JP2007309679A - 画像検査方法およびその方法を用いた画像検査装置 - Google Patents
画像検査方法およびその方法を用いた画像検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007309679A JP2007309679A JP2006136507A JP2006136507A JP2007309679A JP 2007309679 A JP2007309679 A JP 2007309679A JP 2006136507 A JP2006136507 A JP 2006136507A JP 2006136507 A JP2006136507 A JP 2006136507A JP 2007309679 A JP2007309679 A JP 2007309679A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- inspection
- transmission
- binarized
- feature amount
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/0002—Inspection of images, e.g. flaw detection
- G06T7/0004—Industrial image inspection
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
- G06T2207/30—Subject of image; Context of image processing
- G06T2207/30108—Industrial image inspection
- G06T2207/30148—Semiconductor; IC; Wafer
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Quality & Reliability (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Image Analysis (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Strength Of Materials By Application Of Mechanical Stress (AREA)
- Eye Examination Apparatus (AREA)
Abstract
【解決手段】透過画像を得る第1ステップと、前記透過画像に2次微分フィルタを適用し、2次微分フィルタ画像として輝度変化の大きい部分を強調させる第2ステップと、前記2次微分フィルタ画像を所定のしきい値で2値化し、記憶させる第3ステップと、前記透過画像を別の所定のしきい値で2値化し、記憶させる第4ステップと、前記第3ステップで記憶された2値化した画像及び前記第4ステップで記憶された2値化した画像に対して2値特徴量計測を行う第5ステップと、前記2値特徴量から、被検査物2の良否判定を行う第6ステップとを備えた構成とする。
【選択図】図1
Description
以下、この発明の実施の形態1を図にもとづいて説明する。図1は、実施の形態1による画像検査方法を示すフローチャート、図2は、図1に示す画像検査方法を用いた画像検査装置の構成を示す概略図、図3は、図1において検査の実行途中の中間的な画像を併記したフローチャートである。
図2の構成では画像メモリ5への入力は撮像手段4からの入力になっているが、例えばあらかじめ撮像済みの画像データファイルをメディアから読み取って画像メモリ5に入力してもよい。
また画像S1_IMG1〜S1_IMG3には貫通クラックと微細クラックという2種類の欠陥が写し出されている。画像右上の細長く白抜けしたところが貫通クラックAであり、薄板の表裏が貫通して割れているため、照明光が直接撮像手段4に入射し、撮像手段4では明るく写るという欠陥である。
f''(x,y) = f'(x,y) − f'(x-1,y)
= (f(x+1,y) − f(x,y) ) − ( f(x,y) − f(x-1,y) )
= f(x+1,y) + f(x-1,y) − 2 f(x,y) (式2)
f''(x,y) = f(x+1,y) + f(x-1,y) + f(x,y+1) + f(x,y-1) − 4f(x,y) (式3)
となる。さらにX,Y方向以外に斜め45度方向も考慮すると、
+ f(x,y+1) + f(x, y-1)
+ f(x-1,y+1) + f(x-1,y) + f(x-1, y-1)
− 8f(x,y) (式4)
となる。2次微分フィルタを適用することは、画像の輝度f(x,y)を(式2)または(式3)または(式4)のf''(x,y)で置き換えて新しい画像を生成することを意味する。
画像の輝度 ≧ Th11 → 最低輝度 黒 に変換
Th11 > 画像の輝度 > Th12 → 最高輝度 白 に変換
画像の輝度 ≦ Th12 → 最低輝度 黒 に変換
としてもよい。2次微分画像においては、極端に明るい部分も欠陥を表していると考えて差し支えないためである。
Th21 > 画像の輝度 > Th22 → 最高輝度 白 に変換
画像の輝度 ≦ Th22 → 最低輝度 黒 に変換
とすればよい。
次に、この発明の実施の形態2について説明する。実施の形態1では、ステップS2の2次微分フィルタとして一般的なものを用い、2次微分は画像の輝度の差分で計算しており、その差分のX,Y距離は1画素であったが、実施の形態2では、この差分距離を1画素に限らず任意の値に拡張するものである。例えば、X,Y方向以外に斜め45度方向も考慮した場合には、
+ f(x,y+h) + f(x, y-h)
+ f(x-h,y+h) + f(x-h,y) + f(x-h, y-h)
- 8f(x,y) }/ (h×h) (式5)
となる。ここでhは差分距離であり、h=1,2,3などの整数値をとるものとする。
即ち、hを0<h≦1とする。hは小数となるため、画像の輝度を補間して画像の輝度
f(x+h,y+h)を計算する。図4に示すように、座標(x+h, y+h)の画素は、破線で示すように隣接する4画素(破線で示す正方形が1画素を示す)に対して面積の配分が、h2,h(1−h),h(1−h),(1−h) 2となっている。この事実を用いて、座標(x+h, y+h)の輝度f(x+h, y+h)を次式で定義する。
+ f(x,y+1) ×h(1−h) + f(x+1,y+1)×(1−h) 2 (式6)
次に、この発明の実施の形態3について説明する。実施の形態1では、被検査物2の厚さの変動が大きい場合はステップS11において画像の輝度を正規化し、暗い画像や明るい画像を適正な明るさの画像S11_IMG1に変換する必要があると述べたが、S1_IMG1〜S1_IMG3のように被検査物2の厚さによって画像の輝度の変化が大き過ぎると、以降のステップで検出処理を実行しても安定した検査結果は期待できない。
画像S1_IMG2の平均輝度がA2であったとすると、この画像S1_IMG2の輝度を正規化する場合は、正規化に関する変換式を次のように定める。
ここで、Yは正規化後の輝度、Xは正規化前の輝度、Eは前もって定めた変換オフセット値、Kは変換ゲインである。
A1 = K・A2 + E → K = (A1−E) / A2 (式8)
最初の式は、平均輝度A2が平均輝度A1に変換されるようにするための制約である。
次に、この発明の実施の形態4について説明する。実施の形態1では、必要に応じてステップS12を適用することについて述べたが、このステップが実施の形態4を構成する。ステップS12では、平均値フィルタや最小値フィルタを適用することにより、画像全体のノイズを軽減したり、欠陥、例えば微細クラックBを強調させるものである。
次に、この発明の実施の形態5について説明する。実施の形態1では、必要に応じてステップS7の検査領域計算および検査が不要な領域のマスキング(検査除外処理)を実施することについて述べたが、実施の形態5はその機能を実行させるものである。
被検査物2の端面が求まれば、それより外を検査除外領域、それより内を検査領域と判定することはたやすく、これらの処理を自動化するのも容易である。
Claims (6)
- 被検査物を透過照明手段で照明し、前記被検査物を透過した照明光を透過画像として撮像手段で撮像して前記被検査物の検査を行う画像検査方法において、
前記透過画像を撮像する第1ステップと、
前記透過画像に2次微分フィルタを適用し、2次微分フィルタ画像に変換する第2ステップと、
前記2次微分フィルタ画像を所定のしきい値で2値化し、第1の2値化画像に変換する第3ステップと、
前記透過画像を別の所定のしきい値で2値化し、第2の2値化画像に変換する第4ステップと、
前記第1の2値化画像および前記第2の2値化画像に対して2値特徴量計測を行い、2値特徴量を算出する第5ステップと、
前記2値特徴量から、前記被検査物の良否判定を行う第6ステップとを備えたことを特徴とする画像検査方法。 - 前記第2ステップにおいて、差分距離を可変にして2次微分値を計算することを特徴とする請求項1記載の画像検査方法。
- 前記第1ステップの後に、前記透過画像の平均輝度を用いて輝度を正規化する輝度変換を行うステップを追加したことを特徴とする請求項1または請求項2記載の画像検査方法。
- 前記第1ステップの後に、最小値フィルタまたは平均値フィルタあるいはその両方のフィルタを用いて前記透過画像の輝度変換を行うステップを追加したことを特徴とする請求項1または請求項2記載の画像検査方法。
- 前記第5ステップの前に、前記透過画像を用いて、前記被検査物の検査領域を計算し、第5ステップにおいて、前記検査領域以外の領域では2値特徴量計測をしないことを特徴とする請求項1または請求項2記載の画像検査方法。
- 被検査物を透過照明手段で照明し、前記被検査物を透過した照明光を透過画像として撮像手段で撮像して前記被検査物の検査を行う画像検査装置であって、
前記透過画像を格納する画像メモリと、
前記透過画像に2次微分フィルタを適用して2次微分フィルタ画像に変換し、前記2次微分フィルタ画像を所定のしきい値で2値化して第1の2値化画像に変換し、前記透過画像を別の所定のしきい値で2値化して第2の2値化画像に変換し、前記第1の2値化画像および前記第2の2値化画像に対して2値特徴量計測を行って2値特徴量を算出する画像処理手段と、
前記2値特徴量から、前記被検査物の良否判定を行う判定手段とを備えたことを特徴とする画像検査装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006136507A JP4707605B2 (ja) | 2006-05-16 | 2006-05-16 | 画像検査方法およびその方法を用いた画像検査装置 |
NO20072103A NO341245B1 (no) | 2006-05-16 | 2007-04-23 | Bildeinspeksjon |
EP07009409.9A EP1857977B1 (en) | 2006-05-16 | 2007-05-10 | Image inspection method and image inspection apparatus employing the same |
US11/798,477 US7965883B2 (en) | 2006-05-16 | 2007-05-14 | Image inspection method and image inspection apparatus employing the same |
CN200710103294A CN100588957C (zh) | 2006-05-16 | 2007-05-15 | 图像检查方法以及使用了该方法的图像检查装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006136507A JP4707605B2 (ja) | 2006-05-16 | 2006-05-16 | 画像検査方法およびその方法を用いた画像検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007309679A true JP2007309679A (ja) | 2007-11-29 |
JP4707605B2 JP4707605B2 (ja) | 2011-06-22 |
Family
ID=38474111
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006136507A Active JP4707605B2 (ja) | 2006-05-16 | 2006-05-16 | 画像検査方法およびその方法を用いた画像検査装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7965883B2 (ja) |
EP (1) | EP1857977B1 (ja) |
JP (1) | JP4707605B2 (ja) |
CN (1) | CN100588957C (ja) |
NO (1) | NO341245B1 (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009294189A (ja) * | 2008-06-09 | 2009-12-17 | Jfe Steel Corp | プレス部品の欠陥検出方法 |
JP2010054377A (ja) * | 2008-08-28 | 2010-03-11 | Ccs Inc | 赤外線検査装置 |
JP2011052967A (ja) * | 2009-08-31 | 2011-03-17 | Rayresearch Corp | シリコンウエハー検査装置 |
JP2011089795A (ja) * | 2009-10-20 | 2011-05-06 | Nyuurii Kk | グラビアシリンダ検査装置 |
JP2014041956A (ja) * | 2012-08-23 | 2014-03-06 | Tokyo Electron Ltd | 検査装置、接合システム、検査方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
JP2014077685A (ja) * | 2012-10-10 | 2014-05-01 | Ntn Corp | パターン欠陥検出装置およびパターン欠陥検出方法 |
JP2016075517A (ja) * | 2014-10-03 | 2016-05-12 | Jfeテクノリサーチ株式会社 | 透視歪の測定装置および透視歪の測定方法 |
JP2020041799A (ja) * | 2017-05-09 | 2020-03-19 | 株式会社シーパーツ | タイヤ劣化評価システムとその方法及びそのプログラム |
CN111523368A (zh) * | 2019-02-01 | 2020-08-11 | 丰田自动车株式会社 | 信息处理装置、服务器以及交通管理系统 |
JP2022019770A (ja) * | 2016-02-24 | 2022-01-27 | ケーエルエー コーポレイション | 光学的計測ツールを備える装置及び方法 |
Families Citing this family (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4859713B2 (ja) * | 2007-03-08 | 2012-01-25 | トヨタ自動車株式会社 | 非金属介在物数の測定方法 |
US11010841B2 (en) | 2008-10-02 | 2021-05-18 | Ecoatm, Llc | Kiosk for recycling electronic devices |
US10853873B2 (en) | 2008-10-02 | 2020-12-01 | Ecoatm, Llc | Kiosks for evaluating and purchasing used electronic devices and related technology |
EP2335337B1 (en) | 2008-10-02 | 2020-03-11 | ecoATM, LLC | Secondary market and vending system for devices |
US7881965B2 (en) | 2008-10-02 | 2011-02-01 | ecoATM, Inc. | Secondary market and vending system for devices |
JP4612088B2 (ja) * | 2008-10-10 | 2011-01-12 | トヨタ自動車株式会社 | 画像処理方法、塗装検査方法及び装置 |
TW201043947A (en) * | 2009-06-11 | 2010-12-16 | Zhi-Bin Sun | Inspection method, inspection device and mobile phone having the inspection device |
JP5537121B2 (ja) * | 2009-10-30 | 2014-07-02 | キヤノン株式会社 | 画像処理装置およびその制御方法 |
JP6344593B2 (ja) * | 2013-06-19 | 2018-06-20 | 株式会社 東京ウエルズ | 欠陥検査方法 |
CN104568956B (zh) * | 2013-10-12 | 2017-06-30 | 上海掌迪自动化科技有限公司 | 基于机器视觉的带钢表面缺陷的检测方法 |
US9519975B2 (en) * | 2014-01-08 | 2016-12-13 | Hong Kong Applied Science And Technology Research Institute Co. Ltd. | Method of detecting edge under non-uniform lighting background |
US10401411B2 (en) | 2014-09-29 | 2019-09-03 | Ecoatm, Llc | Maintaining sets of cable components used for wired analysis, charging, or other interaction with portable electronic devices |
CA2964214C (en) | 2014-10-02 | 2020-08-04 | ecoATM, Inc. | Wireless-enabled kiosk for recycling consumer devices |
EP3201885B1 (en) | 2014-10-02 | 2021-03-10 | ecoATM, LLC | Application for device evaluation and other processes associated with device recycling |
US10445708B2 (en) | 2014-10-03 | 2019-10-15 | Ecoatm, Llc | System for electrically testing mobile devices at a consumer-operated kiosk, and associated devices and methods |
CA3056457A1 (en) | 2014-10-31 | 2016-05-06 | Mark Vincent Bowles | Systems and methods for recycling consumer electronic devices |
WO2016069742A1 (en) | 2014-10-31 | 2016-05-06 | ecoATM, Inc. | Methods and systems for facilitating processes associated with insurance services and/or other services for electronic devices |
CA3227945A1 (en) | 2014-11-06 | 2016-05-12 | Ecoatm, Llc | Methods and systems for evaluating and recycling electronic devices |
US11080672B2 (en) | 2014-12-12 | 2021-08-03 | Ecoatm, Llc | Systems and methods for recycling consumer electronic devices |
CN104614386A (zh) * | 2015-02-12 | 2015-05-13 | 江苏宇迪光学股份有限公司 | 一种镜片疵病类型的识别方法 |
WO2017135107A1 (ja) * | 2016-02-01 | 2017-08-10 | 三菱電機株式会社 | 結線検査作業支援システム |
US10127647B2 (en) * | 2016-04-15 | 2018-11-13 | Ecoatm, Llc | Methods and systems for detecting cracks in electronic devices |
US10269110B2 (en) | 2016-06-28 | 2019-04-23 | Ecoatm, Llc | Methods and systems for detecting cracks in illuminated electronic device screens |
JP6797481B2 (ja) * | 2017-03-01 | 2020-12-09 | 株式会社ディスコ | 半導体インゴットの検査方法、検査装置及びレーザー加工装置 |
JP6846958B2 (ja) * | 2017-03-09 | 2021-03-24 | ファスフォードテクノロジ株式会社 | ダイボンディング装置および半導体装置の製造方法 |
CA3124435A1 (en) | 2018-12-19 | 2020-06-25 | Ecoatm, Llc | Systems and methods for vending and/or purchasing mobile phones and other electronic devices |
AU2020221211A1 (en) | 2019-02-12 | 2021-09-23 | Ecoatm, Llc | Kiosk for evaluating and purchasing used electronic devices |
EP3924917A1 (en) | 2019-02-12 | 2021-12-22 | ecoATM, LLC | Connector carrier for electronic device kiosk |
EP3928254A1 (en) | 2019-02-18 | 2021-12-29 | ecoATM, LLC | Neural network based physical condition evaluation of electronic devices, and associated systems and methods |
WO2022040667A1 (en) | 2020-08-17 | 2022-02-24 | Ecoatm, Llc | Evaluating an electronic device using a wireless charger |
US11922467B2 (en) | 2020-08-17 | 2024-03-05 | ecoATM, Inc. | Evaluating an electronic device using optical character recognition |
US20240095899A1 (en) * | 2022-09-21 | 2024-03-21 | Applied Materials, Inc. | Edge defect detection via image analytics |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63167980A (ja) * | 1986-12-30 | 1988-07-12 | Narumi China Corp | プリント配線パタ−ン等の欠陥検査方法およびその装置 |
JPH02229597A (ja) * | 1989-03-03 | 1990-09-12 | Ebara Infilco Co Ltd | 活性汚泥の画像認識方法 |
JPH06207909A (ja) * | 1993-01-12 | 1994-07-26 | Ricoh Co Ltd | 表面欠陥検査装置 |
JPH0843315A (ja) * | 1994-07-26 | 1996-02-16 | Boshoku Eng:Kk | 塗膜劣化自動診断方法 |
JPH08220008A (ja) * | 1995-02-15 | 1996-08-30 | Mitsubishi Electric Corp | 赤外検査装置 |
JPH09119900A (ja) * | 1995-10-26 | 1997-05-06 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | コンクリート欠陥の自動評価方法 |
JP2000270349A (ja) * | 1999-03-15 | 2000-09-29 | Dainippon Printing Co Ltd | 色ムラ欠陥検査方法及び装置 |
JP2001067465A (ja) * | 1999-06-25 | 2001-03-16 | Aizu Liaison Office:Kk | 補間方法 |
JP3220690B2 (ja) * | 1998-08-21 | 2001-10-22 | ティーアールダブリュー・インコーポレーテッド | 基板の欠陥を検出する装置及びその方法 |
JP2002350361A (ja) * | 2001-05-29 | 2002-12-04 | Dainippon Printing Co Ltd | 周期性パターンのムラ検査方法及び装置 |
JP2003307494A (ja) * | 2002-04-15 | 2003-10-31 | Shizuoka Seiki Co Ltd | 米粒品質判定装置 |
JP2006071552A (ja) * | 2004-09-03 | 2006-03-16 | Yamamoto Co Ltd | 粒状被検査物の状態判別装置 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4926452A (en) * | 1987-10-30 | 1990-05-15 | Four Pi Systems Corporation | Automated laminography system for inspection of electronics |
US5166786A (en) * | 1988-07-28 | 1992-11-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Image forming apparatus containing a display showing an adjustable image |
JP2934455B2 (ja) * | 1988-08-26 | 1999-08-16 | 株式会社日立製作所 | X線透過画像によるはんだ付部の検査方法及びその装置 |
US5130820A (en) * | 1989-02-25 | 1992-07-14 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Image processing device |
JPH03220690A (ja) * | 1990-01-26 | 1991-09-27 | Nec Corp | 現金処理機 |
JPH0822008A (ja) | 1994-05-06 | 1996-01-23 | Alps Electric Co Ltd | 液晶素子およびその製造方法と、その製造方法に用いるラビングロール |
US5870503A (en) * | 1994-10-20 | 1999-02-09 | Minolta Co., Ltd. | Image processing apparatus using error diffusion technique |
JPH08289305A (ja) * | 1995-04-14 | 1996-11-01 | Philips Japan Ltd | 画像データ圧縮/伸張システム |
US6151380A (en) * | 1998-02-11 | 2000-11-21 | Glenbrook Technologies Inc. | Ball grid array re-work assembly with X-ray inspection system |
JP3361768B2 (ja) * | 1999-03-18 | 2003-01-07 | セイコーインスツルメンツ株式会社 | 蛍光x線分析装置およびx線照射位置確認方法 |
US6834117B1 (en) * | 1999-11-30 | 2004-12-21 | Texas Instruments Incorporated | X-ray defect detection in integrated circuit metallization |
US6809809B2 (en) * | 2000-11-15 | 2004-10-26 | Real Time Metrology, Inc. | Optical method and apparatus for inspecting large area planar objects |
EP1390814A2 (en) * | 2001-05-30 | 2004-02-25 | Nptest, Inc. | Sub-resolution alignment of images |
US6499697B1 (en) * | 2001-06-18 | 2002-12-31 | Honeywell International Inc. | Deployable flexible airlock |
JP2003284084A (ja) * | 2002-03-20 | 2003-10-03 | Sony Corp | 画像処理装置および方法、並びに画像処理装置の製造方法 |
WO2005100961A2 (en) * | 2004-04-19 | 2005-10-27 | Phoseon Technology, Inc. | Imaging semiconductor strucutures using solid state illumination |
-
2006
- 2006-05-16 JP JP2006136507A patent/JP4707605B2/ja active Active
-
2007
- 2007-04-23 NO NO20072103A patent/NO341245B1/no not_active IP Right Cessation
- 2007-05-10 EP EP07009409.9A patent/EP1857977B1/en not_active Ceased
- 2007-05-14 US US11/798,477 patent/US7965883B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2007-05-15 CN CN200710103294A patent/CN100588957C/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63167980A (ja) * | 1986-12-30 | 1988-07-12 | Narumi China Corp | プリント配線パタ−ン等の欠陥検査方法およびその装置 |
JPH02229597A (ja) * | 1989-03-03 | 1990-09-12 | Ebara Infilco Co Ltd | 活性汚泥の画像認識方法 |
JPH06207909A (ja) * | 1993-01-12 | 1994-07-26 | Ricoh Co Ltd | 表面欠陥検査装置 |
JPH0843315A (ja) * | 1994-07-26 | 1996-02-16 | Boshoku Eng:Kk | 塗膜劣化自動診断方法 |
JPH08220008A (ja) * | 1995-02-15 | 1996-08-30 | Mitsubishi Electric Corp | 赤外検査装置 |
JPH09119900A (ja) * | 1995-10-26 | 1997-05-06 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | コンクリート欠陥の自動評価方法 |
JP3220690B2 (ja) * | 1998-08-21 | 2001-10-22 | ティーアールダブリュー・インコーポレーテッド | 基板の欠陥を検出する装置及びその方法 |
JP2000270349A (ja) * | 1999-03-15 | 2000-09-29 | Dainippon Printing Co Ltd | 色ムラ欠陥検査方法及び装置 |
JP2001067465A (ja) * | 1999-06-25 | 2001-03-16 | Aizu Liaison Office:Kk | 補間方法 |
JP2002350361A (ja) * | 2001-05-29 | 2002-12-04 | Dainippon Printing Co Ltd | 周期性パターンのムラ検査方法及び装置 |
JP2003307494A (ja) * | 2002-04-15 | 2003-10-31 | Shizuoka Seiki Co Ltd | 米粒品質判定装置 |
JP2006071552A (ja) * | 2004-09-03 | 2006-03-16 | Yamamoto Co Ltd | 粒状被検査物の状態判別装置 |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009294189A (ja) * | 2008-06-09 | 2009-12-17 | Jfe Steel Corp | プレス部品の欠陥検出方法 |
JP2010054377A (ja) * | 2008-08-28 | 2010-03-11 | Ccs Inc | 赤外線検査装置 |
JP2011052967A (ja) * | 2009-08-31 | 2011-03-17 | Rayresearch Corp | シリコンウエハー検査装置 |
JP2011089795A (ja) * | 2009-10-20 | 2011-05-06 | Nyuurii Kk | グラビアシリンダ検査装置 |
JP2014041956A (ja) * | 2012-08-23 | 2014-03-06 | Tokyo Electron Ltd | 検査装置、接合システム、検査方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
JP2014077685A (ja) * | 2012-10-10 | 2014-05-01 | Ntn Corp | パターン欠陥検出装置およびパターン欠陥検出方法 |
JP2016075517A (ja) * | 2014-10-03 | 2016-05-12 | Jfeテクノリサーチ株式会社 | 透視歪の測定装置および透視歪の測定方法 |
JP2022019770A (ja) * | 2016-02-24 | 2022-01-27 | ケーエルエー コーポレイション | 光学的計測ツールを備える装置及び方法 |
JP7319342B2 (ja) | 2016-02-24 | 2023-08-01 | ケーエルエー コーポレイション | 装置、方法及びプログラム |
US11862522B2 (en) | 2016-02-24 | 2024-01-02 | Kla-Tencor Corporation | Accuracy improvements in optical metrology |
JP2020041799A (ja) * | 2017-05-09 | 2020-03-19 | 株式会社シーパーツ | タイヤ劣化評価システムとその方法及びそのプログラム |
CN111523368A (zh) * | 2019-02-01 | 2020-08-11 | 丰田自动车株式会社 | 信息处理装置、服务器以及交通管理系统 |
CN111523368B (zh) * | 2019-02-01 | 2023-11-14 | 丰田自动车株式会社 | 信息处理装置、服务器以及交通管理系统 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN100588957C (zh) | 2010-02-10 |
JP4707605B2 (ja) | 2011-06-22 |
US20070269099A1 (en) | 2007-11-22 |
CN101074932A (zh) | 2007-11-21 |
EP1857977B1 (en) | 2013-10-02 |
EP1857977A3 (en) | 2010-06-16 |
NO341245B1 (no) | 2017-09-25 |
NO20072103L (no) | 2007-11-19 |
EP1857977A2 (en) | 2007-11-21 |
US7965883B2 (en) | 2011-06-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4707605B2 (ja) | 画像検査方法およびその方法を用いた画像検査装置 | |
JP4150390B2 (ja) | 外観検査方法及び外観検査装置 | |
JP5085860B2 (ja) | 木材の検査方法及び装置及びプログラム | |
JP2007071586A (ja) | 画像欠陥検査装置、画像欠陥検査システム、欠陥分類装置及び画像欠陥検査方法 | |
JP2005127989A (ja) | 傷検出装置および傷検出プログラム | |
WO2017061063A1 (ja) | エピタキシャルウェーハ裏面検査装置およびそれを用いたエピタキシャルウェーハ裏面検査方法 | |
CN108090890B (zh) | 检查装置以及检查方法 | |
JP2019168388A (ja) | 画像検査方法および画像検査装置 | |
JP2018179698A (ja) | シート検査装置 | |
JP6315419B2 (ja) | 半導体検査方法、半導体検査装置及び半導体製造方法 | |
JP4244046B2 (ja) | 画像処理方法および画像処理装置 | |
JP5466099B2 (ja) | 外観検査装置 | |
JP2002290994A (ja) | 小型カメラモジュールの異物検査方法およびその異物検査装置 | |
KR101993654B1 (ko) | 표시패널의 얼룩 검사 장치 및 그 방법 | |
JP2017142219A (ja) | 画像検査装置、画像検査プログラム及びコンピュータで読み取り可能な記録媒体並びに記録した機器 | |
TWI493177B (zh) | 一種檢測具週期性結構光學薄膜的瑕疵檢測方法及其檢測裝置 | |
JP6248819B2 (ja) | 検査装置及び検査方法 | |
JP4822468B2 (ja) | 欠陥検査装置、欠陥検査方法、及びパターン基板の製造方法 | |
JPH0711414B2 (ja) | ガラスびんの偏肉検査方法 | |
JP4967132B2 (ja) | 対象物表面の欠陥検査方法 | |
JPH05126750A (ja) | 円形容器内面検査装置 | |
JP2007010597A (ja) | 表面検査装置 | |
JP2011064614A (ja) | 円形レンズの検査装置及び方法 | |
JP2988059B2 (ja) | 円形容器内面検査装置 | |
JP5402182B2 (ja) | 外観検査方法及び外観検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081209 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101208 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101221 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110217 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110308 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110315 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4707605 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |