JP2007140918A - エラー表示装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】駆動機構で発生した故障などのエラーをセンサが検出するとエラー信号を制御部に送信する。制御部は、エラー信号に応じたエラー内容を示す文字情報と、エラーの発生した駆動機構とその駆動機構に備わったセンサの位置を示す画像とを記憶手段から選択して読み出し、文字情報の第1画像と駆動機構のエラー発生箇所の絵柄の第2画像とを重ね合わせて1組にしたエラー情報を液晶表示装置に表示する。復旧後は、画面のGUIに触れることにより、駆動機構の動作確認を行える。
【選択図】図4
Description
前記駆動機構の作動状況などを含む各種情報を表示する表示手段と、
前記種駆動機構で発生したエラーを検出し、この検出結果を検出信号として送信する検出手段と、
前記駆動機構で発生し得るエラー内容を、前記検出手段によって検出されるエラー内容とエラー発生箇所の駆動機構の画像データとに関連付けし、これらをエラー情報として記憶する記憶手段と、
前記検出手段から送信される検出信号に対応するエラー情報を前記記憶手段から選択して読み出し、そのエラー情報に含まれるエラー内容と画像データに基づく画像を前記表示手段に表示させるエラー情報選択手段と、
前記エラー情報選択手段によって表示されるエラーの発生箇所が正常に作動するか否かの状態を前記表示手段に表示させる作動状態確認手段と、
を備えたことを特徴とする。
前記記憶手段が記憶している画像データは、前記駆動機構の構成を示す画像上に前記検出手段の位置を示した第1画像データと、エラーを検出した前記検出手段と該検出手段によって特定されるエラー発生箇所の文字情報を含ませた状態でエラー発生を警告する強調表示用の第2画像データとを記憶し、
さらに、前記エラー情報選択手段によって選択されたエラー情報を利用し、前記第1画像データに基づいて出力表示される第1画像上に第2画像データに基づいて出力表示される第2画像が重畳されるように一対の画像データを生成する画像データ生成手段と、
前記画像データ生成手段によって生成された画像データに基づく画像を前記表示手段に表示したとき、表示手段に表示される画像を上層の第2画像から下層の第1画像に切り替える切替え手段と、を備え、
前記切替え手段によって前記表示手段に表示される画像を第1画像に切り替えた状態で前記作動状態確認手段が操作されると、エラー発生箇所の検出手段が作動して動作確認を行ない、前記駆動機構が正常な作動状態にあるときと、駆動機構がエラー発生状態のままであるときのいずれかの場合に、第1画像上に示される前記検出手段の位置を強調表示させるように構成した
ことを特徴する。
前記表示手段は、表示された画像に対応する部分に触れることで、画像指定がなされるタッチパネル式であり、
前記切替え手段は、前記第2画像上の所定部分にGraphical User Interfaceとして設けられており、
前記作動状態確認手段は、前記第1画像上の所定部分にGraphical User Interfaceとして設けられるとともに、この第1画像上の所定部分のGraphical User Interfaceに触れるごとに強調表示と非強調表示が交互に切り替わるように構成されている
ことを特徴とする。
所定の駆動機構または複数の駆動機構にわたって同時に複数箇所でエラーが発生した場合、各検出手段から送信される検出信号に基づくエラー内容を比較し、復旧処理の手順を考慮して優先度の低いエラー内容を示す画像上に優先度の高い画像がくるように積層した状態で前記表示手段に表示するように制御する表示制御手段を備えた
ことを特徴とする。
3 … ウエハ搬送機構
4 … アライメントステージ
5 … チャックテーブル
6 … テープ供給部
7 … セパレータ回収部
8 … 貼付けユニット
10 … 剥離ユニット
11 … テープ回収部
13 … 操作部(液晶表示装置)
17 … 貼付けローラ
25 … 制御部
26 … センサ(光学センサ)
27 … 第1センサ
28 … 第2センサ
29 … エラー情報選択部
31 … 光源
32 … 記憶部
33 … 表示制御部
34 … 画像データ生成部
35 … 第1画像
36 … 第2画像
a〜g … GUI(Graphical User Interface)
Claims (4)
- 駆動機構で発生した異常や故障などを含むエラーを表示するエラー表示装置であって、
前記駆動機構の作動状況などを含む各種情報を表示する表示手段と、
前記種駆動機構で発生したエラーを検出し、この検出結果を検出信号として送信する検出手段と、
前記駆動機構で発生し得るエラー内容を、前記検出手段によって検出されるエラー内容とエラー発生箇所の駆動機構の画像データとに関連付けし、これらをエラー情報として記憶する記憶手段と、
前記検出手段から送信される検出信号に対応するエラー情報を前記記憶手段から選択して読み出し、そのエラー情報に含まれるエラー内容と画像データに基づく画像を前記表示手段に表示させるエラー情報選択手段と、
前記エラー情報選択手段によって表示されるエラーの発生箇所が正常に作動するか否かの状態を前記表示手段に表示させる作動状態確認手段と、
を備えたことを特徴とするエラー表示装置。 - 請求項1に記載のエラー表示装置において、
前記記憶手段が記憶している画像データは、前記駆動機構の構成を示す画像上に前記検出手段の位置を示した第1画像データと、エラーを検出した前記検出手段と該検出手段によって特定されるエラー発生箇所の文字情報を含ませた状態でエラー発生を警告する強調表示用の第2画像データとを記憶し、
さらに、前記エラー選択手段によって選択されたエラー情報を利用し、前記第1画像データに基づいて出力表示される第1画像上に第2画像データに基づいて出力表示される第2画像が重畳されるように一対の画像データを生成する画像データ生成手段と、
前記画像データ生成手段によって生成された画像データに基づく画像を前記表示手段に表示したとき、表示手段に表示される画像を上層の第2画像から下層の第1画像に切り替える切替え手段と、を備え、
前記切替え手段によって前記表示手段に表示される画像を第1画像に切り替えた状態で前記作動状態確認手段が操作されると、エラー発生箇所の検出手段が作動して動作確認を行ない、前記駆動機構が正常な作動状態にあるときと、駆動機構がエラー発生状態のままであるときのいずれかの場合に、第1画像上に示される前記検出手段の位置を強調表示させるように構成した
ことを特徴するエラー表示装置。 - 請求項2に記載のエラー表示装置において、
前記表示手段は、表示された画像に対応する部分に触れることで、画像指定がなされるタッチパネル式であり、
前記切替え手段は、前記第2画像上の所定部分にGraphical User Interfaceとして設けられており、
前記作動状態確認手段は、前記第1画像上の所定部分にGraphical User Interfaceとして設けられるとともに、この第1画像上の所定部分のGraphical User Interfaceに触れるごとに強調表示と非強調表示が交互に切り替わるように構成されている
ことを特徴とするエラー表示装置。 - 請求項3に記載のエラー表示装置において、
所定の駆動機構または複数の駆動機構にわたって同時に複数箇所でエラーが発生した場合、各検出手段から送信される検出信号に基づくエラー内容を比較し、復旧処理の手順を考慮して優先度の低いエラー内容を示す画像上に優先度の高い画像がくるように積層した状態で前記表示手段に表示するように制御する表示制御手段を備えた
ことを特徴とするエラー表示装置。
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