JP2007503111A - ボンディングヘッドエレメントのカメラを補助に用いた調節 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明は、ボンディングヘッド(1)においてボンディングヘッドエレメント(4、5)を参照エレメントに応じて位置合わせを実行する方法に関し、特に、カメラ(8)によって少なくとも参照エレメントの周囲、特に超音波装置(3)の先端部が光学的に捉えられ、表示装置上の画像中に、位置合わせの補助としてのマーキングがこの表示中に重ねて表示される超音波装置(3)に関する。本発明は、さらに、ボンディングヘッドエレメント(4、5)の位置合わせを補助するために、カメラ(8)が少なくともの参照エレメントの周囲、特に超音波装置(3)の先端部を光学的に捉えることによって表示する超音波ボンダーに関する。
【選択図】図1
Description
Claims (11)
- ボンディングヘッドエレメント(4、5)が参照エレメント、特に超音波装置(3)に対して位置合わせされる、ボンディングヘッド(1)の設定操作を行う方法であって、
少なくとも前記参照エレメント、特に前記超音波装置(3)の先端部の周囲の領域が、カメラ(8)によって光学的に撮像され、表示装置上の画像に表示され、マーキングが位置合わせのための補助的手段として前記画像中に重ねて表示されることを特徴とするボンディングヘッドの設定操作方法。 - ボンディングヘッドエレメント(4、5)が、画像中にマーキングに対応し、前記参照エレメント(3)に対して所望の位置に表れるように設定されることを特徴とする請求項1に記載のボンディングヘッドの設定操作方法。
- マーキング(6、7、13)が、許容領域の形状で前記画像中に前記参照エレメント(3)に対し、特に前記超音波装置(3)の先端部に対して、表示されることを特徴とする請求項2に記載のボンディングヘッドの設定操作方法。
- 前記画像中の許容領域(6、7、13)の位置が、データ処理ユニットによって、前記参照エレメント、特に前記超音波装置(3)の先端部の位置の関数として前記画像中に決定されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のボンディングヘッドの設定操作方法。
- 前記参照エレメント(3)の位置が、手動操作、特に前記画像内にマーキングすることによって、及び/又は、コンピュータを用いた画像認識によって決定されることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のボンディングヘッドの設定操作方法。
- ボンディングヘッドエレメント(4、5)を配置するために、カメラ(8)によって、少なくとも1つの前記参照エレメント、特に前記超音波装置(3)の先端部の画像、及び/又は前記参照エレメント、特に前記超音波装置(3)の先端部の端面の画像が記録されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のボンディングヘッドの設定操作方法。
- 前記画像間で切り替えるために、鏡(10)が、カメラ(8)と参照エレメント(3)と間のビーム経路中に配置されることを特徴とする請求項5に記載のボンディングヘッドの設定操作方法。
- 前記参照エレメント(3)の画像を記録するために、前記ボンディングヘッド(1)が、Z方向、及び、前記カメラ(8)の光軸に平行に、特に焦点距離が一定に維持されるように、移動されることを特徴とする請求項6に記載のボンディングヘッドの設定操作方法。
- ボンディングヘッドエレメント(4、5)として、ワイヤガイド(4)、及び/又はブレード(5)が、超音波装置(3)の先端部に対して位置合わせされることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載のボンディングヘッドの設定操作方法。
- 前記ボンディングヘッドエレメント(4、5)が、撮像のために、人工的に、特にカメラの対物レンズの周囲に配置されたLED(9)によって照明されることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載のボンディングヘッドの設定操作方法。
- 超音波装置(3)と少なくとも1つの位置調節可能なボンディングヘッドエレメント(4、5)を有するボンディングヘッド(1)を備える超音波ボンダーであって、
前記超音波ボンダーがカメラ(8)を有し、前記カメラを用いて少なくとも参照エレメント、特に前記超音波装置(3)の先端部の周囲の領域が光学的に撮像され、ボンディングヘッドエレメント(4、5)の位置合わせを補助することを特徴とする超音波ボンダー。
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