有する金属板1が設けられ、開口部2は下面側から上面側に向かってその寸法が徐々に広がるように設けられる。この金属板1の両面側には絶縁層4,6を介してそれぞれ配線パターン5,7が設けられる。ここで、開口部2の上方領域の絶縁層4および配線パターン5はその上面が窪んで設けられる。また、各配線パターンを電気的に接続させるため、開口部2を介して金属板1を貫通し、配線パターン5と配線パターン7とを接続する導体部10が設けられる。さらに、金属板1の上面側にLSIチップ11が半田ボール12を介して直接接続される。
【選択図】図3
Description
に設けられた開口部と、基板の一方の面に第1の絶縁層を介して設けられた第1の配線層と、基板の他方の面に第2の絶縁層を介して設けられた第2の配線層と、開口部を介して基板を貫通し、第1の配線層と第2の配線層とを接続する導体部と、を備え、基板の一方の面側の開口部端は、その表層部分に少なくともテーパ形状を有していることを特徴とする。
図1は、本発明の第1実施形態に係る金属板を備えた回路基板を用いた半導体モジュールの全体構成を示す平面図である。図2は、図1の点線で囲った部分の要部拡大図である。図3は、本発明の第1実施形態に係る金属板を備えた回路基板の構成を示す概略断面図であり、図2のA−A’線上の断面図を表す。図1に示すように、第1実施形態の半導体モジュールは、回路基板を構成する絶縁層4の上方に複数のLSIチップ11および抵抗、コンデンサなどの複数の受動部品70が搭載された構造を有する、いわゆるマルチチップモジュール(MCM)である。図2に示すように、絶縁層4の上面に配線パターン5が形成されている。配線パターン5の所定箇所の下方には、金属板を貫通するスルーホール9が形成されている。スルーホール9についての詳細については後述する。
図4および図5は、図1に示した本発明の第1実施形態に係る回路基板の製造プロセスを説明するための概略断面図である。
従来よりも角度の緩やかな角部3が形成される。
図6は本発明の第2実施形態に係る金属板を備えた回路基板の構成を示す概略断面図である。第1実施形態と異なる箇所は、金属板1aの開口部2aが、開口部2aの上面側の端にはへたり(丸みを帯びた角部)3aを有し、下面側の端には突起3bを有するように設けていることである。それ以外については、第1実施形態と同様である。
図7は本発明の第3実施形態に係る金属板を備えた回路基板の構成を示す概略断面図である。
図8は、図7に示した本発明の第3実施形態に係る回路基板の製造プロセスを説明するための概略断面図である。
(7)金属板1の開口部端を上面側および下面側においてそれぞれテーパ形状としたことにより、上述した(1)〜(6)の効果を、金属板1の上面側および下面側の両面において、それぞれ享受することができる。特に、金属板1の開口部端を上面側および下面側においてそれぞれテーパ形状とすることにより、金属板1の開口部端で発生する電界が上面側および下面側で分散されるので、金属板1と導体部10(あるいは配線パターン5、7)との間の絶縁耐性が向上する。
Claims (9)
- 金属を主体とする基板と、
前記基板に設けられた開口部と、
前記基板の一方の面に第1の絶縁層を介して設けられた第1の配線層と、
前記基板の他方の面に第2の絶縁層を介して設けられた第2の配線層と、
前記開口部を介して前記基板を貫通し、前記第1の配線層と前記第2の配線層とを接続する導体部と、
を備え、
前記基板の一方の面側の開口部端は、その表層部分に少なくともテーパ形状を有している、回路基板。 - 前記テーパ形状は、前記基板の他方の面側の開口部端から前記基板の一方の面側の開口部端に向かって前記開口部の寸法が大きくなるように設けられている請求項1に記載の回路基板。
- 前記第1の絶縁層は、前記開口部の上方領域においてその上面が窪んで設けられている請求項1または2に記載の回路基板。
- 前記基板の他方の面側の開口部端は、その表層部分に少なくともテーパ形状を有している請求項1乃至3のいずれか1項に記載の回路基板。
- 前記基板の他方の面側の開口部端に設けられたテーパ形状は、前記基板の一方の面側の開口部端から前記基板の他方の面側の開口部端に向かって前記開口部の寸法が大きくなるように設けられている請求項4に記載の回路基板。
- 前記第2の絶縁層は、前記開口部の下方領域においてその下面が窪んで設けられている請求項4または5に記載の回路基板。
- 請求項1乃至6のいずれか1項に記載の回路基板と、
前記回路基板の上に実装された回路素子と、
を備えることを特徴とする半導体モジュール。 - 下面側から上面側に向けて開口寸法が徐々に広がるような開口部を金属板に形成する工程と、
前記金属板の上面側および下面側からそれぞれ金属膜付きの絶縁層を熱圧着して、前記開口部に絶縁層を埋め込む工程と、
前記開口部に埋め込まれた絶縁層に貫通孔を形成する工程と、
前記貫通孔に導体を形成する工程と、
前記金属板の上面側および下面側にそれぞれ設けられた金属膜をパターニングすることにより、前記金属板の上面側および下面側にそれぞれ配線層を形成する工程と、
を備えることを特徴とする回路基板の製造方法。 - 中心部から上面側に向けて開口寸法が徐々に広がるとともに、中心部から下面側に向けて開口寸法が徐々に広がるような開口部を金属板に形成する工程と、
前記金属板の上面側および下面側からそれぞれ金属膜付きの絶縁層を熱圧着して、前記開口部に絶縁層を埋め込む工程と、
前記開口部に埋め込まれた絶縁層に貫通孔を形成する工程と、
前記貫通孔に導体を形成する工程と、
前記金属板の上面側および下面側にそれぞれ設けられた金属膜をパターニングすることにより、前記金属板の上面側および下面側にそれぞれ配線層を形成する工程と、
を備えることを特徴とする回路基板の製造方法。
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