JP2007281120A - Simoxウェーハの製造方法及び該方法により得られたsimoxウェーハ - Google Patents
Simoxウェーハの製造方法及び該方法により得られたsimoxウェーハ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007281120A JP2007281120A JP2006103847A JP2006103847A JP2007281120A JP 2007281120 A JP2007281120 A JP 2007281120A JP 2006103847 A JP2006103847 A JP 2006103847A JP 2006103847 A JP2006103847 A JP 2006103847A JP 2007281120 A JP2007281120 A JP 2007281120A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- wafer
- ion implantation
- implantation
- oxygen
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 45
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 30
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims abstract description 150
- 238000002513 implantation Methods 0.000 claims abstract description 109
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims abstract description 106
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 106
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 75
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 38
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 38
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 38
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 35
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 22
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims abstract description 5
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims abstract description 5
- -1 oxygen ions Chemical class 0.000 claims description 29
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 claims description 14
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 16
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 15
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 137
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 35
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 19
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 17
- VZSRBBMJRBPUNF-UHFFFAOYSA-N 2-(2,3-dihydro-1H-inden-2-ylamino)-N-[3-oxo-3-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)propyl]pyrimidine-5-carboxamide Chemical compound C1C(CC2=CC=CC=C12)NC1=NC=C(C=N1)C(=O)NCCC(N1CC2=C(CC1)NN=N2)=O VZSRBBMJRBPUNF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 10
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 10
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 10
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 8
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 8
- LDXJRKWFNNFDSA-UHFFFAOYSA-N 2-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)-1-[4-[2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidin-5-yl]piperazin-1-yl]ethanone Chemical compound C1CN(CC2=NNN=C21)CC(=O)N3CCN(CC3)C4=CN=C(N=C4)NCC5=CC(=CC=C5)OC(F)(F)F LDXJRKWFNNFDSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- AFCARXCZXQIEQB-UHFFFAOYSA-N N-[3-oxo-3-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)propyl]-2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidine-5-carboxamide Chemical compound O=C(CCNC(=O)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F)N1CC2=C(CC1)NN=N2 AFCARXCZXQIEQB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 7
- HMUNWXXNJPVALC-UHFFFAOYSA-N 1-[4-[2-(2,3-dihydro-1H-inden-2-ylamino)pyrimidin-5-yl]piperazin-1-yl]-2-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)ethanone Chemical compound C1C(CC2=CC=CC=C12)NC1=NC=C(C=N1)N1CCN(CC1)C(CN1CC2=C(CC1)NN=N2)=O HMUNWXXNJPVALC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 5
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 5
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002926 oxygen Chemical class 0.000 description 2
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 238000001953 recrystallisation Methods 0.000 description 2
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/76—Making of isolation regions between components
- H01L21/762—Dielectric regions, e.g. EPIC dielectric isolation, LOCOS; Trench refilling techniques, SOI technology, use of channel stoppers
- H01L21/7624—Dielectric regions, e.g. EPIC dielectric isolation, LOCOS; Trench refilling techniques, SOI technology, use of channel stoppers using semiconductor on insulator [SOI] technology
- H01L21/76243—Dielectric regions, e.g. EPIC dielectric isolation, LOCOS; Trench refilling techniques, SOI technology, use of channel stoppers using semiconductor on insulator [SOI] technology using silicon implanted buried insulating layers, e.g. oxide layers, i.e. SIMOX techniques
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/20—Deposition of semiconductor materials on a substrate, e.g. epitaxial growth solid phase epitaxy
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/26—Bombardment with radiation
- H01L21/263—Bombardment with radiation with high-energy radiation
- H01L21/265—Bombardment with radiation with high-energy radiation producing ion implantation
- H01L21/26506—Bombardment with radiation with high-energy radiation producing ion implantation in group IV semiconductors
- H01L21/26533—Bombardment with radiation with high-energy radiation producing ion implantation in group IV semiconductors of electrically inactive species in silicon to make buried insulating layers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- High Energy & Nuclear Physics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Element Separation (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
【解決手段】シリコンウェーハ11内部に高濃度の酸素を含んだ第1イオン注入層12を形成する工程とアモルファスの第2イオン注入層13を形成する工程とウェーハを酸素含有雰囲気中1300℃以上シリコン融点未満の温度に保持することにより第1及び第2イオン注入層をBOX層15とする高温熱処理工程とを含むSIMOXウェーハの製造方法において、第1イオン注入層形成工程での第1ドーズ量を2×1017〜3×1017atoms/cm2とするとき第1注入エネルギを165〜240keVとし、第2イオン注入層形成工程での第2ドーズ量を1×1014〜1×1016atoms/cm2とすることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
しかし、この高ドーズ技術により得られたSIMOXウェーハは酸素イオンドーズ量が多いため、SOI層に貫通転位が多く発生し、またイオン注入時間が長く製造効率が悪い等の問題があった。この貫通転位はデバイスを作製したときに、リーク電流やヘテロ界面の劣化をもたらし、デバイス性能の向上や機能性の発現を阻害するおそれがある。
しかし、この低ドーズ技術により得られたSIMOXウェーハは、酸素イオンドーズ量が少ないため、BOX層の膜厚が薄くなり、BOX層の信頼性が問題となっていた。また形成されるBOX層の膜厚が薄い場合、イオン注入時にシリコンウェーハ表面にパーティクルが付着すると、このパーティクルがマスクとなってシリコンウェーハ内部に形成されたイオン注入層に注入不能部分が生じ易い。イオン注入層はアニール処理によりBOX層となるが、イオン注入不能部分はBOX層の結晶欠陥の1種であるピンホールとなって電気絶縁性を低下させる。このピンホール密度の割合が高ドーズSIMOXウェーハと比べ高い等の問題があった。
特許文献1に示される方法では、先ずシリコンウェーハの表面から、約180keVの注入エネルギで、酸素イオンを約4×1017atoms/cm2の割合で注入する。次いでイオン注入層が形成されたウェーハを濃度1%未満の酸素を含む不活性ガス雰囲気中でアニール処理してイオン注入層をBOX層とした後、更にこのウェーハを濃度1%超の高濃度の酸素を含む雰囲気中で、高温酸化処理する。ウェーハを高温酸化処理することにより、雰囲気中の高濃度の酸素がウェーハ表裏面からウェーハ内部に入り込んで拡散する。この酸素がBOX層界面部にSiO2として滞留し積層することで、BOX層が成長しBOX層の厚膜化を行うことができる。このITOX技術により得られたSIMOXウェーハは、SiO2がBOX層界面部に積層することで、BOX層に発生していたピンホールを補修し、ピンホール密度を低減できる。またBOX層とシリコンウェーハの界面のラフネスを改善することができる。その結果、デバイスの電気的特性を均質化できる。
しかし、このITOX技術による製造方法でも、酸素イオンドーズ量が約4×1017atoms/cm2と多いためイオン注入時間が長く、またアニール処理に加え高温酸化処理が必要となるため、製造効率が悪く、生産性が低下するという問題があった。
特許文献2に示される方法は、イオン注入を2回に分け、それぞれ温度を変えてウェーハに酸素イオンを注入することで、ウェーハ内部に高濃度の酸素を含んだ単結晶の層とアモルファスの層という、結晶状態が異なる2つのイオン注入層を形成した後に、このウェーハを混合ガス雰囲気中で高温酸化処理するものである。
一方、昇温時に第2イオン注入層は、そのアモルファスのイオン注入層内部に高濃度の酸素を含むため再結晶化が順調に進まず、多結晶、双晶、又は積層欠陥からなる高密度欠陥層となる。この欠陥層が形成された領域は酸素が析出し易いという性質をもつため、昇温後の一定温度による保持中に酸素含有雰囲気中の酸素がウェーハ表裏面からウェーハ内部に入り込んでウェーハ内部で拡散して、この高密度欠陥層に集まりSiO2として析出する。このように内部にSiO2が析出した高密度欠陥層がBOX層となる。このため、2×1017atoms/cm2と少量のイオンドーズ量で、その2倍の量を注入したときと同じ厚さのBOX層を有するSIMOXウェーハを得ることができる。
本発明の目的はSOI層表面における測定領域10μm角のラフネスRms及びSOI層とBOX層との界面における測定領域10μm角のラフネスRmsをそれぞれ低減できるSIMOXウェーハの製造方法及び該方法により得られたSIMOXウェーハを提供することにある。
その特徴ある構成は、第1イオン注入層12を形成する工程での第1ドーズ量を2×1017〜3×1017atoms/cm2とするとき、第1注入エネルギを165〜240keVとし、第2イオン注入層13を形成する工程での第2ドーズ量を1×1014〜1×1016atoms/cm2とするところにある。
この請求項2に記載されたSIMOXウェーハの製造方法では、第1イオン注入層12を形成する工程での酸素イオン注入を2段〜3段の複数段に分けてイオン注入を行うことで、イオン注入領域内部において酸素析出物が分散析出する確率が高くなり、シリコンが取り残される確率も低くなるため、シリコン島の発生を低減することができる。
請求項3に係る発明は、請求項1に係る発明であって、第2イオン注入層13を形成する工程での酸素イオン注入が、2段〜3段の複数段に分けてイオン注入が行われ、その注入順が低いエネルギから高いエネルギの順であることを特徴とする。
この請求項3に記載されたSIMOXウェーハの製造方法では、第2イオン注入層13を形成する工程での酸素イオン注入を2段〜3段の複数段に分けてイオン注入を行うことで、アモルファスの第2イオン注入層13を厚膜化でき、BOX層15を厚膜化できる。
この請求項4に記載されたSIMOXウェーハの製造方法では、第2イオン注入層13を形成する工程での第2注入エネルギを、第1イオン注入層12を形成する工程での第1注入エネルギよりも低いエネルギとし、第1注入エネルギから第2注入エネルギを差引いた値を10〜30keVとすることで、BOX層15形成領域の幅が広くなるために、酸素析出物密度が低下し、BOX層15内部にシリコン島が発生するのを低減できる。
請求項5に係る発明は、図1に示すように、上記請求項1ないし4のいずれか1項に記載の方法で製造されたSIMOXウェーハである。
この請求項5に記載されたSIMOXウェーハはSOI層16表面における測定領域10μm角のラフネスRms及びSOI層16とBOX層15との界面における測定領域10μm角のラフネスRmsがそれぞれ4Å以下であり、かつBOX層15の絶縁破壊特性が7MV/cm以上である。
本発明のSIMOXウェーハの製造方法は、図1(a)〜図1(d)に示すように、シリコンウェーハ11表面から1回目の酸素イオンを注入してウェーハ11内部に高濃度の酸素を含んだ第1イオン注入層12を形成する工程と、このウェーハ11表面から2回目の酸素イオンを注入してウェーハ11表面側の第1イオン注入層12に連続してアモルファスの第2イオン注入層13を形成する工程と、そのウェーハ11を酸素含有雰囲気中で熱処理を施して第1及び第2イオン注入層12、13をBOX層15とする高温熱処理工程とを含む。
<第1イオン注入層形成工程>
第1イオン注入層形成工程では、先ず図1(a)及び図1(b)に示すように、シリコンウェーハ11表面から酸素イオンを注入してウェーハ11内部に高濃度の酸素を含んだ第1イオン注入層12を形成する。図1(a)に示すシリコンウェーハ11はチョクラルスキー法で製造されることが好適である。
1段注入による第1イオン注入層12の形成は、シリコンウェーハ11をイオン注入装置(図示せず)に収容し、装置内を200〜600℃、好ましくは300〜500℃の温度に加熱した状態でウェーハ11表面から第1深さの位置にピークを有するように、ウェーハ11表面から第1ドーズ量の酸素イオンをビームの照射により注入することで行われる。上記装置内雰囲気は真空状態である。200〜600℃に加熱することで、ウェーハ11表面が単結晶シリコンの状態を維持したままイオンを注入でき、イオン注入によるダメージが回復されながら高濃度の酸素を含んだ第1イオン注入層12ができる。200℃未満ではイオン注入によるダメージが回復されないためウェーハ11表面にダメージが残り、600℃を越えると脱ガス量が多いため、装置内の真空度が低下するという不具合が発生する。
またウェーハ11表面から400〜600nm、好ましくは450〜550nmを目標として第1深さにイオン注入のピークを有する第1イオン注入層12をウェーハ11表面に平行に形成する。これを達成するために、第1注入エネルギを165〜240keV、好ましくは175〜220keVに設定する。第1注入エネルギを165〜240keVに設定したのは、165keV未満では、SOI層16とBOX層15との界面及びSOI層16表面における測定領域10μm角のラフネスRmsが増加してしまうからである。また240keVを越えると以下の2つの不具合が生じるからである。第一には特殊なイオン注入装置が必要になるからであり、第二には酸素イオンがウェーハ11表面から深く入り過ぎ、 所望の膜厚のSOI層16を形成するためには、非常に長時間の高温酸化処理が必要になるからである。
上記1段目の酸素イオンの第1ドーズ量は1.0×1017〜1.5×1017atoms/cm2、好ましくは1.15×1017〜1.35×1017atoms/cm2である。上記2段目の酸素イオンの第1ドーズ量は1.0×1017〜1.5×1017atoms/cm2、好ましくは1.15×1017〜1.35×1017atoms/cm2である。イオン注入b1とイオン注入b2を合算した第1ドーズ量は、イオン注入aの第1ドーズ量に等しい。この2段注入のイオン注入b1とイオン注入b2が融合し、184keVと176keVの平均値である180keVの注入エネルギでイオン注入した場合と同じ第1深さに、ピークを有する第1イオン注入層12が形成される(イオン注入b)。
この2段注入による第1イオン注入層12のピーク周辺部はイオン注入aよりも幅が広く、酸素析出物密度が低い。このため、第1イオン注入層12内部にシリコンが取り残されにくいため、シリコン島の発生を低減することができる。
なお、1段又は複数段によりイオン注入を行って第1イオン注入層形成工程を終えた後は、第1イオン注入層12が形成されたウェーハ11を加熱温度よりも低い温度である室温から200℃まで冷却する。続いて冷却した装置内からウェーハを取出し、洗浄、乾燥した後、再び装置内へ収容して、後に続く第2イオン注入層形成工程に供される。
第2イオン注入層形成工程では、図1(c)に示すようにウェーハ11表面から2回目の酸素イオンを注入してウェーハ11表面側の高濃度の酸素を含んだ第1イオン注入層12に連続してアモルファスの第2イオン注入層13を形成する。第2イオン注入層13は第1イオン注入層12の上部と重複することで、内部に高濃度の酸素を含むアモルファスの層である。
第2イオン注入層13の形成は、第1深さよりも浅い、ウェーハ11表面から第2深さの位置にピークを有するように、ウェーハ11表面から酸素イオンをビームの照射により注入することで行われる。上記装置内雰囲気は真空状態である。
上記酸素イオンの第2ドーズ量は1×1014〜1×1016atoms/cm2、好ましくは1×1015〜1×1016atoms/cm2である。第2ドーズ量を1×1014〜1×1016atoms/cm2に限定したのは、1×1014atoms/cm2未満ではアモルファス状態の第2イオン注入層13が形成されないという不具合が生じ、1×1016atoms/cm2を越えるとビームの照射時間が長くなるためウェーハ11の温度が上昇し過ぎるという不具合が生じるからである。
なお、この第2イオン注入層形成工程では、酸素イオン注入を1段注入ではなく、2段〜3段の複数段、好ましくは2段に分けて行ってもよい。この場合、第2注入エネルギの平均値を135〜230keVとする。注入順は低いエネルギから高いエネルギの順が好ましい。その理由は、低いエネルギから高いエネルギの順で注入したほうが、BOX層15を厚膜化でき、BOX層15の絶縁破壊特性を向上できるからである。
このように第2注入エネルギを第1イオン注入層12を形成する工程での第1注入エネルギよりも低いエネルギとし、第1注入エネルギから第2注入エネルギを差引いた値を10〜30keVとすることで、SIMOXウェーハ10のSOI層16表面における測定領域10μm角のラフネスRms及びウェーハのSOI層16とBOX層15との界面における測定領域10μm角のラフネスRmsのそれぞれをより低減でき、BOX層15の絶縁破壊特性が向上したSIMOXウェーハ10を得ることができる。
なお、第2イオン注入層形成工程を終えた後は、第1及び第2イオン注入層12、13が形成されたウェーハ11を装置内から取出し、洗浄、乾燥した後、熱処理炉内に収容して、後に続く高温熱処理工程に供される。
高温熱処理工程は、図1(d)に示すように、酸素含有雰囲気中でウェーハ11に高温熱処理を施して、第1及び第2イオン注入層12、13をBOX層15とするものである。形成されるBOX層15は図2(c)に示すように、高濃度の酸素を含んだ第1イオン注入層12が変成して形成された第1BOX層15aと、この第1BOX層15aの上部に形成され、熱処理の酸素含有雰囲気中の酸素がアモルファスの第2イオン注入層13に寄与することで、第2イオン注入層13が変成して形成された第2BOX層15bから構成されている。
高温熱処理による第1BOX層15a及び第2BOX層15bの形成は、第1及び第2イオン注入層12、13を形成したウェーハ11を熱処理炉内(図示せず)に収容し、この炉内を1300℃〜シリコン融点未満、好ましくは1320〜1350℃まで昇温し、この温度を維持した状態でウェーハ11を6〜36時間、好ましくは12〜24時間保持し、その後室温まで冷却することで行われる。
上記炉内温度を1300℃〜シリコン融点未満の範囲に限定したのは、1300℃未満では酸素析出物の溶融及び結合が不十分で、高品質のBOX層15を形成することができないからである。上記保持時間を6〜36時間に限定したのは、6時間未満では、酸素析出物の溶融及び結合が不十分で高品質のBOX層15を形成することができず、36時間を越えると製造効率が悪くなり生産性が低下するからである。上記昇温中の炉内雰囲気は、0.5〜5.0容積%、好ましくは0.5〜1.0容積%の酸素を含むアルゴン、窒素(N2)等の不活性ガスの混合雰囲気である。上記昇温後の炉内雰囲気は、アルゴン又は窒素等の不活性ガスを含む、5〜100容積%、好ましくは10〜50容積%酸素ガスの酸素含有雰囲気である。
第1イオン注入層形成工程における第1注入エネルギが165keV未満の低い値のときは、ウェーハ11表面から浅い位置に第1イオン注入層12及び第2イオン注入層13が形成される。このため酸素含有雰囲気中の酸素が、BOX層15を構成する酸素析出物の形成に寄与する割合が高くなり、第1BOX層15aと第2BOX層15bが拮抗して、BOX層15形成領域の深さ方向のばらつきが大きくなり、ラフネスRmsが大きくなると考えられる。このSOI層16とBOX層15との界面に生じたラフネスRmsがSOI層16表面に影響を与え、SOI層16表面のラフネスも大きくなると考えられる。
他方、第1イオン注入層形成工程における第1注入エネルギが165keV以上の高い値のときは、ウェーハ10表面から比較的深い第1深さに第1イオン注入層12及び第2イオン注入層13が形成される。
このため図2(a)に示すように、昇温中及び昇温後の一定温度による保持の初期において、第1BOX層15aが先に形成され、第2BOX層15bのBOX層15を構成する酸素析出物の形成に寄与する割合が低くなる。この結果第1BOX層15aと第2BOX層15bが拮抗せず、BOX層15形成領域の深さ方向のばらつきが小さくなるためにラフネスRmsが小さくなると考えられる。
上記理由により、第1注入エネルギを165〜240keVと高く設定し、第2注入エネルギを第1注入エネルギよりも低いエネルギに設定した。
<実施例1−1〜実施例1−6、比較例1−1〜比較例1−2>
図1に示すように、直径が300mmであり、結晶方位が<100>であり、抵抗率が10〜20ΩcmであるP型シリコンウェーハからなるシリコンウェーハ11を準備した。先ず、ウェーハ11をイオン注入装置に収容後、装置内を真空状態にして装置内温度を400℃に加熱した。
次いでウェーハ11表面から第1注入エネルギにより酸素イオン(O+)を2.5×1017atoms/cm2の第1ドーズ量でイオン注入し、ウェーハ11表面から第1深さ0.4〜0.5μmの位置にピークを有する第1イオン注入層12を形成した。その後装置内温度を室温の状態にまで冷却した。
更にウェーハ11を装置内から取出して洗浄した。洗浄した各ウェーハ11を乾燥した後、縦型炉へ収容した。続いて、炉内温度を1300℃に加熱した。またマスフローにより、炉内雰囲気を酸素50容積%及びアルゴン50容積%となるように制御して酸素含有雰囲気とした。
この酸素含有雰囲気下で炉内温度を1300℃に維持したままウェーハ11を8時間保持した。これによりBOX層15を有するSIMOXウェーハ10を得た。
上記第1注入エネルギの値をそれぞれ160keV、164keV、168keV、172keV、176keV、180keV、184keV、及び188keVとし、上記方法で得られたSIMOXウェーハ10をそれぞれ実施例1−1〜実施例1−6及び比較例1−1〜比較例1−2とした。
第1イオン注入層形成工程においてイオン注入を1段注入から2段注入に変更し、1段目の酸素イオン(O+)を1.25×1017atoms/cm2、2段目の酸素イオン(O+)を1.25×1017atoms/cm2とし、1段目及び2段目の第1注入エネルギがとる平均値をそれぞれ172keV、176keV、180keV、及び184keVとし、1段目の第1注入エネルギから2段目の第1注入エネルギを差引いた値をそれぞれ8keVとしたことを除き、実施例1−1〜実施例1−6、比較例1−1〜比較例1−2と同様にして、SIMOXウェーハ10を得た。上記方法で得られたSIMOXウェーハ10をそれぞれ実施例2−1〜実施例2−4とした。
<実施例3−1〜実施例3−2>
第1イオン注入層形成工程において、第1注入エネルギを205keVとし、第1ドーズ量の酸素イオン(O+)を2.5×1017atoms/cm2とし、第2イオン注入層形成工程において、第2注入エネルギを上記第1注入エネルギ205keVから15keV、20keVをそれぞれ差引いた値とし、第2ドーズ量の酸素イオン(O+)を6×1015atoms/cm2としたことを除き、実施例1−1〜実施例1−6、比較例1−1〜比較例1−2と同様にして、SIMOXウェーハ10を得た。上記方法で得られたSIMOXウェーハ10をそれぞれ実施例3−1〜実施例3−2とした。
実施例1−1〜実施例3−2及び比較例1−1〜比較例1−2のSIMOXウェーハのSOI層表面における測定領域10μm角のラフネスRmsをAFM(Atomic Force Microscope:原子間力顕微鏡)により測定した。またBOX層の絶縁破壊特性を絶縁破壊試験装置を用いて評価した。更にSIMOXウェーハのSOI層を水酸化カリウム(KOH)でエッチングしてSOI層とBOX層との界面における測定領域10μm角のラフネスRmsをAFMにより測定した。これらの結果を図4〜図7に示す。図4は、実施例1−1〜実施例1−6及び比較例1−1〜比較例1−2を示し、図5は、実施例2−1〜実施例2−4を示し、図6と図7は、実施例3−1〜実施例3−2を示す。
図5(a)の実施例2−1〜実施例2−4の近似線から明らかなように、第1注入エネルギの1段目と2段目の平均値が165keV以上のとき、SOI層表面における測定領域10μm角のラフネスRmsが4Å以下の値を示した。図5(b)の実施例2−1〜実施例2−4の近似線から明らかなように、第1注入エネルギの1段目と2段目の平均値が165keV以上のとき、SOI層とBOX層の界面における測定領域10μm角のラフネスRmsが3Å以下の値を示した。以上より第1注入エネルギの1段目と2段目の平均値が165keV未満では測定領域10μm角のSOI層表面ラフネスRmsが4Åを越えてしまうため、第1注入エネルギの1段目と2段目の平均値を165keV以上とするとよいことが判った。
図7の実施例3−1〜実施例3−2の結果から、第1注入エネルギから第2注入エネルギを差引いた値が大きいほどBOX層の絶縁破壊特性が向上する傾向がみられた。
特に、第2イオン注入層を形成する工程での第2注入エネルギを、第1イオン注入層を形成する工程での第1注入エネルギよりも低い値とし、第1注入エネルギから第2注入エネルギを差引いた値を第1注入エネルギから第2注入エネルギを差引いた値を所望の範囲とすることによってBOX層の絶縁破壊特性が向上する傾向がみられた。
11 シリコンウェーハ
12 第1イオン注入層
13 第2イオン注入層
15 BOX層
16 SOI層
Claims (5)
- シリコンウェーハ(11)を200〜600℃に加熱した状態で、前記ウェーハ(11)表面から第1ドーズ量の酸素イオンを第1注入エネルギにより注入して前記ウェーハ(11)表面から第1深さの位置に高濃度の酸素を含んだ第1イオン注入層(12)を形成する工程と、
前記第1イオン注入層(12)を形成したウェーハ(11)を前記加熱温度より低い温度である室温から200℃に冷却した状態で前記ウェーハ(11)の表面から第2ドーズ量の酸素イオンを第2注入エネルギにより注入して前記第1深さよりも浅い、前記ウェーハ(11)表面から第2深さの位置に前記ウェーハ(11)表面側の第1イオン注入層(12)に連続してアモルファスの第2イオン注入層(13)を形成する工程と、
前記ウェーハ(11)を酸素含有雰囲気中、1300℃以上シリコン融点未満の温度で6〜36時間保持することにより、第1及び第2イオン注入層(12,13)をBOX層(15)とする高温熱処理工程と
をこの順に含むSIMOXウェーハの製造方法において、
前記第1イオン注入層(12)を形成する工程での第1ドーズ量を2×1017〜3×1017atoms/cm2とするとき、第1注入エネルギを165〜240keVとし、前記第2イオン注入層(13)を形成する工程での第2ドーズ量を1×1014〜1×1016atoms/cm2とすることを特徴とするSIMOXウェーハの製造方法。 - 第1イオン注入層(12)を形成する工程での酸素イオン注入が、2段〜3段の複数段に分けてイオン注入が行われ、その注入順が高いエネルギから低いエネルギの順であって、前記複数段の酸素イオン注入における第1注入エネルギの平均値が165〜240keVであることを特徴とする、請求項1記載のSIMOXウェーハの製造方法。
- 第2イオン注入層(13)を形成する工程での酸素イオン注入が、2段〜3段の複数段に分けてイオン注入が行われ、その注入順が低いエネルギから高いエネルギの順であることを特徴とする、請求項1記載のSIMOXウェーハの製造方法。
- 第2イオン注入層(13)を形成する工程での第2注入エネルギが、前記第1イオン注入層(12)を形成する工程での第1注入エネルギよりも低いエネルギであって、前記第1注入エネルギから前記第2注入エネルギを差引いた値が10〜30keVであることを特徴とする、請求項1ないし3いずれか1項に記載のSIMOXウェーハの製造方法。
- 請求項1ないし4いずれか1項に記載の方法で製造されたSIMOXウェーハであって、前記ウェーハのSOI層(16)表面における測定領域10μm角のラフネスRms及び前記ウェーハのSOI層(16)とBOX層(15)との界面における測定領域10μm角のラフネスRmsがそれぞれ4Å以下であり、かつ前記BOX層(15)の絶縁破壊特性が7MV/cm以上であることを特徴とするSIMOXウェーハ。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006103847A JP5061489B2 (ja) | 2006-04-05 | 2006-04-05 | Simoxウェーハの製造方法 |
EP07005682A EP1850377A1 (en) | 2006-04-05 | 2007-03-20 | Method for manufacturing simox wafer and simox wafer obtained by this method |
TW096110409A TWI336917B (en) | 2006-04-05 | 2007-03-26 | Method for manufacturing simox wafer |
SG200702341-9A SG136104A1 (en) | 2006-04-05 | 2007-03-28 | Method for manufacturing simox wafer and simox wafer obtained by this method |
KR1020070031333A KR100875909B1 (ko) | 2006-04-05 | 2007-03-30 | Simox 웨이퍼의 제조 방법 및 이 방법에 의해 얻어진simox 웨이퍼 |
US11/695,706 US7884000B2 (en) | 2006-04-05 | 2007-04-03 | Method for manufacturing simox wafer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006103847A JP5061489B2 (ja) | 2006-04-05 | 2006-04-05 | Simoxウェーハの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007281120A true JP2007281120A (ja) | 2007-10-25 |
JP5061489B2 JP5061489B2 (ja) | 2012-10-31 |
Family
ID=38481526
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006103847A Expired - Fee Related JP5061489B2 (ja) | 2006-04-05 | 2006-04-05 | Simoxウェーハの製造方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7884000B2 (ja) |
EP (1) | EP1850377A1 (ja) |
JP (1) | JP5061489B2 (ja) |
KR (1) | KR100875909B1 (ja) |
SG (1) | SG136104A1 (ja) |
TW (1) | TWI336917B (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010021299A (ja) * | 2008-07-10 | 2010-01-28 | Sumco Corp | Simoxウェーハの製造方法 |
JPWO2011118205A1 (ja) * | 2010-03-26 | 2013-07-04 | 株式会社Sumco | Soiウェーハの製造方法 |
JP2020013905A (ja) * | 2018-07-18 | 2020-01-23 | 住友重機械イオンテクノロジー株式会社 | イオン注入方法およびイオン注入装置 |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20060228492A1 (en) * | 2005-04-07 | 2006-10-12 | Sumco Corporation | Method for manufacturing SIMOX wafer |
EP1906450A4 (en) * | 2005-07-11 | 2011-07-27 | Sumco Corp | PROCESS FOR MANUFACTURING A SIMOX SUBSTRATE AND SIMOX SUBSTRATE MANUFACTURED BY THE PROCESS |
JP5374805B2 (ja) * | 2006-03-27 | 2013-12-25 | 株式会社Sumco | Simoxウェーハの製造方法 |
JP2009176860A (ja) * | 2008-01-23 | 2009-08-06 | Sumco Corp | 貼り合わせウェーハの製造方法 |
US8030183B2 (en) * | 2008-09-08 | 2011-10-04 | Sumco Corporation | Method for reducing crystal defect of SIMOX wafer and SIMOX wafer |
JP2010114409A (ja) * | 2008-10-10 | 2010-05-20 | Sony Corp | Soi基板とその製造方法、固体撮像装置とその製造方法、および撮像装置 |
CN101532179B (zh) * | 2009-02-27 | 2011-04-20 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 绝缘体上硅晶片的制造方法 |
JP2011029618A (ja) | 2009-06-25 | 2011-02-10 | Sumco Corp | Simoxウェーハの製造方法、simoxウェーハ |
CN114196917A (zh) * | 2021-11-05 | 2022-03-18 | 南华大学 | Al2O3阻氚涂层及其制备方法 |
CN114975765A (zh) * | 2022-07-19 | 2022-08-30 | 济南晶正电子科技有限公司 | 复合单晶压电薄膜及其制备方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05286799A (ja) * | 1992-04-10 | 1993-11-02 | Nippon Steel Corp | 半導体基板の製造法 |
JPH08102448A (ja) * | 1994-09-30 | 1996-04-16 | Nippon Steel Corp | 半導体基板の製造方法 |
US5930643A (en) * | 1997-12-22 | 1999-07-27 | International Business Machines Corporation | Defect induced buried oxide (DIBOX) for throughput SOI |
JP2002231651A (ja) * | 2001-02-02 | 2002-08-16 | Nippon Steel Corp | Simox基板およびその製造方法 |
JP2003309254A (ja) * | 2002-04-11 | 2003-10-31 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 複数インプラント複数アニール・プロセスによる広いbox厚さ範囲にわたる中ドーズ量simox |
JP2004055694A (ja) * | 2002-07-17 | 2004-02-19 | Sumitomo Mitsubishi Silicon Corp | 絶縁されたシリコン単結晶層を含む半導体基板の製造方法 |
JP2004186618A (ja) * | 2002-12-06 | 2004-07-02 | Sumitomo Mitsubishi Silicon Corp | Simoxウェーハの製造方法 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3036619B2 (ja) * | 1994-03-23 | 2000-04-24 | コマツ電子金属株式会社 | Soi基板の製造方法およびsoi基板 |
US6486037B2 (en) * | 1997-12-22 | 2002-11-26 | International Business Machines Corporation | Control of buried oxide quality in low dose SIMOX |
JP3911901B2 (ja) * | 1999-04-09 | 2007-05-09 | 信越半導体株式会社 | Soiウエーハおよびsoiウエーハの製造方法 |
US6417078B1 (en) * | 2000-05-03 | 2002-07-09 | Ibis Technology Corporation | Implantation process using sub-stoichiometric, oxygen doses at different energies |
US6998353B2 (en) * | 2001-11-05 | 2006-02-14 | Ibis Technology Corporation | Active wafer cooling during damage engineering implant to enhance buried oxide formation in SIMOX wafers |
US20030211711A1 (en) * | 2002-03-28 | 2003-11-13 | Hirofumi Seki | Wafer processing method and ion implantation apparatus |
US6784072B2 (en) * | 2002-07-22 | 2004-08-31 | International Business Machines Corporation | Control of buried oxide in SIMOX |
US20040266129A1 (en) * | 2003-06-27 | 2004-12-30 | International Business Machines Corporation | Method of forming silicon-on-insulator wafers having process resistant applications |
US20050170570A1 (en) * | 2004-01-30 | 2005-08-04 | International Business Machines Corporation | High electrical quality buried oxide in simox |
JP2006032785A (ja) * | 2004-07-20 | 2006-02-02 | Sumco Corp | Soi基板の製造方法及びsoi基板 |
US20060228492A1 (en) * | 2005-04-07 | 2006-10-12 | Sumco Corporation | Method for manufacturing SIMOX wafer |
JP4876442B2 (ja) * | 2005-06-13 | 2012-02-15 | 株式会社Sumco | Simoxウェーハの製造方法およびsimoxウェーハ |
JP2007005563A (ja) * | 2005-06-23 | 2007-01-11 | Sumco Corp | Simoxウェーハの製造方法 |
JP2007208023A (ja) * | 2006-02-02 | 2007-08-16 | Sumco Corp | Simoxウェーハの製造方法 |
JP2007227424A (ja) * | 2006-02-21 | 2007-09-06 | Sumco Corp | Simoxウェーハの製造方法 |
-
2006
- 2006-04-05 JP JP2006103847A patent/JP5061489B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-03-20 EP EP07005682A patent/EP1850377A1/en not_active Withdrawn
- 2007-03-26 TW TW096110409A patent/TWI336917B/zh not_active IP Right Cessation
- 2007-03-28 SG SG200702341-9A patent/SG136104A1/en unknown
- 2007-03-30 KR KR1020070031333A patent/KR100875909B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2007-04-03 US US11/695,706 patent/US7884000B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05286799A (ja) * | 1992-04-10 | 1993-11-02 | Nippon Steel Corp | 半導体基板の製造法 |
JPH08102448A (ja) * | 1994-09-30 | 1996-04-16 | Nippon Steel Corp | 半導体基板の製造方法 |
US5930643A (en) * | 1997-12-22 | 1999-07-27 | International Business Machines Corporation | Defect induced buried oxide (DIBOX) for throughput SOI |
JP2002231651A (ja) * | 2001-02-02 | 2002-08-16 | Nippon Steel Corp | Simox基板およびその製造方法 |
JP2003309254A (ja) * | 2002-04-11 | 2003-10-31 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 複数インプラント複数アニール・プロセスによる広いbox厚さ範囲にわたる中ドーズ量simox |
JP2004055694A (ja) * | 2002-07-17 | 2004-02-19 | Sumitomo Mitsubishi Silicon Corp | 絶縁されたシリコン単結晶層を含む半導体基板の製造方法 |
JP2004186618A (ja) * | 2002-12-06 | 2004-07-02 | Sumitomo Mitsubishi Silicon Corp | Simoxウェーハの製造方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010021299A (ja) * | 2008-07-10 | 2010-01-28 | Sumco Corp | Simoxウェーハの製造方法 |
JPWO2011118205A1 (ja) * | 2010-03-26 | 2013-07-04 | 株式会社Sumco | Soiウェーハの製造方法 |
JP2020013905A (ja) * | 2018-07-18 | 2020-01-23 | 住友重機械イオンテクノロジー株式会社 | イオン注入方法およびイオン注入装置 |
US11830703B2 (en) | 2018-07-18 | 2023-11-28 | Sumitomo Heavy Industries Ion Technology Co, Ltd. | Ion implantation method and ion implanter |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100875909B1 (ko) | 2008-12-26 |
TWI336917B (en) | 2011-02-01 |
TW200741958A (en) | 2007-11-01 |
US7884000B2 (en) | 2011-02-08 |
EP1850377A1 (en) | 2007-10-31 |
KR20070100119A (ko) | 2007-10-10 |
US20070238269A1 (en) | 2007-10-11 |
JP5061489B2 (ja) | 2012-10-31 |
SG136104A1 (en) | 2007-10-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5061489B2 (ja) | Simoxウェーハの製造方法 | |
US7727867B2 (en) | Method for manufacturing SIMOX wafer | |
JP2752799B2 (ja) | Soi基板の製造方法 | |
JP2007005563A (ja) | Simoxウェーハの製造方法 | |
JP2006319173A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
US7807545B2 (en) | Method for manufacturing SIMOX wafer | |
JP2006351632A (ja) | Simoxウェーハの製造方法およびsimoxウェーハ | |
WO2001082346A1 (fr) | Procede de fabrication d'un materiau en silicium sur isolant (soi) | |
US7910463B2 (en) | Method of producing SIMOX wafer | |
US5534446A (en) | Process for producing buried insulator layer in semiconductor substrate | |
JP2002289552A (ja) | Simox基板の製造方法およびsimox基板 | |
JPH07247197A (ja) | 半導体装置とその製造方法 | |
JPS59124136A (ja) | 半導体ウエハの処理方法 | |
JP2010062291A (ja) | 半導体基板及びその製造方法 | |
JP4228676B2 (ja) | Simoxウェーハの製造方法 | |
US7799660B2 (en) | Method for manufacturing SOI substrate | |
JP2002231651A (ja) | Simox基板およびその製造方法 | |
JP4655557B2 (ja) | Soi基板の製造方法及びsoi基板 | |
JP3995286B2 (ja) | Simox基板の製造方法 | |
JP2010062503A (ja) | Simoxウェーハの結晶欠陥の低減方法及びsimoxウェーハ | |
JP2010027731A (ja) | Simoxウェーハの製造方法及びsimoxウェーハ | |
JP4075602B2 (ja) | Simoxウェーハの製造方法及びsimoxウェーハ | |
JP4442090B2 (ja) | Soi基板の製造方法 | |
JP2002190453A (ja) | 半導体ウェーハの製造方法 | |
US20130012008A1 (en) | Method of producing soi wafer |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090305 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110502 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120306 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120418 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120605 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120619 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120710 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120723 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150817 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |