JP3999190B2 - アクティブマトリクス表示装置の作製方法 - Google Patents
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M=(X3+X4)/X5、
1/F=1/(X3+X4 )+1/X5 、
という関係がある。なお、本実施例では光路全長X6は約1.3mであった。
[2] 固相成長による非晶質珪素膜の結晶化(固相成長条件の例:550℃、8時間、窒素雰囲気中)
[3] 結晶化した珪素膜に対するレーザー処理(結晶性の向上を目的とする)
[4] 珪素膜のエッチングによる島状珪素領域の形成
[5] ゲイト絶縁膜(酸化珪素)の形成
[6] ゲイト電極の形成
[7] 不純物元素(燐、ホウ素等)の注入によるソース/ドレインの形成
[8] レーザー照射による注入された不純物の活性化
[9] 層間絶縁物の形成
[10]ソース/ドレインへの電極の形成
12、22、32、33 スキャンドライバー
13、23、34、35 カラムドライバー
14、24、36 アクティブマトリクス回路の領域
15、25、37 レーザービームのスポット(線状レーザービーム)
26、38 回転前の基板の位置を示す。
Claims (5)
- 複数のTFTを有するソースドライバー回路と、
複数のTFTを有するゲイトドライバー回路と、
前記ソースドライバー回路及び前記ゲイトドライバー回路により駆動され、複数のTFTを有するアクティブマトリクス回路と、
を同一基板上に有するアクティブマトリクス表示装置の作製方法において、
前記基板上にアモルファスシリコン膜を形成し、
前記アモルファスシリコン膜を結晶化して結晶性シリコン膜を形成し、
前記ソースドライバー回路、前記ゲイトドライバー回路及び前記アクティブマトリクス回路が形成される領域の前記結晶性シリコン膜に、線状もしくは長方形状レーザー光を照射し、
前記レーザー光を照射した前記結晶性シリコン膜を用いて、前記ソースドライバー回路、前記ゲイトドライバー回路及び前記アクティブマトリクス回路の複数のTFTそれぞれの島状領域を形成し、
前記ソースドライバー回路、前記ゲイトドライバー回路及び前記アクティブマトリクス回路の複数のTFTそれぞれの島状領域に、ソース領域及びドレイン領域をそれぞれ形成し、
前記ソースドライバー回路、前記ゲイトドライバー回路及び前記アクティブマトリクス回路の複数のTFTそれぞれの島状領域をアニールして、前記ソース領域及びドレイン領域を活性化し、
前記ソースドライバー回路が形成される領域の前記結晶性シリコン膜に照射する前記線状もしくは長方形状レーザー光は、前記ソースドライバー回路が形成される領域の全体を照射するに足りる大きさのレーザー光であり、かつ前記基板及び前記レーザー光を移動させずに、前記ソースドライバー回路が形成される領域を照射し、
前記ゲイトドライバー回路及びアクティブマトリクス回路が形成される領域の前記結晶性シリコン膜に照射する前記線状もしくは長方形状レーザー光は、前記ソースドライバー回路が形成される領域の全体を照射するに足りる大きさのレーザー光であり、かつ前記基板を移動させつつ、前記ゲイトドライバー回路及びアクティブマトリクス回路を形成する領域を照射することを特徴とするアクティブマトリクス表示装置の作製方法。 - 複数のTFTを有するソースドライバー回路と、
複数のTFTを有するゲイトドライバー回路と、
前記ソースドライバー回路及び前記ゲイトドライバー回路により駆動され、複数のTFTを有するアクティブマトリクス回路と、
を同一基板上に有するアクティブマトリクス表示装置の作製方法において、
前記基板上にアモルファスシリコン膜を形成し、
前記アモルファスシリコン膜を結晶化して結晶性シリコン膜を形成し、
前記結晶性シリコン膜を用いて、前記ソースドライバー回路、前記ゲイトドライバー回路及び前記アクティブマトリクス回路の複数のTFTのそれぞれの島状領域を形成し、
前記ソースドライバー回路、前記ゲイトドライバー回路及び前記アクティブマトリクス回路の複数のTFTそれぞれの島状領域に、ソース領域及びドレイン領域をそれぞれ形成し、
前記ソースドライバー回路、前記ゲイトドライバー回路及び前記アクティブマトリクス回路の複数のTFTそれぞれのソース領域及びドレイン領域に、線状もしくは長方形状レーザー光を照射することによって活性化し、
前記ソースドライバー回路が形成される領域の複数のTFTそれぞれのソース領域及びドレイン領域に照射する前記線状もしくは長方形状レーザー光は、前記ソースドライバー回路が形成される領域の全体を照射するに足りる大きさのレーザー光であり、かつ前記基板及び前記レーザー光を移動させずに、前記ソースドライバー回路が形成される領域を照射し、
前記ゲイトドライバー回路及び前記アクティブマトリクス回路が形成される領域の複数のTFTそれぞれのソース領域及びドレイン領域に照射する前記線状もしくは長方形状レーザー光は、前記ソースドライバー回路が形成される領域の全体を照射するに足りる大きさのレーザー光であり、かつ前記基板を移動させつつ、前記ゲイトドライバー回路及びアクティブマトリクス回路を形成する領域を照射することを特徴とするアクティブマトリクス表示装置の作製方法。 - 請求項1又は請求項2において、
前記レーザー光は、KrFエキシマレーザーであることを特徴とするアクティブマトリクス表示装置の作製方法。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか1項において、
前記結晶性シリコン膜は、前記アモルファスシリコン膜を、結晶化を助長する金属元素を用いて結晶化することによって形成されることを特徴とするアクティブマトリクス表示装置の作製方法。 - 請求項1乃至請求項4のいずれか1項において、
前記活性化を行なった後、200〜400℃で水素アニールすることを特徴とするアクティブマトリクス表示装置の作製方法。
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