JP2006515067A - プローブポジショニング及びボンディング装置並びにプローブボンディング方法 - Google Patents
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Description
Claims (10)
- 作業台上に設置されるステージ部と、
前記作業台上に設置される第1支持部材に支持されるとともに前記ステージ部の上部に配置されるマイクロスコープと、
前記作業台上に設置される第2支持部材に支持されるとともに前記ステージ部の上部及び前記マイクロスコープの下部に配置されるプローブ固定装置部と、
前記作業台上に設置される第3支持部材に支持されるとともに一端部が前記ステージ部の上部に向かうように配置される光源部とを備えるプローブポジショニング及びボンディング装置。 - 前記ステージ部は、x軸稼動ステージ、y軸稼動ステージ、z軸稼動ステージ、及びz軸を回転中心とする回転ステージが、下方から上方に順に積層されてなることを特徴とする請求項1に記載のプローブポジショニング及びボンディング装置。
- 前記プローブ固定装置部は、
プローブを保持するピンセットと、
前記ピンセットを作動させる空圧またはソレノイド駆動方式のピストン構造を持つ往復動機と、
前記ピンセットと往復動機を支持するブラケットとを備えることを特徴とする請求項1または2に記載のプローブポジショニング及びボンディング装置。 - 前記プローブ固定装置部は、
前記第2支持部材上で摺動自在に前記ブラケットに結合されるz軸稼動ステージをさらに備えることを特徴とする請求項3に記載のプローブポジショニング及びボンディング装置。 - 前記プローブ固定装置部は、前記ピンセットをx軸方向に位置調整できるようにする調整部材と、前記ピンセットの開きを所定範囲に制限する開き角調整部と、前記第2支持部材上で摺動自在に前記ブラケットに結合されるz軸稼動ステージとをさらに備え、
前記ピンセットは、下端部内側に溝部が形成されていることを特徴とする請求項3に記載のプローブポジショニング及びボンディング装置。 - 前記光源部は、レーザー発生装置であることを特徴とする請求項1、2、4及び5のいずれか一項に記載のプローブポジショニング及びボンディング装置。
- 所定領域に接着剤の塗布された基板をステージ上に装着し、該ステージを稼動して前記基板上の所定地点を位置決めされたマイクロスコープのフォーカスに合わせる第1段階と、
プローブを前記マイクロスコープのフォーカスに位置決めして前記基板上の所定地点に接触させる第2段階と、
前記基板上の所定地点と前記プローブとの接触部分にレーザービームを照射して前記プローブを前記基板にボンディングする第3段階とを備え、
前記第1段階乃至第3段階を順次に繰り返し行って前記基板上に複数のプローブをボンディングすることによって、前記基板上に所定のプローブ配列を形成することを特徴とするプローブボンディング方法。 - 前記第1段階と第2段階との間に、前記ステージを前記マイクロスコープのフォーカスからアンローディングしてプローブフィーディングのための空間を確保する段階をさらに備え、
前記第2段階は、前記アンローディングされたステージを前記マイクロスコープのフォーカスにローディングして前記基板上の所定地点を前記プローブの一端部に接触させる段階であることを特徴とする請求項7に記載のプローブボンディング方法。 - 前記第2段階の前に、前記マイクロスコープのフォーカスに位置したプローブ固定装置部の所定部分に前記プローブを固定して該プローブをマイクロスコープのフォーカスに合わせる段階をさらに備え、
前記第3段階の後に、前記ボンディングされたプローブを前記プローブ固定装置部の所定部分から固定解除する段階をさらに備えることを特徴とする請求項8に記載のプローブボンディング方法。 - 前記第2段階は、前記マイクロスコープのフォーカスに位置したプローブ固定装置部の所定部分に前記プローブを固定して前記プローブをマイクロスコープのフォーカスに合わせることによって、前記プローブを前記基板上の所定地点に接触させる段階であり、
前記第3段階の後に、前記ボンディングされたプローブを前記プローブ固定装置部から固定解除する段階をさらに備えることを特徴とする請求項7に記載のプローブボンディング方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020030016635A KR100444191B1 (ko) | 2003-03-17 | 2003-03-17 | 프로브 포지셔닝 및 본딩시스템 및 그 방법 |
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100857228B1 (ko) * | 2008-03-28 | 2008-09-05 | 주식회사 코디에스 | 프로브카드 제조장치 및 방법 |
KR100857224B1 (ko) * | 2008-03-28 | 2008-09-05 | 주식회사 코디에스 | 레이저를 이용한 프로브카드 제조장치 및 방법 |
JP2012506028A (ja) * | 2008-10-17 | 2012-03-08 | パック テック−パッケージング テクノロジーズ ゲーエムベーハー | テストコンタクトの位置決めおよび接触用装置 |
WO2023139737A1 (ja) * | 2022-01-20 | 2023-07-27 | 株式会社ニコン | ロボットハンド装置、ロボット装置、及び該装置の制御方法 |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9087126B2 (en) | 2004-04-07 | 2015-07-21 | Visible World, Inc. | System and method for enhanced video selection using an on-screen remote |
KR100557201B1 (ko) * | 2004-06-14 | 2006-03-10 | 주식회사 파이컴 | 프로브 본딩용 실리콘 웨이퍼 및 모듈 및 이를 이용한 프로브 본딩 방법 |
KR100911408B1 (ko) | 2007-11-21 | 2009-08-11 | (주)티에스이 | 캔틸레버 프로브 이송 장치 |
KR101017350B1 (ko) | 2008-04-23 | 2011-02-28 | 주식회사 에이치앤씨 | 오토어태치 장비 및 이를 사용하는 오토어태치 방법 |
KR100920847B1 (ko) | 2008-12-30 | 2009-10-08 | 주식회사 코디에스 | 프로브 공급장치 |
KR100910218B1 (ko) | 2008-12-30 | 2009-07-31 | 주식회사 코디에스 | 프로브 본딩장치 및 방법 |
KR100910217B1 (ko) | 2008-12-30 | 2009-07-31 | 주식회사 코디에스 | 프로브 본딩장치 및 방법 |
CN102043240A (zh) * | 2009-10-10 | 2011-05-04 | 张前 | 带有快速转接装置的显微镜精密测量载物台 |
TW201334095A (zh) * | 2013-04-18 | 2013-08-16 | Hauman Technologies Corp | 具三向運動之點測裝置 |
CN103869153B (zh) * | 2014-04-02 | 2017-02-08 | 厦门先机光电设备有限公司 | 节能灯及led灯电子镇流器测试贴标机 |
TWI548877B (zh) * | 2015-01-13 | 2016-09-11 | 京元電子股份有限公司 | 半導體元件測試連接機構 |
US10168287B2 (en) * | 2015-06-12 | 2019-01-01 | The Boeing Company | Automated detection of fatigue cracks around fasteners using millimeter waveguide probe |
KR101719338B1 (ko) * | 2015-09-18 | 2017-04-04 | (주)가온솔루션 | 레이저 융착 시스템 및 그 제어방법 |
WO2017117257A1 (en) * | 2015-12-28 | 2017-07-06 | Celadon Systems, Inc. | Modular rail systems, rail systems, mechanisms, and equipment for devices under test |
CN105500389A (zh) * | 2016-02-03 | 2016-04-20 | 苏州大学 | 微纳机器人末端执行器自动更换装置 |
KR20180088030A (ko) * | 2017-01-26 | 2018-08-03 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 프로브 장치 |
CN108258088B (zh) * | 2018-02-02 | 2022-02-22 | 厦门市三安光电科技有限公司 | 微发光装置的键合治具、键合设备及其键合方法 |
TWI759594B (zh) * | 2018-10-12 | 2022-04-01 | 旺矽科技股份有限公司 | 具有微機電探針之探針模組及其製造方法 |
CN109895026A (zh) * | 2019-03-20 | 2019-06-18 | 苏州和林微纳科技有限公司 | 半导体芯片用微型探针组装装置及其加工方法 |
CN110488045B (zh) * | 2019-09-11 | 2021-09-03 | 重庆医药高等专科学校 | 防脱落型探针装载设备 |
US10996239B1 (en) * | 2020-05-12 | 2021-05-04 | Mpi Corporation | Method of positioning probe tips relative to pads |
CN114325005A (zh) * | 2021-12-28 | 2022-04-12 | 中国航天科工集团八五一一研究所 | 具备多探头可旋转针盘的电路板检测装置及其检测方法 |
CN114389122B (zh) * | 2022-01-28 | 2023-05-26 | 强一半导体(苏州)有限公司 | 一种垂直式弯形mems探针插针装置及其插针方法 |
KR20230163826A (ko) | 2022-05-24 | 2023-12-01 | 레이저쎌 주식회사 | 턴테이블 방식 프로브핀 레이저 본딩장치의 다축 그리퍼 유닛 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63244750A (ja) * | 1987-03-31 | 1988-10-12 | Tokyo Electron Ltd | プロ−ブカ−ドおよびその製造方法 |
JPS6464790A (en) * | 1987-09-04 | 1989-03-10 | Mitsubishi Electric Corp | Forcep type hand |
JPH023253A (ja) * | 1988-06-18 | 1990-01-08 | Teru Kyushu Kk | プローブ装置 |
JPH05251524A (ja) * | 1991-12-09 | 1993-09-28 | Fujitsu Ltd | プローブ装置および集積回路検査装置 |
JP2000028637A (ja) * | 1998-07-15 | 2000-01-28 | Micronics Japan Co Ltd | プローブの清掃装置及び清掃方法 |
JP2001281268A (ja) * | 2000-01-24 | 2001-10-10 | Tokyo Electron Ltd | プローブの製造方法並びにプローブの取付方法及びプローブの取付装置 |
JP2002103241A (ja) * | 2000-09-26 | 2002-04-09 | Daido Signal Co Ltd | ピンセット |
WO2002061505A1 (fr) * | 2001-01-31 | 2002-08-08 | Nikon Corporation | Masque, procede de mesure de caracteristique optique, procede de reglage d'un appareil d'exposition, procede d'exposition et procede de fabrication du dispositif |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3383491A (en) * | 1964-05-05 | 1968-05-14 | Hrand M. Muncheryan | Laser welding machine |
US4141456A (en) | 1976-08-30 | 1979-02-27 | Rca Corp. | Apparatus and method for aligning wafers |
US4182024A (en) | 1977-12-15 | 1980-01-08 | National Semiconductor Corporation | Automatic control of integrated circuit trimming |
US4475681A (en) * | 1982-05-24 | 1984-10-09 | The Micromanipulator Co., Inc. | Bonder apparatus |
JPS60247847A (ja) | 1984-05-23 | 1985-12-07 | Sony Corp | 駆動制御装置 |
JPS60247487A (ja) * | 1984-05-23 | 1985-12-07 | Nec Corp | ワイヤボンデイング装置 |
KR890004245B1 (ko) | 1985-03-20 | 1989-10-27 | 마쯔시다덴기산교 가부시기가이샤 | 슬로우모우션 재생서어보방식 |
KR890004245Y1 (ko) * | 1986-09-26 | 1989-06-26 | 삼성항공산업 주식회사 | 반도체 칩 자동본딩 장치 |
US5231263A (en) | 1990-03-09 | 1993-07-27 | Hitachi, Ltd. | Liquid crystal mask type laser marking system |
US5151909A (en) | 1990-10-16 | 1992-09-29 | Laserscope | Frequency doubled solid state laser having programmable pump power modes and method for controllable lasers |
US5144630A (en) | 1991-07-29 | 1992-09-01 | Jtt International, Inc. | Multiwavelength solid state laser using frequency conversion techniques |
JPH05192779A (ja) | 1992-01-17 | 1993-08-03 | Toshiba Corp | レーザ加工装置 |
US5341236A (en) | 1992-12-03 | 1994-08-23 | Northrop Corporation | Nonlinear optical wavelength converters with feedback |
JP3110236B2 (ja) | 1993-12-29 | 2000-11-20 | 日本電気株式会社 | 半導体レーザーのダイボンディング方法及びダイボンデ ィング装置 |
US5611946A (en) * | 1994-02-18 | 1997-03-18 | New Wave Research | Multi-wavelength laser system, probe station and laser cutter system using the same |
US6163010A (en) * | 1996-10-25 | 2000-12-19 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Method and apparatus for laser cutting materials |
US5731708A (en) * | 1995-10-31 | 1998-03-24 | Hughes Aircraft Company | Unpackaged semiconductor testing using an improved probe and precision X-Y table |
US6023172A (en) * | 1997-12-17 | 2000-02-08 | Micron Technology, Inc. | Light-based method and apparatus for maintaining probe cards |
JP2002026088A (ja) * | 2000-07-05 | 2002-01-25 | Mitsubishi Electric Corp | ウエハ検査装置 |
-
2003
- 2003-03-17 KR KR1020030016635A patent/KR100444191B1/ko active IP Right Review Request
-
2004
- 2004-03-16 JP JP2005518767A patent/JP2006515067A/ja active Pending
- 2004-03-16 CN CNB2004800071675A patent/CN100403506C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2004-03-16 US US10/549,418 patent/US7592565B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2004-03-16 WO PCT/KR2004/000560 patent/WO2004084296A1/en active Application Filing
- 2004-03-17 TW TW093107025A patent/TWI272393B/zh not_active IP Right Cessation
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63244750A (ja) * | 1987-03-31 | 1988-10-12 | Tokyo Electron Ltd | プロ−ブカ−ドおよびその製造方法 |
JPS6464790A (en) * | 1987-09-04 | 1989-03-10 | Mitsubishi Electric Corp | Forcep type hand |
JPH023253A (ja) * | 1988-06-18 | 1990-01-08 | Teru Kyushu Kk | プローブ装置 |
JPH05251524A (ja) * | 1991-12-09 | 1993-09-28 | Fujitsu Ltd | プローブ装置および集積回路検査装置 |
JP2000028637A (ja) * | 1998-07-15 | 2000-01-28 | Micronics Japan Co Ltd | プローブの清掃装置及び清掃方法 |
JP2001281268A (ja) * | 2000-01-24 | 2001-10-10 | Tokyo Electron Ltd | プローブの製造方法並びにプローブの取付方法及びプローブの取付装置 |
JP2002103241A (ja) * | 2000-09-26 | 2002-04-09 | Daido Signal Co Ltd | ピンセット |
WO2002061505A1 (fr) * | 2001-01-31 | 2002-08-08 | Nikon Corporation | Masque, procede de mesure de caracteristique optique, procede de reglage d'un appareil d'exposition, procede d'exposition et procede de fabrication du dispositif |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100857228B1 (ko) * | 2008-03-28 | 2008-09-05 | 주식회사 코디에스 | 프로브카드 제조장치 및 방법 |
KR100857224B1 (ko) * | 2008-03-28 | 2008-09-05 | 주식회사 코디에스 | 레이저를 이용한 프로브카드 제조장치 및 방법 |
JP2012506028A (ja) * | 2008-10-17 | 2012-03-08 | パック テック−パッケージング テクノロジーズ ゲーエムベーハー | テストコンタクトの位置決めおよび接触用装置 |
WO2023139737A1 (ja) * | 2022-01-20 | 2023-07-27 | 株式会社ニコン | ロボットハンド装置、ロボット装置、及び該装置の制御方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7592565B2 (en) | 2009-09-22 |
US20060169678A1 (en) | 2006-08-03 |
TW200426374A (en) | 2004-12-01 |
WO2004084296A1 (en) | 2004-09-30 |
KR100444191B1 (ko) | 2004-08-21 |
CN1926676A (zh) | 2007-03-07 |
TWI272393B (en) | 2007-02-01 |
CN100403506C (zh) | 2008-07-16 |
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---|---|---|
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Legal Events
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A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090602 |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091002 |
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A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20091009 |
|
A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20091218 |