JP2007335887A - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体基板100上に素子隔離膜を形成する段階と、ゲート電極を形成する段階と、ゲート電極両側の半導体基板内にソース/ドレーン領域116を形成する段階と、第1絶縁膜118を形成する段階と、第1絶縁膜上から第1絶縁膜を貫通してソース/ドレーン領域116と電気的に連結されるキャパシタ120を形成する段階と、キャパシタを含んで第1絶縁膜上に第2絶縁膜122aを形成する段階と、第2絶縁膜とハンドルウェーハを接合する段階と、素子隔離膜の下部表面が露出される時まで半導体基板の二つの表面の中他の一つの表面を平坦化−研磨する段階と、第3絶縁膜128aを形成する段階と、第3絶縁膜上から第3絶縁膜を貫通してソ−ス/ドレーン間の半導体基板と電気的に接続されるように導電膜126を形成する段階とを含むことを特徴とする。
【選択図】図5
Description
以下、図2乃至図4、図5、そして図7乃至図8を参照して本発明の第1実施の形態を詳細に説明する。図2乃至図4は、本発明の実施の形態によるSOI構造を有するDRAM装置の製造方法を順次に示す断面図である。
以下、図2乃至図3、図6、そして図8を参照して本発明の第2実施の形態を詳細に説明する。図2乃至図3は、本発明の実施の形態によるSOI構造を有するDRAM装置の製造方法を順次に示す断面図である。先ず、図2乃至図3を参照すると、半導体基板100をハンドルウェーハ124に接合して半導体基板100を研磨する工程までは第1実施の形態で叙述したようなので略する。
114a,114b ワードライン
116 ソース/ドレーン領域
118 第1絶縁膜
122a 第2絶縁膜
128a,128c 第3絶縁膜
128b,128d 第4絶縁膜
132 第5絶縁膜
120 キャパシタ
124 ハンドルウェーハ
126a,126b 導電膜
130 ビットライン
134a,134b 金属ライン
Claims (18)
- 前面及び後面を有する半導体基板に、活性領域を限定する素子隔離膜パターンを形成する段階と、
前記半導体基板の前面上に、前記活性領域を横切るゲート電極を形成する段階と、
前記ゲート電極両側の活性領域にソース/ドレーン領域を形成する段階と、
前記半導体基板の前面上に、前記ソース領域に接続するキャパシタを形成する段階と、
前記キャパシタが形成された半導体基板の後面を研磨して前記ソース/ドレーン領域を露出させる段階と、
前記半導体基板の研磨された後面上に、前記ゲート電極と実質的に同一な平面的位置及び模様を有しつつ前記ソース/ドレーン領域の間の半導体基板に接続する導電膜を形成する段階と、
前記導電膜を形成された半導体基板の後面上に、前記導電膜の上部に配置されて前記ドレーン領域に接続するビットラインを形成する段階とを含む半導体装置の製造方法。 - 前記活性領域は前記半導体基板に2次元的に配列され、前記ゲート電極及び導電膜は、それぞれ、前記半導体基板の前面及び後面で複数個の活性領域を連続的に横切ることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記活性領域は実質的に楕円形に形成されることにより、前記ゲート電極及び導電膜の進行方向に突き出される突出部を有しないことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ゲート電極を形成する前に、前記活性領域の上部面を覆うゲート絶縁膜を形成する段階と、
前記導電膜を形成する前に、前記半導体基板の研磨された後面を覆う後面絶縁膜を形成する段階をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記導電膜は前記ゲート電極の下で前記後面絶縁膜を貫通して前記ソース/ドレーン領域の間の半導体基板に接続するように形成され、
前記ビットラインは前記後面絶縁膜を貫通して前記ドレーン領域に接続することを特徴とする請求項4に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記ゲート電極は多結晶シリコン、タングステンシリサイド、タングステン及びメタルの中から選択される少なくとも一つで形成され、
前記導電膜は多結晶シリコン、タングステンシリサイド、タングステン及びメタルの中から選択される少なくとも一つで形成されることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前面及び後面を有する半導体基板に、活性領域を限定する素子隔離膜パターンを形成する段階と、
前記半導体基板の前面上に前記活性領域を横切る第1ゲート電極を形成する段階と、
前記第1ゲート電極両側の活性領域にソース/ドレーン領域を形成する段階と、
前記半導体基板の前面上に、前記ソース領域に接続するキャパシタを形成する段階と、
前記キャパシタが形成された半導体基板の後面を研磨して前記ソース/ドレーン領域を露出させる段階と、
前記半導体基板の研磨された後面上に、前記第1ゲート電極と実質的に同一な平面的位置及び模様を有する第2ゲート電極を形成する段階と、
前記導電膜を形成された半導体基板の後面上に、前記第2ゲート電極を横切りつつ、前記ドレーン領域に接続するビットラインを形成する段階とを含む半導体装置の製造方法。 - 前記活性領域は前記半導体基板に2次元的に配列され、前記第1及び第2ゲート電極それぞれは、前記半導体基板の前面及び後面で複数個の活性領域を連続的に横切ることを特徴とする請求項7に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記活性領域は実質的に楕円形に形成されることにより、前記第1及び第2ゲート電極の進行方向に突き出される突出部を有しないことを特徴とする請求項7に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1ゲート電極を形成する前に、前記活性領域の上部面を覆うゲート絶縁膜を形成する段階と、
前記第2ゲート電極を形成する前に、前記半導体基板の研磨された後面を覆う後面絶縁膜を形成する段階をさらに含むことを特徴とする請求項7に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第2ゲート電極は前記ソース/ドレーン領域の間の半導体基板の電位を制御するバックゲート電極で使用され、
前記ビットラインは前記後面絶縁膜を貫通して前記ドレーン領域に接続することを特徴とする請求項10に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第1ゲート電極は多結晶シリコン、タングステンシリサイド、タングステン及びメタルの中から選択される少なくとも一つで形成され、
前記第2ゲート電極は多結晶シリコン、タングステンシリサイド、タングステン及びメタルの中から選択される少なくとも一つで形成されることを特徴とする請求項7に記載の半導体装置の製造方法。 - 前面及び後面を有する半導体基板に形成されつつ、ソース/ドレーン領域を備える活性領域と、
前記半導体基板の前面に配置され、前記活性領域を横切るゲート電極と、
前記半導体基板の後面に配置され、前記ソース/ドレーン領域の間の半導体基板に接続しつつ前記活性領域を横切る導電膜と、
前記半導体基板の前面に配置され、前記ソース領域に接続するキャパシタと、
前記半導体基板の後面に配置され、前記導電膜を貫通しつつ、前記ドレーン領域に接続するビットラインとを備えるが、
前記ゲート電極及び前記導電膜は実質的に同一な平面的位置及び模様を有することを特徴とする半導体装置。 - 前記活性領域は前記半導体基板に2次元的に配列され、前記ゲート電極及び導電膜は、それぞれ、前記半導体基板の前面及び後面で複数個の活性領域を連続的に横切ることを特徴とする請求項13に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記活性領域は実質的に楕円形に形成されることにより、前記ゲート電極及び導電膜の進行方向に突き出される突出部を有しないことを特徴とする請求項13に記載の半導体装置の製造方法。
- 前面及び後面を有する半導体基板に形成されつつ、ソース/ドレーン領域を備える活性領域と、
前記半導体基板の前面に配置され、前記活性領域を横切る第1ゲート電極と、
前記半導体基板の後面に配置され、前記活性領域を横切る第2ゲート電極と、
前記半導体基板の前面に配置され、前記ソース領域に接続するキャパシタと、
前記半導体基板の後面に配置され、前記第2ゲート電極を貫通しつつ、前記ドレーン領域に接続するビットラインとを備えるが、
前記第1及び第2ゲート電極は実質的に同一な平面的位置及び模様を有することを特徴とする半導体装置。 - 前記活性領域は前記半導体基板に2次元的に配列される活性領域を含み、前記第1及び第2ゲート電極それぞれは、前記半導体基板の前面及び後面で複数個の活性領域を連続的に横切ることを特徴とする請求項16に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記活性領域は実質的に楕円形に形成されることにより、前記第1及び第2ゲート電極の進行方向に突き出される突出部を有しないことを特徴とする請求項16に記載の半導体装置の製造方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019204966A (ja) * | 2010-05-21 | 2019-11-28 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100537552B1 (ko) * | 2000-07-31 | 2005-12-16 | 매그나칩 반도체 유한회사 | 반도체 소자 및 그의 제조 방법 |
US6465331B1 (en) * | 2000-08-31 | 2002-10-15 | Micron Technology, Inc. | DRAM fabricated on a silicon-on-insulator (SOI) substrate having bi-level digit lines |
DE10065669A1 (de) * | 2000-12-29 | 2002-07-11 | Infineon Technologies Ag | Verfahren zur Herstellung einer integrierten Halbleiterspeicheranordnung |
US6972448B2 (en) * | 2000-12-31 | 2005-12-06 | Texas Instruments Incorporated | Sub-lithographics opening for back contact or back gate |
FR2830124B1 (fr) * | 2001-09-26 | 2005-03-04 | St Microelectronics Sa | Memoire vive |
US7608927B2 (en) * | 2002-08-29 | 2009-10-27 | Micron Technology, Inc. | Localized biasing for silicon on insulator structures |
JP2004111826A (ja) * | 2002-09-20 | 2004-04-08 | Renesas Technology Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
US7710771B2 (en) * | 2002-11-20 | 2010-05-04 | The Regents Of The University Of California | Method and apparatus for capacitorless double-gate storage |
GB0229191D0 (en) | 2002-12-14 | 2003-01-22 | Plastic Logic Ltd | Embossing of polymer devices |
JP4319078B2 (ja) * | 2004-03-26 | 2009-08-26 | シャープ株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
KR100674952B1 (ko) * | 2005-02-05 | 2007-01-26 | 삼성전자주식회사 | 3차원 플래쉬 메모리 소자 및 그 제조방법 |
US7709313B2 (en) * | 2005-07-19 | 2010-05-04 | International Business Machines Corporation | High performance capacitors in planar back gates CMOS |
TWI708329B (zh) | 2017-03-20 | 2020-10-21 | 聯華電子股份有限公司 | 記憶體元件及其製作方法 |
US11205616B2 (en) | 2017-06-20 | 2021-12-21 | Intel Corporation | Internal node jumper for memory bit cells |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0621386A (ja) * | 1992-07-06 | 1994-01-28 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体記憶装置 |
JPH07321332A (ja) * | 1994-05-21 | 1995-12-08 | Sony Corp | Mis型半導体装置及びその製造方法 |
JPH0955484A (ja) * | 1995-06-05 | 1997-02-25 | Fujitsu Ltd | 半導体記憶装置及びその製造方法 |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63308386A (ja) * | 1987-01-30 | 1988-12-15 | Sony Corp | 半導体装置とその製造方法 |
JPS63219154A (ja) * | 1987-03-06 | 1988-09-12 | Nec Corp | 半導体装置 |
US5316962A (en) * | 1989-08-15 | 1994-05-31 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of producing a semiconductor device having trench capacitors and vertical switching transistors |
US5306942A (en) * | 1989-10-11 | 1994-04-26 | Nippondenso Co., Ltd. | Semiconductor device having a shield which is maintained at a reference potential |
US5420048A (en) * | 1991-01-09 | 1995-05-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Manufacturing method for SOI-type thin film transistor |
JPH06104410A (ja) * | 1991-10-31 | 1994-04-15 | Sony Corp | Soi構造の形成方法 |
EP0537677B1 (en) * | 1991-10-16 | 1998-08-19 | Sony Corporation | Method of forming an SOI structure with a DRAM |
DE69232432T2 (de) * | 1991-11-20 | 2002-07-18 | Canon Kk | Verfahren zur Herstellung einer Halbleiteranordnung |
JPH05243521A (ja) * | 1992-03-02 | 1993-09-21 | Fujitsu Ltd | 半導体メモリ装置 |
JPH0834261B2 (ja) * | 1992-06-17 | 1996-03-29 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション | Bicmos集積回路用のsoi構造体およびその製造方法 |
JPH06252400A (ja) * | 1992-12-28 | 1994-09-09 | Sony Corp | 横型絶縁ゲート型電界効果トランジスタの製法 |
US6004865A (en) * | 1993-09-06 | 1999-12-21 | Hitachi, Ltd. | Method of fabricating multi-layered structure having single crystalline semiconductor film formed on insulator |
JP3488730B2 (ja) * | 1993-11-05 | 2004-01-19 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体集積回路装置 |
US5446299A (en) * | 1994-04-29 | 1995-08-29 | International Business Machines Corporation | Semiconductor random access memory cell on silicon-on-insulator with dual control gates |
US5559368A (en) * | 1994-08-30 | 1996-09-24 | The Regents Of The University Of California | Dynamic threshold voltage mosfet having gate to body connection for ultra-low voltage operation |
JPH08181316A (ja) * | 1994-12-22 | 1996-07-12 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
US5753947A (en) * | 1995-01-20 | 1998-05-19 | Micron Technology, Inc. | Very high-density DRAM cell structure and method for fabricating it |
US5776789A (en) * | 1995-06-05 | 1998-07-07 | Fujitsu Limited | Method for fabricating a semiconductor memory device |
GB2321336B (en) * | 1997-01-15 | 2001-07-25 | Univ Warwick | Gas-sensing semiconductor devices |
US6043535A (en) * | 1997-08-29 | 2000-03-28 | Texas Instruments Incorporated | Self-aligned implant under transistor gate |
KR100281109B1 (ko) * | 1997-12-15 | 2001-03-02 | 김영환 | 에스오아이(soi)소자및그의제조방법 |
JP3699823B2 (ja) * | 1998-05-19 | 2005-09-28 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
US6100567A (en) * | 1998-06-11 | 2000-08-08 | Sun Microsystems, Inc. | Tunable threshold SOI device using back gate and intrinsic channel region |
-
1998
- 1998-05-27 KR KR1019980019164A patent/KR100267013B1/ko not_active IP Right Cessation
-
1999
- 1999-04-03 TW TW088105357A patent/TW413943B/zh not_active IP Right Cessation
- 1999-04-26 GB GB9909584A patent/GB2337851B/en not_active Expired - Fee Related
- 1999-05-21 DE DE19923388A patent/DE19923388B4/de not_active Expired - Fee Related
- 1999-05-26 FR FR9906620A patent/FR2779273B1/fr not_active Expired - Fee Related
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- 1999-05-26 US US09/320,214 patent/US6294806B1/en not_active Expired - Lifetime
-
2001
- 2001-08-23 US US09/934,761 patent/US6458638B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2007
- 2007-07-31 JP JP2007199746A patent/JP2007335887A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0621386A (ja) * | 1992-07-06 | 1994-01-28 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体記憶装置 |
JPH07321332A (ja) * | 1994-05-21 | 1995-12-08 | Sony Corp | Mis型半導体装置及びその製造方法 |
JPH0955484A (ja) * | 1995-06-05 | 1997-02-25 | Fujitsu Ltd | 半導体記憶装置及びその製造方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019204966A (ja) * | 2010-05-21 | 2019-11-28 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE19923388A1 (de) | 1999-12-02 |
GB2337851A (en) | 1999-12-01 |
FR2779273A1 (fr) | 1999-12-03 |
FR2779273B1 (fr) | 2005-04-29 |
GB2337851B (en) | 2000-08-23 |
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KR19990086261A (ko) | 1999-12-15 |
US6294806B1 (en) | 2001-09-25 |
KR100267013B1 (ko) | 2000-09-15 |
TW413943B (en) | 2000-12-01 |
US6458638B2 (en) | 2002-10-01 |
JPH11354756A (ja) | 1999-12-24 |
GB9909584D0 (en) | 1999-06-23 |
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