JP2007000865A - 塗布液塗布装置及びこれを利用した液晶表示装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】塗布液塗布装置300は、被処理物が載置されるテーブル220と、テーブル220の上部に設置され、上記被処理物の表面に塗布液を塗布するスリットノズル240と、テーブル220の少なくとも一方の側面に設置され、塗布が開始される塗布補助機構と、スリットノズル240を所定方向に移動するための駆動部260とを含む。
【選択図】図2
Description
図6に示すように、スピンコーターは、回転軸6に連結されているスピンチャック(spin chuck)5と、スピンチャック5の外部を囲むと共に、開閉可能なカバー7と、スピンチャック5の上部に位置し、カバー7の開放時にカバー7の内部に移動するノズル4とから構成される。
このように被処理物10の全面に感光液が塗布され、これを凝固させた後、フォトマスクなどを使用して露光及び現像することにより、被処理物10の表面に所定のパターンを形成する。
ここで、本実施形態のスリットコーターは、液晶表示装置の画面パネルを製造するための四角形ガラス基板が被処理物であり、基板の表面に形成された導電膜などを選択的にエッチングするフォトリソグラフィ工程において、基板の表面に塗布液を塗布する塗布液コーティング工程に利用される。また、このスリットコーターは、液晶表示装置用のガラス基板だけでなく、一般的にフラットパネルディスプレイ用の多様な基板に塗布液を塗布する装置として変形して利用することもできる。
ここで、テーブル220は、長方形の石製であり、その上面及び側面は平坦に加工されている。
図3に示すように、ノズル240は、第1ノズル本体241a、第2ノズル本体241b、流入口246、及び吐出口242からなる。
液晶表示装置の製造方法は、アレイ基板を形成するアレイ工程と、カラーフィルタ基板を形成するカラーフィルタ工程と、上記アレイ基板と上記カラーフィルタ基板を貼り合わせて単位液晶表示パネルを形成するセル工程とからなり、以下、以上の過程を詳細に説明する。
オーバーコート層は、カラーフィルタが形成された基板を平坦化し、顔料の流出を防止するために、絶縁特性を有する透明な樹脂で形成し、特に、アクリル系樹脂又はエポキシ系樹脂で形成できる。
スペーサとしては、液晶表示パネルが大型化するにつれて、アレイ基板やカラーフィルタ基板に固定される形態の柱状スペーサ(又は、パターン化したスペーサ)を使用している。
次に、カラーフィルタ基板にシーラントで所定のシールパターンを形成すると同時に、アレイ基板に液晶層を形成する。
その後、アレイ基板とカラーフィルタ基板に圧力を加えて貼り合わせて単位液晶表示パネルを形成する。
Claims (28)
- 被処理物が載置されるテーブルと、
前記テーブルの上部に設置され、前記被処理物の表面に塗布液を塗布するスリットノズルと、
前記テーブルの少なくとも一方の側面に設置され、塗布を開始させる塗布補助機構と、
前記スリットノズルを所定の方向に移動するための駆動部と、
を含むことを特徴とする塗布液塗布装置。 - 前記被処理物が、ガラス基板を含むことを特徴とする請求項1に記載の塗布液塗布装置。
- 前記塗布液が、フォトレジストのような感光液、現像液又はカラーフィルタを含むことを特徴とする請求項1に記載の塗布液塗布装置。
- 前記塗布補助機構が、前記テーブルの前端に設置されて塗布液の塗布を開始させる第1塗布補助機構を含むことを特徴とする請求項1に記載の塗布液塗布装置。
- 前記塗布補助機構が、前記テーブルの後端に設置されて塗布液の塗布を終了させる第2塗布補助機構を含むことを特徴とする請求項1に記載の塗布液塗布装置。
- 前記塗布補助機構の上端部が、前記被処理物の上部に延長されて該被処理物と重なる第1領域を含むことを特徴とする請求項1に記載の塗布液塗布装置。
- 前記第1領域が、0.1〜5mmの幅を有することを特徴とする請求項6に記載の塗布液塗布装置。
- 前記第1領域が、前記被処理物に対して垂直方向に0.1〜1000μmの間隔を有することを特徴とする請求項6に記載の塗布液塗布装置。
- 前記塗布補助機構の上端部が、前記被処理物に対して所定の角度の傾斜を有することを特徴とする請求項1に記載の塗布液塗布装置。
- ノズルを介して第1塗布補助機構上で塗布液の予備吐出を開始する段階と、
前記ノズルを基板側に移動させると共に塗布液を吐出する段階と、
前記基板の最後の地点まで塗布液を吐出する段階と
を含むことを特徴とする塗布膜の形成方法。 - 前記ノズルを介してフォトレジストのような感光液、現像液又はカラーフィルタを吐出することを特徴とする請求項10に記載の塗布膜の形成方法。
- 前記第1塗布補助機構が、前記基板の前端に位置することを特徴とする請求項10に記載の塗布膜の形成方法。
- 前記基板の後端に位置し、塗布液の塗布工程を終了させる第2塗布補助機構をさらに含むことを特徴とする請求項10に記載の塗布膜の形成方法。
- 前記第1塗布補助機構の上端部が、前記基板の上部に延長されているため、塗布の開始時に、前記第1塗布補助機構から前記基板に前記ノズルが移動すると共に塗布液を吐出することを特徴とする請求項10に記載の塗布膜の形成方法。
- 前記第1塗布補助機構の上端部が、前記基板に対して所定の角度の傾斜を有しているため、前記ノズルが前記第1塗布補助機構から前記基板に移動するとき、前記ノズルと前記基板との間の間隔が所定の間隔に調整されることを特徴とする請求項10に記載の塗布膜の形成方法。
- 前記第1塗布補助機構が、塗布の開始地点と終了地点で、前記ノズルと前記第1塗布補助機構との間に20〜150μmの第1間隔を維持した状態で塗布液を塗布することを特徴とする請求項10に記載の塗布膜の形成方法。
- 前記第1塗布補助機構が、塗布正常区間で前記ノズルと前記基板との間に、前記第1間隔と同一であるか、又は前記第1間隔より大きい第2間隔を維持した状態で塗布液を塗布することを特徴とする請求項16に記載の塗布膜の形成方法。
- 前記塗布液の塗布が終了した後、次の基板の塗布のために前記第1及び第2塗布補助機構を洗浄する段階をさらに含むことを特徴とする請求項13に記載の塗布膜の形成方法。
- 前記第1及び第2塗布補助機構を洗浄した後、前記第1及び第2塗布補助機構を乾燥する段階をさらに含むことを特徴とする請求項18に記載の塗布膜の形成方法。
- 前記第1及び第2塗布補助機構の洗浄時又は前記基板の移動時には、前記第1及び第2塗布補助機構を水平又は回転移動する段階をさらに含むことを特徴とする請求項13に記載の塗布膜の形成方法。
- 基板を提供する段階と、
ノズルを介して第1塗布補助機構上で塗布液の予備吐出を開始する段階と、前記ノズルを基板方向に移動させると共に塗布液を吐出する段階と、前記基板の最後の地点まで塗布液を吐出する段階とを含むフォトリソグラフィ工程により、前記基板にアレイ工程又はカラーフィルタ工程を行う段階と、
前記アレイ工程と前記カラーフィルタ工程が終了した2つの基板を貼り合わせる段階と、
前記貼り合わせられた基板を複数の単位液晶表示パネルに切断する段階と、
を含むことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 前記ノズルを介してフォトレジストのような感光液、現像液又はカラーフィルタを吐出することを特徴とする請求項21に記載の液晶表示装置の製造方法。
- 前記第1塗布補助機構が、前記基板の前端に位置することを特徴とする請求項21に記載の液晶表示装置の製造方法。
- 前記基板の後端に位置し、塗布液の塗布工程を終了させる第2塗布補助機構をさらに含むことを特徴とする請求項21に記載の液晶表示装置の製造方法。
- 前記第1塗布補助機構の上端部が基板の上部に延長され、塗布の開始時に前記第1塗布補助機構から前記基板にノズルが移動すると共に塗布液を吐出することを特徴とする請求項21に記載の液晶表示装置の製造方法。
- 前記第1塗布補助機構の上端部が、前記基板に対して所定の角度の傾斜を有しているため、前記ノズルが前記第1塗布補助機構から前記基板に移動するとき、前記ノズルと前記基板との間の間隔が所定の間隔に調整されることを特徴とする請求項21に記載の液晶表示装置の製造方法。
- 前記第1塗布補助機構が、塗布の開始地点と終了地点で、前記ノズルとの間に20〜150μmの第1間隔を維持した状態で、塗布液を塗布することを特徴とする請求項21に記載の液晶表示装置の製造方法。
- 前記第1塗布補助機構が、塗布正常区間で前記ノズルと前記基板との間に前記第1間隔と同一であるか、又は前記第1間隔より大きい第2間隔を維持した状態で、塗布液を塗布することを特徴とする請求項27に記載の液晶表示装置の製造方法。
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