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  1. その内部に分散されたダイヤモンド粒子を含む金属マトリックスから構成される複合材料であって、該ダイヤモンド粒子が、その表面に化学的に結合したベータSiCの層の存在により特徴づけられる複合材料。
  2. 以下の1つ以上により特徴づけられる請求項1記載の複合材料:
    a. 複合材料が約300W/m.kよりも大きな、好ましくは約400W/m.kよりも大きな、より好ましくは約500W/m.kよりも大きな、最も好ましくは約600W/m.kよりも大きな熱伝導率を有すること;
    b. 金属マトリックスが本質的にアルミニウム、マグネシウム、または銅、または該金属の1つ以上のアロイであること;
    c. SiCの炭素が、それが結合しているダイヤモンド粒子から導びかれること;
    d. ダイヤモンド粒子のサイズが50−150ミクロン、好ましくは100−120ミクロンの範囲であること;
    e. ダイヤモンド粒子が150ミクロンよりも大きな粒子サイズ、好ましくは200ミクロンよりも大きな粒子サイズ、より好ましくは300ミクロンよりも大きな粒子サイズを有すること;
    f. SiC層が、ガス状Si源、好ましくはSiOとそれぞれのダイヤモンド粒子との化学的気相反応により形成される表面転化コーティングまたは層で構成されること;
    g. SiC層が、Si粉末、ダイヤモンド粉末、およびたとえばフェノール樹脂のようなバインダーとのプリフォームを加熱し、ここで該バインダーの目的はSiをダイヤモンド表面に接触して保持することである、該プリフォームが表面転化反応が起こるのに十分な温度に加熱されることにより形成される表面転化コーティングまたは層で構成されること;および
    h. SiCコーティングされたダイヤモンド粒子が複合材料の約10−60体積%、好ましくは約70体積%よりも多く、より好ましくは約80体積%よりも多くを構成すること。
  3. 基体が請求項1または2記載の複合材料構造物である、LDMOS電子パッケージ用の高熱伝導率基体。
  4. 請求項3記載の基体に結合されたLDMOSチップを含む電子パッケージ。
  5. それぞれの粒子の表面に化学的に結合しているベータSiCの層が存在し、SiCの炭素が、それが結合しているダイヤモンド粒子のダイヤモンドから導びかれることにより特徴づけられる、ダイヤモンド粒子のアレイ。
  6. ダイヤモンド粉末を薄いSiC表面コーティングでコーティングする方法であって、ダイヤモンド粉末を含むダイヤモンド粒子とガス状Si含有種とを、ガス状Si含有種とダイヤモンド粉末を含む固体粒子との間に化学的気相反応が生ずる条件下で接触させることを含み、該SiCコーティングされたダイヤモンド粉末が金属マトリックス内に覆い包まれ、非常に高い熱伝導率を有する金属マトリックス複合材料を形成するのに好適である方法。
  7. Siのガス状種が、ガス状SiOを形成するSiOの還元により生成される、請求項6記載の方法。
  8. ダイヤモンド粉末を含む粒子を薄いその場(in−situ)SiCコーティングでコーティングする方法であって、該コーティングはSi含有プレセラミックポリマー層をダイヤモンド粒子上に堆積させ、ダイヤモンド表面のSiCへの転化を開始させるのに適当な高い温度に、ダイヤモンド構造がグラファイトに転化するのに不十分な時間加熱することによりSiCに転化させることにより得られ、該SiCコーティングされたダイヤモンド粉末が非常に高い熱伝導率の金属マトリックス複合材料を形成するために好適である方法。
  9. ダイヤモンド粉末を含む粒子を薄いSiC表面転化コーティングでコーティングする方法であって、反応性ガス状混合物をダイヤモンド粒子の上を通過させ、反応性ガスがシリコン含有種を生成し、シリコン含有種とダイヤモンドの間に反応を起こす温度であって、しかしダイヤモンド構造がグラファイトに転化するのに不十分な温度および時間で加熱することによりコーティングを得、該SiC粉末が非常に高温のマトリックス複合材料を形成するのに適している方法。
  10. 以下の1つ以上により特徴づけられる請求項8または9記載の方法:
    a. 反応または転化が少なくとも約1100℃、好ましくは少なくとも約1500−1600℃、より好ましくは少なくとも約1800℃の温度で行われること;および
    b. 最高温度での反応時間が約1時間未満、好ましくは約1/2時間未満、より好ましくは約1/8時間未満、最も好ましくは約1/10時間未満であること。
  11. 薄膜SiC表面コーティングを有するダイヤモンド粉末粒子を圧縮するダイヤモンド粉末粒子をコーティングする方法であって、フェノール樹脂、Si粉末、およびダイヤモンド粉末のプリフォームを表面転化反応が起こるのに十分な温度に加熱し、該SiCコーティングされたダイヤモンド粉末は非常に大きな熱伝導率を有する金属マトリックス複合材料を生成するのに好適である方法。
  12. プリフォームが加熱される温度が少なくとも1300℃、好ましくは少なくとも1400℃、より好ましくは少なくとも1500℃、さらにより好ましくは少なくとも1600℃、最も好ましくは少なくとも1700℃である、請求項11記載の方法。
  13. 以下の工程を含む、金属マトリックスと、その内部に分散されたダイヤモンド粒子でつくられた粉末を含む、金属マトリックス複合材料を製造する方法:
    (a) ダイヤモンド粒子をガスのSiがダイヤモンド粒子の表面の炭素と反応するに十分な温度に加熱し、それによりダイヤモンド粒子の表面層をSiCの薄層に転化する、ダイヤモンド粒子とガス状のSi含有種を接触させることにより薄いSiCの層を有するダイヤモンド粉末を含むそれぞれのダイヤモンド粒子を提供する工程、
    (b) SiC層を有するダイヤモンド粒子を、スクイーズキャスティング装置のダイキャビティ中に配置する工程、
    (c) 任意にダイヤモンド粉末をアルミナセラミックペーパーのシートで覆う工程、および
    (d) 加圧スクイーズキャスティングにより、マトリックスを形成するために選択された金属の溶融物をコーティングされたダイヤモンド粉末を有するダイキャビティの内部に、ダイヤモンド粉末が溶融金属により加圧インフィルトレーションされるに適当な熱および温度条件で導入し、ダイを冷却する工程、を含む方法。
  14. 以下の工程を含む、金属マトリックスと、その内部に分散されたダイヤモンド粒子でつくられた粉末を含む、金属マトリックス複合材料を製造する方法:
    (a) ダイヤモンド粒子の炭素表面と、ガス状のSi含有種とを、SiCを形成するのに十分な温度で反応させることにより、SiCの薄い表面層を有するダイヤモンド粉末を含むそれぞれの粒子を提供する工程、
    (b) 上記のSiC層を有するダイヤモンド粒子とマトリックスを形成するために選択された金属粉末との均質混合物を形成する工程、および
    (c) 上記のSiC表面層を有するダイヤモンド粒子と金属粉末との混合物を、複合材料を高密度にするのに十分な温度、圧力、およびサイクル時間でホットプレス、好ましくはアイソスタティックプレスではなく、プレスすることにより、高密度の複合材料を形成する工程、を含む方法。
  15. 内部に分散されたダイヤモンド粒子を含む金属マトリックスから本質的に構成される複合材料構造物を形成する方法であって、該ダイヤモンド粒子はそれらに化学的に結合しているベータSiCの表面層の存在により特徴づけられ、
    該ダイヤモンド粒子の表面とSiC源とを、ダイヤモンド粒子の表面にSiCが堆積されるような条件下で接触させ、堆積されたSiCが、それが堆積しているダイヤモンド粒子の内部に拡散するのに適当な温度および時間に供することにより、そのような拡散を生じさせ、それによりダイヤモンド粒子に結合したベータSiCの表面層を形成し、アレイとなった複数の該粒子を溶融状態の金属で覆い包むことにより複合材料構造物を形成し、それによりベータSiCの表面層を有する該アレイの粒子が、冷却により溶融状態の金属が堅くなり固体化した時に、該金属のマトリックス内に分散される、方法。
  16. SiC源がSiC有機金属ガス、好ましくはメチルトリクロロシラン、ジメチルジクロロシラン、またはトリエチルシランである、請求項15記載の方法。
  17. ダイヤモンド粒子のアレイが非酸化性雰囲気に囲まれ、その後SiC有機金属ガスと接触され、ダイヤモンド粒子が約1600℃に約1時間加熱され、SiC拡散を起こす、請求項15記載の方法。
  18. 非常に高い熱伝導率を有する金属マトリックス複合材料を製造する方法であって、該複合材料はその内部に分散されたダイヤモンド粒子でつくられた粉末を含む金属マトリックスを含み、
    d. フェノール樹脂、Si粉末、およびダイヤモンド粉末の混合物を調製し、該混合物をプレスしてプリフォームを形成し、該プリフォームをSi粉末とそれぞれのダイヤモンド粒子の炭素表面との間に化学反応が起こるに十分な温度に加熱し、それぞれのダイヤモンド粒子の上に薄いSiC表面転化層を形成することにより、薄いSiCの層を有するダイヤモンド粉末を含むダイヤモンド粒子を提供する工程、
    e. SiC層を有するダイヤモンド粒子を、スクイーズキャスティング装置のダイキャビティー中に配置する工程、
    f. マトリックスを形成するために選択された金属の溶融物をコーティングされたダイヤモンド粉末を含むダイキャビティー内に、ダイヤモンド粉末を溶融金属により加圧インフィルトレーションするのに有効な熱および圧力の下で導入し、ダイを冷却する工程、を含む方法。
  19. 金属マトリックスのために選択された金属が本質的にアルミニウム、マグネシウムまたは銅である、請求項13から17のいずれか1項記載の方法。
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Families Citing this family (53)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20060266496A1 (en) * 2005-05-31 2006-11-30 Sensis Corporation Method and apparatus for dissipating heat
DE102005039188B4 (de) * 2005-08-18 2007-06-21 Siemens Ag Röntgenröhre
US20070199677A1 (en) * 2006-02-24 2007-08-30 Ming-Hang Hwang Heat Sink Fin Structure and Manufacturing Method Thereof
US8157914B1 (en) 2007-02-07 2012-04-17 Chien-Min Sung Substrate surface modifications for compositional gradation of crystalline materials and associated products
US7799600B2 (en) * 2007-05-31 2010-09-21 Chien-Min Sung Doped diamond LED devices and associated methods
SE532992C2 (sv) * 2007-11-08 2010-06-08 Alfa Laval Corp Ab Förfarande för framställning av en diamantkomposit, grönkropp, diamantkomposit samt användning av diamantkompositen
KR100907334B1 (ko) * 2008-01-04 2009-07-13 성균관대학교산학협력단 알루미늄과 탄소재료 간의 공유결합을 형성하는 방법, 알루미늄과 탄소재료 복합체를 제조하는 방법 및 그 방법에 의하여 제조된 알루미늄과 탄소재료 복합체
US20090255660A1 (en) * 2008-04-10 2009-10-15 Metal Matrix Cast Composites, Llc High Thermal Conductivity Heat Sinks With Z-Axis Inserts
WO2010007974A1 (ja) 2008-07-17 2010-01-21 電気化学工業株式会社 アルミニウム-ダイヤモンド系複合体の製造方法
KR101721818B1 (ko) 2008-07-17 2017-03-30 덴카 주식회사 알루미늄-다이아몬드계 복합체 및 그 제조 방법
WO2010027504A1 (en) * 2008-09-08 2010-03-11 Materials And Electrochemical Research (Mer) Corporation Machinable metal/diamond metal matrix composite compound structure and method of making same
US20110027603A1 (en) * 2008-12-03 2011-02-03 Applied Nanotech, Inc. Enhancing Thermal Properties of Carbon Aluminum Composites
US20100139885A1 (en) * 2008-12-09 2010-06-10 Renewable Thermodynamics, Llc Sintered diamond heat exchanger apparatus
US20110147647A1 (en) * 2009-06-05 2011-06-23 Applied Nanotech, Inc. Carbon-containing matrix with additive that is not a metal
US20100310447A1 (en) * 2009-06-05 2010-12-09 Applied Nanotech, Inc. Carbon-containing matrix with functionalized pores
JP5645048B2 (ja) * 2009-10-21 2014-12-24 住友電気工業株式会社 放熱部材、半導体装置、及び複合材料の製造方法
WO2011049479A1 (en) * 2009-10-21 2011-04-28 Andrey Mikhailovich Abyzov Composite material having high thermal conductivity and process of fabricating same
US8263843B2 (en) 2009-11-06 2012-09-11 The Boeing Company Graphene nanoplatelet metal matrix
FR2964291B1 (fr) * 2010-08-25 2012-08-24 Hispano Suiza Sa Circuit imprime comportant au moins un composant ceramique
DE102010055201A1 (de) * 2010-12-20 2012-06-21 Eads Deutschland Gmbh Verfahren zur Herstellung eines Bauteils
CN102173806B (zh) * 2011-01-24 2013-05-01 长沙米诺特种陶瓷材料技术有限公司 含有金刚石的复合材料及其制备方法
US9868099B2 (en) 2011-04-21 2018-01-16 Baker Hughes Incorporated Methods for forming polycrystalline materials including providing material with superabrasive grains prior to HPHT processing
EP2738802B1 (en) 2011-07-28 2016-06-29 Denka Company Limited Heat dissipating component for semiconductor element
WO2013041305A1 (de) * 2011-09-22 2013-03-28 Peak-Werkstoff Gmbh Verfahren zur herstellung von bauteilen aus mmc's (metallmatrix-verbundwerkstoffen) mit overspraypulver
US8821988B2 (en) 2012-10-01 2014-09-02 Dayton T. Brown, Inc. Method for modification of the surface and subsurface regions of metallic substrates
JP6621736B2 (ja) 2014-04-25 2019-12-18 デンカ株式会社 アルミニウム−ダイヤモンド系複合体及びこれを用いた放熱部品
JP6584399B2 (ja) 2014-07-03 2019-10-02 デンカ株式会社 複合体とその製造方法
WO2016033080A1 (en) * 2014-08-26 2016-03-03 Nano Materials International Corporation Aluminum diamond cutting tool
WO2016035789A1 (ja) 2014-09-02 2016-03-10 電気化学工業株式会社 半導体素子用放熱部品
US10406640B2 (en) 2014-12-22 2019-09-10 Rolls-Royce High Temperature Composites, Inc. Method for repairing ceramic matrix composite (CMC) articles
US10834790B2 (en) * 2014-12-22 2020-11-10 Rolls-Royce High Temperature Composites, Inc. Method for making ceramic matrix composite articles with progressive melt infiltration
CN107405756B (zh) * 2015-01-28 2019-11-15 戴蒙得创新股份有限公司 易碎的陶瓷结合的金刚石复合粒子以及其制造方法
CN104651658B (zh) * 2015-03-17 2017-01-11 北京科技大学 一种新型高导热铜基复合材料制备方法
US10060043B2 (en) * 2015-07-16 2018-08-28 Raytheon Canada Limited Forming an article made of metal matrix composite
JP6755879B2 (ja) 2015-10-13 2020-09-16 デンカ株式会社 アルミニウム−ダイヤモンド系複合体及びその製造方法
CN105219092A (zh) * 2015-10-29 2016-01-06 惠州市粤泰翔科技有限公司 一种高填充柔性导热硅橡胶及其制备方法
WO2017158993A1 (ja) 2016-03-15 2017-09-21 デンカ株式会社 アルミニウム-ダイヤモンド系複合体及び放熱部品
US10074589B2 (en) 2016-04-14 2018-09-11 Hamilton Sundstrand Corporation Embedding diamond and other ceramic media into metal substrates to form thermal interface materials
CN108793169A (zh) * 2017-03-27 2018-11-13 储晞 一种回收利用金刚线切割硅料副产硅泥的方法装置和系统
KR101919857B1 (ko) * 2017-07-27 2018-11-20 (주)케이에이치바텍 휴대단말기용 프레임 구조물 제조방법
CN107649688B (zh) * 2017-08-21 2019-07-09 武汉速博酷新材料科技有限公司 一种易加工的金刚石导热复合材料及其制备方法和应用
CN109940156B (zh) * 2017-12-20 2020-11-06 有研工程技术研究院有限公司 3d打印近净成形制备金刚石/铜导热复合材料零件的方法
DE102018205893B3 (de) * 2018-04-18 2019-10-24 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Werkstoff bestehend aus einem dreidimensionalen Gerüst, das mit SiC oder SiC und Si3N4 gebildet ist und einer Edelmetalllegierung, in der Silicium enthalten ist, sowie ein Verfahren zu seiner Herstellung
CN108998712B (zh) * 2018-07-18 2020-09-08 上海电机学院 一种可溶桥塞用复合材料及其制备方法
CN111411281A (zh) * 2020-03-30 2020-07-14 南京理工大学 一种梯度电子封装壳体的制备方法
CN113206200B (zh) * 2020-04-17 2023-04-07 广东聚华印刷显示技术有限公司 薄膜封装结构、薄膜封装方法及光电器件
RU2751859C1 (ru) * 2020-12-22 2021-07-19 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Волгоградский государственный технический университет" (ВолгГТУ) Способ получения углеграфитового композиционного материала
CN112707736B (zh) * 2020-12-31 2021-11-19 北京石墨烯技术研究院有限公司 石墨烯改性陶瓷复合材料、制备方法以及制件
CN112935249B (zh) * 2021-02-07 2021-11-26 哈尔滨工业大学 一种金刚石/金属基复合材料的高效制备方法
CN113802180B (zh) * 2021-09-15 2023-03-24 中南大学 一种金刚石/金属基复合材料及其制备方法和应用
CN114369750A (zh) * 2021-12-27 2022-04-19 深圳市知行新材料科技有限公司 一种金属基复合材料及其制备方法和应用
US12043901B1 (en) 2022-03-01 2024-07-23 The United States Of America, As Represented By The Secretary Of The Navy Composite materials, armor formed therefrom, and methods for making same
CN116656985B (zh) * 2023-04-27 2024-02-02 苏州科技大学 一种金刚石/铝复合材料的制备方法

Family Cites Families (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3520667A (en) * 1967-08-15 1970-07-14 Carborundum Co Silicon carbide coated diamond abrasive grains
JPS4810368B1 (ja) * 1968-11-19 1973-04-03
US4606738A (en) * 1981-04-01 1986-08-19 General Electric Company Randomly-oriented polycrystalline silicon carbide coatings for abrasive grains
US4643741A (en) * 1984-12-14 1987-02-17 Hongchang Yu Thermostable polycrystalline diamond body, method and mold for producing same
EP0221531A3 (en) * 1985-11-06 1992-02-19 Kanegafuchi Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha High heat conductive insulated substrate and method of manufacturing the same
US4914551A (en) * 1988-07-13 1990-04-03 International Business Machines Corporation Electronic package with heat spreader member
US5008737A (en) * 1988-10-11 1991-04-16 Amoco Corporation Diamond composite heat sink for use with semiconductor devices
JP3011431B2 (ja) * 1990-05-11 2000-02-21 三和研磨工業株式会社 精密研磨用砥石
JPH04231436A (ja) * 1990-06-01 1992-08-20 United Technol Corp <Utc> ダイヤモンド含有材料及びダイヤモンド含有材料製品の製造方法
US5735332A (en) * 1992-09-17 1998-04-07 Coors Ceramics Company Method for making a ceramic metal composite
US5676918A (en) * 1992-12-25 1997-10-14 Oji Paper Co., Ltd. Method of producing silicon carbide fibers
US6264882B1 (en) * 1994-05-20 2001-07-24 The Regents Of The University Of California Process for fabricating composite material having high thermal conductivity
JP3119098B2 (ja) * 1994-10-17 2000-12-18 株式会社ティ・ケー・エックス ダイヤモンド砥粒、砥石及びそれらの製造方法
US5855967A (en) * 1995-11-29 1999-01-05 Epion Corporation Method of protecting surfaces on diamond, diamondlike carbon or carbon
JPH09184036A (ja) * 1995-12-28 1997-07-15 Honda Motor Co Ltd 高熱伝導性ダイヤモンド複合Al合金部材およびその製造方法
JP3617232B2 (ja) * 1997-02-06 2005-02-02 住友電気工業株式会社 半導体用ヒートシンクおよびその製造方法ならびにそれを用いた半導体パッケージ
JP3893681B2 (ja) * 1997-08-19 2007-03-14 住友電気工業株式会社 半導体用ヒートシンクおよびその製造方法
US6106957A (en) * 1998-03-19 2000-08-22 Smith International, Inc. Metal-matrix diamond or cubic boron nitride composites
US6447852B1 (en) * 1999-03-04 2002-09-10 Ambler Technologies, Inc. Method of manufacturing a diamond composite and a composite produced by same
US6247519B1 (en) * 1999-07-19 2001-06-19 Her Majesty The Queen In Right Of Canada, As Represented By The Minister Of Natural Resources Preform for magnesium metal matrix composites
US6673439B1 (en) * 1999-09-22 2004-01-06 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Coated diamond, manufacturing method and composite material thereof
JP3865033B2 (ja) * 2000-02-04 2007-01-10 信越化学工業株式会社 酸化珪素粉末の連続製造方法及び連続製造装置
RU2206502C2 (ru) * 2000-11-21 2003-06-20 Акционерное общество закрытого типа "Карбид" Композиционный материал
JP2003095743A (ja) * 2001-09-21 2003-04-03 Ishizuka Kenkyusho:Kk ダイヤモンド焼結体及びその製造法
US7173334B2 (en) * 2002-10-11 2007-02-06 Chien-Min Sung Diamond composite heat spreader and associated methods
US6727117B1 (en) * 2002-11-07 2004-04-27 Kyocera America, Inc. Semiconductor substrate having copper/diamond composite material and method of making same
DE10261276B4 (de) * 2002-12-27 2005-12-01 Eisenmann Maschinenbau Gmbh & Co. Kg Vorlagebehälter für pulverförmige Medien

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