JPH09162222A - ワイヤボンディング装置 - Google Patents
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- JPH09162222A JPH09162222A JP33797495A JP33797495A JPH09162222A JP H09162222 A JPH09162222 A JP H09162222A JP 33797495 A JP33797495 A JP 33797495A JP 33797495 A JP33797495 A JP 33797495A JP H09162222 A JPH09162222 A JP H09162222A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ワイヤボンディング装置において、キャピラ
リーの位置決め治具を不要にし、かつ、キャピラリーの
取付作業の容易化を図る。 【解決手段】 キャピラリー１１の上端部の外周にガイ
ド部材を構成するフランジ２５を形成し、フランジ２５
の付け根部の下面に逃げ溝２６を環状に形成する。 【効果】 キャピラリー１１をボンディングアーム１０
におけるホルダ部２０のキャピラリー取付孔２１に挿入
した状態で、フランジ２５の下面がホルダ部２０の上面
に載置されることによって、キャピラリー１１の高さ位
置が所定の高さ位置に設定され、かつ、キャピラリー１
１の垂直度も確保される。そのため、キャピラリーの取
付作業が容易になり、また、位置決め治具を廃止でき
る。
リーの位置決め治具を不要にし、かつ、キャピラリーの
取付作業の容易化を図る。 【解決手段】 キャピラリー１１の上端部の外周にガイ
ド部材を構成するフランジ２５を形成し、フランジ２５
の付け根部の下面に逃げ溝２６を環状に形成する。 【効果】 キャピラリー１１をボンディングアーム１０
におけるホルダ部２０のキャピラリー取付孔２１に挿入
した状態で、フランジ２５の下面がホルダ部２０の上面
に載置されることによって、キャピラリー１１の高さ位
置が所定の高さ位置に設定され、かつ、キャピラリー１
１の垂直度も確保される。そのため、キャピラリーの取
付作業が容易になり、また、位置決め治具を廃止でき
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ワイヤボンディン
グ装置、特に、ワイヤボンディング装置におけるキャピ
ラリーの取付技術の改良に関し、例えば、半導体装置の
製造工程において、半導体ペレット（以下、ペレットと
いう。）とリードとをワイヤを介して電気的に接続する
のに利用して有効なワイヤボンディング装置に関する。
グ装置、特に、ワイヤボンディング装置におけるキャピ
ラリーの取付技術の改良に関し、例えば、半導体装置の
製造工程において、半導体ペレット（以下、ペレットと
いう。）とリードとをワイヤを介して電気的に接続する
のに利用して有効なワイヤボンディング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置の製造工程において、ペレッ
トのボンディングパッドとワイヤとを電気的に接続する
ワイヤボンディング装置として、超音波熱圧着式ワイヤ
ボンディング装置が広く使用されている。このワイヤボ
ンディング装置は、ボンディングツールとしてのキャピ
ラリーに挿通されたワイヤの先端部に放電電極等を用い
た加熱溶融作用によりボールを形成させた後、このボー
ルを被ボンディング部であるペレットのボンディングパ
ッド（以下、パッドということがある。）に加熱下で、
適当なボンディング荷重をもって押接させるとともに、
キャピラリーを通じて超音波エネルギを付勢することに
より、ワイヤをパッドに熱圧着させる。
トのボンディングパッドとワイヤとを電気的に接続する
ワイヤボンディング装置として、超音波熱圧着式ワイヤ
ボンディング装置が広く使用されている。このワイヤボ
ンディング装置は、ボンディングツールとしてのキャピ
ラリーに挿通されたワイヤの先端部に放電電極等を用い
た加熱溶融作用によりボールを形成させた後、このボー
ルを被ボンディング部であるペレットのボンディングパ
ッド（以下、パッドということがある。）に加熱下で、
適当なボンディング荷重をもって押接させるとともに、
キャピラリーを通じて超音波エネルギを付勢することに
より、ワイヤをパッドに熱圧着させる。
【０００３】従来のワイヤボンディング装置において、
キャピラリーは破損や摩耗の発生、あるいは寿命が到来
すると、交換されるのが通例である。この際、キャピラ
リーの取り付けは、ボンディングアームの先端のホルダ
部に形成されている取付孔にキャピラリーを挿入し、キ
ャピラリーを所定の高さ位置に保持した状態でホルダ部
を締め付けることによって行われている。ホルダ部の締
め付けはトルクドライバによるねじ締めによって行われ
る。
キャピラリーは破損や摩耗の発生、あるいは寿命が到来
すると、交換されるのが通例である。この際、キャピラ
リーの取り付けは、ボンディングアームの先端のホルダ
部に形成されている取付孔にキャピラリーを挿入し、キ
ャピラリーを所定の高さ位置に保持した状態でホルダ部
を締め付けることによって行われている。ホルダ部の締
め付けはトルクドライバによるねじ締めによって行われ
る。
【０００４】なお、ワイヤボンディング技術を述べてあ
る例としては、日経ＢＰ社１９９３年５月３１日発行
「実践講座ＶＬＳＩパッケージング技術（下）」Ｐ２３
〜Ｐ３０、がある。
る例としては、日経ＢＰ社１９９３年５月３１日発行
「実践講座ＶＬＳＩパッケージング技術（下）」Ｐ２３
〜Ｐ３０、がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の超音波熱圧着式
ワイヤボンディング装置におけるキャピラリーの取付に
際して、キャピラリーは単なるストレートな棒形状に形
成されているため、片方の手でピンセットによりキャピ
ラリーが取付孔から落下しないように保持しながら、も
う片方の手でトルクドライバによるねじ締め作業が実施
される。このため、キャピラリーの交換作業は容易でな
い面を有している。しかも、この一連の作業は実測が２
５０℃のヒータ上で行わなければならない危険な面をも
備えている。また、キャピラリーの位置決めに専用の位
置決め治具を用いて行うため、治具の用意や治具のセッ
トに時間がかかり、さらには治具の保管管理も必要にな
る。
ワイヤボンディング装置におけるキャピラリーの取付に
際して、キャピラリーは単なるストレートな棒形状に形
成されているため、片方の手でピンセットによりキャピ
ラリーが取付孔から落下しないように保持しながら、も
う片方の手でトルクドライバによるねじ締め作業が実施
される。このため、キャピラリーの交換作業は容易でな
い面を有している。しかも、この一連の作業は実測が２
５０℃のヒータ上で行わなければならない危険な面をも
備えている。また、キャピラリーの位置決めに専用の位
置決め治具を用いて行うため、治具の用意や治具のセッ
トに時間がかかり、さらには治具の保管管理も必要にな
る。
【０００６】本発明の目的は、キャピラリーの位置決め
治具を不要にするとともに、キャピラリーの取付作業の
容易化を図ることにある。
治具を不要にするとともに、キャピラリーの取付作業の
容易化を図ることにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、次の通り
である。
発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、次の通り
である。
【０００８】すなわち、ボンディングアームの先端のホ
ルダ部に形成されている取付孔に挿入されるキャピラリ
ーに、ホルダ部に所定の高さ位置で保持されるガイド手
段を設けたことを特徴とする。
ルダ部に形成されている取付孔に挿入されるキャピラリ
ーに、ホルダ部に所定の高さ位置で保持されるガイド手
段を設けたことを特徴とする。
【０００９】前記した手段によれば、キャピラリーはボ
ンディングアームのホルダ部の取付孔に挿入されると、
ガイド手段によって所定の高さ位置に保持される。した
がって、キャピラリーをホルダ部に固定する際に、キャ
ピラリーを片方の手で保持する必要がなく、キャピラリ
ーの取付作業が容易になる。また、キャピラリーに形成
されているガイド手段によってキャピラリーの位置決め
が行われるため、キャピラリーの位置決めを行う専用の
治具も不要になる。
ンディングアームのホルダ部の取付孔に挿入されると、
ガイド手段によって所定の高さ位置に保持される。した
がって、キャピラリーをホルダ部に固定する際に、キャ
ピラリーを片方の手で保持する必要がなく、キャピラリ
ーの取付作業が容易になる。また、キャピラリーに形成
されているガイド手段によってキャピラリーの位置決め
が行われるため、キャピラリーの位置決めを行う専用の
治具も不要になる。
【００１０】
【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施形態である
ワイヤボンディング装置を示す一部省略一部切断正面図
である。図２はそのホルダ部を示し、（ａ）は斜視図、
（ｂ）は横断面図、図３はホルダ部に取り付けられたキ
ャピラリーを示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は縦断面図
である。
ワイヤボンディング装置を示す一部省略一部切断正面図
である。図２はそのホルダ部を示し、（ａ）は斜視図、
（ｂ）は横断面図、図３はホルダ部に取り付けられたキ
ャピラリーを示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は縦断面図
である。
【００１１】本実施形態において、本発明に係るワイヤ
ボンディング装置は、超音波熱圧着式ワイヤボンディン
グ装置として構成されており、図１に示されているよう
に、半導体装置１におけるペレット２の電極パッドとリ
ードフレーム３のリード４とにワイヤ５をそれぞれボン
ディングすることにより、ペレット２と各リード４とを
電気的に接続するように構成されている。
ボンディング装置は、超音波熱圧着式ワイヤボンディン
グ装置として構成されており、図１に示されているよう
に、半導体装置１におけるペレット２の電極パッドとリ
ードフレーム３のリード４とにワイヤ５をそれぞれボン
ディングすることにより、ペレット２と各リード４とを
電気的に接続するように構成されている。
【００１２】このワイヤボンディング装置はフィーダ６
を備えており、フィーダ６にはヒートブロック７がリー
ドフレーム３を加熱し得るように設備されている。フィ
ーダ６のボンディングステージの外部にはＸＹテーブル
８がＸＹ方向に移動し得るように設備されており、ＸＹ
テーブル８上にはボンディングヘッド９が搭載されてい
る。
を備えており、フィーダ６にはヒートブロック７がリー
ドフレーム３を加熱し得るように設備されている。フィ
ーダ６のボンディングステージの外部にはＸＹテーブル
８がＸＹ方向に移動し得るように設備されており、ＸＹ
テーブル８上にはボンディングヘッド９が搭載されてい
る。
【００１３】ボンディングヘッド９にはボンディングア
ーム１０が基端を回転自在に軸支されて上下動するよう
に支持されており、ボンディングアーム１０の先端には
ボンディング工具としてのキャピラリー１１が垂直方向
下向きに配されて所定の高さ位置に固定的に支持されて
いる。ボンディングヘッド９はキャピラリー１１を上下
動させるべく、リニアモータやサーボモータ等のような
精密制御可能な駆動手段（図示せず）により駆動される
ように構成されており、マイクロコンピュータ等から成
るコントローラ１２により制御されるようになってい
る。また、ボンディングヘッド９にはボンディングアー
ム１０を通じてキャピラリー１１を超音波振動させる超
音波発振装置１３が設備されており、この振動発生装置
としての超音波発振装置１３はコントローラ１２によっ
て制御されるようになっている。
ーム１０が基端を回転自在に軸支されて上下動するよう
に支持されており、ボンディングアーム１０の先端には
ボンディング工具としてのキャピラリー１１が垂直方向
下向きに配されて所定の高さ位置に固定的に支持されて
いる。ボンディングヘッド９はキャピラリー１１を上下
動させるべく、リニアモータやサーボモータ等のような
精密制御可能な駆動手段（図示せず）により駆動される
ように構成されており、マイクロコンピュータ等から成
るコントローラ１２により制御されるようになってい
る。また、ボンディングヘッド９にはボンディングアー
ム１０を通じてキャピラリー１１を超音波振動させる超
音波発振装置１３が設備されており、この振動発生装置
としての超音波発振装置１３はコントローラ１２によっ
て制御されるようになっている。
【００１４】ボンディングアーム１０の上側には一対の
クランパアーム１４ａ、１４ｂが、電磁プランジャ機構
等のような適当な手段（図示せず）により作動されるよ
うに設備されており、両アーム１４ａ、１４ｂの各先端
はキャピラリー１１の真上位置に配されてクランパ１４
を構成している。クランパ１４にはリール（図示せず）
から繰り出されるワイヤ５がガイド１５を介して挿通さ
れており、ワイヤ５はさらにキャピラリー１１の中央部
に上下方向に貫通して形成されているワイヤ挿通孔１６
に挿通されている。
クランパアーム１４ａ、１４ｂが、電磁プランジャ機構
等のような適当な手段（図示せず）により作動されるよ
うに設備されており、両アーム１４ａ、１４ｂの各先端
はキャピラリー１１の真上位置に配されてクランパ１４
を構成している。クランパ１４にはリール（図示せず）
から繰り出されるワイヤ５がガイド１５を介して挿通さ
れており、ワイヤ５はさらにキャピラリー１１の中央部
に上下方向に貫通して形成されているワイヤ挿通孔１６
に挿通されている。
【００１５】キャピラリー１１の近傍には放電電極１７
が独立して設備されており、放電電極１７はその上端部
が回転自在に軸支されることにより、その先端部がキャ
ピラリー１１の下方位置、すなわち、ワイヤ５の先端の
真下位置と、キャピラリー１１の側方位置（退避位置）
との間を移動されるように構成されている。また、放電
電極１７と前記クランパ１４との間には電源回路１８が
接続されており、放電電極１７とワイヤ５との間で放電
アークを生成させるようになっている。
が独立して設備されており、放電電極１７はその上端部
が回転自在に軸支されることにより、その先端部がキャ
ピラリー１１の下方位置、すなわち、ワイヤ５の先端の
真下位置と、キャピラリー１１の側方位置（退避位置）
との間を移動されるように構成されている。また、放電
電極１７と前記クランパ１４との間には電源回路１８が
接続されており、放電電極１７とワイヤ５との間で放電
アークを生成させるようになっている。
【００１６】そして、フィーダ６上には略正方形枠形状
に形成されたリードフレーム押さえ具１９が昇降自在に
配設されており、この押さえ具１９はカム機構等のよう
な適当な駆動装置（図示せず）によりフィーダ６の間欠
送り作動に連携して上下動するように構成されている。
すなわち、この押さえ具１９はワイヤボンディングが実
施される時にリードフレーム３を上から押さえることに
より、リードフレーム３の遊動を防止するように構成さ
れている。
に形成されたリードフレーム押さえ具１９が昇降自在に
配設されており、この押さえ具１９はカム機構等のよう
な適当な駆動装置（図示せず）によりフィーダ６の間欠
送り作動に連携して上下動するように構成されている。
すなわち、この押さえ具１９はワイヤボンディングが実
施される時にリードフレーム３を上から押さえることに
より、リードフレーム３の遊動を防止するように構成さ
れている。
【００１７】次に、図１〜図３によって、ボンディング
アーム１０のキャピラリー１１の取付構造を説明する。
ボンディングアーム１０の先端部にはホルダ部２０が、
真上から見てＵ字形状に折り曲げられた折り曲げ片部２
０ａとその対向片部２０ｂとによって形成されており、
ホルダ部２０には折り曲げ片部２０ａと対向片部２０ｂ
とに跨がって上下方向に貫通するキャピラリー取付孔２
１が形成されている。また、ホルダ部２０にはキャピラ
リー取付孔２１に挿入されたキャピラリー１１を締め付
け固定するために、折り曲げ片部２０ａに直交して水平
方向に貫通する貫通孔２２と、対向片部２０ｂに直交し
て水平方向に貫通するねじ孔２３とが一直線上に形成さ
れている。したがって、キャピラリー１１がキャピラリ
ー取付孔２１に挿入され、取付ねじ２４が貫通孔２２を
挿通されてねじ孔２３に螺着され締め付けられることに
よって、キャピラリー１１はホルダ部２０に締め付け固
定されるようになっている。
アーム１０のキャピラリー１１の取付構造を説明する。
ボンディングアーム１０の先端部にはホルダ部２０が、
真上から見てＵ字形状に折り曲げられた折り曲げ片部２
０ａとその対向片部２０ｂとによって形成されており、
ホルダ部２０には折り曲げ片部２０ａと対向片部２０ｂ
とに跨がって上下方向に貫通するキャピラリー取付孔２
１が形成されている。また、ホルダ部２０にはキャピラ
リー取付孔２１に挿入されたキャピラリー１１を締め付
け固定するために、折り曲げ片部２０ａに直交して水平
方向に貫通する貫通孔２２と、対向片部２０ｂに直交し
て水平方向に貫通するねじ孔２３とが一直線上に形成さ
れている。したがって、キャピラリー１１がキャピラリ
ー取付孔２１に挿入され、取付ねじ２４が貫通孔２２を
挿通されてねじ孔２３に螺着され締め付けられることに
よって、キャピラリー１１はホルダ部２０に締め付け固
定されるようになっている。
【００１８】キャピラリー１１の上端部の外周にはガイ
ド部材を構成するフランジ２５が形成されており、フラ
ンジ２５の付け根部の下面には逃げ溝２６が環状に形成
されている。フランジ２５の下面はガイド面を形成し、
キャピラリー１１がボンディングアーム１０におけるホ
ルダ部２０のキャピラリー取付孔２１に挿入された状態
で、フランジ２５の下面がホルダ部２０の上面に載置さ
れることによって、キャピラリー１１の高さ位置が所定
の高さ位置に設定されるとともに、キャピラリー１１の
垂直度も確保されるようになっている。キャピラリー１
１はセラミックやルビーが用いられて一体成形されてい
る。
ド部材を構成するフランジ２５が形成されており、フラ
ンジ２５の付け根部の下面には逃げ溝２６が環状に形成
されている。フランジ２５の下面はガイド面を形成し、
キャピラリー１１がボンディングアーム１０におけるホ
ルダ部２０のキャピラリー取付孔２１に挿入された状態
で、フランジ２５の下面がホルダ部２０の上面に載置さ
れることによって、キャピラリー１１の高さ位置が所定
の高さ位置に設定されるとともに、キャピラリー１１の
垂直度も確保されるようになっている。キャピラリー１
１はセラミックやルビーが用いられて一体成形されてい
る。
【００１９】次に、前記構成に係るワイヤボンディング
装置によるワイヤボンディング方法を説明する。
装置によるワイヤボンディング方法を説明する。
【００２０】まず、キャピラリー１１がボンディングア
ーム１０のホルダ部２０に取り付けられる。キャピラリ
ー１１の取り付けは次のようにして行われる。すなわ
ち、キャピラリー１１がボンディングアーム１０のホル
ダ部２０に形成されているキャピラリー取付孔２１に上
方から挿入される。この際、キャピラリー１１はフラン
ジ２５がホルダ部２０の上面に当接されることによっ
て、所定の高さ位置に設定されるとともに、垂直度も確
保された状態で、ホルダ部２０に保持される。この保持
状態で、取付ねじ２４がホルダ部２０のねじ孔２３にト
ルクドライバによって螺着され締め付けられると、ホル
ダ部２０の折り曲げ片部２０ａとその対向片部２０ｂと
が締め付けられることによって、キャピラリー１１はホ
ルダ部２０に締め付け固定される。
ーム１０のホルダ部２０に取り付けられる。キャピラリ
ー１１の取り付けは次のようにして行われる。すなわ
ち、キャピラリー１１がボンディングアーム１０のホル
ダ部２０に形成されているキャピラリー取付孔２１に上
方から挿入される。この際、キャピラリー１１はフラン
ジ２５がホルダ部２０の上面に当接されることによっ
て、所定の高さ位置に設定されるとともに、垂直度も確
保された状態で、ホルダ部２０に保持される。この保持
状態で、取付ねじ２４がホルダ部２０のねじ孔２３にト
ルクドライバによって螺着され締め付けられると、ホル
ダ部２０の折り曲げ片部２０ａとその対向片部２０ｂと
が締め付けられることによって、キャピラリー１１はホ
ルダ部２０に締め付け固定される。
【００２１】このように、キャピラリー１１の取り付け
に際しては、キャピラリー１１に形成されているガイド
部材であるフランジ２５によって高さ位置と垂直度が設
定されるため、従来使用されているようなキャピラリー
１１の位置決め治具を必要としない。また、フランジ２
５によってキャピラリー１１はホルダ部２０に保持され
るため、取付ねじ２４をトルクドライバで締め付ける際
に、キャピラリー１１を片方の手で保持しておく必要が
ない。その結果、トルクドライバによるねじ締め作業を
両方の手で行えるため、キャピラリー１１の取付作業が
容易である。
に際しては、キャピラリー１１に形成されているガイド
部材であるフランジ２５によって高さ位置と垂直度が設
定されるため、従来使用されているようなキャピラリー
１１の位置決め治具を必要としない。また、フランジ２
５によってキャピラリー１１はホルダ部２０に保持され
るため、取付ねじ２４をトルクドライバで締め付ける際
に、キャピラリー１１を片方の手で保持しておく必要が
ない。その結果、トルクドライバによるねじ締め作業を
両方の手で行えるため、キャピラリー１１の取付作業が
容易である。
【００２２】キャピラリー１１が取り付けられた超音波
熱圧着式ワイヤボンディング装置は次のようにしてワイ
ヤボンディングを行う。
熱圧着式ワイヤボンディング装置は次のようにしてワイ
ヤボンディングを行う。
【００２３】ペレット２がボンディングされている被加
工物としてのリードフレーム３がフィーダ６により間欠
送りされて、ワイヤボンディングすべきペレット２の部
分がフィーダ６上におけるボンディングステージに供給
されると、リードフレーム押さえ治具１９が下降されて
リードフレーム３を押さえつける。
工物としてのリードフレーム３がフィーダ６により間欠
送りされて、ワイヤボンディングすべきペレット２の部
分がフィーダ６上におけるボンディングステージに供給
されると、リードフレーム押さえ治具１９が下降されて
リードフレーム３を押さえつける。
【００２４】一方、キャピラリー１１においては、放電
電極１７がワイヤ５の下端に接近された後、電源回路１
８が閉じられることにより、ワイヤ５の先端にボール５
ａが溶融形成される。
電極１７がワイヤ５の下端に接近された後、電源回路１
８が閉じられることにより、ワイヤ５の先端にボール５
ａが溶融形成される。
【００２５】続いて、キャピラリー１１がボンディング
ヘッド９により下降されてワイヤ５の先端部に形成され
たボール５ａをペレット２のパッドに押着させ、ボンデ
ィングアーム１０を通じてキャピラリー１１に超音波振
動が加えられることによって、ワイヤ５がペレット２の
パッドにボンディングされる。
ヘッド９により下降されてワイヤ５の先端部に形成され
たボール５ａをペレット２のパッドに押着させ、ボンデ
ィングアーム１０を通じてキャピラリー１１に超音波振
動が加えられることによって、ワイヤ５がペレット２の
パッドにボンディングされる。
【００２６】ペレット２のパッドへの第１ボンディング
が終了すると、クランパ１４のワイヤ５の保持が解除さ
れるとともに、キャピラリー１１はボンディングヘッド
９およびＸＹテーブル８により三次元的に移動させる。
これにより、ワイヤ５はキャピラリー１１から繰り出さ
れながら、第１ボンディング部と第２ボンディング部で
ある所定のリード４の先端部との間に架橋される。次
に、ワイヤ５の中間部がキャピラリー１１により超音波
を付勢されつつ熱圧着されて第２ボンディングされる。
が終了すると、クランパ１４のワイヤ５の保持が解除さ
れるとともに、キャピラリー１１はボンディングヘッド
９およびＸＹテーブル８により三次元的に移動させる。
これにより、ワイヤ５はキャピラリー１１から繰り出さ
れながら、第１ボンディング部と第２ボンディング部で
ある所定のリード４の先端部との間に架橋される。次
に、ワイヤ５の中間部がキャピラリー１１により超音波
を付勢されつつ熱圧着されて第２ボンディングされる。
【００２７】第２ボンディングが終了すると、クランパ
１４によりワイヤ５が把持され、クランパ１４はキャピ
ラリー１１と共に第２ボンディング部に対して相対的に
離反移動される。この離反移動により、ワイヤ５は第２
ボンディング部から引き千切られる。その後、ワイヤ５
の先端部がキャピラリー１１の先端からボール５ａの成
形に必要な長さだけ突き出される（テール出し）。
１４によりワイヤ５が把持され、クランパ１４はキャピ
ラリー１１と共に第２ボンディング部に対して相対的に
離反移動される。この離反移動により、ワイヤ５は第２
ボンディング部から引き千切られる。その後、ワイヤ５
の先端部がキャピラリー１１の先端からボール５ａの成
形に必要な長さだけ突き出される（テール出し）。
【００２８】以降、前記作動がペレット２のパッドおよ
びリード４の数に対応する回数だけ繰り返されることに
より、所要のワイヤボンディング作業が実施される。そ
の後、一単位のリードフレームについてのワイヤボンデ
ィング作業が完了すると、リードフレーム押さえ具１９
が上昇され、次のペレット２がボンディングステージの
所へ位置するようにリードフレーム３が１ピッチ送られ
る。以後、各単位のペレット２について前記ワイヤボン
ディング作業が順次実施されて行く。
びリード４の数に対応する回数だけ繰り返されることに
より、所要のワイヤボンディング作業が実施される。そ
の後、一単位のリードフレームについてのワイヤボンデ
ィング作業が完了すると、リードフレーム押さえ具１９
が上昇され、次のペレット２がボンディングステージの
所へ位置するようにリードフレーム３が１ピッチ送られ
る。以後、各単位のペレット２について前記ワイヤボン
ディング作業が順次実施されて行く。
【００２９】そして、キャピラリー１１が破損したり摩
耗したときや、キャピラリー１１の寿命が来たときは、
取付ねじ２４を取り外し、キャピラリー１１をホルダ部
２０から上方に抜き取る。取付ねじ２４を取り外した
際、キャピラリー１１はフランジ２５によってホルダ部
２０に保持されているため、キャピラリー１１を手で保
持しておく必要はない。キャピラリー１１を取り外した
後、新しいキャピラリー１１を前述したようにしてホル
ダ部２０に取り付ける。キャピラリー１１の取り付けは
前述したように、専用の位置決め治具は必要とせず、か
つ、取付作業も容易である。つまり、キャピラリー１１
の交換作業はきわめて容易である。
耗したときや、キャピラリー１１の寿命が来たときは、
取付ねじ２４を取り外し、キャピラリー１１をホルダ部
２０から上方に抜き取る。取付ねじ２４を取り外した
際、キャピラリー１１はフランジ２５によってホルダ部
２０に保持されているため、キャピラリー１１を手で保
持しておく必要はない。キャピラリー１１を取り外した
後、新しいキャピラリー１１を前述したようにしてホル
ダ部２０に取り付ける。キャピラリー１１の取り付けは
前述したように、専用の位置決め治具は必要とせず、か
つ、取付作業も容易である。つまり、キャピラリー１１
の交換作業はきわめて容易である。
【００３０】前記実施形態によれば次の効果が得られ
る。 キャピラリーをボンディングアームのホルダ部に取
り付けるに際して、ホルダ部のキャピラリー取付孔に挿
入されたキャピラリーはフランジがホルダ部の上面に載
置された状態になるため、取付ねじをホルダ部のねじ孔
にトルクドライバで締め付けてキャピラリーをホルダ部
に固定するのに、キャピラリーを片方の手で保持してお
く必要がない。その結果、トルクドライバのねじ締め作
業を両手で行えるため、キャピラリーの取付作業を容易
に行える。キャピラリーをボンディングアームのホルダ
部から取り外す際も、取付時と同じように、取付ねじを
トルクドライバで取り外すのにキャピラリーを片方の手
で保持しておく必要がない。その結果、キャピラリーの
交換作業が容易に行える。
る。 キャピラリーをボンディングアームのホルダ部に取
り付けるに際して、ホルダ部のキャピラリー取付孔に挿
入されたキャピラリーはフランジがホルダ部の上面に載
置された状態になるため、取付ねじをホルダ部のねじ孔
にトルクドライバで締め付けてキャピラリーをホルダ部
に固定するのに、キャピラリーを片方の手で保持してお
く必要がない。その結果、トルクドライバのねじ締め作
業を両手で行えるため、キャピラリーの取付作業を容易
に行える。キャピラリーをボンディングアームのホルダ
部から取り外す際も、取付時と同じように、取付ねじを
トルクドライバで取り外すのにキャピラリーを片方の手
で保持しておく必要がない。その結果、キャピラリーの
交換作業が容易に行える。
【００３１】 キャピラリーをボンディングアームの
ホルダ部に取り付けるに際して、ホルダ部のキャピラリ
ー取付孔に挿入されたキャピラリーはフランジがホルダ
部の上面に載置され、キャピラリーの高さ位置と垂直度
が確保されるため、専用の位置決め治具を使用してキャ
ピラリーの位置決めを行う必要がない。その結果、専用
の位置決め治具を必要としないので、治具の用意や治具
のセットにかかる段取り時間がなくなり、治具の保管管
理も不要である。
ホルダ部に取り付けるに際して、ホルダ部のキャピラリ
ー取付孔に挿入されたキャピラリーはフランジがホルダ
部の上面に載置され、キャピラリーの高さ位置と垂直度
が確保されるため、専用の位置決め治具を使用してキャ
ピラリーの位置決めを行う必要がない。その結果、専用
の位置決め治具を必要としないので、治具の用意や治具
のセットにかかる段取り時間がなくなり、治具の保管管
理も不要である。
【００３２】図４は本発明の実施形態２を示す。本実施
形態２において、キャピラリー１１の上端部の外周に形
成されているガイド部材は、上記実施形態のようなフラ
ンジ形状ではなく、円周方向において等間隔を置いて半
径方向外側に突設された３個の突起２５Ａで形成されて
いる。他の構成は上記実施形態１と同じである。
形態２において、キャピラリー１１の上端部の外周に形
成されているガイド部材は、上記実施形態のようなフラ
ンジ形状ではなく、円周方向において等間隔を置いて半
径方向外側に突設された３個の突起２５Ａで形成されて
いる。他の構成は上記実施形態１と同じである。
【００３３】本実施形態２によれば、キャピラリー１１
が軽量になるため、慣性力が小さくなり、超音波振動が
付勢されるキャピラリー１１にとって好都合である。
が軽量になるため、慣性力が小さくなり、超音波振動が
付勢されるキャピラリー１１にとって好都合である。
【００３４】図４では３個の突起２５Ａを有するキャピ
ラリー１１が示されているが、突起２５Ａの数は３個に
限ることはなく、例えば、図５に示されているように、
円周方向に等間隔に４個の突起２５Ａを形成してもよ
い。
ラリー１１が示されているが、突起２５Ａの数は３個に
限ることはなく、例えば、図５に示されているように、
円周方向に等間隔に４個の突起２５Ａを形成してもよ
い。
【００３５】図６は本発明の実施形態３を示す。本実施
形態３において、キャピラリー１１は２つの構成部品か
ら構成されている。すなわち、フランジや突起を有して
いない従来の単なるストレートな棒形状のキャピラリー
１１ａ（以下、キャピラリー本体１１ａとする。）と、
その上端部に取り付けられたガイド部材形成用部材１１
ｂとから構成されている。
形態３において、キャピラリー１１は２つの構成部品か
ら構成されている。すなわち、フランジや突起を有して
いない従来の単なるストレートな棒形状のキャピラリー
１１ａ（以下、キャピラリー本体１１ａとする。）と、
その上端部に取り付けられたガイド部材形成用部材１１
ｂとから構成されている。
【００３６】ガイド部材形成用部材１１ｂは円盤状部材
の下端面にキャピラリー本体１１ａが嵌挿される環状凹
所２７を有しており、環状凹所２７の底面には貫通孔２
８が同心円に形成されている。また、環状凹所２７の開
口側の端面には環状凹所２７の周囲に沿って環状凹所２
７に接続する逃げ溝２９が段差的に環状に形成されてお
り、さらに、ねじ孔３０が外周面から環状凹所２７へ貫
通するように半径方向に形成されている。
の下端面にキャピラリー本体１１ａが嵌挿される環状凹
所２７を有しており、環状凹所２７の底面には貫通孔２
８が同心円に形成されている。また、環状凹所２７の開
口側の端面には環状凹所２７の周囲に沿って環状凹所２
７に接続する逃げ溝２９が段差的に環状に形成されてお
り、さらに、ねじ孔３０が外周面から環状凹所２７へ貫
通するように半径方向に形成されている。
【００３７】このガイド部材形成用部材１１ｂの環状凹
所２７にキャピラリー本体１１ａの上端部が嵌挿され、
ガイド部材形成用部材１１ｂに形成されているねじ孔３
０に止めねじ３１が螺着されて締め付けられることによ
って、キャピラリー本体１１ａがガイド部材形成用部材
１１ｂの環状凹所２７の内面に押し付けられて、キャピ
ラリー本体１１ａとガイド部材形成用部材１１ｂとは一
体的に固定され、キャピラリー１１の上端部の外周にガ
イド部材となるフランジ２５が形成されている前記実施
形態１におけるキャピラリー１１と同じ作用効果を備え
たキャピラリー１１が形成される。
所２７にキャピラリー本体１１ａの上端部が嵌挿され、
ガイド部材形成用部材１１ｂに形成されているねじ孔３
０に止めねじ３１が螺着されて締め付けられることによ
って、キャピラリー本体１１ａがガイド部材形成用部材
１１ｂの環状凹所２７の内面に押し付けられて、キャピ
ラリー本体１１ａとガイド部材形成用部材１１ｂとは一
体的に固定され、キャピラリー１１の上端部の外周にガ
イド部材となるフランジ２５が形成されている前記実施
形態１におけるキャピラリー１１と同じ作用効果を備え
たキャピラリー１１が形成される。
【００３８】本実施形態３においては、ガイド部材形成
用部材１１ｂは前記実施形態１で示したフランジ付きキ
ャピラリーよりも製造が容易であり、キャピラリー本体
１１ａは従来使用されている単なるストレートな棒形状
のキャピラリーを使用することができるため、キャピラ
リーの製造が容易である。
用部材１１ｂは前記実施形態１で示したフランジ付きキ
ャピラリーよりも製造が容易であり、キャピラリー本体
１１ａは従来使用されている単なるストレートな棒形状
のキャピラリーを使用することができるため、キャピラ
リーの製造が容易である。
【００３９】なお、本実施形態３では、図３に対応する
キャピラリーを２つの構成部品から形成したものを示し
たが、図４や図５に示すようなキャピラリーについても
同様に２つの構成部品から形成することができることは
いうまでもない。
キャピラリーを２つの構成部品から形成したものを示し
たが、図４や図５に示すようなキャピラリーについても
同様に２つの構成部品から形成することができることは
いうまでもない。
【００４０】図７は本発明の実施形態４を示す。本実施
形態４におけるキャピラリー１１は、前述した実施形態
におけるようなガイド部材となるフランジ２５や突起２
５Ａを有する代わりに、キャピラリー１１の外面が下方
に向かって小さくなるテーパ形状に形成されており、こ
の外周のテーパ面３２がガイド面を形成している。そし
て、ホルダ部２０のキャピラリー取付孔２１Ａもキャピ
ラリー１１のテーパ面３２に対応するテーパ孔に形成さ
れている。
形態４におけるキャピラリー１１は、前述した実施形態
におけるようなガイド部材となるフランジ２５や突起２
５Ａを有する代わりに、キャピラリー１１の外面が下方
に向かって小さくなるテーパ形状に形成されており、こ
の外周のテーパ面３２がガイド面を形成している。そし
て、ホルダ部２０のキャピラリー取付孔２１Ａもキャピ
ラリー１１のテーパ面３２に対応するテーパ孔に形成さ
れている。
【００４１】このキャピラリー１１はホルダ部２０のキ
ャピラリー取付孔２１Ａに挿入されれば、キャピラリー
１１のテーパ面３２がキャピラリー取付孔２１Ａに係止
され、キャピラリー１１の高さ位置と垂直度が確保され
るようになっている。
ャピラリー取付孔２１Ａに挿入されれば、キャピラリー
１１のテーパ面３２がキャピラリー取付孔２１Ａに係止
され、キャピラリー１１の高さ位置と垂直度が確保され
るようになっている。
【００４２】なお、本実施形態４において、ホルダ部２
０のキャピラリー取付孔２１Ａは、キャピラリー１１の
テーパ面３２に対応するテーパ孔とせずに、従来通り、
円形孔のままとすることもできる。
０のキャピラリー取付孔２１Ａは、キャピラリー１１の
テーパ面３２に対応するテーパ孔とせずに、従来通り、
円形孔のままとすることもできる。
【００４３】以上本発明者によってなされた発明を実施
形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施形
態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範
囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施形
態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範
囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【００４４】前記実施形態は、超音波熱圧着式ワイヤボ
ンディング装置（ネイルヘッドボンディング装置）につ
いて説明したが、本発明は熱圧着式ワイヤボンディング
装置やウエッジ式ワイヤボンディング装置に対しても適
用することができる。
ンディング装置（ネイルヘッドボンディング装置）につ
いて説明したが、本発明は熱圧着式ワイヤボンディング
装置やウエッジ式ワイヤボンディング装置に対しても適
用することができる。
【００４５】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次
の通りである。
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次
の通りである。
【００４６】ボンディングアームの先端のホルダ部に形
成されている取付孔に、キャピラリーが挿入されて所定
高さ位置に固定的に支持されているワイヤボンディング
装置において、前記ホルダ部の取付孔に挿入されたキャ
ピラリーが、前記ホルダ部に所定の高さ位置で保持され
るガイド手段を有していることにより、従来使用されて
いたキャピラリーの位置決め治具を廃止することができ
る。また、キャピラリーがホルダ部にガイド手段によっ
て保持されるため、キャピラリーをホルダ部に着脱する
際の作業を簡単化することができる。
成されている取付孔に、キャピラリーが挿入されて所定
高さ位置に固定的に支持されているワイヤボンディング
装置において、前記ホルダ部の取付孔に挿入されたキャ
ピラリーが、前記ホルダ部に所定の高さ位置で保持され
るガイド手段を有していることにより、従来使用されて
いたキャピラリーの位置決め治具を廃止することができ
る。また、キャピラリーがホルダ部にガイド手段によっ
て保持されるため、キャピラリーをホルダ部に着脱する
際の作業を簡単化することができる。
【図１】本発明の一実施形態であるワイヤボンディング
装置を示す一部省略一部切断正面図である。
装置を示す一部省略一部切断正面図である。
【図２】そのホルダ部を示し、（ａ）は斜視図、（ｂ）
は横断面図である。
は横断面図である。
【図３】ホルダ部に取り付けられたキャピラリーを示
し、（ａ）は平面図、（ｂ）は縦断面図である。
し、（ａ）は平面図、（ｂ）は縦断面図である。
【図４】本発明の実施形態２を示し、（ａ）はホルダ部
に取り付けられたキャピラリーの平面図、（ｂ）は同縦
断面図である。
に取り付けられたキャピラリーの平面図、（ｂ）は同縦
断面図である。
【図５】本発明の実施形態２の変形例を示し、（ａ）は
ホルダ部に取り付けられたキャピラリーの平面図、
（ｂ）は同縦断面図である。
ホルダ部に取り付けられたキャピラリーの平面図、
（ｂ）は同縦断面図である。
【図６】本発明の実施形態３を示し、（ａ）はホルダ部
に取り付けられたキャピラリーの平面図、（ｂ）は同縦
断面図である。
に取り付けられたキャピラリーの平面図、（ｂ）は同縦
断面図である。
【図７】本発明の実施形態４を示し、（ａ）はホルダ部
に取り付けられたキャピラリーの平面図、（ｂ）は同縦
断面図である。
に取り付けられたキャピラリーの平面図、（ｂ）は同縦
断面図である。
１…半導体装置、２…ペレット、３…リードフレーム、
４…リード、５…ワイヤ、５ａ…ボール、６…フィー
ダ、７…ヒートブロック、８…ＸＹテーブル、９…ボン
ディングヘッド、１０…ボンディングアーム、１１…キ
ャピラリー（ボンディングツール）、１１ａ…キャピラ
リー本体、１１ｂ…ガイド部材形成用部材（ガイド手
段）、１２…コントローラ、１３…超音波発振装置（振
動発生装置）、１４…クランパ、１４ａ、１４ｂ…クラ
ンパアーム、１５…ガイド、１６…ワイヤ挿通孔、１７
…放電電極、１８…電源回路、１９…リードフレーム押
さえ具、２０…ホルダ部、２０ａ…折り曲げ片部、２０
ｂ…対向片部、２１、２１Ａ…キャピラリー取付孔、２
２…貫通孔、２３…ねじ孔、２４…取付ねじ、２５…フ
ランジ（ガイド手段）、２５Ａ…突起（ガイド手段）、
２６…逃げ溝、２７…環状凹所、２８…貫通孔、２９…
逃げ溝、３０…ねじ孔、３１…止めねじ、３２…テーパ
面（ガイド手段）。
４…リード、５…ワイヤ、５ａ…ボール、６…フィー
ダ、７…ヒートブロック、８…ＸＹテーブル、９…ボン
ディングヘッド、１０…ボンディングアーム、１１…キ
ャピラリー（ボンディングツール）、１１ａ…キャピラ
リー本体、１１ｂ…ガイド部材形成用部材（ガイド手
段）、１２…コントローラ、１３…超音波発振装置（振
動発生装置）、１４…クランパ、１４ａ、１４ｂ…クラ
ンパアーム、１５…ガイド、１６…ワイヤ挿通孔、１７
…放電電極、１８…電源回路、１９…リードフレーム押
さえ具、２０…ホルダ部、２０ａ…折り曲げ片部、２０
ｂ…対向片部、２１、２１Ａ…キャピラリー取付孔、２
２…貫通孔、２３…ねじ孔、２４…取付ねじ、２５…フ
ランジ（ガイド手段）、２５Ａ…突起（ガイド手段）、
２６…逃げ溝、２７…環状凹所、２８…貫通孔、２９…
逃げ溝、３０…ねじ孔、３１…止めねじ、３２…テーパ
面（ガイド手段）。
Claims (3)
- 【請求項１】 ボンディングアームの先端のホルダ部に
形成されている取付孔に、キャピラリーが挿入されて所
定高さ位置に固定的に支持されているワイヤボンディン
グ装置において、 前記ホルダ部の取付孔に挿入されたキャピラリーが、前
記ホルダ部に所定の高さ位置で保持されるガイド手段を
有していることを特徴とするワイヤボンディング装置。 - 【請求項２】 前記ガイド手段が、キャピラリーの上端
部の外周に半径方向外側に突設されているガイド部材
と、そのガイド部材の付け根部の下面に形成されている
逃げ溝とから形成されていることを特徴とする請求項１
記載のワイヤボンディング装置。 - 【請求項３】 前記ガイド手段が、キャピラリーの外面
に形成されたテーパ面によって構成されていることを特
徴とする請求項１記載のワイヤボンディング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33797495A JPH09162222A (ja) | 1995-12-01 | 1995-12-01 | ワイヤボンディング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33797495A JPH09162222A (ja) | 1995-12-01 | 1995-12-01 | ワイヤボンディング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09162222A true JPH09162222A (ja) | 1997-06-20 |
Family
ID=18313755
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33797495A Pending JPH09162222A (ja) | 1995-12-01 | 1995-12-01 | ワイヤボンディング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09162222A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010005427A1 (en) * | 2008-07-08 | 2010-01-14 | Kulicke And Soffa Industries, Inc. | Wire bonding tool with improved transducer interface |
| JP2011040780A (ja) * | 2003-08-21 | 2011-02-24 | Hesse & Knipps Gmbh | ボンディングヘッドエレメントの位置合わせ方法及び超音波ボンダー |
-
1995
- 1995-12-01 JP JP33797495A patent/JPH09162222A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011040780A (ja) * | 2003-08-21 | 2011-02-24 | Hesse & Knipps Gmbh | ボンディングヘッドエレメントの位置合わせ方法及び超音波ボンダー |
| WO2010005427A1 (en) * | 2008-07-08 | 2010-01-14 | Kulicke And Soffa Industries, Inc. | Wire bonding tool with improved transducer interface |
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