JP2008004590A - 画像表示装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一方向に結晶が長く成長したシリコン膜を用いたTFTは機械研磨がされていないガラス基板を用いる。機械研磨が必要な場合でも、TFTを形成する面には機械研磨を施さない。このような構成により、レーザービーム41により、擬似単結晶62を形成するさい、凝集によるスポット状欠陥63、ライン状の凝集64によるライン状の欠陥を防止できる。
【選択図】図6
Description
Claims (15)
- ガラス基板上に形成された複数の走査線は第1の方向に延在し、前記第1の方向と交差する第2の方向に並設され、複数の信号線は前記第2の方向に延在し、前記第1の方向に並設され、前記複数の走査線のうちの2本と、前記複数の信号線のうちの2本とで囲まれた領域に画素が形成され、前記画素の動作は第1の薄膜トランジスタで制御され、前記画素の集合によって画像形成領域が形成され、前記画像形成領域の外側には前記第1の薄膜トランジスタに信号を印加する第2の薄膜トランジスタを含む走査線駆動回路または信号線駆動回路が形成されており、前記第2の薄膜トランジスタは一方向に結晶が長く成長したシリコン膜を有し、前記ガラス基板の表面のうち、前記薄膜トランジスタが形成された側の表面には機械研磨がなされていないことを特徴とする画像表示装置。
- 前記第1の薄膜トランジスタは多結晶シリコン膜を有していることを特徴とする請求項1に記載の画像表示装置。
- 前記第1の薄膜トランジスタは非晶質シリコン膜を有していることを特徴とする請求項1に記載の画像表示装置。
- 前記第2の薄膜トランジスタを構成するシリコン結晶粒の長手方向は前記第2の薄膜トランジスタのチャネル方向と略略一致していることを特徴とする請求項1に記載の画像表示装置。
- 前記ガラス基板の前記第2の薄膜トランジスタが形成されていない他方の面には機械研磨がされていることを特徴とする請求項1に記載の画像表示装置。
- 前記ガラス基板と前記第1および前記第2の薄膜トランジスタとの間には絶縁膜が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の画像表示装置。
- ガラス基板上に形成された複数の走査線は第1の方向に延在し、前記第1の方向と交差する第2の方向に並設された複数の信号線は前記第2の方向に延在し、前記第1の方向に並設され、前記複数の走査線のうちの2本と、前記複数の信号線のうちの2本とで囲まれた領域に画素が形成され、前記画素の動作は第1の薄膜トランジスタで制御され、前記画素の集合によって画像形成領域が形成され、前記画像形成領域の外側には前記第1の薄膜トランジスタに信号を印加する第2の薄膜トランジスタを含む走査線駆動回路および信号線駆動回路が形成されており、前記第2の薄膜トランジスタは1方向に結晶が長く成長したシリコン膜を有し、前記ガラス基板は機械研磨によって板厚調整がなされ、前記機械研磨の主研磨材として酸化マンガンを使用したことを特徴とする画像表示装置。
- 前記画像表示装置は液晶表示装置であることを特徴とする、請求項1ないし7に記載の画像表示装置。
- 前記画像表示装置は有機EL表示装置液晶表示であることを特徴とする、請求項1ないし7に記載の画像表示装置。
- 基板の主面のうち、機械研磨がされていない側の主面の上に、直接、または、絶縁膜を介して半導体膜を形成し、前記半導体膜にたいして連続発信レーザーを照射しながら前記半導体膜へ前記連続発信レーザーの照射位置を相対移動させることにより、前記半導体膜に、一方向に結晶が長く成長した擬似単結晶を形成し、前記擬似単結晶を用いて薄膜トランジスタを形成することを特徴とする画像表示装置の製造方法。
- 前記基板は無研磨ガラスであることを特徴とする請求項10に記載の画像表示装置の製造方法。
- 基板と、前記基板上に形成された薄膜トランジスタとを有する画像表示装置であって、前記主面のうち、機械研磨がされていない側の主面の上に、直接、または、絶縁膜を介して半導体膜が形成されており、前記半導体膜は一方向に結晶が長く成長した擬似単結晶を有し、前記薄膜トランジスタは、前記擬似単結晶を用いて形成されていることを特徴とする画像表示装置。
- 前記基板は無研磨ガラスであることを特徴とする請求項12に記載の画像表示装置。
- 基板と、前記基板上に形成された薄膜トランジスタとを有する画像表示装置であって、前記基板は、第1の主面と、前記第1の主面とは反対側の第2の主面と、前記第1の主面上に、直接、または、絶縁膜を介して形成された半導体膜とを有し、前記半導体膜は、一方向に結晶が長く成長した擬似単結晶を有し、前記薄膜トランジスタは前記擬似単結晶を用いて形成されており、前記第1の主面は前記第2の主面よりも表面粗さが粗いことを特徴とする画像表示装置。
- 前記基板は無研磨ガラスであり、前記第2の主面は研磨されていることを特徴とする請求項14に記載の画像表示装置。
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