JP2007103906A - 相変化記憶素子及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】相変化記憶素子は、下部パターン及びこれを覆うように形成された第1絶縁膜22を有する半導体基板21と、第1電極24と、第1コンタクトホール26を備えた第2絶縁膜25と、第1コンタクトホール26の内部及びそれに隣接する第2絶縁膜25上に形成された第1相変化膜27と、第2コンタクトホール29を備えた第3絶縁膜28と、第2コンタクトホール29内に形成された第2相変化膜30と、第2電極31とを備え、第1及び第2コンタクトホール26、29のうち、いずれか一方が他方より大きく形成されている。
【選択図】図2D
Description
4 ゲート
5 層間絶縁膜
6a 第1タングステンプラグ
6b 第2タングステンプラグ7 第1酸化膜
8 ドット(dot)形金属パッド
9 接地ライン(Vss line)
10 第2酸化膜
11 下部電極
12 相変化膜
13 上部電極
14 第3酸化膜
15 金属配線
22 第1絶縁膜
23 コンタクトプラグ
24 下部電極
25 第2絶縁膜
26、26a 第1コンタクトホール
27 第1相変化膜
28 第3絶縁膜
29、29a 第2コンタクトホール
30 第2相変化膜
31 上部電極
Claims (13)
- 下部パターンが形成された半導体基板と、
前記半導体基板上に、前記下部パターンを覆うように形成された第1絶縁膜と、
前記第1絶縁膜上に形成された第1電極と、
前記第1絶縁膜上に前記第1電極を覆うように形成され、且つ前記第1電極の所定の部分を露出させる第1コンタクトホールを備えた第2絶縁膜と、
前記第1コンタクトホールの内部並びに、該第1コンタクトホールの上及び該第1コンタクトホールに隣接する前記第2絶縁膜の所定部分の上に形成された第1相変化膜と、
前記第2絶縁膜上に前記第1相変化膜を覆うように形成され、且つ前記第1相変化膜の所定の部分を露出させる第2コンタクトホールを備えた第3絶縁膜と、
前記第2コンタクトホール内に形成された第2相変化膜と、
前記第2相変化膜及び、該第2相変化膜に隣接する前記第3絶縁膜上に形成された第2電極と、を備え、
前記第1コンタクトホール及び第2コンタクトホールのうち、いずれか一方が他方より大きく形成されていることを特徴とする相変化記憶素子。 - 前記第2コンタクトホールが、前記第1コンタクトホールより大きく形成されていることを特徴とする請求項1に記載の相変化記憶素子。
- 前記第1相変化膜のうち、前記第1コンタクトホール内に埋め込まれた部分と、前記第1コンタクトホールの上及び前記第2絶縁膜上に形成された部分との接合部分で前記第1相変化膜の相変化が起きることを特徴とする請求項2に記載の相変化記憶素子。
- 前記第1コンタクトホールが、前記第2コンタクトホールより大きく形成されていることを特徴とする請求項1に記載の相変化記憶素子。
- 前記第1相変化膜と前記第2相変化膜との界面部分で前記第2相変化膜の相変化が起こることを特徴とする請求項4に記載の相変化記憶素子。
- 前記第1電極が下部電極であり、前記第2電極が上部電極であることを特徴とする請求項1に記載の相変化記憶素子。
- 前記第1相変化膜と前記第2相変化膜とが互いに異なる物質により形成されることを特徴とする請求項1に記載の相変化記憶素子。
- 下部パターンを有する半導体基板上に第1絶縁膜を形成するステップと、
前記第1絶縁膜上に第1電極を形成するステップと、
前記第1絶縁膜上に前記第1電極を覆うように第2絶縁膜を形成するステップと、
前記第2絶縁膜をエッチングして前記第1電極の所定の部分を露出させる第1コンタクトホールを形成するステップと、
前記第1コンタクトホールの内部並びに、該第1コンタクトホールの上及び該第1コンタクトホールに隣接する前記第2絶縁膜の所定部分の上に第1相変化膜を形成するステップと、
前記第2絶縁膜上に前記第1相変化膜を覆うように第3絶縁膜を形成するステップと、
前記第3絶縁膜をエッチングして前記第1相変化膜の所定の部分を露出させる第2コンタクトホールを形成するステップと、
前記第2コンタクトホール内に第2相変化膜を形成するステップと、
前記第2相変化膜及び、該第2相変化膜に隣接する前記第3絶縁膜上に第2電極を形成するステップと、を含み、
前記第1コンタクトホール及び前記第2コンタクトホールのうち、いずれか一方が他方より大きく形成されていることを特徴とする相変化記憶素子の製造方法。 - 前記第2コンタクトホールが、前記第1コンタクトホールより大きく形成されることを特徴とする請求項8に記載の相変化記憶素子の製造方法。
- 前記第1相変化膜のうち、前記第1コンタクトホール内に埋め込まれた部分と、前記第1コンタクトホールの上及び前記第2絶縁膜上に形成された部分との接合部分で前記第1相変化膜の相変化が起こることを特徴とする請求項9に記載の相変化記憶素子の製造方法。
- 前記第1コンタクトホールが、前記第2コンタクトホールより大きく形成されることを特徴とする請求項8に記載の相変化記憶素子の製造方法。
- 前記第1相変化膜と前記第2相変化膜との界面部分で前記第2相変化膜の相変化が起こることを特徴とする請求項11に記載の相変化記憶素子の製造方法。
- 前記第1相変化膜と前記第2相変化膜とが、互いに異なる物質により形成されることを特徴とする請求項8に記載の相変化記憶素子の製造方法。
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