JP2007157986A - トランジスタを備えた装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板12と、基板12に支持されるトランジスタ100とを備えた装置であって、トランジスタ100は、チャネル領域24、ソース領域26およびドレイン領域28を有する半導体層14と、半導体層14および基板12の間に設けられた第1ゲート電極16と、半導体層14を挟んで第1ゲート電極16の反対側に設けられた第2ゲート電極18と、半導体層14および第1ゲート電極16の間に形成された第1ゲート絶縁層20と、半導体層14および第2ゲート電極18の間に形成された第2ゲート絶縁層22とを有し、トランジスタ100のオン状態において、第1ゲート電極16と半導体層14との間に形成される第1ゲート電極容量は、第2ゲート電極18と半導体層14との間に形成される第2ゲート電極容量の70%以下である。
【選択図】図2
Description
本実施形態の装置は、半導体層を挟んで上下にそれぞれゲート電極が設けられたダブルゲート構造の薄膜トランジスタを有している。図2は、本実施形態における薄膜トランジスタの構成を示す断面模式図である。
次に、本発明による装置の第2の実施形態を説明する。本実施形態の装置は、以下に説明するような薄膜トランジスタを備えている。
次に、本発明による装置の第3の実施形態を説明する。本実施形態の装置は、以下に説明するようなダブルゲート構造の薄膜トランジスタを備えている。
次に、本発明による装置の第4の実施形態を説明する。本実施形態の装置は、以下に説明するような薄膜トランジスタを備えている。
14 半導体層
16 第1ゲート電極
18 第2ゲート電極
20 第1ゲート絶縁層
22 第2ゲート絶縁層
24 チャネル領域
26 ソース領域
28 ドレイン領域
32、34 LDD領域
100、200、300、400 薄膜トランジスタ
Claims (10)
- 基板と、
前記基板に支持されるトランジスタと
を備えた装置であって、前記トランジスタは、
チャネル領域、ソース領域およびドレイン領域を有する半導体層と、
前記半導体層および前記基板の間に設けられた第1ゲート電極と、
前記半導体層を挟んで前記第1ゲート電極の反対側に設けられた第2ゲート電極と、
前記半導体層および前記第1ゲート電極の間に形成された第1ゲート絶縁層と、
前記半導体層および前記第2ゲート電極の間に形成された第2ゲート絶縁層と
を有し、
前記トランジスタのオン状態において、前記第1ゲート電極と前記半導体層との間に形成される第1ゲート電極容量は、前記第2ゲート電極と前記半導体層との間に形成される第2ゲート電極容量の70%以下である装置。 - 前記第1ゲート絶縁層の厚さは前記第2ゲート絶縁層の厚さの2倍以上である請求項1に記載の装置。
- 前記第1ゲート絶縁層の厚さは100nm以上1000nm以下であり、前記第2ゲート絶縁層の厚さは10nm以上100nm以下である請求項1または2に記載の装置。
- 前記第1ゲート絶縁層の厚さは200nm以上である請求項1から3のいずれかに記載の装置。
- 前記第1ゲート電極の厚さは前記第2ゲート電極の厚さよりも小さい請求項1から4のいずれかに記載の装置。
- 前記第1ゲート電極の厚さは20nm以上200nm以下であり、前記第2ゲート電極の厚さは200nm以上1000nm以下である請求項5に記載の装置。
- 前記第1および第2ゲート電極は、前記半導体層における前記ソース領域および前記ドレイン領域と重なっていない請求項1から6のいずれかに記載の装置。
- 前記半導体層は、前記チャネル領域と前記ソース領域との間および前記チャネル領域と前記ドレイン領域との間に、前記ソース領域および前記ドレイン領域の不純物濃度よりも低い不純物濃度を有する低濃度不純物領域を有しており、
前記第1ゲート電極は前記低濃度不純物領域と重なり、前記第2ゲート電極は前記低濃度不純物領域と重なっていない請求項1から6のいずれかに記載の装置。 - 前記半導体層は、前記チャネル領域と前記ソース領域との間および前記チャネル領域と前記ドレイン領域との間に、前記ソース領域および前記ドレイン領域の不純物濃度よりも低い不純物濃度を有する低濃度不純物領域を有しており、
前記第1ゲート電極は前記低濃度不純物領域と重なっておらず、前記第2ゲート電極は前記低濃度不純物領域と重なっている請求項1から6のいずれかに記載の装置。 - 前記半導体層は表面に凹凸を有しており、前記凹凸の段差は、前記第2ゲート絶縁膜の厚さよりも小さい請求項1から9のいずれかに記載の装置。
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