JP2007518875A5 - - Google Patents
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- その内部に分散されたダイヤモンド粒子を含む金属マトリックスから構成される複合材料であって、該ダイヤモンド粒子が、その表面に化学的に結合したベータSiCの層の存在により特徴づけられる複合材料。
- 以下の1つ以上により特徴づけられる請求項1記載の複合材料:
a. 複合材料が約300W/m.kよりも大きな、好ましくは約400W/m.kよりも大きな、より好ましくは約500W/m.kよりも大きな、最も好ましくは約600W/m.kよりも大きな熱伝導率を有すること;
b. 金属マトリックスが本質的にアルミニウム、マグネシウム、または銅、または該金属の1つ以上のアロイであること;
c. SiCの炭素が、それが結合しているダイヤモンド粒子から導びかれること;
d. ダイヤモンド粒子のサイズが50−150ミクロン、好ましくは100−120ミクロンの範囲であること;
e. ダイヤモンド粒子が150ミクロンよりも大きな粒子サイズ、好ましくは200ミクロンよりも大きな粒子サイズ、より好ましくは300ミクロンよりも大きな粒子サイズを有すること;
f. SiC層が、ガス状Si源、好ましくはSiOとそれぞれのダイヤモンド粒子との化学的気相反応により形成される表面転化コーティングまたは層で構成されること;
g. SiC層が、Si粉末、ダイヤモンド粉末、およびたとえばフェノール樹脂のようなバインダーとのプリフォームを加熱し、ここで該バインダーの目的はSiをダイヤモンド表面に接触して保持することである、該プリフォームが表面転化反応が起こるのに十分な温度に加熱されることにより形成される表面転化コーティングまたは層で構成されること;および
h. SiCコーティングされたダイヤモンド粒子が複合材料の約10−60体積%、好ましくは約70体積%よりも多く、より好ましくは約80体積%よりも多くを構成すること。 - 基体が請求項1または2記載の複合材料構造物である、LDMOS電子パッケージ用の高熱伝導率基体。
- 請求項3記載の基体に結合されたLDMOSチップを含む電子パッケージ。
- それぞれの粒子の表面に化学的に結合しているベータSiCの層が存在し、SiCの炭素が、それが結合しているダイヤモンド粒子のダイヤモンドから導びかれることにより特徴づけられる、ダイヤモンド粒子のアレイ。
- ダイヤモンド粉末を薄いSiC表面コーティングでコーティングする方法であって、ダイヤモンド粉末を含むダイヤモンド粒子とガス状Si含有種とを、ガス状Si含有種とダイヤモンド粉末を含む固体粒子との間に化学的気相反応が生ずる条件下で接触させることを含み、該SiCコーティングされたダイヤモンド粉末が金属マトリックス内に覆い包まれ、非常に高い熱伝導率を有する金属マトリックス複合材料を形成するのに好適である方法。
- Siのガス状種が、ガス状SiOを形成するSiO2の還元により生成される、請求項6記載の方法。
- ダイヤモンド粉末を含む粒子を薄いその場(in−situ)SiCコーティングでコーティングする方法であって、該コーティングはSi含有プレセラミックポリマー層をダイヤモンド粒子上に堆積させ、ダイヤモンド表面のSiCへの転化を開始させるのに適当な高い温度に、ダイヤモンド構造がグラファイトに転化するのに不十分な時間加熱することによりSiCに転化させることにより得られ、該SiCコーティングされたダイヤモンド粉末が非常に高い熱伝導率の金属マトリックス複合材料を形成するために好適である方法。
- ダイヤモンド粉末を含む粒子を薄いSiC表面転化コーティングでコーティングする方法であって、反応性ガス状混合物をダイヤモンド粒子の上を通過させ、反応性ガスがシリコン含有種を生成し、シリコン含有種とダイヤモンドの間に反応を起こす温度であって、しかしダイヤモンド構造がグラファイトに転化するのに不十分な温度および時間で加熱することによりコーティングを得、該SiC粉末が非常に高温のマトリックス複合材料を形成するのに適している方法。
- 以下の1つ以上により特徴づけられる請求項8または9記載の方法:
a. 反応または転化が少なくとも約1100℃、好ましくは少なくとも約1500−1600℃、より好ましくは少なくとも約1800℃の温度で行われること;および
b. 最高温度での反応時間が約1時間未満、好ましくは約1/2時間未満、より好ましくは約1/8時間未満、最も好ましくは約1/10時間未満であること。 - 薄膜SiC表面コーティングを有するダイヤモンド粉末粒子を圧縮するダイヤモンド粉末粒子をコーティングする方法であって、フェノール樹脂、Si粉末、およびダイヤモンド粉末のプリフォームを表面転化反応が起こるのに十分な温度に加熱し、該SiCコーティングされたダイヤモンド粉末は非常に大きな熱伝導率を有する金属マトリックス複合材料を生成するのに好適である方法。
- プリフォームが加熱される温度が少なくとも1300℃、好ましくは少なくとも1400℃、より好ましくは少なくとも1500℃、さらにより好ましくは少なくとも1600℃、最も好ましくは少なくとも1700℃である、請求項11記載の方法。
- 以下の工程を含む、金属マトリックスと、その内部に分散されたダイヤモンド粒子でつくられた粉末を含む、金属マトリックス複合材料を製造する方法:
(a) ダイヤモンド粒子をガスのSiがダイヤモンド粒子の表面の炭素と反応するに十分な温度に加熱し、それによりダイヤモンド粒子の表面層をSiCの薄層に転化する、ダイヤモンド粒子とガス状のSi含有種を接触させることにより薄いSiCの層を有するダイヤモンド粉末を含むそれぞれのダイヤモンド粒子を提供する工程、
(b) SiC層を有するダイヤモンド粒子を、スクイーズキャスティング装置のダイキャビティ中に配置する工程、
(c) 任意にダイヤモンド粉末をアルミナセラミックペーパーのシートで覆う工程、および
(d) 加圧スクイーズキャスティングにより、マトリックスを形成するために選択された金属の溶融物をコーティングされたダイヤモンド粉末を有するダイキャビティの内部に、ダイヤモンド粉末が溶融金属により加圧インフィルトレーションされるに適当な熱および温度条件で導入し、ダイを冷却する工程、を含む方法。 - 以下の工程を含む、金属マトリックスと、その内部に分散されたダイヤモンド粒子でつくられた粉末を含む、金属マトリックス複合材料を製造する方法:
(a) ダイヤモンド粒子の炭素表面と、ガス状のSi含有種とを、SiCを形成するのに十分な温度で反応させることにより、SiCの薄い表面層を有するダイヤモンド粉末を含むそれぞれの粒子を提供する工程、
(b) 上記のSiC層を有するダイヤモンド粒子とマトリックスを形成するために選択された金属粉末との均質混合物を形成する工程、および
(c) 上記のSiC表面層を有するダイヤモンド粒子と金属粉末との混合物を、複合材料を高密度にするのに十分な温度、圧力、およびサイクル時間でホットプレス、好ましくはアイソスタティックプレスではなく、プレスすることにより、高密度の複合材料を形成する工程、を含む方法。 - 内部に分散されたダイヤモンド粒子を含む金属マトリックスから本質的に構成される複合材料構造物を形成する方法であって、該ダイヤモンド粒子はそれらに化学的に結合しているベータSiCの表面層の存在により特徴づけられ、
該ダイヤモンド粒子の表面とSiC源とを、ダイヤモンド粒子の表面にSiCが堆積されるような条件下で接触させ、堆積されたSiCが、それが堆積しているダイヤモンド粒子の内部に拡散するのに適当な温度および時間に供することにより、そのような拡散を生じさせ、それによりダイヤモンド粒子に結合したベータSiCの表面層を形成し、アレイとなった複数の該粒子を溶融状態の金属で覆い包むことにより複合材料構造物を形成し、それによりベータSiCの表面層を有する該アレイの粒子が、冷却により溶融状態の金属が堅くなり固体化した時に、該金属のマトリックス内に分散される、方法。 - SiC源がSiC有機金属ガス、好ましくはメチルトリクロロシラン、ジメチルジクロロシラン、またはトリエチルシランである、請求項15記載の方法。
- ダイヤモンド粒子のアレイが非酸化性雰囲気に囲まれ、その後SiC有機金属ガスと接触され、ダイヤモンド粒子が約1600℃に約1時間加熱され、SiC拡散を起こす、請求項15記載の方法。
- 非常に高い熱伝導率を有する金属マトリックス複合材料を製造する方法であって、該複合材料はその内部に分散されたダイヤモンド粒子でつくられた粉末を含む金属マトリックスを含み、
d. フェノール樹脂、Si粉末、およびダイヤモンド粉末の混合物を調製し、該混合物をプレスしてプリフォームを形成し、該プリフォームをSi粉末とそれぞれのダイヤモンド粒子の炭素表面との間に化学反応が起こるに十分な温度に加熱し、それぞれのダイヤモンド粒子の上に薄いSiC表面転化層を形成することにより、薄いSiCの層を有するダイヤモンド粉末を含むダイヤモンド粒子を提供する工程、
e. SiC層を有するダイヤモンド粒子を、スクイーズキャスティング装置のダイキャビティー中に配置する工程、
f. マトリックスを形成するために選択された金属の溶融物をコーティングされたダイヤモンド粉末を含むダイキャビティー内に、ダイヤモンド粉末を溶融金属により加圧インフィルトレーションするのに有効な熱および圧力の下で導入し、ダイを冷却する工程、を含む方法。 - 金属マトリックスのために選択された金属が本質的にアルミニウム、マグネシウムまたは銅である、請求項13から17のいずれか1項記載の方法。
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