KR20070053130A

KR20070053130A - 에러 표시 장치

Info

Publication number: KR20070053130A
Application number: KR1020060113566A
Authority: KR
Inventors: 마사유끼 야마모또; 노리요시 나가따
Original assignee: 닛토덴코 가부시키가이샤
Priority date: 2005-11-18
Filing date: 2006-11-17
Publication date: 2007-05-23
Also published as: TWI413782B; CN1967271A; KR101345518B1; US7409249B2; CN1967271B; JP4611180B2; US20070126720A1; JP2007140918A; TW200732674A

Abstract

구동 기구에서 발생한 고장 등의 에러를 센서가 검출하면 에러 신호를 제어부에 송신한다. 제어부는 에러 신호에 따른 에러 내용을 나타내는 문자 정보와, 에러가 발생한 구동 기구와 그 구동 기구에 구비된 센서의 위치를 나타내는 화상을 기억 수단으로부터 선택하여 판독하고, 문자 정보의 제1 화상과 구동 기구의 에러 발생 부위의 도면의 제2 화상을 중합하여 1세트로 한 에러 정보를 액정 표시 장치에 표시한다. 복구 후에는 화면의 GUI에 접촉함으로써 구동 기구의 동작 확인을 행할 수 있다.

회수부, 로봇 아암, 웨이퍼 반송 기구, 얼라인먼트 스테이지, 척 테이블

Description

에러 표시 장치 {ERROR DISPLAY SYSTEM}

도1은 본 발명의 일 실시예에 관한 보호 테이프 부착 장치의 전체를 도시하는 사시도.

도2는 부착 유닛의 개략적인 구성을 나타내는 측면도.

도3은 본 실시예에 관한 보호 테이프 부착 장치의 전기적인 구성을 나타내는 블럭도.

도4는 에러 표시 처리 순서를 나타내는 흐름도.

도5는 얼라인먼트 스테이지의 개략 구성을 나타내는 측면도.

도6은 제1 에러 내용을 나타내는 제1 화상의 도면.

도7은 제1 에러 내용을 나타내는 제2 화상의 도면.

도8은 제2 에러 내용을 나타내는 제1 화상의 도면.

도9는 제2 에러 내용을 나타내는 제2 화상의 도면.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1 : 회수부

2 : 로봇 아암

3 : 웨이퍼 반송 기구

4 : 얼라인먼트 스테이지

5 : 척 테이블

6 : 테이프 공급부

7 : 세퍼레이터 회수부

8 : 부착 유닛

9 : 테이프 절단 기구

10 : 박리 유닛

11 : 테이프 회수부

13 : 조작부

[문헌 1] 일본 특허 공개 평6-148251호 공보

본 발명은 워크를 가공하는 기구나 반송 기구 등 다양한 구동 기구를 구비한 장치에서 발생하는 이상이나 고장 등의 에러를 표시하는 에러 표시 장치에 관한 것이다.

워크의 가공이나 반송을 행하는 각종 구동 기구를 구비한 장치나 이들을 조합한 공정에 있어서, 각 구동 기구에서 발생한 이상이나 고장 등의 에러를 운전자에게 나타내는 표시 장치가 알려져 있다. 예를 들어, IC의 반송 장치에 있어서, 로더로부터 언로더까지의 사이의 각 처리 기구를 경유하여 IC가 반송되는 과정에서 반송 에러가 발생한 경우, 그 발생 장소를 용이하게 특정할 수 있는 표시기를 구비하고 있다.

이 표시기는 로더로부터 언로더까지의 사이의 주된 공정이 표시되어 있는 동시에, 에러가 발생한 경우에는 그 공정 부분이 점멸하도록 되어 있다. 또한, 표시 영역의 하방에 에러 메세지가 개별적으로 표시되도록 되어 있다[특허 공개 평6-148251호 공보(도1) 참조].

그러나, 종래의 표시 장치에서는 다음과 같은 문제가 있다.

즉, 종래의 표시 장치는 에러가 발생한 공정을 특정하는 데 유효하다. 그러나, 그 공정의 구동 기구가 어떤 상태에서 에러로 되어 있는지를 아는 수단으로서는, 표시 장치에 표시된 문자 정보뿐이다. 따라서, 그 문자 정보로부터 구동 기구의 어느 부위에서 에러가 발생하고 있는지를 단시간에 특정하는 데는 숙련된 운전자가 아니면 할 수 없는 등의 문제점이 있다.

특히, 최근에 있어서 장치의 자동화가 진행되어 운전자가 항상 관리할 필요가 없어지고 있으므로, 숙련된 운전자가 감소하여 에러 발생시의 복구에 시간이 걸리게 되는 문제가 있다.

또한, 복구 처치 후에 그 구동 기구가 정상으로 작동 가능한 상태로 복구되고 있는지 여부의 확인은 실제로 그 구동 기구 전체를 작동시키면서 눈으로 보고 동작 확인할 필요가 있어 복구 작업이 번잡해지고 있다.

본 발명은 이와 같은 실정에 착안하여 이루어진 것이며, 워크의 가공이나 반송 공정에서 발생한 그 공정에 포함되는 구동 기구의 에러 발생 부위의 특정과, 이 특정 부위의 정상인 작동 상태를 용이하게 확인할 수 있는 에러 표시 장치를 제공하는 것을 주된 목적으로 한다.

본 발명은, 이와 같은 목적을 달성하기 위해 다음과 같은 구성을 채용한다.

구동 기구에서 발생한 이상이나 고장 등을 포함하는 에러를 표시하는 에러 표시 장치이며,

상기 구동 기구의 작동 상황 등을 포함하는 각종 정보를 표시하는 표시 수단과,

상기 구동 기구에서 발생한 에러를 검출하고 이 검출 결과를 검출 신호로서 송신하는 검출 수단과,

상기 구동 기구에서 발생할 수 있는 에러 내용을 상기 검출 수단에 의해 검출되는 에러 내용과 에러 발생 부위의 구동 기구의 화상 데이터에 관련지어 이들을 에러 정보로서 기억하는 기억 수단과,

상기 검출 수단으로부터 송신되는 검출 신호에 대응하는 에러 정보를 상기 기억 수단으로부터 선택하여 판독하고 그 에러 정보에 포함되는 에러 내용과 화상 데이터를 기초로 하는 화상을 상기 표시 수단에 표시시키는 에러 정보 선택 수단과,

상기 에러 정보 선택 수단에 의해 표시되는 에러의 발생 부위가 정상으로 작동하는지 여부의 상태를 상기 표시 수단에 표시시키는 작동 상태 확인 수단을 포함 한다.

본 발명의 에러 표시 장치에 따르면, 각종 구동 기구에서 발생한 에러가 검출 수단에 의해 검출되고, 그 검출 신호를 기초로 하는 에러 내용과 발생 부위의 화상 데이터가 에러 정보 선택 수단에 의해 기억 수단으로부터 판독된다. 그리고, 판독된 에러 정보인 에러 내용과 구동 기구의 화상이 표시 수단에 표시된다. 따라서, 표시 수단에 표시된 내용으로부터 에러 발생 부위를 용이하게 특정할 수 있다. 즉, 숙련된 운전자에 한정되지 않고 에러 발생 부위를 용이하게 특정할 수 있으므로 복구 처리를 단시간에 행할 수 있다.

또한, 에러 발생 부위의 복구 처리를 실시한 후에 작동 상태 확인 수단을 조작하면, 그 에러 발생 부위가 정상인 작동 상태에 있는지 여부를 표시 수단의 화면을 이용하여 용이하게 확인할 수 있다.

또한, 상기 발명 장치는 다음과 같이 구성하는 것이 더욱 바람직하다.

기억 수단이 기억하고 있는 화상 데이터는, 상기 구동 기구의 구성을 나타내는 화상 상에 상기 검출 수단의 위치를 나타낸 제1 화상 데이터와, 에러를 검출한 상기 검출 수단과 상기 검출 수단에 의해 특정되는 에러 발생 부위의 문자 정보를 포함시킨 상태에서 에러 발생을 경고하는 강조 표시용 제2 화상 데이터이며,

상기 에러 선택 수단에 의해 선택된 에러 정보를 이용하여 상기 제1 화상 데이터를 기초로 하여 출력 표시되는 제1 화상 상에 제2 화상 데이터를 기초로 하여 출력 표시되는 제2 화상이 중첩되도록 한 쌍의 화상 데이터를 생성하는 화상 데이터 생성 수단과,

상기 화상 데이터 생성 수단에 의해 생성된 화상 데이터를 기초로 하는 화상을 상기 표시 수단에 표시하였을 때, 표시 수단에 표시되는 화상을 상층의 제2 화상으로부터 하층의 제1 화상으로 절환하는 절환 수단을 더 구비하고,

상기 절환 수단에 의해 상기 표시 수단에 표시되는 화상을 제1 화상으로 절환한 상태에서 상기 작동 상태 확인 수단이 조작되면, 에러 발생 부위의 검출 수단이 작동하여 동작 확인을 행하고, 상기 구동 기구가 정상인 작동 상태에 있을 때와, 또는 구동 기구가 에러 발생 상태 그대로일 때 중 어느 한 쪽의 경우에 제1 화상 상에 나타내는 상기 검출 수단의 위치를 강조 표시시키도록 구성한다.

이 구성에 따르면, 어느 한쪽의 구동 기구에서 에러가 발생하면, 에러의 발생 내용을 나타내는 문자 정보로서의 제2 화상이 표시 수단에 강조 표시된다. 그리고, 운전자가 절환 수단을 조작하여 표시 수단의 화면을 제2 화상으로부터 제1 화상으로 절환 표시시키면, 구동 기구의 구성을 나타내는 화상 상에 에러 발생을 검출한 검출 수단의 위치가 표시된다. 따라서, 에러 발생 부위의 특정이 더 용이해진다.

또한, 제2 화상이 표시된 상태에서, 작동 상황 확인 수단을 조작하면 검출 수단에 의해 에러 발생 부위가 정상으로 작동하고 있는지 여부의 확인을 행한다. 그리고, 정상 상태 또는 에러 발생 상태 중 어느 한쪽의 경우에 표시 수단에 나타나는 에러가 발생하고 있는 구동 기구 상의 검출 수단의 위치표 시가 강조 표시된다. 따라서, 운전자는 구동 기구를 동작시키면서 에러 발생 부위의 동작을 눈으로 보면서 확인할 필요가 없어, 표시 수단만을 보는 것만으로 동작 상황을 용이하게 확인할 수 있다.

또, 본 발명 장치에 있어서의 표시 수단은 표시된 화상의 소정 부분에 접촉함으로써 화상 지정이 이루어지는 터치 패널식인 것이 바람직하다. 또한, 제2 화상 상의 소정 부분에 그래피컬 유저 인터페이스가 설치되어 있는 것이 바람직하다. 또한, 작동 상태 확인 수단은 제1 화상 상의 소정 부분에 그래피컬 유저 인터페이스가 설치되는 동시에, 이 제1 화상 상의 그래피컬 유저 인터페이스의 표시 형태가 접촉할 때마다 강조 표시와 비강조 표시가 교대로 절환되도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.

이 구성에 따르면, 표시 수단의 화상의 표시 영역 내에서만 모든 확인 조작을 할 수 있다. 따라서, 불필요한 동작이 없어져 처리 작업의 효율의 향상을 도모할 수 있다. 또한, 절환 수단을 조작하면 표시 형태가 강조 표시가 되므로, 표시 수단이 정상으로 동작하고 있는 것을 확인할 수 있는 동시에, 에러 발생 부위가 정상인지 여부도 용이하게 확인할 수 있다.

또한, 에러 발생 부위의 문자 정보로서는, 예를 들어 적어도 구동 기구의 명칭과 구동 기구의 에러 내용을 나타내는 경고문으로서 구성하거나, 조작 메뉴얼 또는 복구 메뉴얼에 등록된 에러 내용 및 에러 내용에 관련지어진 에러 번호 중 적어도 에러 번호를 포함하도록 구성한다.

또한, 제1 화상 상에 표시되는 검출 수단의 위치 및 제2 화상의 경고의 강조 표시는 예를 들어 그 부분의 광을 강도 변화시킨다.

또한, 본 발명 장치는 이와 같은 목적을 달성하기 위해 다음의 구성을 구비 하는 것이 더욱 바람직하다.

소정의 구동 기구 또는 복수의 구동 기구에서 동시에 복수 부위에서 에러가 발생한 경우, 각 검출 수단으로부터 송신되는 검출 신호를 기초로 하는 에러 내용을 비교하여 복구 처리의 순서를 고려하여 우선도가 낮은 에러 내용을 나타내는 화상 상에 우선도가 높은 화상이 오도록 적층한 상태에서 상기 표시 수단에 표시하도록 제어하는 표시 제어 수단을 구비한다.

이 구성에 따르면, 복수의 에러가 발생한 경우, 표시 제어 수단에 의해 복구 처리를 우선적으로 행해야 할 에러 부위의 정보가 표시 수단에 최초로 표시된다. 따라서, 복구 처리의 순서를 잘못하여 구동 기구나 취급하는 워크 등에 손상을 부여하는 일이 없다.

또한, 표시 제어 수단은 소정의 구동 기구 또는 복수의 구동 기구에서 동시에 복수 부위에서 에러가 발생한 경우, 각 검출 수단으로부터 송신되는 검출 신호의 순서로 그 에러 내용을 나타내는 화상을 최하층부터 적층하여 상기 표시 수단에 표시하여 제어하도록 구성해도 좋다.

발명을 설명하기 위해 현재의 적합하다고 생각되는 몇 가지의 형태가 도시되어 있지만, 발명이 도시된 바와 같은 구성 및 방책에 한정되는 것이 아닌 것을 이해받고자 한다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예를 설명한다.

또, 본 실시예에서는 반도체 웨이퍼에 보호 테이프를 부착하는 보호 테이프 부착 장치에 에러 표시 장치를 구비한 경우를 예로 들어 설명한다.

도1은 보호 테이프 부착 장치의 전체 구성을 나타내는 사시도이다.

이 보호 테이프 부착 장치는 부착 대상물인 반도체 웨이퍼(W)(이하, 단순히 「웨이퍼(W)」라 함)를 수납한 카세트(C1), 보호 테이프 부착 후의 웨이퍼(W')를 수납하는 카세트(C2)가 장전되는 웨이퍼 공급ㆍ회수부(1), 로봇 아암(2)을 구비한 웨이퍼 반송 기구(3), 얼라인먼트 스테이지(4), 웨이퍼(W)를 적재하여 흡착 보유 지지하는 척 테이블(5), 웨이퍼(W)를 향해 보호 테이프(T)를 공급하는 테이프 공급부(6), 테이프 공급부(6)로부터 공급된 세퍼레이터가 부착된 보호 테이프(T)로부터 세퍼레이터(s1)를 박리 회수하는 세퍼레이터 회수부(7), 척 테이블(5)에 적재되어 흡착 보유 지지된 웨이퍼(W)에 보호 테이프(T)를 부착하는 부착 유닛(8), 웨이퍼(W)에 부착된 보호 테이프(T)를 웨이퍼(W)의 외형을 따라 절취하여 절단하는 테이프 절단 기구(9), 웨이퍼(W)에 부착하여 절단 처리한 후의 불필요 테이프(T')를 박리하는 박리 유닛(10), 박리 유닛(10)에서 박리된 불필요 테이프(T')를 권취 회수하는 테이프 회수부(11), 테이프 공급 속도 등 다양한 보호 테이프 부착 조건 등의 설정 입력 등을 행하는 조작부(13) 등이 구비되어 있다. 이하에 각 구조부 및 기구에 대한 구체적인 구성을 설명한다.

웨이퍼 공급ㆍ회수부(1)에는 2대의 카세트(C1) 및 카세트(C2)를 병렬하여 장전 가능하다. 카세트(C1)에는 배선 패턴면을 상향으로 한 다수매의 웨이퍼(W)가 다단으로 수평 자세로 삽입되어 수납되어 있다. 또한, 카세트(C2)에는 보호 테이프 부착 후의 웨이퍼(W')가 다단으로 수평 자세로 삽입하여 수납된다. 또한, 웨이퍼 공급ㆍ회수부(1)에는 각 카세트(C1) 및 카세트(C2)의 위치를 검출하는 센서가 구비되어 있다. 이 센서는 각 카세트(C1, C2)의 위치를 검출할 수 없는 경우에 후술하는 제어부(25)에 신호를 송신한다.

웨이퍼 반송 기구(3)에 구비된 로봇 아암(2)은 수평으로 진퇴 이동 가능하게 구성되는 동시에, 전체가 구동 선회 및 승강 가능하게 되어 있다. 그리고, 로봇 아암(2)의 선단부에는 도시하지 않지만 말굽형을 한 진공 흡착식 보유 지지부가 구비되어 있고, 각 카세트(C1, C2)에 다단으로 수납된 웨이퍼(W)끼리의 간극에 보유 지지부를 삽입하여 웨이퍼를 인출하여 각 기구에 반송하거나 보호 테이프 부착 후의 웨이퍼(W')끼리의 간극에 보유 지지부를 삽입하여 수납한다.

본 실시예의 경우, 로봇 아암(2)이 카세트(C1)로부터 웨이퍼(W)를 취출하였을 때, 얼라인먼트 스테이지(4), 척 테이블(5) 및 카세트(C2)의 순으로 웨이퍼(W)를 반송하도록 되어 있다. 또, 로봇 아암(2)은 구동부나 흡착 기구 등에 그 작동 상황을 검출하는 센서를 구비하고 있다. 이 센서로부터의 검출 신호는 후술하는 제어부(25)에 송신된다.

얼라인먼트 스테이지(4)는 웨이퍼(W)의 주연에 형성된 V 노치나 오리엔테이션 플랫 등의 검출 부위의 위치 검출을 행하고, 그 결과를 기초로 하여 위치 맞춤을 행한다. 즉, 도3에 도시한 바와 같이 웨이퍼(W)의 위치를 검출하는 센서(26)를 구비하고 있다. 이 센서(26)의 검출 신호는 후술하는 제어부(25)에 송신된다.

척 테이블(5)은 웨이퍼 반송 기구(3)로부터 이동 적재되어 소정의 위치 맞춤 자세로 적재된 웨이퍼(W)를 진공 흡착하도록 되어 있다. 또한, 이 척 테이블(5)의 상면에는 후술하는 테이프 절단 기구(9)에 구비한 커터날(12)을 웨이퍼(W)의 외형 을 따라 선회 이동시켜 보호 테이프(T)를 절단하기 위해 커터 주행 홈이 형성되어 있다. 또, 척 테이블(5)은 흡착 기구의 작동 및 정지 상태를 감시하는 센서를 구비하고 있다.

테이프 공급부(6)는 도2에 도시한 바와 같이 공급 보빈(14)으로부터 조출된 세퍼레이터(s1)가 부착된 보호 테이프(T)를 가이드 롤러(15)군에 권취 안내하고, 세퍼레이터(s1)를 박리한 보호 테이프(T)를 부착 유닛(8)으로 유도하도록 구성되어 있고, 공급 보빈(14)에 적당한 회전 저항을 부여하여 과잉의 테이프 조출이 행해지지 않도록 구성되어 있다. 또, 테이프 공급부(6)는 보호 테이프(T)의 조출을 행하는 구동 기구를 구비하고 있고, 이 구동 기구 자체는 작동 및 정지 상태를 감시하는 센서를 구비하고 있다.

세퍼레이터 회수부(7)는 보호 테이프(T)로부터 박리된 세퍼레이터(s1)를 권취하는 회수 보빈(16)이 권취 방향으로 회전 구동되도록 되어 있다.

부착 유닛(8)에는 부착 롤러(17)가 전방을 향해 수평으로 구비되어 있다. 이 부착 롤러(17)는 실린더의 신축 동작에 의해 보호 테이프를 압박하여 웨이퍼(W)에 부착하는 작용 위치와 상방의 대기 위치에 걸쳐서 승강 구동하는 동시에, 도시하지 않은 슬라이드 안내 기구 및 나사 이송식 구동 기구에 의해 도면 중 좌우 수평으로 왕복 구동되도록 되어 있다. 또, 부착 유닛(8)에는 도2에 도시한 바와 같이 부착 롤러(17)가 대기 위치와 작용 위치에 걸쳐서 정상으로 승강 구동하고 있는지 여부를 검출하는 제1 센서(27)와 제2 센서(28)의 세트를 구비하고 있다. 이들 제1 센서(27) 및 제2 센서(28)로부터의 검출 신호는 후술하는 제어부(25)에 송신된 다.

작용 위치에 있는 제1 센서(27)는 보호 테이프(T)의 부착시에 부착 롤러(17)가 정상으로 소정 높이까지 강하하였는지 여부를 검출한다.

대기 위치에 있는 제2 센서(28)는 부착 롤러(17)가 보호 테이프(T)의 부착을 종료한 후에, 상승하여 대기 위치로 복귀하였는지 여부를 검출한다.

박리 유닛(10)에는 박리 롤러(19)가 전방을 향해 수평으로 구비되어 있고, 도시하지 않은 슬라이드 안내 기구 및 나사 이송식 구동 기구에 의해 좌우 수평으로 왕복 구동되도록 되어 있다.

테이프 회수부(11)는 불필요 테이프(T')를 권취하는 회수 보빈(20)이 권취 방향으로 회전 구동되도록 되어 있다. 또, 테이프 회수부(11)에는 이 회전 구동의 상태 및 불필요 테이프(T')가 끝까지 권취되었는지 여부가 차례로 권취 센서(37)에 의해 검출되고 있다. 또, 권취 센서(37)로부터의 검출 신호는 후술하는 제어부(25)에 송신된다.

테이프 절단 기구(9)는 구동 승강 가능한 도시하지 않은 가동 받침대의 하부에 척 테이블(5)의 중심 상에 위치하는 종축심(P)의 주위로 구동 선회 가능하게 한 쌍의 지지 아암이 병렬 장비되는 동시에, 이 지지 아암의 자유단부측에 구비한 커터 유닛(23)에 날끝을 하향으로 한 커터날(12)이 장착되고, 지지 아암(22)이 종축심(P) 주위로 선회함으로써 커터날(12)이 웨이퍼(W)의 외주를 따라 주행하여 보호 테이프(T)를 절취하도록 구성되어 있다.

또, 테이프 절단 기구(9)는 커터 유닛(23)이 보호 테이프(T)를 절단하는 작 용 위치와, 상방의 대기 위치에 걸쳐서 정상으로 승강 구동하고 있는지를 검출하는 센서와, 선회 구동 상황을 감시하는 센서를 구비하고 있다. 이들 센서로부터의 검출 신호는 후술하는 제어부(25)에 송신된다.

조작부(13)는 터치 패널식의 액정 표시 장치로 구성되어 있고, 화면 상에 표시되는 그림 문자를 통해 운전자가 조작을 행하는 인터페이스(이하, 단순히「GU I」라 하는 GUI : Graphical User Interface)에 의해 구성되어 있다.

제어부(25)는 도3에 도시한 바와 같이 웨이퍼 공급ㆍ회수부(1), 반송 기구(3), 얼라인먼트 스테이지(4), 척 테이블(5), 부착 유닛(8), 테이프 절단 기구(9) 및 테이프 회수부(11)의 동작을 총괄적으로 제어하는 동시에, 이들 각 부에 구비된 각 센서로부터 송신되는 신호를 수신하여 각 부의 동작 상황을 감시하고 있다. 각 센서로부터 이상을 나타내는 에러 신호가 송신되어 오면, 그 에러 내용에 따른 각 정보를 기억부로부터 선택하여 조작부(13)의 액정 표시 장치에 표시한다. 또, 제어부(25)의 구체적인 처리에 대해서는 후술한다.

본 실시예의 경우, 상술한 각 부가 구비하고 있는 센서는 본 발명의 검출 수단에 상당한다.

다음에, 상기 실시예 장치를 이용하여 웨이퍼(W)에 보호 테이프(T)를 부착하는 과정, 구동 기구 부분에서 이상이나 고장 등의 에러가 발생하여 복구될 때까지의 에러 표시 장치의 처리에 대해 도3에 도시하는 장치 구성의 블럭도, 도4에 도시하는 흐름도 및 도5 내지 도9에 도시하는 표시 화면의 도면을 기초로 하여 설명한다.

보호 테이프 부착 장치에의 초기 설정이 완료되고, 제어부(25)로부터 작동 지령이 내려지면, 웨이퍼 반송 기구(3)에 의해 카세트(C1 또는 C2)에 수납된 웨이퍼(W)를 취출하여 보호 테이프(T)를 부착한 후에, 다시 어느 한쪽의 카세트에 웨이퍼(W)를 회수할 때까지의 처리가 자동으로 반복해서 행해진다(단계 S1).

구체적으로는, 로봇 아암(2)이 웨이퍼 공급ㆍ회수부(1)에 적재 장전된 카세트(C1) 또는 카세트(C2)를 향해 이동되고, 선단부의 보유 지지부가 어느 한쪽의 카세트에 수용되어 있는 웨이퍼(W)를 흡착 보유 지지하여 취출한다. 로봇 아암(2)은 취출한 웨이퍼(W)를 얼라인먼트 스테이지(4)에 이동 적재한다.

얼라인먼트 스테이지(4)에서는 적재된 웨이퍼(W)의 위치 맞춤이 행해진다. 웨이퍼(W)의 위치 맞춤이 종료되면, 다시 로봇 아암(2)이 웨이퍼(W)를 흡착 보유 지지 반송하여 척 테이블(5)에 적재한다.

척 테이블(5)에서는 부착 유닛의 부착 롤러(17)가 강하하여 보호 테이프(T) 상을 압박 구름 이동하여 이 보호 테이프(T)를 웨이퍼(W)에 부착해 간다. 부착 롤러(17)가 부착 종료 단부에 도달하면 상승한다. 그 후에 테이프 절단 기구(9)의 커터 유닛(23)이 절단 작용 위치에 강하하고, 그 선단부에 구비된 커터날(12)에 의해 보호 테이프(T)를 웨이퍼(W)의 외주를 따라 절단한다. 절단이 종료되면 커터 유닛(23)은 상승하여 대기 위치로 복귀된다.

커터 유닛(23)이 대기 위치로 복귀되면, 박리 유닛(10)이 도면 중 우측 방향으로 이동하여 절단 후의 불필요 테이프(T')를 박리한다. 박리 유닛(10)이 박리 종료 단부에 도달하면, 이 박리 유닛(10)과 부착 유닛(8)이 부착 초기 위치로 복귀 된다. 이 때, 상승한 부착 롤러(17)는 대기 위치로 복귀되고 있다.

보호 테이프(T)가 부착된 웨이퍼(W)는 로봇 아암(2)에 의해 흡착 반송되어 카세트(C1 또는 C2)에 회수된다. 이 보호 테이프(T)가 웨이퍼(W)에 부착되어 있는 동안에, 다음에 보호 테이프 부착 대상의 웨이퍼(W)가 로봇 아암(2)에 의해 카세트로부터 취출되어 얼라인먼트 스테이지(4)에 적재되어 있다. 이 일련의 처리가 반복하여 행해진다.

이 처리 과정에서, 예를 들어 부착 롤러(17)의 승강 이상인 제1 에러 발생(단계 S2), 얼라인먼트 스테이지(4)에서의 웨이퍼(W)의 위치 검출 이상인 제2 에러 발생(단계 S3)의 순서로 대략 동시에 에러가 발생하였다고 가정하면, 에러를 검출한 각 센서로부터 순서대로 에러 신호가 제어부(25)의 에러 정보 선택부(29)에 송신된다. 즉, 이하의 처리를 경유하여 에러 내용이 액정 표시 장치(13)의 화면에 표시된다. 또, 에러 정보 선택부(29)는 본 발명의 에러 정보 선택 수단에 상당한다.

우선, 단계 S1에서는 부착 롤러(17)가 보호 테이프(T)를 부착하는 동작에 들어가기 전에 대기 위치로부터 작용 위치로 강하한다. 그러나, 강하 개시 시점으로부터 소정 시간 내에 작용 위치에 강하한 것을 제1 센서(27)가 검출할 수 없었던 경우에, 이 제1 센서(27)가 에러 신호를 제어부(25)의 에러 정보 선택부(29)에 송신한다.

또한, 선행 처리되는 웨이퍼(W)를 척 테이블(5)에 적재한 후에, 로봇 아암(2)은 새로운 웨이퍼(W)를 카세트(C1)로부터 취출하여 얼라인먼트 스테이지(4)의 보유 지지 테이블에 적재한다.

웨이퍼(W)가 적재되면, 얼라인먼트 스테이지(4)를 구성하는 보유 지지 테이블(30)이 웨이퍼(W)를 흡착 보유 지지한 상태에서 중심 종축(P) 주위로 회전한다. 이 회전 과정에서 웨이퍼(W)의 노치의 검출 처리를 행한다. 즉, 센서(26)는 수광 센서이며, 도5에 도시한 바와 같이 보유 지지 테이블이 중심 종축(P)의 주위로 회전 구동하는 데 연동하여 작동하고, 상방의 광원(31)으로부터 웨이퍼 외주를 향해 조사된 광을, 웨이퍼(W)를 사이에 두고 광원(31)과 대향 배치된 위치에서 수광한다. 따라서, 제어부(25)로부터 보유 지지 테이블(30)에 회전 구동 신호가 송신되는 동시에 센서(26)가 작동하고, 센서(26)에서 수광한 광 강도의 신호가 제어부(25)에 송신된다.

제어부(25)는 이 신호로부터 광 강도가 변화되는 위치를 비교 연산에 의해 구한다. 연산의 결과, 광 강도의 변화를 구할 수 없는 경우에, 보유 지지 테이블(30)의 회전 구동 기구의 작동 에러로서 판단하여 에러 신호를 에러 정보 선택부(29)에 송신한다(단계 S2).

에러 정보 선택부(29)는 기억부(32)에 미리 기억된 에러 정보로부터 수신한 에러 신호에 따른 정보를 선택하여 판독한다. 즉, 기억부(32)는 장치에 구비된 각 센서로부터의 에러 신호를 기초로 하여 결정한 에러 내용과 에러 발생 부위를 나타내는 화상 데이터를 미리 기억하고 있다(단계 S3). 또, 기억부(32)는 본 발명의 기억 수단에 상당한다.

에러 정보 선택부(29)에 의해 판독된 양 에러 정보는 표시 제어부(33)에 보 내진다. 표시 제어 수단에 상당하는 표시 제어부(33)는 어느 쪽의 에러를 우선적으로 복구해야 하는지를 판단한다. 이 경우, 예를 들어 구동 기구에 구비한 각 센서로부터 구동부의 현재 위치 정보를 취득하고, 어떠한 순서대로 복구하면 구동부끼리가 접촉하여 손상되는 일이 없는지 등을 판단한다. 본 실시예의 경우, 부착 롤러(17)에서 발생한 에러가 얼라인먼트 스테이지(4)에서 발생한 에러보다도 우선도가 높다고 판단된다(단계 S4).

표시 제어부(33)에 의해 에러 표시의 우선도가 결정되면, 그 우선 정보가 화상 데이터 생성부(34)에 송신된다. 화상 데이터 생성부(34)는 기억부(32)에 격납된 에러 정보와 우선 정보를 기초로 하여 에러 경고를 문자 표시하는 제1 화상과, 에러 발생 부위의 구동 기구의 개략 구성을 나타내는 제2 화상으로 이루어지는 1세트의 화상을 에러 신호마다 생성한다. 즉, 제1 화상(35a)은 도6에 도시한 바와 같이 액정 표시 장치(13)의 화면에, 예를 들어 적색으로 강조된 면에『에러』의 문자, 에러 번호(도면 중 1507), 에러 발생 부위와 내용인『부착 롤러 강하 에러』의 문자 및 에러를 검출한 센서 번호(L091)가 표시된다. 또, 에러 번호는 에러 내용을 더욱 상세하게 알고 싶은 경우에, 조작 및 복구 메뉴얼 등으로부터 참조할 수 있도록 등록된 것이다.

또한, 제1 화면 내에는 복수의 GUI(a 내지 g)가 설치되어 있고, 이들 부위에 접촉하면, 화면이 절환되어 적절한 정보가 화면 상에 표시되도록 되어 있다. 이들 GUI 중에서 우측 상부의『메시지 클리어』라 기재된 GUI(a)에 접촉하면, 에러 경고 표시로부터 도7에 도시하는 에러 발생 부위의 구동 기구의 개략 구성과, 각 구동부 에 설치한 센서의 위치가 표시된 제2 화상(36a)이 표시된다. 또,『메시지 클리어』라 기재된 GUI(a)는 본원 발명의 절환 수단에 상당한다.

구체적으로는, 중앙에 부착 유닛(8)의 구성이 표시되고, 부착 롤러(17)에 설치된 제1 센서(27)와 제2 센서(28) 및 불필요 테이프(T')가 끝까지 권취된 것을 검출하는 센서(37)가 표시되어 있다. 또, 이들 각 센서의 표시는 부착 유닛(8)이 에러 발생에 의해 구동 정지되어 있으므로 백색으로 표시되어 있다. 각 기구가 정상으로 동작하고 있는 경우에는, 센서 부분이 예를 들어 적색으로 강조 표시되어 있다.

또한, 화면의 좌우에는 각 구동 부분의 명칭과 코드 번호가 표시되어 있고, 코드 번호는 GUI 표시로 되어 있다(단계 S5).

운전자는 제2 화상(36a)에서 표시된 에러 발생 부위의 부착 롤러(17)의 위치와 제1 센서(27)의 위치를 보고 에러 발생 부위를 특정하여 복구 작업에 착수한다(단계 S6).

운전자가 복구 작업을 완료하였다고 판단하면, 액정 표시 장치(13)의 화면 하방의 영역에 설치된 문자 표시를 갖는 GUI의『에러』,『CORRECT』,『메인』 및『앞 페이지』중에서『CORRECT』를 선택하여 접촉한다. 이 부분은 접촉할 때마다 내부의 배경색이 적색의 강조 표시와, 백색의 비강조 표시로 교대로 절환되도록 되어 있다. 즉, 접촉 조작을 행하면, 작동 신호가 제어부(25)로부터 부착 유닛(8)에 송신되어 부착 유닛(8)이 작동한다. 동시에, 각 구동부가 정상으로 작동하면, 센서가 적색으로 강조 표시된다. 만일,『CORRECT』를 조작해도 에러 발생 부위를 검출 한 제2 센서(36)가 강조 표시되지 않은 경우에는, 제2 센서 부분은 비강조 표시인 상태로, 복구가 완료되지 않은 것을 의미한다. 따라서, 복구 처리 및 복구 확인의 조작을 반복하여 행하게 된다(단계 S7). 또, 이『CORRECT』라 기재된 GUI는 본원 발명의 작동 상태 확인 수단에 상당한다.

부착 롤러(17)의 강하 에러의 복구의 완료가 확인되면, 제어부(25)에 구비된 판정부(38)에 의해 소정 시간 경과 후, 예를 들어 몇 초 후에 부착 유닛(7)에 관한 에러 내용의 표시 화면이 모두 소거되고, 다음의 에러 내용이 액정 표시 장치(13)의 화면에 표시된다. 즉, 도8에 도시한 바와 같이 적색으로 강조 표시된 면에『에러』의 문자, 에러 번호, 에러 발생 부위와 내용 및 에러를 검출한 센서 번호가 기재된 제1 화상(35b)이 표시된다(단계 S8).

상술한 단계 S5와 마찬가지로,『메시지 클리어』라 기재된 GUI(a)에 접촉하면 얼라인먼트 스테이지의 구성과 센서의 위치를 나타내는 제2 화상(36b)이 표시된다. 운전자는 이 제2 화상(36b)으로부터 에러 발생 부위를 특정하여 복구 작업에 착수한다(단계 S9).

운전자는 복구 작업이 완료되었다고 판단하면, 액정 표시 장치의 화면 하방의 영역에 설치된『CORRECT』를 조작하여 정상으로 복구하였는지 여부를 확인한다. 이 시점에서, 에러의 복구가 완료되었으면, 판정부(38)에 의해 몇 초 후에 액정 표시 장치(13)의 화면 상에 표시되어 있었던 에러 내용이 모두 종료된다. 그리고, 통상의 자동 운전의 화면으로 복귀하여 보호 테이프(T)의 부착의 자동 운전이 개시된다. 그 후, 보호 테이프(T)의 부착 대상의 웨이퍼(W)가 소정수에 도달하였는지 여부를 확인한다(단계 S10). 소정수에 도달하였으면 부착 처리를 종료하고, 소정수에 도달하지 않았으면 자동 운전에 의한 처리가 계속된다. 이상에서, 에러 발생시의 일련의 에러 경고 표시 및 복구 처리가 완료된다.

상술한 바와 같이, 어느 한쪽의 구동 기구에서 고장이나 이상에 의한 에러가 발생하면, 액정 표시 장치(13)의 화면에 문자 정보에 의한 에러 내용 및 에러의 발생을 검출한 센서를 제1 화상에 표시한다. 이 제1 화상에서 에러 내용을 확인한 후에, 제1 화상의 하층에 있는 제2 화상으로 절환함으로써 에러가 발생한 부위가 구동 기구의 구성을 나타내는 도면 가운데 나타나므로, 비숙련의 운전자라도 에러의 발생 부위를 용이하게 특정할 수 있다.

또한, 에러 발생 부위의 복구 작업을 행한 후에, 액정 표시 장치(13)의 화면에 표시된『CORRECT』의 GUI를 조작하면, 구동 기구가 작동 상태가 되어 에러 발생 부위의 센서가 에러 발생 부위의 동작 확인을 행한다. 이 동작 확인의 결과, 정상으로 복구한 경우에는 센서의 부분이 강조 표시되므로, 운전자는 구동 장치 자체를 눈으로 확인하여 에러의 복구가 정상으로 완료되었는지 여부의 동작 체크를 행할 필요가 없다. 즉, 운전자는 액정 표시 장치(13)를 조작하는 것만으로 에러 내용 및 복구 완료를 용이하게 확인할 수 있는 동시에, 처리 시간을 단축하여 작업 효율의 향상을 도모할 수 있다.

또, 본 실시예에서는, 제1 화상(35a, 35b)은 본 발명의 제2 화상에 상당하고, 제2 화상(36a, 36b)은 제1 화상에 상당한다.

본 발명은 이하와 같은 형태에서 실시하는 것도 가능하다.

(1) 상기 각 실시예에서는 에러가 동시에 복수 부위에서 발생한 경우에, 복구의 우선도를 고려하여 에러의 표시 순서를 결정하고 있었지만, 이 형태에 한정되지 않고, 예를 들어 에러가 발생한 순서라도 좋다.

(2) 상기 실시예에서는 보호 테이프 부착 장치에 에러 표시 장치를 구비한 경우를 예로 들어 설명하였지만, 구동 기구를 구비한 것 외의 장치에도 적용할 수 있다.

(3) 상기 실시예에서는, 제1 화상(35a, 35b) 및 제2 화상(36a, 36b)의 강조 표시는 색의 변화로 나타내고 있지만, 이 형태에 한정되지 않는다. 예를 들어 강조 표시하는 부분의 광의 강도를 변화시키도록 구성해도 좋다.

본 발명은 그 사상 또는 본질로부터 일탈하지 않고 다른 구체적 형태로 실시할 수 있고, 따라서 발명의 범위를 나타내는 것으로서 이상의 설명이 아닌 부가된 클레임을 참조해야 한다.

본 발명에 따르면, 워크의 가공이나 반송 공정에서 발생한 그 공정에 포함되는 구동 기구의 에러 발생 부위의 특정과, 이 특정 부위의 정상인 작동 상태를 용이하게 확인할 수 있는 에러 표시 장치를 제공할 수 있다.

Claims

구동 기구에서 발생한 이상이나 고장 등을 포함하는 에러를 표시하는 에러 표시 장치이며,

상기 구동 기구의 작동 상황 등을 포함하는 각종 정보를 표시하는 표시 수단과,

상기 구동 기구에서 발생한 에러를 검출하고 이 검출 결과를 검출 신호로서 송신하는 검출 수단과,

상기 구동 기구에서 발생할 수 있는 에러 내용을 상기 검출 수단에 의해 검출되는 에러 내용과 에러 발생 부위의 구동 기구의 화상 데이터에 관련지어 이들을 에러 정보로서 기억하는 기억 수단과,

상기 검출 수단으로부터 송신되는 검출 신호에 대응하는 에러 정보를 상기 기억 수단으로부터 선택하여 판독하고 그 에러 정보에 포함되는 에러 내용과 화상 데이터를 기초로 하는 화상을 상기 표시 수단에 표시시키는 에러 정보 선택 수단과,

상기 에러 정보 선택 수단에 의해 표시되는 에러의 발생 부위가 정상으로 작동하는지 여부의 상태를 상기 표시 수단에 표시시키는 작동 상태 확인 수단을 포함하는 에러 표시 장치.
제1항에 있어서, 상기 기억 수단이 기억하고 있는 화상 데이터는, 상기 구동 기구의 구성을 나타내는 화상 상에 상기 검출 수단의 위치를 나타낸 제1 화상 데이터와, 에러를 검출한 상기 검출 수단과 상기 검출 수단에 의해 특정되는 에러 발생 부위의 문자 정보를 포함시킨 상태에서 에러 발생을 경고하는 강조 표시용 제2 화상 데이터이며,

상기 에러 선택 수단에 의해 선택된 에러 정보를 이용하여, 상기 제1 화상 데이터를 기초로 하여 출력 표시되는 제1 화상 상에 제2 화상 데이터를 기초로 하여 출력 표시되는 제2 화상이 중첩되도록 한 쌍의 화상 데이터를 생성하는 화상 데이터 생성 수단과,

상기 화상 데이터 생성 수단에 의해 생성된 화상 데이터를 기초로 하는 화상을 상기 표시 수단에 표시하였을 때, 표시 수단에 표시되는 화상을 상층의 제2 화상으로부터 하층의 제1 화상으로 절환하는 절환 수단을 더 구비하고,

상기 절환 수단에 의해 상기 표시 수단에 표시되는 화상을 제1 화상으로 절환한 상태에서 상기 작동 상태 확인 수단이 조작되면, 에러 발생 부위의 검출 수단이 작동하여 동작 확인을 행하고, 상기 구동 기구가 정상인 작동 상태에 있을 때와, 또는 구동 기구가 에러 발생 상태 그대로일 때 중 어느 한 쪽의 경우에 제1 화상 상에 나타내는 상기 검출 수단의 위치를 강조 표시시키도록 구성하는 에러 표시 장치.
제2항에 있어서, 상기 표시 수단은 표시된 화상에 대응하는 부분에 접촉함으로써 화상 지정이 이루어지는 터치 패널식이며,

상기 절환 수단은 상기 제2 화상 상의 소정 부분에 그래피컬 유저 인터페이스로서 설치되어 있고,

상기 작동 상태 확인 수단은 상기 제1 화상 상의 소정 부분에 그래피컬 유저 인터페이스로서 설치되는 동시에, 이 제1 화상 상의 소정 부분의 그래피컬 유저 인터페이스에 접촉함으로써 강조 표시와 비강조 표시가 교대로 절환되도록 구성되어 있는 에러 표시 장치.
제2항에 있어서, 상기 에러 발생 부위의 문자 정보는 적어도 구동 기구의 명칭과 구동 기구의 에러 내용을 나타내는 경고문으로서 구성하는 에러 표시 장치.
제2항에 있어서, 상기 에러 발생 부위의 문자 정보는 조작 메뉴얼 또는 복구 메뉴얼에 등록된 에러 내용 및 에러 내용에 관련된 에러 번호 중 적어도 에러 번호를 포함하도록 구성하는 에러 표시 장치.
제2항에 있어서, 상기 제2 화상의 강조 표시 및 제1 화상 상에 표시되는 상기 검출 수단의 위치의 강조 표시는 검출 수단을 나타내는 부분의 색의 변화인 에러 표시 장치.
제2항에 있어서, 상기 제1 화상 상에 표시되는 상기 검출 수단의 위치 및 상기 제2 화상의 경고의 강조 표시는 그 부분의 광의 강도 변화인 에러 표시 장치.
제1항에 있어서, 소정의 구동 기구 또는 복수의 구동 기구에서 동시에 복수 부위에서 에러가 발생한 경우, 각 검출 수단으로부터 송신되는 검출 신호를 기초로 하는 에러 내용을 비교하여 복구 처리의 순서를 고려하여 우선도가 낮은 에러 내용을 나타내는 화상 상에 우선도가 높은 화상이 오도록 적층한 상태에서 상기 표시 수단에 표시하도록 제어하는 표시 제어 수단을 더 구비하는 에러 표시 장치.
제1항에 있어서, 소정의 구동 기구 또는 복수의 구동 기구에서 동시에 복수 부위에서 에러가 발생한 경우, 각 검출 수단으로부터 송신되는 검출 신호의 순서로 그 에러 내용을 나타내는 화상을 최하층부터 적층하여 상기 표시 수단에 표시하도록 제어하는 표시 제어 수단을 더 구비하는 에러 표시 장치.