CN1967271A

CN1967271A - 错误显示装置

Info

Publication number: CN1967271A
Application number: CNA2006101454774A
Authority: CN
Inventors: 山本雅之; 长田典祥
Original assignee: Nitto Denko Corp
Current assignee: Nitto Denko Corp
Priority date: 2005-11-18
Filing date: 2006-11-17
Publication date: 2007-05-23
Anticipated expiration: 2026-11-17
Also published as: JP2007140918A; KR20070053130A; CN1967271B; KR101345518B1; JP4611180B2; TW200732674A; US20070126720A1; US7409249B2; TWI413782B

Abstract

本发明提供一种错误显示装置，当传感器检测出在驱动机构中发生的故障等错误时，把错误信号发送到控制部。控制部从存储单元选择读出表示与错误信号对应的错误内容的文字信息、和表示错误发生的驱动机构与该驱动机构具有的传感器的位置的图像，在液晶显示装置上显示将文字信息的第1图像与驱动机构的错误发生部位的图案的第2图像叠合而做成一组的错误信息。在修复后，通过与画面的GUI接触，进行驱动机构的动作确认。

Description

错误显示装置

技术领域

本发明涉及一种对在具有加工工件的机构、输送机构等各种驱动机构的装置中发生的异常、故障等错误进行显示的错误显示装置。

背景技术

公知有这样的显示装置：在具有进行工件的加工、输送的各种驱动机构的装置、组合这些驱动机构的工序中，向操作者示出在各驱动机构中发生的异常、故障等错误。例如，具有这样的显示器：在IC的输送装置中，在IC经由从装载机到卸载机之间的各处理机构被输送的过程中发生了输送错误的情况下，可以容易地确定其错误发生部位。

该显示器显示从装载机到卸载机之间的主要工序，并在发生了错误的情况下，使该发生了错误的工序部分闪烁。此外，在显示区域的下方分别显示错误信息(参照日本特开平6-148251号公报(图1))。

然而，以往的显示装置中存在着以下问题。

即，以往的显示装置对于确定发生错误的工序是有效的。但是，作为了解该工序的驱动机构在什么样的状态下成为错误的手段，仅是显示装置上所显示的文字信息。因此，存在着这样的问题：要在短时间内根据其文字信息确定在驱动机构的哪个部位上发生了错误，非熟练的操作者则不能做到。

特别是，随着近年来装置的自动化的发展，逐渐使得操作者不需要进行常时管理，所以熟练的操作者减少，存在错误发生时的修复要花费较多时间这样的问题。

此外，在进行了修复处置后，对该驱动机构是否恢复到能够正常地工作的状态的确认，实际上需要一边使其整个驱动机构工作一边目视进行动作确认，修复作业变得繁杂。

发明内容

本发明是着眼于这种实际情况而作出的，主要目的在于提供一种错误显示装置，该错误显示装置可容易确定在工件的加工、输送工序中在该工序中所包括的驱动机构的错误发生部位，和容易确认该确定部位的正常工作状态。

本发明为了实现这种目的，采取以下的构成。

一种错误显示装置，其是显示包括驱动机构中发生的异常、故障等错误的错误显示装置，上述装置包括以下的构成要素：

显示单元，其显示包括上述驱动机构的工作状况等的各种信息；

检测单元，其检测出上述驱动机构中发生的错误，将该检测结果作为检测信号发送；

存储单元，其使在上述驱动机构中可能发生的错误内容，与由上述检测单元检测出的错误内容和驱动机构的错误发生部位的图像数据相关联，将它们作为错误信息予以存储；

错误信息选择单元，其从上述存储单元选择性地读出与从上述检测单元发送的检测信号对应的错误信息，使上述显示单元显示基于该错误信息中所包含的错误内容和图像数据的图像；

工作状态确认单元，其使上述显示单元显示由上述错误信息选择单元显示的错误的发生部位是否在正常工作的状态。

根据本发明的错误显示装置，在各种驱动机构中发生的错误被检测单元检测出，基于该检测信号的错误内容与发生部位的图像数据由错误信息选择单元从存储单元读出。然后，作为所读出的错误信息的错误内容与驱动机构的图像被显示在显示单元。因此，可从显示单元所显示的内容容易确定错误发生部位。即，不论是否是熟练的操作者都可以容易地确定错误发生部位，所以可以在短时间内进行修复处理。

此外，当在施行错误发生部位的修复处理后，操作工作状态确认单元时，可以利用显示单元的画面容易地确认该错误发生部位是否处于正常的工作状态。

此外，最好是上述发明装置，还如下这样构成。

存储单元存储的图像数据是第1图像数据和第2图像数据，该第1图像数据在表示上述驱动机构的结构的图像上示出上述检测单元的位置，该第2图像数据用于以包含检测出错误的上述检测单元和由该检测单元确定的错误发生部位的文字信息的状态、对错误发生进行警告的强调显示，

上述错误显示装置还包括图像数据生成单元和切换单元，其中，该图像数据生成单元利用由上述错误选择单元选择的错误信息生成一对图像数据，使得在基于上述第1图像数据所输出显示的第1图像上重叠基于第2图像数据所输出显示的第2图像；该切换单元在上述显示单元显示了基于由上述图像数据生成单元生成的图像数据的图像时，将显示在显示单元中的图像从上层的第2图像切换成下层的第1图像，

上述错误显示装置构成为：在由上述切换单元把显示在上述显示单元中的图像切换成第1图像的状态下操作上述工作状态确认单元时，错误发生部位的检测单元工作而进行动作确认，在上述驱动机构处于正常的工作状态时、或驱动机构依然为错误发生状态时的任一情况下，对显示在第1图像上的上述检测单元的位置进行强调显示。

根据该构成，在任一驱动机构中发生错误时，则在显示单元强调显示作为表示错误的发生内容的文字信息的第2图像。然后，操作者操作切换单元而使显示单元的画面从第2图像切换显示成第1图像时，则在表示驱动机构的结构的图像上显示检测到错误发生的检测单元的位置。因此，错误发生部位的确定变得更加容易。

此外，在显示第2图像的状态下，操作工作状态确认单元时，则由检测单元确认错误发生部位是否正常工作。而且，在正常状态或错误发生状态的任一情况下，在显示单元上所示出的在发生错误的驱动机构上检测单元的位置显示被强调显示。因此，操作者不需要一边使驱动机构动作一边目视错误发生部位的动作而进行确认，仅靠看显示单元就可以容易地确认动作状况。

另外，最好是本发明中的显示单元，是通过与所显示的图像的规定部分接触而进行图像指定的触摸板式。此外，最好在上述第2图像上的规定部分设置图像用户接口。而且，最好是，工作状态确认单元在第1图像上的规定部分上设置图像用户接口，并且被构成为每次与该第1图像上的图像用户接口的显示形态接触而交替地切换强调显示与非强调显示。

根据该构成，则仅靠显示单元的图像的显示区域内，就可以进行所有的确认操作。因此，可以消除不需要的动作而谋求提高处理作业的效率。此外，由于当操作切换单元时显示形态成为强调显示，所以可以确认到显示单元正常动作，并且可以容易地确认错误发生部位是否正常。

此外，作为错误发生部位的文字信息，例如，构成为至少表示驱动机构的名称与驱动机构的错误内容的警告文，或者构成为包含有在操作手册或修复手册中登记的错误内容及与错误内容相关联的错误编号之中的、至少错误编号。

此外，第1图像上所显示的检测单元的位置及第2图像的警告的强调显示，例如是该部分的光的强度变化。

此外，本发明装置为了实现这种目的，最好是还具有以下的构成。

具有显示控制单元，该显示控制单元进行控制，使得在规定的驱动机构或多个驱动机构中同时在多个部位发生了错误的情况下，比较基于从各检测单元发送的检测信号的错误内容，考虑修复处理的顺序，以将表示优先度高的错误内容的图像层叠在表示优先度低的错误内容的图像上的状态显示在上述显示单元中。

根据该构成，则在发生了多个错误的情况下，由显示控制单元在显示单元上最先显示应该优先进行修复处理的错误部位的信息。因此，不会弄错修复处理的顺序而给驱动机构、要处置的工件等造成损伤。

此外，显示控制单元也可以构成为：进行控制，使得在规定的驱动机构或多个驱动机构中同时在多个部位发生了错误的情况下，按从各检测单元发送的检测信号的顺序，从最下层起层叠表示该错误内容的图像并将其显示在上述显示单元中。

附图说明

为了说明发明而图示了当前认为最佳的几个实施方式，但是希望理解本发明不限定于所图示那样的构成和方案。

图1是表示本发明的一实施例的保护带粘贴装置的整体的立体图，

图2是表示粘贴单元的概略构成的侧视图，

图3是表示本实施例的保护带粘贴装置的电构成的框图，

图4是表示错误显示处理顺序的流程图，

图5是表示对准台的概略构成的侧视图，

图6是表示第1错误内容的第1图像的图，

图7是表示第1错误内容的第2图像的图，

图8是表示第2错误内容的第1图像的图，

图9是表示第2错误内容的第2图像的图。

具体实施方式

以下参照附图说明本发明的一实施例。

另外，在本实施例中，是以在将保护带粘贴到半导体晶圆的保护带粘贴装置具有错误显示装置的情况为例进行说明。

图1是表示保护带粘贴装置的整体构成的立体图。

该保护带粘贴装置包括：装有收容作为贴合对象物的半导体晶圆W(以下，简称为“晶圆W”)的盒C1、和收容保护带粘贴后的晶圆W′的盒C2的晶圆供给·回收部1；具有机械手2的晶圆输送机构3；对准台4；放置晶圆W并对其进行吸附保持的卡盘台5；向晶圆W供给保护带T的带供给部6；从由带供给部6供给的带有分离片的保护带T剥离并回收分离片s1的分离片回收部7；将保护带T粘贴到放置于卡盘台5而被吸附保持的晶圆W的粘贴单元8；沿晶圆W的外形冲裁切断粘贴于晶圆W的保护带T的带切断机构9；剥离粘贴于晶圆W并进行了切断处理后的不需要的带T′的剥离单元10；缠绕回收由剥离单元10所剥离的不需要的带T′的带回收部11；进行带供给速度等各种保护带粘贴条件等的设定输入等的操作部13等。以下说明关于各构成部及机构的具体结构。

在晶圆供给·回收部1可并列装入盒C1及盒C2这两个盒。在盒C1中呈多层地以水平姿势插入收容使布线图案面朝上的多张晶圆W。此外，在盒C2中呈多层地以水平姿势插入收容保护带粘贴后的晶圆W′。此外，在晶圆供给·回收部1具有检测各盒C1及盒C2的位置的传感器。该传感器在不能检测各盒C1、C2的位置的情况下，向后述的控制部25发送信号。

晶圆输送机构3所具有的机械手2被构成为能够沿水平进退移动，并且成为整体能够进行驱动旋转及升降。而且，在机械手2的前端具有未图示的做成马蹄形的真空吸附式的保持部，把保持部插入到在各盒C1、C2中以多层收容的晶圆W彼此间的间隙中而抽出晶圆将其输送到各机构，或把保持部插入到粘贴了保护带后的晶圆W′彼此间的间隙中而进行收容。

在本实施例的情况下，机械手2从盒C1中取出了晶圆W时，按对准台4、卡盘台5、及盒C2的顺序输送晶圆W。另外，机械手2在驱动部、吸附机构等处具有检测其工作状况的传感器。来自该传感器的检测信号被发送到后述的控制部25。

对准台4进行形成于晶圆W周缘上的V形槽口、定位平面等检测部位的位置检测。基于其结果进行对位。即，如图3所示，具有检测晶圆W的位置的传感器26。该传感器26的检测信号被发送到后述的控制部25。

卡盘台5对从晶圆输送机构3转移并以规定的对位姿势放置的晶圆W进行真空吸附。此外，为了使后述的带切断机构9所具有的切刀12沿晶圆W的外形旋转移动来切断保护带T，在该卡盘台5的上表面上形成有切刀行进槽。另外，卡盘台5具有监视吸附机构的工作·停止状态的传感器。

如图2所示，带供给部6被构成为把从供给绕轴14陆续放出的带有分离片s1的保护带T缠绕引导到导辊15组，把剥离了分离片s1的保护带T引导到粘贴单元8，对供给绕轴14施加适度的旋转阻力而使之不进行过度的带放出。另外，带供给部6具有进行保护带T的陆续放出的驱动机构，该驱动机构本身具有监视工作·停止状态的传感器。

分离片回收部7驱动缠绕从保护带T剥离下的分离片s1的回收绕轴16沿缠绕方向旋转。

粘贴单元8向前水平地具有粘贴辊17。该粘贴辊17借助气缸的伸缩动作，在推压保护带将其粘贴于晶圆W的作用位置、与上方的待机位置之间上下移动而进行升降驱动，并且被未图示的滑动引导机构及丝杠进给式的驱动机构沿图中左右水平进行往复驱动。另外，如图2所示，在粘贴单元8具有检测粘贴辊17是否在待机位置与作用位置之间上下移动而正常地进行升降驱动的第1传感器27与第2传感器28的组。来自这些第1传感器27及第2传感器28的检测信号被发送到后述的控制部25。

位于作用位置的第1传感器27检测粘贴辊17在粘贴保护带T时是否正常地下降到规定高度。

位于待机位置的第2传感器28检测粘贴辊17在结束了保护带T的粘贴后，是否上升返回到待机位置。

在剥离单元10向前水平地具有剥离辊19，借助未图示的滑动引导机构及丝杠进给式的驱动机构而被沿左右水平地往复驱动。

带回收部11的缠绕不需要的带T′的回收绕轴20被沿缠绕方向驱动旋转。另外，在带回收部11逐次由缠绕传感器37检测该旋转驱动状态及不需要的带T′的缠绕是否缠满。另外，来自缠绕传感器37的检测信号被发送到后述的控制部25。

带切断机构9被构成为：在能够驱动升降的未图示的可动台的下部，并列装有能够绕着位于卡盘台5中心上的纵轴心P驱动旋转的一对支承臂，并在该支承臂的自由端侧所具有的切刀单元23上安装有刀刃朝下的切刀12，通过支承臂22绕着纵轴心P旋转而使切刀12沿着晶圆W的外周行进来切断保护带T。

另外，带切断机构9具有检测切刀单元23是否在切断保护带T的作用位置、与上方的待机位置之间上下移动而正常地进行升降驱动的传感器、和监视旋转驱动状况的传感器。来自这些传感器的检测信号被发送到后述的控制部25。

操作部13由触摸板式的液晶显示装置构成，由操作者通过在画面上显示的图形文字来进行操作的接口(以下简称为GUI(图像用户接口))来构成。

如图3所示，控制部25总括地控制晶圆供给·回收部1、输送机构3、对准台4、卡盘台5、粘贴单元8、带切断机构9、及带回收部11的动作，并接收从该各部分上具有的各传感器所发送的信号，监视各部的动作状况。从各传感器发送来表示异常的错误信号时，则从存储部选择与该错误内容相应的各信息并显示于操作部13的液晶显示装置。另外，关于控制部25的具体处理，将在下文述及。

在本实施例的情况下，上述各部分具有的传感器相当于本发明的检测单元。

接下来，基于图3所示的装置结构的框图、图4所示的流程图、和图5～9所示的显示画面的图，对在使用上述实施例装置把保护带T粘贴到晶圆W上的过程中，在驱动机构部分中发生异常、故障等错误，到修复为止的错误显示装置的处理进行说明。

对保护带粘贴装置的初始设定完成，从控制部25发出工作指令时，自动地重复进行这样的处理：由晶圆输送机构3取出收容于盒C1的晶圆W，对晶圆W粘贴了保护带T后，直到再次把晶圆W回收于某个盒为止(步骤S1)。

具体地说，机械手2被向放置装填于晶圆供给·回收部1的盒C1移动，前端的保持部吸附保持收容于C1的晶圆W并将其取出。机械手2把取出的晶圆W移放到对准台4。

在对准台4进行所放置的晶圆W的对位。晶圆W的对位结束时，机械手2再次吸附保持着晶圆W对其进行输送，将该晶圆W放置于卡盘台5上。

在卡盘台5上，粘贴单元的粘贴辊17下降，在保护带T上进行推压滚动，把该保护带T逐渐粘贴到晶圆W。粘贴辊17达到粘贴结束端时就上升。然后，带切断机构9的切刀单元23下降到切断作用位置，由其前端具有的切刀12沿着晶圆W的外周切断保护带T。切断结束时则切刀单元23就上升而返回到待机位置。

当切刀单元23返回到待机位置时，剥离单元10向图中右方移动而剥离切断后的不需要的带T′。当剥离单元10到达剥离结束端时，该剥离单元10与粘贴单元8返回到粘贴初始位置。此时，上升了的粘贴辊17返回到待机位置。

被粘贴了保护带T的晶圆W由机械手2吸附输送，回收到盒C1或盒C2。在该保护带T被粘贴于晶圆W上的期间，作为下一个保护带粘贴对象的晶圆W被机械手2从盒中取出而放置到对准台4上。重复进行这一系列的处理。

在该处理过程中，例如，假定以发生作为粘贴辊17的升降异常的第1错误(步骤S2)、发生作为对准台4上的晶圆W的位置检测异常的第2错误(步骤S3)的顺序，大致同时发生了错误时，则从检测到错误的各传感器依次发送错误信号到控制部25的错误信息选择部29。即，经过以下的处理，错误内容显示在液晶显示装置13的画面上。另外，错误信息选择部29相当于本发明的错误信息选择单元。

首先，在步骤S1，粘贴辊17在进入保护带T的粘贴动作前从待机位置下降到作用位置。但是，在第1传感器27无法检测到从开始下降时刻起在规定时间内下降到作用位置这一情况的情况下，该第1传感器27把错误信号发送到控制部25的错误信息选择部29。

此外，在把被先行处理的晶圆W放置到卡盘台5后，机械手2从盒C1中取出新的晶圆W将其放置到对准台4的保持台。

当放置有晶圆W时，构成对准台4的保持台30以吸附保持着晶圆W的状态绕中心纵轴线P旋转。在该旋转过程中进行晶圆W的槽口的检测处理。即，传感器26是受光传感器，如图5所示，该传感器26与保持台绕着中心纵轴线P旋转驱动连动地工作，在隔着晶圆W与光源31相对配置的位置接受从上方的光源31向晶圆外周照射的光。因此，与从控制部25向保持台30发送旋转驱动信号的同时传感器26进行工作，把由传感器26受光的光强度的信号发送到控制部25。

控制部25根据该信号通过比较运算求出光强度变化的位置。在运算的结果是无法求出光强度的变化的情况下，判断为保持台30的旋转驱动机构的工作错误，把错误信号发送到错误信息选择部29(步骤S2)。

错误信息选择部29从预先存储于存储部32的错误信息选择读出与接收的错误信号相应的信息。即，在存储部32中预先存储着表示基于来自装置具有的各传感器的错误信号确定的错误内容与错误发生部位的图像数据。(步骤S3)。另外，存储部32相当于本发明的存储单元。

由错误信息选择部29读出的两个错误信息被送到显示控制部33。相当于显示控制单元的显示控制部33判断应该优先修复哪个错误。在该情况下，例如，从驱动机构具有的各传感器取得驱动部的当前位置信息，判断若按哪种顺序修复则不会有驱动部彼此间接触而遭受损伤等。在本实施例的情况下，判断为在粘贴辊17发生的错误的优先度比在对准台4发生的错误的优先度高(步骤S4)。

由显示控制部33确定错误显示的优先度时，则该优先信息被发送到图像数据生成部34。图像数据生成部34基于存储于存储部32的错误信息和优先信息，对每个错误信号生成由文字显示错误警告的第1图像、和表示错误发生部位的驱动机构的概略构成的第2图像组成的一组图像。即，如图6所示，在液晶显示装置13的画面上，第1图像35a是例如在用红色强调的面上显示为“错误”的文字、错误编号(图中的1507)、错误发生部位与作为内容的“粘贴辊下降错误”的文字、以及检测出错误的传感器编号(L091)。另外，错误编号是被登记过的，使得在欲更详细地了解错误内容时，可以从操作·修复手册等进行参照。

此外，在第1画面内设有多个GUIa～g，接触这些部位时，则画面切换而在画面上显示适当的信息。在这些GUI之中，当接触右上的记载为“消息区”的GUIa时，则由错误警告显示，显示第2图像36a，该第2图像36a是图7所示的、显示错误发生部位的驱动机构的概略构成、和设在各驱动部的传感器的位置。另外，记载为“消息区”的GUIa相当于本发明的切换单元。

具体地说，在中央显示粘贴单元8的构成，显示有设于粘贴辊17上的第1传感器27和第2传感器28、以及用于检测不需要的带T′的缠绕成为缠满状态的情况的传感器37。另外，由于粘贴单元8因发生错误而停止驱动，所以这些各传感器的显示为空白显示。在各机构正常动作着的情况下，传感器部分例如强调显示为红色。

此外，在画面的左右，显示有各驱动部分的名称与编码编号，编码编号成为GUI显示(步骤S5)。

操作者看着在第2图像36a显示的错误发生部位的粘贴辊17的位置和第1传感器27的位置来确定错误发生部位，着手修复作业(步骤S6)。

在操作者判断为完成了修复作业时，则从设在液晶显示装置13的画面下区域的具有文字显示的GUI的“错误”、“CORRECT(更正)”、“主”及“前页”之中，选择接触“CORRECT”。该部分在每次接触时被交替地切换成内部背景色为红色的强调显示、与空白的非强调显示。即，进行接触操作时，则工作信号被从控制部25发送到粘贴单元8，粘贴单元8进行工作。同时，当各驱动部正常工作时，则传感器被强调显示成红色。若是，即使操作“CORRECT”，检测出错误发生部位的第2传感器36也未被强调显示的情况下，意味着在第2传感器部分非强调显示的状态下，修复尚未完成。因此，重复进行修复处理及修复确认的操作(步骤S7)。另外，该记载为“CORRECT”的GUI相当于本发明的工作状态确认单元。

确认到粘贴辊17的下降错误的修复完成时，则通过控制部25具有的判定部38，在经过规定时间后、例如几秒后完全消除关于粘贴单元7的错误内容的显示画面，在液晶显示装置13的画面上显示下一个错误内容。即，如图8所示，在强调显示成红色的面上显示记载有“错误”的文字、错误编号、错误发生部位与内容、以及检测出错误的传感器编号的第1图像35b(步骤S8)。

与上述步骤S5同样，若接触记载为“消息区”的GUIa时，则显示表示对准台的构成与传感器位置的第2图像36b。操作者根据该第2图像36b确定错误发生部位，着手修复作业(步骤S9)。

在操作者判断为修复作业完成了时，操作设在液晶显示装置的画面下区域的“CORRECT”来确认是否修复正常了。在该时刻，若错误的修复完成，则通过判定部38在数秒后完全消除液晶显示装置13的画面上所显示的错误内容。然后，返回到通常的自动运行的画面，开始粘贴保护带T的自动运行。然后，确认作为保护带T的粘贴对象的晶圆W是否达到规定数量(步骤S10)。若达到规定数量则结束粘贴处理，若未达到规定数，则继续自动运行的处理。通过以上，完成了错误发生时的一系列的错误警告显示和修复处理。

如上所述，在任何一个驱动机构中发生故障、异常引起的错误时，则在液晶显示装置13的画面在第1图像中显示文字信息的错误内容及检测出错误发生的传感器。在用该第1图像确认了错误内容后，通过切换成位于第1图像下层的第2图像，由于发生了错误的部位在表示驱动机构的构成的图案之中示出，所以即使是不熟练的操作者也可以容易地确定错误的发生部位。

此外，进行了错误发生部位的修复作业后，若操作液晶显示装置13的画面上所显示的“CORRECT”的GUI，则驱动机构成为工作状态，错误发生部位的传感器进行错误发生部位的动作确认。该动作确认的结果是修复成正常的情况下，由于传感器的部分被强调显示，所以操作者没有必要目视驱动装置本身进行错误的修复是否正常地完成的动作检查。即，操作者仅靠操作液晶显示装置13就能够容易地确认错误内容及修复完成，并且可以缩短处理时间而谋求作业效率的提高。

另外，在本实施例中，第1图像35a、35b相当于本发明的第2图像，第2图像36a、36b相当于第1图像。

本发明也能以以下的方式实施。

(1)在上述各实施例中，在同时在多个部位发生了错误的情况下，考虑修复的优先度而确定错误的显示顺序，但是不限于该形态，例如，也可以是错误的发生顺序。

(2)在上述实施例中，以在保护带粘贴装置中具有错误显示装置的情况下为例进行了说明，但是也可以适用于具有驱动机构的其他装置。

(3)在上述实施例中，第1图像35a、35b和第2图像36a、36b的强调显示用颜色变化表示，但是不限于该方式。例如，也可以构成为使强调显示的部分的光强度变化。

在不脱离本发明的思想或本质的情况下，能以其他的具体的方式来实施本发明，因此，表示发明的范围的，不是以上的说明，而应该参照所附的权利要求书。

Claims

1.一种错误显示装置，其是显示包括驱动机构中发生的异常、故障等错误的错误显示装置，上述装置包括以下的构成要素：

2.根据权利要求1所述的错误显示装置，其中，

上述存储单元存储的图像数据是第1图像数据和第2图像数据，该第1图像数据在表示上述驱动机构的结构的图像上示出上述检测单元的位置，该第2图像数据用于以包含检测出错误的上述检测单元和由该检测单元确定的错误发生部位的文字信息的状态、对错误发生进行警告的强调显示，

上述错误显示装置还包括图像数据生成单元和切换单元，其中，该图像数据生成单元利用由上述错误选择单元选择的错误信息，生成一对图像数据使得在基于上述第1图像数据所输出显示的第1图像上重叠基于第2图像数据所输出显示的第2图像；该切换单元在上述显示单元显示了基于由上述图像数据生成单元生成的图像数据的图像时，将显示在显示单元中的图像从上层的第2图像切换成下层的第1图像，

3.根据权利要求2所述的错误显示装置，其中，

上述显示单元是通过接触与所显示的图像对应的部分而进行图像指定的触摸板式，

上述切换单元作为图像用户接口而设置在上述第2图像上的规定部分，

上述工作状态确认单元作为图像用户接口而设置在上述第1图像上的规定部分上，并且被构成为每次与该第1图像上的规定部分的图像用户接口接触而交替地切换强调显示与非强调显示。

4.根据权利要求2所述的错误显示装置，其中，

上述错误发生部位的文字信息构成为至少表示驱动机构的名称和驱动机构的错误内容的警告文。

5.根据权利要求2所述的错误显示装置，其中，

上述错误发生部位的文字信息构成为：包含有在操作手册或修复手册中登记的错误内容及与错误内容相关联的错误编号之中的、至少错误编号。

6.根据权利要求2所述的错误显示装置，其中，

上述第2图像的强调显示及第1图像上所显示的上述检测单元的位置的强调显示，是表示检测单元的部分的颜色变化。

7.根据权利要求2所述的错误显示装置，其中，

上述第1图像上所显示的上述检测单元的位置及上述第2图像的警告的强调显示，是该部分的光的强度变化。

8.根据权利要求1所述的错误显示装置，还包括：

显示控制单元，该显示控制单元进行控制，使得在规定的驱动机构或多个驱动机构中同时在多个部位发生了错误的情况下，比较基于从各检测单元发送的检测信号的错误内容，考虑修复处理的顺序，以将表示优先度高的错误内容的图像层叠在表示优先度低的错误内容的图像上的状态显示在上述显示单元中。

9.根据权利要求1所述的错误显示装置，还包括：

显示控制单元，该显示控制单元进行控制，使得在规定的驱动机构或多个驱动机构中同时在多个部位上发生了错误的情况下，按从各检测单元发送的检测信号的顺序，将表示该错误内容的图像从最下层起层叠地显示在上述显示单元中。