JP2011029618A - Simoxウェーハの製造方法、simoxウェーハ - Google Patents
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Abstract
【課題】簡易な工程で再現性良く、表面平坦性を良好に保つことが可能な、部分的にBOX層を形成したSIMOX基板の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】BOX層を形成する領域を開口として、ウェーハの一面側にマスク層を形成する工程と、マスク層の開口からシリコン単結晶ウェーハに向けて所定の深さまで酸素をイオン注入し、局部的に酸素注入領域を形成する工程と、ウェーハとマスク層とをアニール処理し、酸素注入領域を酸化させてBOX層を形成するアニール工程と、アニール工程で形成されるウェーハ全体を覆う被覆酸化膜を除去する酸化膜除去工程を備え、マスク層は、少なくとも酸化物膜と、ポリシリコン膜およびアモルファスシリコン膜のうちいずれか一方又は両方とを積層してなる。
【選択図】図1
【解決手段】BOX層を形成する領域を開口として、ウェーハの一面側にマスク層を形成する工程と、マスク層の開口からシリコン単結晶ウェーハに向けて所定の深さまで酸素をイオン注入し、局部的に酸素注入領域を形成する工程と、ウェーハとマスク層とをアニール処理し、酸素注入領域を酸化させてBOX層を形成するアニール工程と、アニール工程で形成されるウェーハ全体を覆う被覆酸化膜を除去する酸化膜除去工程を備え、マスク層は、少なくとも酸化物膜と、ポリシリコン膜およびアモルファスシリコン膜のうちいずれか一方又は両方とを積層してなる。
【選択図】図1
Description
本発明は、SIMOXウェーハの製造方法および、これにより製造されたSIMOXウェーハに関するものであり、詳しくは、BOX層を局部的に形成したSIMOXウェーハの表面平坦性を良好に保つ技術に関する。
シリコン単結晶ウェーハにシリコン酸化膜(BOX層と称される)が埋込まれ、このBOX層の上層がシリコン単結晶薄膜(SOI層と称される)で覆われたSOI(Silicon On Insulator)ウェーハは、基板部分とデバイス作製層であるSOI層とを電気的に分離することができる。このため、絶縁耐圧、寄生容量、および耐放射性能力を良好に保てると共に、基板バイアス効果が無い等の特徴がある。これによって、高速性、低消費電力、ソフトエラーフリー等の効果が期待され、次世代素子用の基板として種々の開発が行われている。
こうしたSOIウェーハの製造方法としては、代表的なものに、いわゆるウェーハ貼り合わせ技術とSIMOX(Separation by Implanted Oxygen)技術とが挙げられる。ウェーハ貼り合わせ技術では、2枚のウェーハの片方又は両方に酸化膜を形成しておき、酸化膜を間に2枚のウェーハを貼り合わせて形成する。
一方、SIMOX技術では、シリコン単結晶ウェーハに酸素をイオン注入し、アルゴンや酸素ガスの雰囲気中でアニール処理し、これにより、酸素が過飽和に含まれている酸素注入領域のSiを酸化させ、BOX層に変換する。以上により、表面がSOI層で覆われ、シリコン単結晶ウェーハの内部にBOX層が埋込まれた構造のSIMOXウェーハを得ることができる。こうしたSIMOX技術は、ウェーハ貼り合わせ技術のような研削・研磨の工程が不要であり、比較的簡便な工程で作製することができるという利点がある。
こうしたSIMOXウェーハを、例えば、ロジック部やメモリ部などを備えたシステムLSIの製造に用いる場合、ロジック部の形成部分だけにBOX層を形成し、メモリ部などの形成部分にはBOX層を形成しない(バルク部分と称する)ことによって、部分的にBOX層を設けたSIMOXウェーハを用いる。これによって、後工程であるLSI製造工程を簡略化することができる。
このような、部分的にBOX層を設けたSIMOXウェーハの製造方法としては、シリコン単結晶ウェーハの一面側に、BOX層を形成する領域を開口としてバルク部分にマスク層を成膜するという方法が知られている。これにより、酸素をイオン注入する工程で、マスク層の開口部分に対応する領域だけに酸素注入領域が形成され、バルク部分ではマスク層によるバリア効果で酸素の注入が阻止される。この後、アニール処理によってマスク層の開口部分に対応する酸素注入領域だけがBOX層に変換され、所定のパターンで部分的にBOX層が形成されたSIMOXウェーハを得ることができる。
このような、部分的にBOX層を形成したSIMOXウェーハの課題として、表面の平坦性が悪いという課題があった。即ち、酸素をイオン注入した酸素注入領域では、アニール処理によってシリコンを酸化させてBOX層を形成させた際に体積が増加する。例えばSi+O2=SiO2の酸化反応に伴い約2.2倍ほど体積が増加する。これによって、バルク部分とBOX層を形成した部分との間で、ウェーハの表面で段差が生じる。単純な計算上では、BOX層の膜厚の約55%の高さ分、BOX層を形成した部分の表面が高くなることになる。こうした段差は、後工程においてフォトリソグラフィーによって回路を形成する際に、フォーカスがずれてしまうといった不具合を生じさせる。
SIMOXウェーハのBOX層形成部分とバルク部分との表面段差を低減させる方法として、例えば、特許文献1では、シリコン単結晶ウェーハの内部に酸素をイオン注入する工程と、アニール処理を行ってBOX層を形成する工程との間に、BOX層への変換による厚み増加分に相当する厚みまで、マスク層を成す第一の酸化膜を薄膜化するSOI基板の製造方法が記載されている。
また、例えば、特許文献2や特許文献3には、BOX層を形成する部分に対して酸素をイオン注入する前に、予めドライエッチングによってBOX層形成部分とバルク部分との間に、BOX層への変換による厚み増加分に相当する段差を形成しておくSOI基板の製造方法が記載されている。
さらに、例えば、特許文献4には、BOX層を形成する部分に対して酸素をイオン注入する前に、予め熱酸化及びドライエッチングによって、BOX層形成部分とバルク部分との間に、BOX層への変換による厚み増加分に相当する段差を熱酸化膜で形成しておくSOI基板の製造方法が記載されている。
しかしながら、例えば、特許文献1に記載された製造方法では、マスク層としてシリコン酸化膜を用いており、こうしたシリコンのマスク酸化膜を所定の厚みまでウエットエッチングする際に、ウェーハ面内およびウェーハ間で、マスク酸化膜の膜厚を均一性、再現性良く制御することが困難であった。また、ウエットエッチングは等方性エッチングであるため、マスク酸化膜の厚み方向に沿った側面もエッチングされてしまい、平面視したマスク酸化膜の幅あるいはマスク酸化膜の面積が小さくなってしまう現象が起きていた。さらに、この結果、マスク酸化膜が必要な領域を覆わないことで、BOX層が表面に露出し、マスク酸化膜を除去する際に、BOX層の露出部分が除去されて空洞が形成されてしまう可能性があり、この現象を解消したいという要求もあった。
また、例えば、特許文献2,3に記載された製造方法では、ドライエッチングによるウェーハ全面の平坦性を良好に保つことが困難であり、かつ、再現性良く膜厚制御を行うことも難しい。また、ドライエッチングを用いることによって、ウェーハの表面に物理的なダメージが残り、デバイスの特性を低下させる原因にもなる。
さらに、例えば、特許文献4に記載された製造方法では、マスク酸化膜の形成時にこの直下の領域も酸化されてしまい、サイズを一定に保つことができないという課題があった。
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、簡易な工程で再現性良く、表面平坦性を良好に保つことが可能な、部分的にBOX層が形成されたSIMOX基板の製造方法を提供することを目的とする。また、表面平坦性が良好に保たれ、表面欠陥が少なく、部分的にBOX層が形成されたSIMOX基板を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明は、次のようなSIMOX基板の製造方法を提供する。
すなわち、本発明のSIMOX基板の製造方法は、シリコン単結晶ウェーハの内部に、シリコン酸化物からなるBOX層が局部的に形成されたSIMOXウェーハを製造する方法であって、前記BOX層を形成する領域を開口として、前記シリコン単結晶ウェーハの一面側にマスク層を形成する工程と、前記マスク層の開口から前記シリコン単結晶ウェーハに向けて所定の深さまで酸素をイオン注入し、局部的に酸素注入領域を形成する酸素注入工程と、前記シリコン単結晶ウェーハと前記マスク層とをアニール処理し、前記酸素注入領域を酸化させてBOX層を形成するアニール工程と、前記アニール工程で形成される前記シリコン単結晶ウェーハ全体を覆う被覆酸化膜を除去する酸化膜除去工程と、を少なくとも備え、前記マスク層は、少なくとも酸化物膜と、ポリシリコン膜およびアモルファスシリコン膜のうちいずれか一方又は両方とを積層してなることを特徴とする。
すなわち、本発明のSIMOX基板の製造方法は、シリコン単結晶ウェーハの内部に、シリコン酸化物からなるBOX層が局部的に形成されたSIMOXウェーハを製造する方法であって、前記BOX層を形成する領域を開口として、前記シリコン単結晶ウェーハの一面側にマスク層を形成する工程と、前記マスク層の開口から前記シリコン単結晶ウェーハに向けて所定の深さまで酸素をイオン注入し、局部的に酸素注入領域を形成する酸素注入工程と、前記シリコン単結晶ウェーハと前記マスク層とをアニール処理し、前記酸素注入領域を酸化させてBOX層を形成するアニール工程と、前記アニール工程で形成される前記シリコン単結晶ウェーハ全体を覆う被覆酸化膜を除去する酸化膜除去工程と、を少なくとも備え、前記マスク層は、少なくとも酸化物膜と、ポリシリコン膜およびアモルファスシリコン膜のうちいずれか一方又は両方とを積層してなることを特徴とする。
前記マスク層の酸化物膜は、シリコン酸化物から形成されてもよい。
前記マスク層は、前記シリコン単結晶ウェーハの一面側から、第一のシリコン酸化物膜、ポリシリコン膜およびアモルファスシリコン膜のうちいずれか一方又は両方、第二のシリコン酸化物膜の順に積層されてもよい。
前記酸素注入工程と前記アニール工程との間には、前記マスク層から前記第二のシリコン酸化物膜を除去する酸化物膜除去工程を更に備えていてもよい。
前記マスク層は、前記シリコン単結晶ウェーハの一面側から、第一のシリコン酸化物膜、ポリシリコン膜およびアモルファスシリコン膜のうちいずれか一方又は両方、第二のシリコン酸化物膜の順に積層されてもよい。
前記酸素注入工程と前記アニール工程との間には、前記マスク層から前記第二のシリコン酸化物膜を除去する酸化物膜除去工程を更に備えていてもよい。
前記酸化物膜除去工程は、ウエットエッチング法であってもよい。
前記ポリシリコン膜およびアモルファスシリコン膜のうちいずれか一方又は両方は、その下層に形成された前記酸化物膜の厚み方向の側面を覆うように、端部が前記シリコン単結晶ウェーハに向けて延びていてもよい。
前記酸化膜除去工程を経た後の、前記BOX層の形成領域と前記マスク層の形成領域との間のシリコンウェーハ表面段差は、10nm以下であってもよい。
前記ポリシリコン膜およびアモルファスシリコン膜のうちいずれか一方又は両方は、その下層に形成された前記酸化物膜の厚み方向の側面を覆うように、端部が前記シリコン単結晶ウェーハに向けて延びていてもよい。
前記酸化膜除去工程を経た後の、前記BOX層の形成領域と前記マスク層の形成領域との間のシリコンウェーハ表面段差は、10nm以下であってもよい。
また、本発明は、次のようなSIMOX基板を提供する。すなわち、本発明のSIMOX基板は、上述した本発明のSIMOXウェーハの製造方法により製造されたことを特徴とする。
本発明のSIMOXウェーハの製造方法によれば、マスク層の一部にポリシリコン膜およびアモルファスシリコン膜のうちいずれか一方又は両方を備えることで、アニール工程において、バルク領域に形成されるシリコン酸化膜の厚みを、SOI領域に形成されるシリコン酸化膜の厚みよりも薄くすることができる。これにより、アニール工程で形成されるシリコン単結晶ウェーハ全体を覆う被覆酸化膜をウエットエッチング法で除去した後に、BOX層の形成領域とマスク層の形成領域との間のシリコンウェーハ表面段差を無くして平坦に保つことができるとともに、BOX層端部が表面に露出することを確実に防止できる。
本発明のSIMOXウェーハによれば、バルク領域とSOI領域とで、基板の表面に段差の無い平坦な表面を備え、後工程においてフォトリソグラフィーによって回路を形成する際に、フォーカスがずれてしまうといった不具合の発生を防止することが可能になる。
以下、本発明に係るSIMOXウェーハの製造方法の最良の実施形態について、図面に基づき説明する。なお、本実施形態は、発明をより良く理解させるために具体的に説明するものであり、特に指定のない限り、本発明を限定するものではない。
図1〜図3は、本発明によるSIMOXウェーハの製造方法の一例を段階的に示した説明図である。図1(a)に示すように、基板11は、チョクラルスキー(CZ)法により育成されたシリコン単結晶インゴットから薄板状に切り出されたシリコン単結晶ウェーハであればよい。また、CZ法によって形成されたシリコン単結晶インゴット以外にも、例えば、フローティング・ゾーン(FZ)法等により育成されたシリコン単結晶インゴットから切り出されたシリコン単結晶ウェーハを用いても良い。また、表面にシリコン単結晶膜をエピタキシャル成長させたエピタキシャルウェーハや、アルゴンアニール処理を行ったArアニールウェーハを用いることも好ましい。
まず、基板11(シリコン単結晶ウェーハ)にマスク層を形成する工程を説明する。最初に、基板11(シリコン単結晶ウェーハ)の一面11aに表面酸化膜(第一のシリコン酸化物膜)12を形成する(図1(a)参照)。この表面酸化膜12は、シリコン酸化物(SiO2膜)からなる薄膜である。表面酸化膜12は、基板11を熱酸化するか、あるいはCVD法(化学気相成長法)によって形成することができる。
次に、表面酸化膜12の表面に、表面酸化膜12に重ねて、シリコン膜(ポリシリコン膜およびアモルファスシリコン膜のうちいずれか一方又は両方)15を成膜する(図1(b)参照)。さらに、このシリコン膜15に重ねてレジスト層13を形成(塗布)する(図1(c)参照)。そして、このレジスト層13を所定の形状に形成する(図1(d)参照)。レジスト層13の形状は、例えば、後工程で形成されるマスク層の形成パターンに沿って形成されれば良い。即ち、基板11に対して酸素をイオン注入する領域(BOX層を形成する領域)を開口とした形状に形成すればよい。
次に、このレジスト層13をマスクとして、表面酸化膜12、およびシリコン膜15のエッチングを行う(図2(a)参照)。エッチングにあたっては、ドライエッチング、例えば反応性イオンエッチングによって行えばよい。そして、レジスト層13を除去する(図2(b)参照)。次いで、更に薄くシリコン膜15を成膜し、表面酸化膜12の側面12aも覆う形状にシリコン膜15を形成する(図2(c)参照)。この時、シリコン膜15において、表面酸化膜12の側面を覆っているサイドウォール部分の厚みが、例えば、10〜200nm、好ましくは20〜100nm程度になるようにシリコン膜15を形成する。
この後、基板11の一面11aに対して垂直方向に異方性エッチングを行い、マスク層形成領域以外の基板11の一面11aを覆っているシリコン膜15だけを選択的に除去する(図2(d)参照)。異方性エッチングとしては、例えば、反応性イオンエッチングが挙げられる。反応性イオンエッチングでは、反応室内に設置された2枚の対向電極のうち下側電極に基板を載せる。次いで、これらの電極間に高周波電圧を印加してプラズマを誘起させ、エッチングガスから反応性の高いラディカルイオン核種を形成する。そして、プラズマと基板11との間に生じる自己バイアス電位差により、基板11に数十から数百eVのラディカルイオンを入射させる。そして、ラディカルイオンによるスパッタリング作用と化学反応の両方の効果で基板11の一面11aを覆っているシリコン膜15だけを選択的にエッチングする。
そして、シリコン膜15に重ねてマスク酸化膜(第二のシリコン酸化物膜)16を形成する(図2(e)参照)。マスク酸化膜16は、例えば、以下の方法により成膜される。まず表面酸化膜12を含む基板11の一面11a側にシリコン酸化物(SiO2膜)を成膜する。その後、異方性エッチングなどによって、シリコン膜15の形成部分だけマスク酸化膜16が残るように、シリコン酸化物(SiO2膜)をエッチングする。なお、このマスク酸化膜(第二のシリコン酸化物膜)16は、特に形成しなくてもよい。
以上、図1(a)〜図2(e)に示すマスク層を形成する工程を経て、基板11の一面11a上に、表面酸化膜(第一のシリコン酸化物膜)12,シリコン膜(ポリシリコン膜およびアモルファスシリコン膜のうちいずれか一方又は両方)15,およびマスク酸化膜(第二のシリコン酸化物膜)16を順に重ねてなるマスク層17が形成される(図2(e)参照)。
こうしたマスク層17は、後工程で基板11に酸素をイオン注入する領域(BOX層を形成する領域)に開口17aを有する形状に形成されている。また、表面酸化膜12,シリコン膜15の厚みは、後工程であるアニール工程による各部の厚みの変化量に応じて、最終的にシリコン酸化膜の除去後の基板11(シリコン単結晶ウェーハ)の表面平坦性が保たれるような最適な比率で形成する。これについては、後ほどアニール工程の説明において説明する。
次に、図3(a)に示すように、基板11のうちマスク層17の開口17aから露呈された領域に向けて、酸素をイオン注入する(酸素注入工程)。基板11に向けて所定のエネルギーで酸素イオンを照射すると、開口17aで露呈した部分から基板11に酸素が注入される。これにより、基板11の一面11aから少し内部へ入った領域に酸素の高濃度層(酸素注入領域)19が形成される。また、基板11のうち、マスク層17によって覆われた部分(バルク部分)は、酸素イオンの注入が阻止される。これにより、マスク層17の形成パターンに倣って、部分的(局部的)に酸素の高濃度層(酸素注入領域)19を形成することができる。
この酸素注入工程において、酸素イオンの注入条件の一例を挙げると、注入量は、1×1017/cm2〜2×1018/cm2であり、好ましくは2×1017/cm2〜5×1017/cm2である。注入エネルギーは、20keV〜240keVであり、好ましくは60keV〜220keVである。また、酸素イオンの注入にあたって、注入エネルギーおよび注入量を2段階以上に可変させて行っても良い。
続いて、図3(b)に示すように、マスク層17を成すマスク酸化膜(第二のシリコン酸化物膜)16を除去する(酸化物膜除去工程)。マスク酸化膜16の除去は、例えば、シリコン酸化物に対して特異的に反応するウエットエッチングによって行えばよい。これにより、シリコン酸化物膜からなるマスク酸化膜16が除去される。
表面酸化膜12の上に、ポリシリコン膜およびアモルファスシリコン膜のうちいずれか一方又は両方からなるシリコン膜15が形成されていることにより、マスク酸化膜16の除去時に、このシリコン膜15がエッチングストッパーとしての役割を果たす。このため、表面酸化膜12とシリコン膜15との合計膜厚を、マスク酸化膜16の除去後に残すマスク層17の設定膜厚と同じにすることで、後工程におけるマスク層17の膜厚を容易に、かつ再現性良く制御することが可能になる。
また、従来、マスク層を成すマスク酸化膜の除去において、ウエットエッチングに代表される等方性エッチングを行うと、マスク酸化膜の下層の表面酸化膜が側面からエッチングされて幅が減少してしまう。マスク層を成す表面酸化膜の幅が縮小すると、後工程であるアニール工程において、形成されるBOX層がマスク層で覆われなくなった領域に向けて成長し、基板の表面にBOX層の端部が露呈されるといった現象が生じる。基板の表面にBOX層の端部が露呈されると、シリコン酸化物を特異的に除去するマスク層のエッチング時に、シリコン酸化物からなるBOX層も基板の表面に露呈した端部からエッチングされてしまい、微細な孔が生じるという課題があった。
しかし、本発明では、マスク層17としてシリコン膜15を備え、このシリコン膜15が、表面酸化膜12の厚み方向に沿った側面12aも覆っている。従って、シリコン酸化物に対して特異的に反応するウエットエッチングなどの等方性エッチングを行っても、側面12aから表面酸化膜12がエッチングされてしまうことがない。このため、マスク層17の幅が縮小されることが無く、マスク層17の除去後に基板11の表面にピット等の欠陥が生じることを確実に防止できる。なお、マスク酸化膜(第二のシリコン酸化物膜)16を特に形成しない場合においては、こうした酸化物膜除去工程を特に行わなくても良い。
続いて、図3(c)に示すように、マスク酸化膜16が除去されて表面酸化膜12とシリコン膜15とからなるマスク層17が残された基板11をアニール処理する(アニール工程)。アニール処理の一例としては、酸化性雰囲気中で、1300〜1380℃の温度範囲内で2〜20時間保持し、その後に徐冷する方法が挙げられる。酸化性雰囲気としては、不活性ガスと酸素の混合ガス雰囲気を含み、アルゴン及び酸素の混合ガス雰囲気、或いは窒素及び酸素の混合ガス雰囲気が例示される。酸化性雰囲気において、酸素の好ましい含有量は0.5〜90容量%であり、更に好ましい含有量は40〜70容量%である。
このアニール処理により、基板11に形成された酸素の高濃度層19(図3(b)参照)の酸化が促進される。これにより、表面がシリコン単結晶薄膜(SOI層と称される)で覆われ、基板11の内部に埋め込まれたBOX層(シリコン酸化膜)21が局部的に形成される。
このようなアニール工程において、酸素の高濃度層19が熱酸化され、BOX層に変換されると、このBOX層21は、熱酸化前の体積よりも膨張する。例えば、酸素の高濃度層19がBOX層21に変換される際に、厚みは約2.2倍程度増加する。また、シリコン単結晶から成る基板11の一面11aも熱酸化され、シリコン酸化膜が形成される。
一方、基板11のバルク領域に形成されたマスク層17は、表面に、ポリシリコン膜およびアモルファスシリコン膜のうちいずれか一方又は両方からなるシリコン膜15を備えている。このため、熱酸化の開始後、マスク層17においてはシリコン膜15の酸化に酸素が消費されてから、マスク層17の下部、即ちバルク領域の基板11の一面11aが酸化され、バルク領域の単結晶シリコンウエーハ表面の酸化量は抑制される。一方、BOX層21の上層、即ちマスク層17が形成されない領域(SOI領域)の基板11の一面11a(SOI層)は、熱酸化の開始直後から酸化が始まり、シリコン酸化膜が形成されていく。このため、バルク領域と比較して単結晶シリコンウエーハ表面の酸化量が大きい。
これにより、アニール工程を経た基板11(シリコン単結晶ウェーハ)の表面において、バルク領域とSOI領域とを段差無く平坦にすることができる。例えば、バルク領域とSOI領域との表面段差を10nm以下に抑えることが可能になる。
図4は、図3(c)において点線で示した領域Pにおいて、アニール工程による基板(シリコン単結晶ウェーハ)の表面状態を模式的に示した説明図であり、図4(a)は、従来の製造方法を示し、図4(b)は、本発明の製造方法を示している。図4(a)に示す従来の製造方法では、基板51(シリコン単結晶ウェーハ)のアニール工程において、酸素の高濃度層が熱酸化され、シリコン酸化物からなるBOX層52に変換される際に体積が膨張する。これにより、基板51の表面51aにおいて、BOX層52の形成領域(SOI領域)E1と、BOX層52が形成されない領域(バルク領域)E2との間で、tで示す段差が生じてしまう。従って、アニール工程後の基板51の表面51aを平坦に保つことができなかった。また、BOX層52の端部53が基板51の表面に露出した。なお、図4(a),(b)において、符号36は被覆酸化膜を示し、符号22はSOI層を示す。
一方、図4(b)に示す本発明の製造方法では、アニール工程が開始されると、バルク領域E2では、まず、マスク層17に形成されたシリコン膜15の酸化に酸素が消費される。そして、ポリシリコン膜15等が酸化されて酸化膜15’となった後、基板11の表面の酸化が始まる。一方、SOI領域E1では、アニール工程の開始直後から基板11の表面の酸化が始まる。これにより、バルク領域E2は、SOI領域E1よりも基板11の酸化量を抑えることが可能になる。
従って、マスク層17に形成されたシリコン膜15の膜厚を最適化することによって、基板11の表面11aにおけるSOI領域E1と、バルク領域E2との間で、段差のない平坦な表面を得ることができる。例えば、バルク領域E2とSOI領域E1との表面段差を10nm以下に抑えることが可能になる。さらに、BOX層端部が基板51の表面に露出することが防止できる。
以上のようなアニール工程の後、基板11全体を覆う被覆酸化膜36を、例えばウエットエッチングなどのエッチングによって除去する(酸化膜除去工程)。これにより、回路形成に応じて部分的にBOX層21を形成したSIMOXウェーハ40を得ることができる(図3(d)参照)。こうして得られたSIMOXウェーハ40では、SOI領域E1とバルク領域E2における基板11の表面11aが段差無く平坦に保たれており、例えば、SOI領域E1とバルク領域E2における基板11の表面段差を10nm以下に抑えることが可能になる。
また、図3(c)において、基板11全体を覆う被覆酸化膜36の表面を段差無く平坦にしておくことによって、被覆酸化膜36を均一にエッチングすることができる。このため、被覆酸化膜36の除去後のSOI領域E1とバルク領域E2における基板11の表面11aを平坦に保つことが可能になる。これにより、後工程においてフォトリソグラフィーによって回路を形成する際に、フォーカスがずれてしまうといった不具合を防止することが出来る。
図5は、本発明に係るSIMOXウェーハの製造方法において、マスク層の製造方法の他の一例を段階的に示す断面図である。この実施形態では、基板61(シリコン単結晶ウェーハ)の一面61aに表面酸化膜(第一のシリコン酸化物膜)62、シリコン膜(ポリシリコン膜およびアモルファスシリコン膜のうちいずれか一方又は両方)65、マスク酸化膜(第二のシリコン酸化物膜)66を重ねて形成する(図5(a)参照)。
次に、マスク酸化膜66に重ねてレジスト層63を形成(塗布)する(図5(b)参照)。そして、このレジスト層63を所定の形状に形成する(図5(c)参照)。そして、レジスト層63をマスクとして表面酸化膜62、シリコン膜65、およびマスク酸化膜66のエッチングを行う(図5(d)参照)。エッチングにあたっては、例えば反応性イオンエッチングなどのドライエッチングによって行えばよい。そして、レジスト層63を除去すれば、基板61の一面61a上に、表面酸化膜(第一のシリコン酸化物膜)62,シリコン膜(ポリシリコン膜およびアモルファスシリコン膜のうちいずれか一方又は両方)65,およびマスク酸化膜(第二のシリコン酸化物膜)66を順に重ねてなるマスク層67が形成される(図5(e)参照)。
この実施形態でのマスク層67は、後工程において、このマスク層67中のマスク酸化膜66を除去する際に、表面酸化膜62が側面からエッチングされる懸念が少ない場合に特に最適である。また、表面酸化膜が側面からエッチングされても、そのエッチング量がマスク層67に比べて無視できる程度である場合に適している。例えば、エッチング量が0.5μmであり、マスク層67のサイズが10μm以上である場合のように、その比が20倍以上もあり、エッチング量が無視できる程少ない場合である。前述した実施形態と比較して、表面酸化膜62の側面を覆うシリコン膜を形成する工程が省略されており、より一層容易、かつ少ない工程でシリコン膜65を備えたマスク層67を形成することができる。
なお、図5に示す実施形態において、エッチング時にシリコン膜65およびマスク酸化膜66だけを除去し、表面酸化膜62は全体を基板61の一面61a上に残しておき、酸素注入工程における保護膜としても良い(図6(a)参照)。
また、図5に示す実施形態において、表面酸化膜62の側面を覆うシリコン膜を形成する必要がある場合には、マスク層67の形成後、更に全体を薄いシリコン膜65で覆い、次いでマスク層67が形成されない部分だけ、基板61の一面61aからシリコン膜65を除去しても良い(図6(b)参照)。この図6(b)に示す実施形態では、表面酸化膜62の側面62aとともにマスク酸化膜66の側面66aもシリコン膜65で覆われている。しかし、シリコン膜65は、表面酸化膜62の側面62aを覆いつつ、マスク酸化膜66の側面66aは覆わない形状に形成してもよい。
また、本発明において、単結晶シリコンの酸化速度とポリシリコン又はアモルファスシリコンの酸化速度がほぼ等しいと仮定すると、マスク層に形成するポリシリコン又はアモルファスシリコンの厚みは、形成されるBOX層膜厚×0.55に設計すればよい。例えば、形成されるBOX層膜厚が200nmとすると、BOX層形成に伴い、SOI領域表面はバルク領域表面に比べ200×0.55=110nm高くなる。この高さに相当するポリシリコン膜又はアモルファスシリコン膜をバルク領域に形成してやると、どちらの領域も110nmのシリコンの酸化で相殺され、最終的に表面高さは同じになる。実際には、ポリシリコン膜又はアモルファスシリコン膜の膜質、不純物濃度の影響により、単結晶シリコンの酸化速度とポリシリコン又はアモルファスシリコンの酸化速度は異なる。一方で、酸素イオン注入によるスパッタリングの影響により、SOI領域の表面がエッチングされる。このため、ポリシリコン又はアモルファスシリコンの膜厚は、BOX層膜厚×0.55を目安に、実験により最適化する必要がある。
つまり、ポリシリコン又はアモルファスシリコンの膜厚は、BOX層膜厚×0.55で設計することが好ましく、酸素イオンエネルギーに依存しない。これとともに、酸素イオンエネルギーに対して全体のマスク層膜厚は、ポリシリコン膜又はアモルファスシリコン膜の上に形成する酸化膜の膜厚で調整することが好ましい。表1は、イオンエネルギーとマスク膜厚との関係を示す。
以下、本発明の実施例として、酸素注入工程における注入エネルギーと、必要となるマスク層の厚み範囲とを調べた結果およびその際の諸元を以下に示す。
なお、本発明例の製造工程を図7(a)〜(e)に示すとともに、従来例の製造工程は図8(a)〜(e)に示す。図において、先に説明した構成要素と等しい構成には、同一の符号を付している。図7(a),図8(a)は、図1、図2のマスク形成に対応し、図7(b),図8(b)は、図3(a)でのイオン注入(異なる条件で2回)に対応する。図7(c),図8(c)は、図3(b)でのマスクエッチングに対応し、図7(d),図8(d)は、図3(c)のアニールに対応する。図7(e),図8(e)は、図3(d)の酸化膜エッチングに対応している。
なお、本発明例の製造工程を図7(a)〜(e)に示すとともに、従来例の製造工程は図8(a)〜(e)に示す。図において、先に説明した構成要素と等しい構成には、同一の符号を付している。図7(a),図8(a)は、図1、図2のマスク形成に対応し、図7(b),図8(b)は、図3(a)でのイオン注入(異なる条件で2回)に対応する。図7(c),図8(c)は、図3(b)でのマスクエッチングに対応し、図7(d),図8(d)は、図3(c)のアニールに対応する。図7(e),図8(e)は、図3(d)の酸化膜エッチングに対応している。
図7(a)又は図8(a)に示されたマスク層17又はマスク酸化膜16を形成した。得られたマスク層17を構成する各層及びマスク酸化膜16の厚さを表2に示す。ここで、表2のサイドウォール厚みは、表面酸化膜12の側面12aに位置するシリコン層15の部分の厚さを示す。
次に、表3の条件で酸素イオンを注入した。ここで、従来例1と実施例1では、注入1−1と注入1―2の共通の条件で2回酸素イオンを注入した。同様に、従来例2と実施例2では、注入2−1と注入2―2の共通の条件で2回酸素イオンを注入した。従来例3と実施例3では、注入3−1と注入3―2の共通の条件で2回酸素イオンを注入した。
次に、マスク酸化膜16をエッチングした(マスクエッチング)。マスクエッチング後の各膜厚を表4に示す。ここで、従来例では、マスク酸化膜を全て除去した。本発明例では、酸化膜16のみ除去し、酸化膜12とポリシリコン膜15は残した。
次に、表5の条件でアニール処理を行った。なお、従来例1と実施例1は共通の条件で行った。同様に、従来例2と実施例2は共通の条件で行い、従来例3と実施例3は共通の条件で行った。アニール処理後、基板11全体を覆う被覆酸化膜36を、ウエットエッチングによって除去した。
表6は、アニール後に被覆酸化膜を除去した後のウェーハの構造を示す。表6に示すとおり、本発明によれば、BOX層の形成領域とマスク層の形成領域との間のシリコンウェーハ表面段差を無くして平坦に保つことができるとともに、BOX層端部がウェーハ表面に露出することが防止できた。
表2〜表6によれば、注入エネルギーと、必要となるマスク層との厚みは、ほぼ比例しており、注入エネルギーが高くなるほど、マスク層を厚く成膜する必要があることがわかった。
以上、本発明の好ましい実施例を説明したが、本発明はこれら実施例に限定されることはない。本発明を逸脱しない範囲で、構成の付加、省略、置換、およびその他の変更が可能である。本発明は前述した説明によって限定されることはなく、添付の特許請求の範囲によってのみ限定される。
11 基板(シリコン単結晶ウェーハ)、12 表面酸化膜(第一のシリコン酸化物膜)、15 シリコン膜(ポリシリコン膜およびアモルファスシリコン膜のうちいずれか一方又は両方)、16 マスク酸化膜(第二のシリコン酸化物膜)、17 マスク層、19 酸素の高濃度層(酸素注入領域)、21 BOX層、40 SIMOXウェーハ。
Claims (8)
- BOX層を形成する領域を開口として、シリコン単結晶ウェーハの一面側にマスク層を形成する工程と、
前記マスク層の開口から前記シリコン単結晶ウェーハに向けて所定の深さまで酸素をイオン注入し、局部的に酸素注入領域を形成する酸素注入工程と、
前記シリコン単結晶ウェーハと前記マスク層とをアニール処理し、前記酸素注入領域を酸化させてBOX層を形成するアニール工程と、
前記アニール工程で形成される前記シリコン単結晶ウェーハ全体を覆う被覆酸化膜を除去する酸化膜除去工程と、を少なくとも備え、
前記マスク層は、少なくとも酸化物膜と、ポリシリコン膜およびアモルファスシリコン膜のうちいずれか一方又は両方とを積層してなることを特徴とする、シリコン単結晶ウェーハの内部に、シリコン酸化物からなるBOX層が局部的に形成されたSIMOXウェーハの製造方法。 - 前記マスク層の酸化物膜は、シリコン酸化物からなることを特徴とする請求項1記載のSIMOXウェーハの製造方法。
- 前記マスク層は、前記シリコン単結晶ウェーハの一面側から、第一のシリコン酸化物膜、ポリシリコン膜およびアモルファスシリコン膜のうちいずれか一方又は両方、第二のシリコン酸化物膜の順に積層されていることを特徴とする請求項1または2記載のSIMOXウェーハの製造方法。
- 前記酸素注入工程と前記アニール工程との間には、前記マスク層から前記第二のシリコン酸化物膜を除去する酸化物膜除去工程を更に備えていることを特徴とする請求項3記載のSIMOXウェーハの製造方法。
- 前記酸化物膜除去工程は、ウエットエッチング法であることを特徴とする請求項4記載のSIMOXウェーハの製造方法。
- 前記ポリシリコン膜およびアモルファスシリコン膜のうちいずれか一方又は両方は、その下層に形成された前記酸化物膜の厚み方向の側面を覆うように、端部が前記シリコン単結晶ウェーハに向けて延びていることを特徴とする請求項1ないし5いずれか1項記載のSIMOXウェーハの製造方法。
- 前記酸化膜除去工程を経た後の、前記BOX層の形成領域と前記マスク層の形成領域との間のシリコンウェーハ表面段差は、10nm以下であることを特徴とする請求項1ないし6いずれか1項記載のSIMOXウェーハの製造方法。
- 請求項1ないし7いずれか1項記載のSIMOXウェーハの製造方法により製造されたことを特徴とするSIMOXウェーハ。
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