JP2007010600A - 半導体集積回路装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 薄膜シート中に形成される複数の配線23のうち、基準電位(接地電位)と電気的に接続する配線23Gを信号送信に用いられる複数の配線23S間に配置し、可能な限りプローブ7A、7Bの近傍まで延在するパターンとする。また、複数の配線23のうち、同系統の電源と電気的に接続する複数の電源系の配線23Pを互いに接続したパターンとする。
【選択図】 図24
Description
(a)複数のチップ領域に区画され、前記複数のチップ領域の各々には半導体集積回路が形成され、主面上において前記半導体集積回路と電気的に接続する複数の第1電極が形成された半導体ウエハを用意する工程、
(b)複数の第1配線が形成された第1配線基板と、前記複数の第1電極に接触させるための複数の接触端子および前記複数の接触端子と電気的に接続する複数の第2配線が形成され、前記複数の第2配線の周囲に配置され基準電位と電気的に接続する1つ以上の第3配線が形成され、前記複数の第2配線および前記第3配線が前記複数の第1配線と電気的に接続し、前記複数の接触端子の先端が前記半導体ウエハの前記主面に対向して前記第1配線基板に保持された第1シートと、前記第1シートのうち前記複数の接触端子が形成された領域を裏面より押圧する押圧機構とを有する第1カードを用意する工程、
(c)前記複数の接触端子の前記先端を前記複数の第1電極に接触させて前記半導体集積回路の電気的検査を行う工程。
(a)複数のチップ領域に区画され、前記複数のチップ領域の各々には半導体集積回路が形成され、主面上において前記半導体集積回路と電気的に接続する複数の第1電極が形成された半導体ウエハを用意する工程、
(b)複数の第1配線が形成された第1配線基板と、前記複数の第1電極に接触させるための複数の接触端子および前記複数の接触端子と電気的に接続する複数の第2配線が形成され、前記複数の第2配線が前記複数の第1配線と電気的に接続し、前記複数の接触端子の先端が前記半導体ウエハの前記主面に対向して前記第1配線基板に保持された第1シートと、前記第1シートのうち前記複数の接触端子が形成された領域を裏面より押圧する押圧機構とを有する第1カードを用意する工程、
(c)前記複数の接触端子の前記先端を前記複数の第1電極に接触させて前記半導体集積回路の電気的検査を行う工程。
(a)複数のチップ領域に区画され、前記複数のチップ領域の各々には半導体集積回路が形成され、主面上において前記半導体集積回路と電気的に接続する複数の第1電極が形成された半導体ウエハを用意する工程、
(b)複数の第1配線が形成された第1配線基板と、前記複数の第1電極に接触させるための複数の接触端子および前記複数の接触端子と電気的に接続する複数の第2配線が形成され、前記複数の第2配線が前記複数の第1配線と電気的に接続し、前記複数の接触端子の先端が前記半導体ウエハの前記主面に対向して前記第1配線基板に保持された第1シートと、前記第1シートのうち前記複数の接触端子が形成された領域を裏面より押圧する押圧機構とを有する第1カードを用意する工程、
(c)前記複数の接触端子の前記先端を前記複数の第1電極に接触させて前記半導体集積回路の電気的検査を行う工程。
(a)複数のチップ領域に区画され、前記複数のチップ領域の各々には半導体集積回路が形成され、主面上において前記半導体集積回路と電気的に接続する複数の第1電極が形成された半導体ウエハを用意する工程、
(b)複数の第1配線が形成された第1配線基板と、前記複数の第1電極に接触させるための複数の接触端子および前記複数の接触端子と電気的に接続する複数の第2配線が形成され、前記複数の第2配線が前記複数の第1配線と電気的に接続し、前記複数の接触端子の先端が前記半導体ウエハの前記主面に対向して前記第1配線基板に保持された第1シートと、前記第1シートのうち前記複数の接触端子が形成された領域を裏面より押圧する押圧機構とを有する第1カードを用意する工程、
(c)前記複数の接触端子の前記先端を前記複数の第1電極に接触させて前記半導体集積回路の電気的検査を行う工程。
前記複数の第2配線は、電源供給を行う複数の第4配線および信号伝達を行う複数の第5配線を含み、
前記複数の第4配線は、第1配線層に形成され、
前記複数の第5配線は、前記第1配線層とは異なる第2配線層に形成されている。
(a)複数のチップ領域に区画され、前記複数のチップ領域の各々には半導体集積回路が形成され、主面上において前記半導体集積回路と電気的に接続する複数の第1電極が形成された半導体ウエハを用意する工程、
(b)複数の第1配線が形成された第1配線基板と、前記複数の第1電極に接触させるための複数の接触端子および前記複数の接触端子と電気的に接続する複数の第2配線が形成され、前記複数の第2配線が前記複数の第1配線と電気的に接続し、前記複数の接触端子の先端が前記半導体ウエハの前記主面に対向して前記第1配線基板に保持された第1シートと、前記第1シートのうち前記複数の接触端子が形成された領域を裏面より押圧する押圧機構とを有する第1カードを用意する工程、
(c)前記複数の接触端子の前記先端を前記複数の第1電極に接触させて前記半導体集積回路の電気的検査を行う工程。
1つの前記第4配線は、電源が同一系統である2つ以上の前記第1配線と電気的に接続されている。
半導体ウエハの主面に形成された複数の第1電極に接触させるための複数の接触端子および前記複数の接触端子と電気的に接続する複数の第2配線が形成され、前記複数の第2配線の周囲に配置され基準電位と電気的に接続する1つ以上の第3配線が形成され、前記複数の第2配線および前記第3配線が前記複数の第1配線と電気的に接続し、前記複数の接触端子の先端が前記半導体ウエハの前記主面に対向して前記第1配線基板に保持された第1シートと、
前記第1シートのうち前記複数の接触端子が形成された領域を裏面より押圧する押圧機構とを有するプローブカード。
前記第3配線は、前記第2配線と同じ配線層で形成されている。
前記基準電位は、接地電位である。
前記半導体ウエハは、複数のチップ領域に区画され、前記複数のチップ領域の各々には半導体集積回路が形成され、主面上において前記半導体集積回路と電気的に接続する前記複数の第1電極が形成され、
前記複数の接触端子の前記先端を前記複数の第1電極に接触させて前記半導体集積回路の電気的検査を行う際には、前記複数の第2配線に電気信号が伝達される。
前記半導体集積回路は、高周波数で動作する。
半導体ウエハの主面に形成された複数の第1電極に接触させるための複数の接触端子および前記複数の接触端子と電気的に接続する複数の第2配線が形成され、前記複数の第2配線が前記複数の第1配線と電気的に接続し、前記複数の接触端子の先端が前記半導体ウエハの前記主面に対向して前記第1配線基板に保持された第1シートと、
前記第1シートのうち前記複数の接触端子が形成された領域を裏面より押圧する押圧機構とを有し、
前記複数の第2配線のうち、電源が同一系統である複数の第4配線は、前記接触端子と接続する第1位置からの延在方向上の第2位置で互いに接続および一体化したパターンを有するプローブカード。
前記第2位置における前記第4配線は、前記第1位置より相対的に大きな幅を有する。
前記半導体ウエハは、複数のチップ領域に区画され、前記複数のチップ領域の各々には半導体集積回路が形成され、主面上において前記半導体集積回路と電気的に接続する前記複数の第1電極が形成され、
前記半導体集積回路は、高周波数で動作する。
半導体ウエハの主面に形成された複数の第1電極に接触させるための複数の接触端子および前記複数の接触端子と電気的に接続する複数の第2配線が形成され、前記複数の第2配線が前記複数の第1配線と電気的に接続し、前記複数の接触端子の先端が前記半導体ウエハの前記主面に対向して前記第1配線基板に保持された第1シートと、
前記第1シートのうち前記複数の接触端子が形成された領域を裏面より押圧する押圧機構とを有し、
前記複数の第2配線のうち、同じ電気信号が伝達される複数の第5配線は、前記接触端子と接続する第1位置からの延在方向上の第2位置で互いに接続および一体化したパターンを有するプローブカード。
前記第2位置における前記第5配線は、前記第1位置より相対的に大きな幅を有する。
前記半導体ウエハは、複数のチップ領域に区画され、前記複数のチップ領域の各々には半導体集積回路が形成され、主面上において前記半導体集積回路と電気的に接続する前記複数の第1電極が形成され、
前記複数の接触端子の前記先端を前記複数の第1電極に接触させて前記半導体集積回路の電気的検査を行う際には、前記複数の接触端子は2つの前記チップ領域に配置された前記複数の第1電極と接触する。
前記第5配線の周囲には、基準電位と電気的に接続する1つ以上の第3配線が形成されている。
前記基準電位は、接地電位である。
前記半導体ウエハは、複数のチップ領域に区画され、前記複数のチップ領域の各々には半導体集積回路が形成され、主面上において前記半導体集積回路と電気的に接続する前記複数の第1電極が形成され、
前記半導体集積回路は、高周波数で動作する。
半導体ウエハの主面に形成された複数の第1電極に接触させるための複数の接触端子および前記複数の接触端子と電気的に接続する複数の第2配線が形成され、前記複数の第2配線が前記複数の第1配線と電気的に接続し、前記複数の接触端子の先端が前記半導体ウエハの前記主面に対向して前記第1配線基板に保持された第1シートと、
前記第1シートのうち前記複数の接触端子が形成された領域を裏面より押圧する押圧機構とを有し、
前記複数の第2配線は複数層の配線層で形成され、
前記複数の第2配線は、電源供給を行う複数の第4配線および信号伝達を行う複数の第5配線を含み、
前記複数の第4配線は、第1配線層に形成され、
前記複数の第5配線は、前記第1配線層とは異なる第2配線層に形成されているプローブカード。
前記半導体ウエハは、複数のチップ領域に区画され、前記複数のチップ領域の各々には半導体集積回路が形成され、主面上において前記半導体集積回路と電気的に接続する前記複数の第1電極が形成され、
前記複数の接触端子の前記先端を前記複数の第1電極に接触させて前記半導体集積回路の電気的検査を行う際には、前記複数の接触端子は2つの前記チップ領域に配置された前記複数の第1電極と接触する。
前記複数の第4配線のうち、電源が同一系統であるものは、前記接触端子と接続する第1位置からの延在方向上の第2位置で互いに接続および一体化したパターンを有する。
前記第2位置における前記第4配線は、前記第1位置より相対的に大きな幅を有する。
前記複数の第5配線のうち、同じ電気信号が伝達されるものは、前記接触端子と接続する第1位置からの延在方向上の第2位置で互いに接続および一体化したパターンを有する。
前記第2位置における前記第5配線は、前記第1位置より相対的に大きな幅を有する。
前記複数の第4配線は、基準電位と電気的に接続する1つ以上の第3配線を含む。
前記基準電位は、接地電位である。
前記半導体ウエハは、複数のチップ領域に区画され、前記複数のチップ領域の各々には半導体集積回路が形成され、主面上において前記半導体集積回路と電気的に接続する前記複数の第1電極が形成され、
前記半導体集積回路は、高周波数で動作する。
半導体ウエハの主面に形成された複数の第1電極に接触させるための複数の接触端子および前記複数の接触端子と電気的に接続する複数の第2配線が形成され、前記複数の第2配線が前記複数の第1配線と電気的に接続し、前記複数の接触端子の先端が前記半導体ウエハの前記主面に対向して前記第1配線基板に保持された第1シートと、
前記第1シートのうち前記複数の接触端子が形成された領域を裏面より押圧する押圧機構とを有し、
前記複数の第2配線は、電源供給を行う複数の第4配線を含み、
1つの前記第4配線は、電源が同一系統である2つ以上の前記第1配線と電気的に接続されているプローブカード。
前記複数の第4配線のうち、電源が同一系統であるものは、前記接触端子と接続する第1位置からの延在方向上の第2位置で互いに接続および一体化したパターンを有する。
前記第2位置における前記第4配線は、前記第1位置より相対的に大きな幅を有する。
前記複数の第4配線は、基準電位と電気的に接続する1つ以上の第3配線を含む。
前記基準電位は、接地電位である。
前記半導体ウエハは、複数のチップ領域に区画され、前記複数のチップ領域の各々には半導体集積回路が形成され、主面上において前記半導体集積回路と電気的に接続する前記複数の第1電極が形成され、
前記半導体集積回路は、高周波数で動作する。
図1は、本実施の形態1のプローブカード(第1カード)の要部断面図である。図1に示すように、本実施の形態1のプローブカードは、多層配線基板(第1配線基板)1、薄膜シート(第1シート)2、テスタヘッドTHD、フロッグリングFGRおよびカードホルダCHDなどから形成されている。テスタヘッドTHDとフロッグリングFGRとの間、およびフロッグリングFGRと多層配線基板1との間は、それぞれ複数本のポゴピンPGPを介して電気的に接続され、それによりテスタヘッドTHDと多層配線基板1との間が電気的に接続されている。カードホルダCHDは、多層配線基板1をプローバに機械的に接続するもので、かつポゴピンPGPからの圧力によって多層配線基板1に反りが生じてしまうことを防ぐ機械的強度を持つ。
本実施の形態2では、薄膜シート2に形成された複数のプローブ7が、検査対象のウエハWH(図5参照)との1回の接触で、2つのチップ10(図6および図12参照)と接触する場合の配線23のレイアウトについて説明する。
次に、本実施の形態3のプローブカードについて説明する。
図33は、本実施の形態4のプローブカードの下面の要部平面図である。
2 薄膜シート(第1シート)
3 プランジャ
3A ばね
4 押さえリング
5 開口部
6 接着リング
7、7A、7B、7C、7D、7P プローブ(接触端子)
8 ポゴ座
9 押圧具(押圧機構)
10 チップ(チップ領域)
11、12 パッド(テストパッド(第1電極))
14、15 画素電極
16 ガラス基板
17 液晶層
18 ガラス基板
21A、21B、21C、21D 金属膜
22 ポリイミド膜
23 配線(第2配線)
23G 配線(第3配線)
23M 配線
23P 配線(第4配線)
23P2 配線
23S 配線(第2配線)
23V、23W 配線
24 スルーホール(第1位置)
24A スルーホール
25、25A ポリイミド膜
26 配線(第2配線)
27 ポリイミド膜
28 スルーホール
31 ウエハ
32 酸化シリコン膜
33 穴
34 酸化シリコン膜
35、37、38、42、43 導電性膜
45 エラストマ
46 ポリイミドシート
51 ジャンパー線
CHD カードホルダ
FGR フロッグリング
IA 中心領域
OA 外周領域
PGP ポゴピン
POS1、POS2 位置
PSL 領域
SB 補助基板
THA 領域
THD テスタヘッド
WH ウエハ
Claims (29)
- 以下の工程を含む半導体集積回路装置の製造方法:
(a)複数のチップ領域に区画され、前記複数のチップ領域の各々には半導体集積回路が形成され、主面上において前記半導体集積回路と電気的に接続する複数の第1電極が形成された半導体ウエハを用意する工程、
(b)複数の第1配線が形成された第1配線基板と、前記複数の第1電極に接触させるための複数の接触端子および前記複数の接触端子と電気的に接続する複数の第2配線が形成され、前記複数の第2配線の周囲に配置され基準電位と電気的に接続する1つ以上の第3配線が形成され、前記複数の第2配線および前記第3配線が前記複数の第1配線と電気的に接続し、前記複数の接触端子の先端が前記半導体ウエハの前記主面に対向して前記第1配線基板に保持された第1シートと、前記第1シートのうち前記複数の接触端子が形成された領域を裏面より押圧する押圧機構とを有する第1カードを用意する工程、
(c)前記複数の接触端子の前記先端を前記複数の第1電極に接触させて前記半導体集積回路の電気的検査を行う工程。 - 請求項1記載の半導体集積回路装置の製造方法において、
前記第3配線は、前記第2配線と同じ配線層で形成されている。 - 請求項1記載の半導体集積回路装置の製造方法において、
前記基準電位は、接地電位である。 - 請求項1記載の半導体集積回路装置の製造方法において、
前記(c)工程において、前記複数の第2配線には電気信号が伝達される。 - 請求項1記載の半導体集積回路装置の製造方法において、
前記半導体集積回路は、高周波数で動作する。 - 以下の工程を含む半導体集積回路装置の製造方法:
(a)複数のチップ領域に区画され、前記複数のチップ領域の各々には半導体集積回路が形成され、主面上において前記半導体集積回路と電気的に接続する複数の第1電極が形成された半導体ウエハを用意する工程、
(b)複数の第1配線が形成された第1配線基板と、前記複数の第1電極に接触させるための複数の接触端子および前記複数の接触端子と電気的に接続する複数の第2配線が形成され、前記複数の第2配線が前記複数の第1配線と電気的に接続し、前記複数の接触端子の先端が前記半導体ウエハの前記主面に対向して前記第1配線基板に保持された第1シートと、前記第1シートのうち前記複数の接触端子が形成された領域を裏面より押圧する押圧機構とを有する第1カードを用意する工程、
(c)前記複数の接触端子の前記先端を前記複数の第1電極に接触させて前記半導体集積回路の電気的検査を行う工程。
ここで、前記複数の第2配線のうち、電源が同一系統である複数の第4配線は、前記接触端子と接続する第1位置からの延在方向上の第2位置で互いに接続および一体化したパターンを有する。 - 請求項6記載の半導体集積回路装置の製造方法において、
前記第2位置における前記第4配線は、前記第1位置より相対的に大きな幅を有する。 - 請求項6記載の半導体集積回路装置の製造方法において、
前記半導体集積回路は、高周波数で動作する。 - 以下の工程を含む半導体集積回路装置の製造方法:
(a)複数のチップ領域に区画され、前記複数のチップ領域の各々には半導体集積回路が形成され、主面上において前記半導体集積回路と電気的に接続する複数の第1電極が形成された半導体ウエハを用意する工程、
(b)複数の第1配線が形成された第1配線基板と、前記複数の第1電極に接触させるための複数の接触端子および前記複数の接触端子と電気的に接続する複数の第2配線が形成され、前記複数の第2配線が前記複数の第1配線と電気的に接続し、前記複数の接触端子の先端が前記半導体ウエハの前記主面に対向して前記第1配線基板に保持された第1シートと、前記第1シートのうち前記複数の接触端子が形成された領域を裏面より押圧する押圧機構とを有する第1カードを用意する工程、
(c)前記複数の接触端子の前記先端を前記複数の第1電極に接触させて前記半導体集積回路の電気的検査を行う工程。
ここで、前記複数の第2配線のうち、同じ電気信号が伝達される複数の第5配線は、前記接触端子と接続する第1位置からの延在方向上の第2位置で互いに接続および一体化したパターンを有する。 - 請求項9記載の半導体集積回路装置の製造方法において、
前記第2位置における前記第5配線は、前記第1位置より相対的に大きな幅を有する。 - 請求項10記載の半導体集積回路装置の製造方法において、
前記(c)工程において、前記複数の接触端子は2つの前記チップ領域に配置された前記複数の第1電極と接触する。 - 請求項9記載の半導体集積回路装置の製造方法において、
前記第5配線の周囲には、基準電位と電気的に接続する1つ以上の第3配線が形成されている。 - 請求項12記載の半導体集積回路装置の製造方法において、
前記基準電位は、接地電位である。 - 請求項9記載の半導体集積回路装置の製造方法において、
前記半導体集積回路は、高周波数で動作する。 - 以下の工程を含む半導体集積回路装置の製造方法:
(a)複数のチップ領域に区画され、前記複数のチップ領域の各々には半導体集積回路が形成され、主面上において前記半導体集積回路と電気的に接続する複数の第1電極が形成された半導体ウエハを用意する工程、
(b)複数の第1配線が形成された第1配線基板と、前記複数の第1電極に接触させるための複数の接触端子および前記複数の接触端子と電気的に接続する複数の第2配線が形成され、前記複数の第2配線が前記複数の第1配線と電気的に接続し、前記複数の接触端子の先端が前記半導体ウエハの前記主面に対向して前記第1配線基板に保持された第1シートと、前記第1シートのうち前記複数の接触端子が形成された領域を裏面より押圧する押圧機構とを有する第1カードを用意する工程、
(c)前記複数の接触端子の前記先端を前記複数の第1電極に接触させて前記半導体集積回路の電気的検査を行う工程。
ここで、前記複数の第2配線は複数層の配線層で形成され、
前記複数の第2配線は、電源供給を行う複数の第4配線および信号伝達を行う複数の第5配線を含み、
前記複数の第4配線は、第1配線層に形成され、
前記複数の第5配線は、前記第1配線層とは異なる第2配線層に形成されている。 - 請求項15記載の半導体集積回路装置の製造方法において、
前記(c)工程において、前記複数の接触端子は2つの前記チップ領域に配置された前記複数の第1電極と接触する。 - 請求項15記載の半導体集積回路装置の製造方法において、
前記複数の第4配線のうち、電源が同一系統であるものは、前記接触端子と接続する第1位置からの延在方向上の第2位置で互いに接続および一体化したパターンを有する。 - 請求項17記載の半導体集積回路装置の製造方法において、
前記第2位置における前記第4配線は、前記第1位置より相対的に大きな幅を有する。 - 請求項15記載の半導体集積回路装置の製造方法において、
前記複数の第5配線のうち、同じ電気信号が伝達されるものは、前記接触端子と接続する第1位置からの延在方向上の第2位置で互いに接続および一体化したパターンを有する。 - 請求項19記載の半導体集積回路装置の製造方法において、
前記第2位置における前記第5配線は、前記第1位置より相対的に大きな幅を有する。 - 請求項15記載の半導体集積回路装置の製造方法において、
前記複数の第4配線は、基準電位と電気的に接続する1つ以上の第3配線を含む。 - 請求項21記載の半導体集積回路装置の製造方法において、
前記基準電位は、接地電位である。 - 請求項15記載の半導体集積回路装置の製造方法において、
前記半導体集積回路は、高周波数で動作する。 - 以下の工程を含む半導体集積回路装置の製造方法:
(a)複数のチップ領域に区画され、前記複数のチップ領域の各々には半導体集積回路が形成され、主面上において前記半導体集積回路と電気的に接続する複数の第1電極が形成された半導体ウエハを用意する工程、
(b)複数の第1配線が形成された第1配線基板と、前記複数の第1電極に接触させるための複数の接触端子および前記複数の接触端子と電気的に接続する複数の第2配線が形成され、前記複数の第2配線が前記複数の第1配線と電気的に接続し、前記複数の接触端子の先端が前記半導体ウエハの前記主面に対向して前記第1配線基板に保持された第1シートと、前記第1シートのうち前記複数の接触端子が形成された領域を裏面より押圧する押圧機構とを有する第1カードを用意する工程、
(c)前記複数の接触端子の前記先端を前記複数の第1電極に接触させて前記半導体集積回路の電気的検査を行う工程。
ここで、前記複数の第2配線は、電源供給を行う複数の第4配線を含み、
1つの前記第4配線は、電源が同一系統である2つ以上の前記第1配線と電気的に接続されている。 - 請求項24記載の半導体集積回路装置の製造方法において、
前記複数の第4配線のうち、電源が同一系統であるものは、前記接触端子と接続する第1位置からの延在方向上の第2位置で互いに接続および一体化したパターンを有する。 - 請求項25記載の半導体集積回路装置の製造方法において、
前記第2位置における前記第4配線は、前記第1位置より相対的に大きな幅を有する。 - 請求項24記載の半導体集積回路装置の製造方法において、
前記複数の第4配線は、基準電位と電気的に接続する1つ以上の第3配線を含む。 - 請求項27記載の半導体集積回路装置の製造方法において、
前記基準電位は、接地電位である。 - 請求項24記載の半導体集積回路装置の製造方法において、
前記半導体集積回路は、高周波数で動作する。
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