JP2007115366A - 半導体メモリチップ - Google Patents

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Abstract

【課題】ODT非同期信号からODT同期信号への切替をDLL回路の始動時間を考慮して行うことのできる内部ODT信号生成回路を備えたDRAMチップを提供すること。
【解決手段】内部CKE信号生成回路610は、周波数対応信号で示される周波数に応じた遅延量であってDLL回路100の始動時間を考慮して定められた遅延量をクロックイネーブル信号に付加して内部クロックイネーブル信号として出力し、ODTLカウンタ650はそれをODTレーテンシ分だけ遅延させてセレクタ700に選択切替信号として出力する。これにより、ODT信号がアサートされている間におけるODT非同期信号からODT同期信号への切り替えを適切なタイミングでセレクタ700に指示することができる。
【選択図】図1

Description

本発明は、ODT機能を実装したDRAMチップのような半導体メモリチップに関する。
マザーボードターミネーションにおける非アクティブ状態のDRAMチップからアクティブ状態のDRAMチップへ対する信号反射等の問題を解決する手段として、DRAMチップにターミネーション機能を実装したODT(On Die Termination)が知られている。
ODT機能を有するDRAMチップ上には、終端抵抗又は内部抵抗(Rtt)のオン・オフを示すODT信号を適宜遅延させることにより内部ODT信号を生成する内部ODT信号生成回路が設けられている(特許文献1参照)。
DRAMチップがパワーダウンモード状態にある場合とそれ以外とで内部ODT信号出力回路における遅延時間、即ち、内部ODT信号の出力タイミングを異ならせるため、内部ODT信号生成回路は、パワーダウンモード状態用のODT非同期回路及び非パワーダウンモード用のODT非同期回路とそれらの出力を選択するセレクタとを備えている。ODT同期回路は、DLL回路から出力される内部クロック信号をカウントして、ODT信号をODTレーテンシ又はODTオン遅延時間を経過した後に、内部クロックに同期させたODT同期信号を出力するものである。ODT非同期回路は、パワーダウンモード状態下ではDLL回路の停止に伴いODT同期信号が機能しないことを考慮して設けられている回路であり、ODT信号を受けて、(内部クロック信号への同期を考慮することなく)そのまま又は所定時間遅延させてからODT非同期信号として出力するものである。セレクタは、ODT同期信号とODT非同期信号とのいずれか一方を内部ODT信号として選択出力するものである。
特開2003−223784(特に、図7)
DLL回路は、オンしてから安定した内部クロック信号を出力できるようになるまで所定の時間(以下「始動時間」という)を要する。ODT同期回路は、DLL回路から出力される内部クロック信号のカウントに基づいて動作するものであるので、DLL回路の始動時間が経過するまでは適切には機能し得ない。
しかしながら、特許文献1においてはセレクタにおけるODT同期信号とODT非同期信号の選択にパワーダウンモード状態か非パワーダウンモード状態かを示す信号そのものが用いられており、DLL回路の始動時間に対する考慮がなされていない。従って、ODT信号がアサートされている間にパワーダウンモード状態から非パワーダウンモード状態に移行するといったイベントが生じると、内部ODT信号がODT非同期信号からから適切な動作を行うに至っていないODT同期回路の生成したODT同期信号へ切り替わることになり、ODT機能が誤ってオフになってしまうといった問題が生じ得る。
そこで、本発明は、ODT非同期信号からODT同期信号への切替をDLL回路の始動時間を考慮して行うことのできる内部ODT信号生成回路を備えたDRAMチップのような半導体メモリチップを提供することを目的とする。
本発明は、上述した課題を解決するための手段として、クロックイネーブル信号がアサートされているときにクロック信号に対応する内部クロック信号を生成するDLL(Delay Locked Loop)回路と、オン・オフ制御可能な内部抵抗を有するターミネーション回路と、前記内部抵抗のオン・オフを示すODT(On Die Termination)信号を受けて該ODT信号に対応する内部ODT信号を生成する内部ODT信号生成回路とを備えた半導体メモリチップにおいて、
前記内部ODT信号生成回路は、
前記ODT信号を受けて、前記内部クロック信号に同期したODT同期信号を出力するODT同期回路と、
前記ODT信号を受けて、前記内部クロック信号との同期をとることなく、ODT非同期信号として出力するODT非同期回路と、
前記クロックイネーブル信号を受けて、前記DLL回路が安定動作するまでに要する始動時間を考慮した遅延処理を含む信号生成処理を行い、選択切替信号として出力する選択切替信号生成回路と、
前記選択切替信号に応じて、前記ODT同期信号と前記ODT非同期信号の一方を選択して前記内部ODT信号として出力するセレクタと
を備える半導体メモリチップを提供する。
上記の半導体メモリチップにおいて、特に複数の周波数への対応を考慮する場合には、前記選択切替信号生成回路における前記遅延処理を当該半導体メモリチップの動作周波数に応じて実行することとするのが好ましい。
本発明による内部ODT信号生成回路では、DLL回路の始動時間を考慮した遅延処理を含む信号生成処理を行って、クロックイネーブル信号に基づく選択切替信号の生成を行っている。従って、選択切替信号がODT非同期信号からODT同期信号への切替を示すこととなる時点では、DLL回路は既に安定動作に入っており、ODT同期回路の出力も適切なものとなっている。そのため、本発明によれば、ODT信号がアサートされている間にパワーダウンモード状態から非パワーダウンモード状態に移行するといったイベントが生じても、ODT機能が誤ってオフすることはない。
特に、動作周波数が異なれば所定数のクロックに対応する時間が異なることを考慮し、
動作周波数に応じて選択切替信号におけるODT同期信号とODT非同期信号との選択切替タイミングの調整を図っていることから、一つの半導体メモリチップで複数の動作周波数に適切に対応することができる。
以下、本発明の実施の形態による半導体メモリチップについて図面を用いて詳細に説明する。なお、以下の実施の形態における半導体メモリチップはDRAMチップであり、動作周波数に応じた周波数対応信号を内部ODT信号生成回路に入力しているものとする。ここで、周波数対応信号は、DRAMチップの外部ピンを通じて直接的に内部ODT信号生成回路に入力することとしても良いし、コマンド等から推測することにより間接的にDRAM内部で生成することとしても良い。例えば、近年のDRAMチップにはモードレジスタ(拡張モードレジスタを含む)が設けられており、そのレジスタ値をMRS信号にてプログラムするなどしてDRAMチップを所定のモードで動作させることができるようになっているが、このモードレジスタのレジスタ値に周波数に対応する値を格納することができるような場合には、その“周波数に対応する値”を周波数対応信号とすればよい。このモードレジスタに格納される値は、動作周波数を直接的に示すものであっても良いし、動作周波数を直接的に示す目的のものではないが当該レジスタ値を参照すれば動作周波数が推測できるようなものであっても良い。
(第1の実施の形態)
本発明の第1の実施の形態によるDRAMチップは、図1に示されるように、クロックイネーブル信号CKEがアサートされているときにクロック信号CKに対応する内部クロック信号LoCLKを生成するDLL回路100と、ODT信号を受けてODT信号に対応する内部ODT信号ODT_internalを生成する内部ODT信号生成回路200と、内部ODT信号ODT_internalによりオン・オフ制御可能な内部抵抗Rttを有するターミネーション回路300と、ターミネーション回路300の前段に設けられたプリバッファ350を備えている。
内部ODT信号生成回路200は、ODT同期回路400、ODT非同期回路500、選択切替信号生成回路600、及びセレクタ700を備えている。
ODT同期回路400は、ODT信号を受けて、ODTレーテンシ(ODTL)だけ内部クロック信号LoCLKをカウントした後に、内部クロック信号LoCLKに同期したODT同期信号ODT_Syncを出力する。本実施の形態におけるODTレーテンシは、5クロックである。
ODT非同期回路500は、ODT信号を受けて、内部クロック信号LoCLKとの同期をとることなく、そのまま又は若干の遅延を伴ってODT非同期信号ODT_Asyncとして出力する。
選択切替信号生成回路600は、クロックイネーブル信号CKEを受けて、クロックイネーブル信号CKEに対してDLL回路100の始動時間を考慮した遅延処理を含む信号生成処理を行い、選択切替信号SELとして出力する。ここで、本実施の形態による選択切替信号生成回路600は、DRAMチップの動作周波数に一意に対応した内容を有する周波数対応信号を内部ODT信号生成回路200の外部から入力され、当該周波数対応信号の内容に基づいて、動作周波数に応じて異なる遅延量をクロックイネーブル信号CKEに対して付加する遅延処理を行う。
セレクタ700は、選択切替信号SELに応じて、ODT同期信号ODT_SyncとODT非同期信号ODT_Asyncの一方を選択して、内部ODT信号ODT_Internalとして出力する。
このように、本実施の形態においては、DRAMチップがパワーダウンモードから抜ける際においても、パワーダウンモードか否かを実質的に示す信号であるクロックイネーブル信号CKEをそのままセレクタ700に入力するのではなく、クロックイネーブル信号CKEに対してDLL回路100の始動時間を考慮した遅延処理を行ってから選択切替信号SELとしてセレクタ700に入力しているので、ODT非同期信号ODT_AsyncからODT同期信号ODT_Syncへの切替時に内部ODT信号ODT_internalが誤ってネゲートされてしまうことを防ぐことができる。
加えて、本実施の形態による選択切替信号生成回路600は、DRAMチップの動作周波数に応じた遅延処理を行うことができることから、当該DRAMチップに関して想定される複数の周波数のうちのいずれの周波数で動作させられた場合であっても、ODT非同期信号ODT_AsyncからODT同期信号ODT_Syncへの切り替えを適切なタイミングでセレクタ700に指示することができる。
再び選択切替信号生成回路600の構成について図1及び図2を参照して詳述すると、選択切替信号生成回路600は、DRAMチップの動作周波数に応じた周波数対応信号を入力するための周波数対応信号端子を有する内部クロックイネーブル信号生成回路610と、ODTLカウンタ620とを備えている。
内部クロックイネーブル信号生成回路610は、クロックイネーブル信号CKEを受けて、周波数対応信号で示されるDRAMチップの動作周波数を考慮した遅延処理を行って内部クロックイネーブル信号CKE_internalを生成する。
ODTLカウンタ650は、内部クロックイネーブル信号CKE_internalを受けて、クロック信号CKをODTレーテンシに相当する所定クロック数(本実施の形態においては5クロック)だけカウントした後、選択切替信号SELとして出力する。
詳しくは、内部クロックイネーブル信号生成回路610は、中間信号生成回路620と遅延処理部630を備えている。
中間信号生成回路620は、クロックイネーブル信号CKEを受けて、一定数だけクロック信号CKをカウントした後に、中間信号CKE_imとして出力する。かかる中間信号生成回路620は、例えば図2に示されるように、フリップフロップ621をカウントすべきクロック数に相当する数だけ従属接続してなるシフトレジスタによって構成することができる。
中間信号生成回路620におけるクロック信号CKのカウント数は、想定される動作周波数のうちの最も低い周波数を基準として、カウント時間をDLL回路100の始動時間に対応させるようにして定められている。本実施の形態においては、想定されるDRAMチップの動作周波数を400MHz、533MHz、667MHz、800MHzの4つとし、DLL回路100の始動時間(20ns)に対して400MHzの場合(1tCK=2.5ns)を考慮して中間信号生成回路620におけるクロック信号CKのカウント数を10クロックとしている。即ち、動作周波数が400MHzの場合には、中間信号生成回路620における遅延時間は25nsに相当することとなり、動作周波数が533MHzの場合には、同遅延時間は約18.75nsに相当することになる。
遅延処理部630は、周波数対応信号によって示される動作周波数に応じた時間だけ中間信号CKE_imを遅延させ、内部クロックイネーブル信号CKE_imternalとしてODTLカウンタ650に対して出力する。
本実施の形態における遅延処理部630は、図2に略図として示されるように、10個のフリップフロップ631を従属接続してなるシフトレジスタと、周波数対応信号が入力される遅延量調整用セレクタ637とを備えている。遅延量調整用セレクタ637には、中間信号生成回路620の出力部とシフトレジスタの最終段のフリップフロップの出力端子635とが接続されており、且つ、フリップフロップ631を従属接続してなるシフトレジスタにおける3つ目と4つ目のフリップフロップ631間の接続点及び6つ目と7つ目のフリップフロップ631間の接続点から引き出されたタップ633が接続されている。即ち、遅延量調整用セレクタ637には、中間信号CKE_im(CKEを10tCK分遅延させた信号)、2つのタップ633上に現れるオンタップ信号(CKEを13及び16tCK分遅延させた信号)及び遅延処理部630内部のシフトレジスタの出力端子635上に現れる出力信号(CKEを20tCK分遅延させた信号)の4つが入力されることとなり、遅延量調整用セレクタ637は、それら4つの信号のうちの一つを動作周波数に応じて選択する。
このような構成によれば、周波数対応信号に応じて4つの周波数に適切に対応した遅延量をクロックイネーブル信号CKEに付加して内部クロックイネーブル信号CKE_internalを生成することができる。
より具体的には、図3及び図4を参照すると、動作周波数が400MHzの場合には、内部クロックイネーブル信号生成回路610によりクロックイネーブル信号CKEに付加される遅延量tXPDLLは10クロック(=25ns)であり、一方、動作周波数が533MHzの場合には、遅延量tXPDLLは13クロック(=24.4ns)である。仮に、内部クロック信号生成回路610が動作周波数を考慮せずにクロックイネーブル信号CKEを一定クロック数だけ遅延させて内部クロックイネーブル信号CKE_internalを生成するものであるとすると、動作周波数が533MHzの場合、10クロック相当の遅延量tXPDLLは約18.75nsとなってしまい、DLL回路100の始動時間(20ns)よりも短くなり、内部ODT信号ODT_internalが意図せずにオフになってODT機能の誤動作が生じてしまう。しかしながら、本実施の形態においては、動作周波数に応じて内部クロックイネーブル信号生成回路610における遅延量tXPDLLの調整を図っていることから、動作周波数が400MHz及び533MHzのいずれの場合にもセレクタ700におけるODT非同期信号ODT_AsyncからODT同期信号ODT_Syncへの切替マージンが約4〜5nsほどあり、切替誤動作が生じることはない。
なお、ODT同期信号とODT非同期信号の切替制御の精度を上げるためには、上掲の実施の形態のように周波数対応信号の内容と動作周波数とが一対一に対応していることが好ましい。しかしながら、本発明を解釈するにあたっては、用語“動作周波数に応じた”は“動作周波数と一対一に対応している”場合のみならず、“客観的にみて動作周波数との関連が認められる”場合を含むと考えてよい。例えば、周波数対応信号がある値を示す場合には想定されている動作周波数のうち互いに近い2つの周波数のいずれかが実際の動作周波数であると考えられるといったように、周波数対応信号の内容から凡その動作周波数が把握可能であるときには、その凡その動作周波数のうちで最も高いものに合わせて内部クロックイネーブル信号生成回路610における遅延量を決定することとすれば、切替マージンを想定される周波数のうちで最も低いものに合わせて設計することができる。より具体的には、例えば、DRAMチップが400MHz、533MHz、667MHz、800MHzで動作する(転送レートはそれぞれの倍)ものとし、モードレジスタには周波数と関連のあるレジスタ値が格納されているものとする。詳しくは、当該レジスタ値が“A”の場合には動作周波数が400MHzであり、レジスタ値が“B”の場合には動作周波数が400MHz又は533MHであり、レジスタ値が“C”の場合には動作周波数が533MHz又は667MHzであり、レジスタ値が“D”の場合には動作周波数が533MHz、667MHz又は800、レジスタ値が“E”の場合には動作周波数が667MHz又は800MHzであったとする。このような場合に、このモードレジスタのレジスタ値を周波数対応信号として利用すれば、上述したような効果を得ることができる。即ち、当該レジスタ値が“B”の場合には動作周波数が667MHであるとして内部クロックイネーブル信号生成回路610における遅延量を決定することとすればよい。内部クロックイネーブル信号生成回路610における遅延量を動作周波数667MHzに合わせておけば、切替マージンの方は400MHzの場合に近い値に設定することができる。
(第2の実施の形態)
本発明の第2の実施の形態によるDRAMチップは、前述の第1の実施の形態によるDRAMチップの変形例であり、図1における内部クロックイネーブル信号生成回路610、特に内部クロックイネーブル信号生成回路610に含まれる遅延処理部の具体的構成のみにおいて第1の実施の形態によるDRAMチップと異なるものである。従って、以下においては、内部クロックイネーブル信号生成回路610内の遅延処理部のみについて詳細に説明することとし、その他については、説明を省略する。
図5を参照すると本実施の形態によるDRAMチップにおける遅延処理部640は、3つのディレイ素子641〜641を従属接続してなるディレイ回路と、周波数対応信号が入力される遅延量調整用セレクタ647とを備えている。遅延量調整用セレクタ647には、中間信号生成回路620の出力部とディレイ回路における最終段のディレイ素子641の出力端子645が接続されており、且つ、隣接する2組のディレイ素子間の接続点のそれぞれから引き出されたタップ643が接続されている。
ここで、各ディレイ素子641〜641における遅延量d1、d2−d1、d3−(d1+d2)、延いては各ディレイ素子641〜641における出力と中間信号CKE_imとの差d1、d2、d3は、それぞれ動作周波数が533MHzの場合、667MHzの場合、800MHzの場合を考慮して決められている。それ故、遅延量調整用セレクタ647には、中間信号CKE_im(CKEを10tCK分遅延させた信号)、2つのタップ633上に現れるオンタップ信号(CKEを10tCK+d1だけ遅延させた信号及びCKEを10tCK+d2だけ遅延させた信号)及びディレイ回路の出力端子645上に現れる出力信号(CKEを10tCK+d3だけ遅延させた信号)の4つが入力されることとなり、遅延量調整用セレクタ647は、それら4つの信号のうちの一つを動作周波数に応じて選択する。
このような構成によれば、前述した第1の実施の形態と同様に、周波数対応信号に応じて4つの周波数に適切に対応した遅延量をクロックイネーブル信号CKEに付加して内部クロックイネーブル信号CKE_internalを生成することができる。
本発明の第1の実施の形態によるDRAMチップの構成を部分的に示す図である。 図1に示される選択切替信号生成回路の構成を示す図である。 動作周波数が400MHzの場合における図1に示される半導体メモリチップにおける動作を示すタイミングチャートである。 動作周波数が533MHzの場合における図1に示される半導体メモリチップにおける動作を示すタイミングチャートである。 本発明の第2の実施の形態による半導体メモリチップにおける選択切替信号生成回路の構成を示す図である。
符号の説明
100 DLL回路
200 内部ODT信号生成回路
300 ターミネーション
350 プリバッファ
400 ODT同期回路
500 ODT非同期回路
600 選択切替信号生成回路
610 内部CKE信号生成回路
620 中間信号生成回路
621 フリップフロップ(F/F)
630 遅延処理部
631 フリップフロップ(F/F)
633 タップ
635 出力端子
637 遅延量調整用セレクタ
640 遅延処理部
641 ディレイ素子(Delay)
643 タップ
645 出力端子
647 遅延量調整用セレクタ
650 ODTLカウンタ
700 セレクタ

Claims (9)

  1. クロックイネーブル信号がアサートされているときにクロック信号に対応する内部クロック信号を生成するDLL(Delay Locked Loop)回路と、オン・オフ制御可能な内部抵抗を有するターミネーション回路と、前記内部抵抗のオン・オフを示すODT(On Die Termination)信号を受けて該ODT信号に対応する内部ODT信号を生成する内部ODT信号生成回路とを備えた半導体メモリチップにおいて、
    前記内部ODT信号生成回路は、
    前記ODT信号を受けて、前記内部クロック信号に同期したODT同期信号を出力するODT同期回路と、
    前記ODT信号を受けて、前記内部クロック信号との同期をとることなく、ODT非同期信号として出力するODT非同期回路と、
    前記クロックイネーブル信号を受けて、前記DLL回路が安定動作するまでに要する始動時間を考慮した遅延処理を含む信号生成処理を行い、選択切替信号として出力する選択切替信号生成回路と、
    前記選択切替信号に応じて、前記ODT同期信号と前記ODT非同期信号の一方を選択して前記内部ODT信号として出力するセレクタと、
    を備えており、
    前記選択切替信号生成回路における前記遅延処理は、当該半導体メモリチップの動作周波数に応じて実行されるものである、
    半導体メモリチップ。
  2. 前記ODT同期回路は、前記ODT信号を受けて、ODTレーテンシに対応する所定クロック数だけ前記内部クロック信号をカウントした後に前記ODT同期信号として出力するものであり、
    前記選択切替信号生成回路は、
    前記クロックイネーブル信号を受けて、前記遅延処理を行って内部クロックイネーブル信号を生成する内部クロックイネーブル信号生成回路と、
    該内部クロックイネーブル信号を受けて、前記クロック信号を前記所定クロック数だけカウントした後、前記選択切替信号として出力するODTLカウンタと
    を備えている、
    請求項1記載の半導体メモリチップ。
  3. 前記内部クロックイネーブル信号生成回路は、
    前記クロックイネーブル信号を受けて、一定数だけ前記クロック信号をカウントした後に、中間信号として出力する中間信号生成回路と、
    該中間信号を前記動作周波数に応じた時間だけ遅延させてから、前記内部クロックイネーブル信号として出力する遅延処理部と
    を備えている、請求項2記載の半導体メモリチップ。
  4. 前記遅延処理部は、
    複数のフリップフロップを従属接続し、且つ、最終段のフリップフロップの出力端子に加えて少なくとも隣接する一組のフリップフロップ間の接続点から引き出されたタップを備え、フリップフロップの段数に応じて前記中間信号をシフトしてなるオンタップ信号及び出力信号を前記タップ及び前記最終段のフリップフロップの出力端子上に出力するシフトレジスタと、
    前記中間信号、前記オンタップ信号又は前記出力信号のいずれか一つを、前記動作周波数に応じて選択する、遅延量調整用セレクタと
    を備えている、請求項3記載の半導体メモリチップ。
  5. 前記遅延処理部は、
    複数のディレイ素子を従属接続し、且つ、最終段のディレイ素子の出力端子に加えて少なくとも隣接する一組のディレイ素子間の接続点から引き出されたタップを備え、ディレイ素子の段数及び各ディレイ素子における遅延時間に応じて前記中間信号を遅延させてなるオンタップ信号及び出力信号を前記タップ及び前記最終段のディレイ素子の出力端子上に出力するディレイ回路と、
    前記中間信号、前記オンタップ信号又は前記出力信号のいずれか一つを、前記動作周波数に応じて選択する、遅延量調整用セレクタと
    を備えている、請求項3記載の半導体メモリチップ。
  6. 前記中間信号生成回路における前記クロック信号のカウント数は、想定される動作周波数のうちの最も低い周波数を基準として、カウント時間を前記始動時間に対応させるようにして定められている
    請求項4又は5記載の半導体メモリチップ。
  7. 前記シフトレジスタ又は前記ディレイ回路は、想定される動作周波数が4以上の場合、前記フリップフロップ又は前記ディレイ素子の段数を3以上とし、互いに異なる遅延時間を有する2以上の前記オンタップ信号を出力する2以上の前記タップが引き出されてなるものである、
    請求項6記載の半導体メモリチップ。
  8. 前記内部クロックイネーブル信号生成回路は、当該半導体メモリチップの動作周波数に応じた周波数対応信号を入力するための周波数対応信号端子を有しており、該周波数対応信号に応じた周波数を考慮して前記遅延処理を行う
    請求項1乃至7のいずれかに記載の半導体メモリチップ。
  9. モードレジスタに設定された値であって前記動作周波数に応じた値を前記周波数対応信号として利用する
    請求項8記載の半導体メモリチップ。
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