JPH023253A

JPH023253A - プローブ装置

Info

Publication number: JPH023253A
Application number: JP63150969A
Authority: JP
Inventors: Haruo Iwazu; 春生岩津; Masami Akumoto; 飽本　正己; Yuichi Abe; 祐一阿部
Original assignee: Tokyo Electron Ltd; Tokyo Electron Kyushu Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd; Tokyo Electron Kyushu Ltd
Priority date: 1988-06-18
Filing date: 1988-06-18
Publication date: 1990-01-08

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［発明の目的］（産業上の利用分野）本発明は、半導体ウェハまたはＬＣＤ　（液晶デイスプ
レー）基板等の基板のプローブ装置に関する。

（従来の技術）近年、電子機器の小型化に伴い、回路基板のパターンは
富密度化され、また、表示パネルとしてＬＣＤのニーズ
が大きくなっている。

そして、例えばＬＣＤを例に挙げれば、この種のＬＣＤ
に液晶を封入する前に、液晶駆動素子である例えばＴＰ
Ｔの電気的機能検査あるいはマトリックス状に形成され
る横方向の走査ライン及び縦方向の信号ラインまたはそ
の交点のショート。

オーブン検査等が不可欠となっている。

このため、従来よりＬＣＤプローブ装置にテスタを接続
した検査装置が提供されており、この検査装置にてＬＣ
Ｄの電気的特性検査を実行している。

ここで、ＬＣＤ基板のプロービングを実行するためには
、四角形状の４辺又は２辺に存在する電極領域に、プロ
ーブ針あるいはフィルム電極等を接触させる必要があり
、ＬＣＤ基板の電極に通電してその電流値等を測定する
ことで上記検査を実行している。

ところで、ＬＣＤの電極は多数存在し、その各電極にプ
ローブボードなどを接触させるためにはＬＣＤの位置決
めを正確に実行する必要がある。

そして、この種のＬＣＤプローブ装置では、従来のＩＣ
プローブ装置と同様に、プロービングポジションにＬＣ
Ｄを搬送する前に、プロービングポジションとは別の場
所でＬＣＤのアライメントを実行していた。

（発明が解決しようとする問題点）上述したように、従来装置では、プロービングポジショ
ン以外の場所でＬＣＤのアライメントを実行していたの
で、アライメント実行後に、搬送系によってＬＣＤをプ
ロービングポジションに搬送する必要があり、この際、
上記搬送系等の機械的誤差等が存在すると、せっかくア
ライメントしたにも拘らず、その位置が変化してしまい
、探針位置精度が悪化していた。

そこで、本発明の目的とするところは上述した従来の問
題点を解決し、搬送系の機械的誤差などの悪影響を受け
ずに、−旦アライメントを行えばその位置が変化するこ
とのない、探針精度が向上したプローブ装置を提供する
ことにある。

［発明の構成］（問題点を解決するための手段）本発明は、ロータ装置より供給される被検査基板を、プ
ロービング位置でステージ上に支持し、このステージ上
の被検査基板の電極に通電して、被検査基板の電気的特
性を検査するプローブ装置において、上記プロービング位置上方にアライメント用のカメラを
配置し、アライメントポジションをプロービングポジシ
ョンとして共用した構成としている。

（作用）本発明では、プロービングポジションの上方にアライメ
ントカメラを配置することで、ブーローピンクポジショ
ンにてステージ上に支持された被検査基板を撮影するこ
とができる。

したがって、このアライメント用カメラにて撮影した情
報に基づき、ステージ載置面の直交２軸であるＸ、Ｙ方
向に、または、この２軸に直交するＺ軸の周りに回転す
るθ方向に移動することで、プロービング位置にて被検
査基板のアライメントを実行することができる。

したがって、プロービング位置でのアライメント後に、
被検査基板を何等搬送せずに続いてプロービング動作を
実行することができるので、アライメントしたそのまま
の位置精度で、被検査基板の電極に探針することができ
、探針位置精度を向」−することができる。

なお、プロービング位置の真上は通常マイクロスコープ
で観察できる構造となっているので、このような場合に
はこのマイクロスコープの接眼部にマウントを介してカ
メラを取り付ければよい。

（実施例）以下、本発明をＬＣＤ基板の検査・リペア装置に適用し
た一実施例について、図面を参照して具体的に説明する
。

このＬＣＤ基板の検査・リペア装置は、第１図に示すよ
うに、筐体の右側面側に配置されたロータ装置１と、ロ
ータ装置１の左側であって筐体のフロント面側に配置さ
れたプローブ装置２と、その後方に配置されたレーザー
リペア装Ｗ３とから構成され、プローブ装置２のフロン
ト側にはプローブ装置用の操作パネル４が、筐体の左側
面側にはレーザーリペア装置用の操作パネル５が、その
後方にはモニターＴＶ６がそれぞれ配置されている。

ロータ装置１は、キャリアカセット内に収容したＬＣＤ
基板を一枚ずつ取り出してプローブ装置２に供給し、こ
のプローブ装置２より搬出される検査又は修理、再検査
済みのＬＣＤをキャリアカセットに戻し搬送するもので
ある。

上記プローブ装置２は、本実施例の場合ＬＣＤ基板の走
査ライン、信号ラインのオープン、上記各ライン間のシ
ョート及びライン交点の絶縁抵抗値を測定するものであ
り、このために第２図に示すようにＬＣＤ　１０の４辺
に配置された各電極領域１１，１２，１３．１４にそれ
ぞれコンタクトできるように、４つのプローブボードが
配置されている。

ここで、電極領域１１．１２はそれぞれ走査うインリー
ド電極、信号ラインリード電極であり、電極領域１３．
１４はそれぞれ上記電極領域１１゜１２の対向電極とな
っている。

そして、本実施例では上記電極領域１１．１２用のプロ
ーブボードとして、第３図（Ａ）に示すように、フレキ
シブルなフィルム電極２０の一端をカールさせ、基板２
１との間に柔軟部材例えばフェルト２２を介在させた電
極構造とし、フィルム電極２１を前記電極領域１１．１
２の各電極に圧接して電気的接続を行うようになってい
る。

一方、前記対向電極の電極領域１３．１４に使用される
プローブボードは、第３図（Ｂ）に示すように、基板２
５にプローブ針２６を多数固定し、この針２６の先端を
屈曲して上記電極領域１３゜１４の各電極に接触可能と
したものである。このように、２種のプローブボードを
採用している理由は、対向電極の電極領域１３．１４は
この種の検査のためにのみ設けられているもので、ＬＣ
Ｄ１０の高密度化によりそのパッドスペースが小さく制
限されているので、小スペースでも確実にコンタクト可
能なプローブ針２６によって導通を確保するようにして
いる。

また、この対向電極は信号ライン又は走査ラインの各ラ
インの断線またはライン間の短絡の検査時に使用される
ものであり、この種の欠陥は比較的少なく検査の要求も
低くなっている。そして、このようにニーズの低いライ
ンの短絡、断線の検査のために、フィルム電極方式を４
箇所に採用しようとすると、このフィルム電極を所定幅
に亘って均一圧力で電極に接触させるための調整機構が
大掛かりとなるので、支持機構が比較的簡易なプローブ
針方式を採用することで、コストダウンを図っている。

そして、各プローブボードは、第４図に示すテスター３
０に接続され、ここで各ラインのオーブンまたはライン
間のショート、ライン交点の絶縁抵抗値等が判定可能と
なっている。

このプローブ装置２では、上記ＬＣＤｌ０を載置支持す
るステージ４０を、その載置面の直交２軸であるＸ、Ｙ
軸と、この両軸に直交する高さ方向であるＺ＠と、この
Ｚ　ＩＩＩＩの周りの回転方向であって、上記Ｘ−Ｙ平
面を回転する方向であるθ方向に移動可能となっていて
、しかも、ステージ４０はプローブ装置２内のプロービ
ング位ＩＡの他に、前述したりペア装置３でリペアが実
行されるリペア位置Ｂにも移動可能となっている。そし
て、このステージ４０の駆動はコントローラ４２によっ
て制御されている。

また、このプローブ装置２での特徴として、上記プロー
ビング位ｆｆＡでＬＣＤｌ０のアライメントを実行可能
となっている。すなわち、上記テスト位置Ａの上方には
、第１図に示すマイクロスコープ８が設けられ、このマ
イクロスコープ８の接眼部にマウントを介することで、
第４図に示すＣＣＤカメラ等のアライメントカメラ４１
を設置している。そして、上記マイクロスコープ８を介
してＬＣＤｌ０の一部の表面を拡大してアライメントカ
メラ４１の結像させ、このアライメントカメラ４１の撮
影情報は、第４図のコントローラ４２に入力され、ビデ
オ切り換えによってモニターＴ■６に影像表示可能とな
っている。

そして、この画面を見ながら操作パネル４のジョイステ
ィックなどを操作してアライメントを行うか、あるいは
アライメントの自動化のために、上記影像パターン（例
えば走査ライン、信号ラインのマトリックスパターン）
をコントローラ４２に送出し、メモリ４６で記憶してい
る正規の位置にある場合のパターンと比較し、この比較
結果に基づきステージ４０のアライメント駆動を自動制
御することができる。

このように、プロービングポジションとアライメントポ
ジションとを共通とすることで、従来のようにアライメ
ントを別の場所で実行した後の移動系の機械的誤差に起
因する位置ずれを防止することができ、探針位置精度を
向上することができる。

なお、上記テスタ３０での測定結果は、コントローラ４
２を介して上記メモリ４６に記憶され、不良内容及びそ
のアドレスがリペア情報として記憶されることになる。

なお、このりベア情報は、後述するホストＣＰＵ４４に
記憶するようにしてもよい。

次に、前記レーザーリペア装置３について説明する。

本実施例では、プローブ装置２に使用されるステージ４
０をリペア装置３でも共用し、ＬＣＤｌ０をステージ４
０の駆動によって移動可能とすると共に、この上方に固
定されたレーザーリペアユニット５０を設けている。

このレーザリペアユニット５０は、ＬＣＤ　１０上のシ
ョートパターンをトリミングするためのレーザーを発す
るレーザ発振器５１と、ＬＣＤ　１０のアライメント用
の情報又はオペレータのモニタ情報を収集するためのＣ
ＣＤカメラなどで構成されるオートフォーカス機能付き
のりペアモニタカメラ６０とが設けられ、レーザー光軸
とアライメント用及びモニタ用の光軸は、基板上方で一
致するように構成されている。

すなわち、レーザー発振器５１より発せられたレーザー
光は、Ｎ、Ｄフィルター５２．アパチャー５３を介して
反射ミラー５４で直角に反射され、さらにシャッター５
５及びレンズ５６を介して、上記リペアモニタカメラ６
０の光軸上に配置されたビームスプリッタ５７に導かれ
る。そして、このビームスプリッタ５７によって反射さ
れることで、同一光軸上に配置された対物レンズ５８を
介してＬＣＤｌ０上にレーザー光が照射されるようにな
っている。

一方、上記レーザーリペアユニット５０内には、照明用
のランプ６１が配置され、この照明ランプ６１の光がＬ
ＣＤｌ０によって反射され、上記対物レンズ５８．ビー
ムスプリッタ５７及び拡大レンズ系を介してリペアモニ
タカメラ６０にＬＣＤ１０の一部の表面が拡大して結像
され、ＬＣＤｌ０上の影像情報が収集可能となっている
。

このように、レーザー発振器５１より発せられるレーザ
ー光の光軸と、リペアモニタカメラ６１のための光軸と
を一致させることで、アライメントされた位置に確実に
レーザー光を照射することができ、照射位置ずれを防止
することができる。

また、一部の光学系を共用することができるので、装置
の小型化とコストダウンとを図ることができる。

なお、上記レーザー発振器５１でのレーザー光の出射は
、下記のようにして行われる。すなわち、前記操作パネ
ル５上には第５図に示すようにレーザーカットスイッチ
７０（詳細を後述する）が設けられ、このスイッチ７０
が押下されるとレーザースポットがレーザー電源６２に
出力され、このレーザー電源６２よりレーザー励起信号
が上記レーザー発振器５１に出力されることでレーザー
光が出射される。

また、レーザーリペアユニット５０内の照明ランプ６１
の駆動も上記操作パネル５によって実行され、照明スイ
ッチ７１によってランプ６１を０Ｎ１０ＦＦＬ、また、
照度切り換えスイッチ７２によってランプ６１の明るさ
を連続的に変更可能となっている。

また、上記操作パネル５には、上記スイッチの他に、第
５図に示すような各種スイッチ等が設けられている。

電源スィッチ７３・・・レーザリペア装置３の電源を０
Ｎ１０ＦＦするものである。

カーソル移動スイッチ７４（Ｘ軸、Ｙ軸）・・・モニタ
ーＴＶ６に表示されるリペアパターンに重畳される直交
カーソル５ａ（第６図参照）を移動するためのものであ
る。なお、イニシャル時には上記レーザーを１回照射さ
せ、第６図（Ａ）、（Ｂ）示すようにモニターＴＶ６に
表示される照射ポイント５ｂにカーソル５ａの交点を合
わせ、以降固定するようにしている。すなわち、カーソ
ル５ａの交点がレーザー照射位置（レーザースポット）
となる。

スタートスイッチ７５・・・レーザーリペア装置３に起
動をかけるスイッチであり、不良パターンカット後に、
本スイッチを押下することで次の不良パターンに移動す
るようになっている。

ストップスイッチ７６・・・レーザーリペア装置３に終
了をかける場合、または動作の中断をかける場合に繰作
されるスイッチである。

Ｚ軸移動スイッチ７７・・・ステージ４０をＺ方向に移
動させるスイッチである。

表示器７８・・・リペアに必要な情報を表示するしので
ある。

ジョイスティック７９・・・モニターＴＶ６に表示され
たＬＣＤ　１０の画素をＸ、Ｙ方向に移動させるもので
ある。

なお、前記レーザーカットスイッチ７０は、予め設定さ
れたカットパターンに従い、自動的にレーザーカットを
実行するためのもので、“ワンアクション″でカットで
きるように各モード毎にスイッチが取り付けられている
。

また、このプローブ・リペア装置の全制御を司どるため
にホストＣＰＩＪ４４が設けられ、このホストＣＰＵ４
４にはテストシークンス、各種テスト条件が設定される
ことになる。

次に、作用について第７図のフローチャートを参照して
説明する。

まず、ステップ１〜４にしたがって、初期設定を行う、
ステップ１では、レーザリペア装置３の操作パネル５を
操作して、各種初期設定を実行する。ここで、第７図の
ステップ１中の（２）。

（３）の設定は、前述したように第６図（Ａ）。

（Ｂ）の手順にしたがって実行されるものである。

そして、本実施例では基板１０の上方においてレーザー
光軸とカメラ光軸とが一致しているので、上記のような
設定を行うことで、レーザー発振器５１からのレーザー
光の実際の照射位置が、モニータＴＶ６上でカーソル交
点として確実に一致するので、以降はこのカーソル交点
に不良パターンを一致させれば、常時確実にレーザ光を
不良パターンに照射することができる。

次に、ステップ２〜ステツプ４にて、レーザー光学系の
初期設定、ホストＣＰＵ４４の初期設定及びロータ装置
１への基板カセットのセットなどをそれぞれ実行する。

次に、ロータ装置１よりＬＣＤ基板１０をプローブ装置
２にロードしくステップ５）、ステップ６ではテスト及
リペアが選択されるので、以降プローブ装置２でのプロ
ービング検査が実行されることになる（ステップ７）。

ここで、このプローブ装置２の動作を説明する前に、前
記ＬＣＤ基板１０の構成について第８図を参照して説明
する。

アクティブマトリックス方式の液晶基板上には、透明電
極、パッジベイト膜、配向膜などを備えた多数のピクセ
ル８０が形成されている。

これらのピクセル８０には、それぞれれＨＯ８型ＴＦＴ
８１が配置されており、このＳＯ３型ＴＦＴ８１のゲー
トは、それぞれゲートライン（信号ラインとも称する）
８２ａ、８２ｂ、８２ｃｍに、ソースは、それぞれソー
スライン（走査ラインとも称する）８３ａ、８３ｂ、８
３ｃ・・・に接続されている。また、ＨＯ３型ＴＦＴ８
１のドレインは、それぞれピクセル８０内の透明電極に
接続されている。

さらに、前記ゲートライン８３ａ、８３ｂ、８３ｃ・・
・は、基板１０の端部に形成したゲートリード電極８４
ａ、８４ｂ、８４ｃ・・・と、その対向電極８４ａ−，
８４ｂ−，８４ｃｍ・−・にそれぞれ接続されている。

また、前記ソースライン８３ａ。

８３ｂ、８３ｃも同様に、ソースリード電極８５ａ、−
８５ｂ、８５ｃｍ　と、その対向電極８５ａ３５ｂ−ｓ
”ｉｃ−にそれぞれ接続されている。

そして、上記プローブ装置２では、上記ゲートライン、
ソースラインの交点における絶縁抵抗の値の検査、隣接
するライン間の短絡の有無の検査、各ライン断線の有無
の検査等を実行している。

このため、第３図に示すプローブボードを上記電極に接
触させ、通電するラインを切り換えながら上述した各検
査を実行している。

例えば、ソースラインとゲートラインの交点の絶縁抵抗
値の検査の場合には、ソースリード電極８５ａに１０〜
１２Ｖの電圧を印加し、ソースライン８３ａ、ゲートラ
イン８２ａの交点を介してゲートライン８２ａに流れる
電流を測定することで実行できる。以下、同様にして各
交点の絶縁抵抗値を測定することができる。

また、ライン間の短絡、各ラインの断線を検査する場合
には、対向電極を使用して検査することができる。

なお、上記検査を実行するに際しては、本出願人が先に
提案した検査方法（特願昭６２−２８６８７２．特願昭
６２−３０３９５１）を好適に採用することができる。

ここで、上記のように各種検査を実行するにあたって、
その前提としてプローブボードの接触部が上記各電極に
正しく接触していることが必要となる。このためには、
ＬＣＤ基板１０のアライメントが成されている必要があ
る。

本実施例では、上記のアライメントをプロービング位置
ＡにＬＣＤｌ０を設定した状態で、マイクロスコープ８
を介してアライメントカメラ４１によってＬＣＤ　１０
の一部表面を拡大して撮影し、これをモニターＴＶ６に
表示してジョイスティック等により手動調整するか、あ
るいは撮影パターンと予め記憶されている正規な位置で
のパターンとを比較して、それが一致するように自動調
整するかして、アライメントを行うようにしている。

このように、プロービングポジションとアライメントポ
ジションとを同一とすることで、従来のＩＣプローブ装
置のようにブローピンクポジションに達する前でアライ
メントを実行するものと比較すれば、アライメント後の
搬送ルートの機械的誤差の重畳による探針位置精度の悪
化を防止することができる。

上記検査において断線不良、短絡不良等が生じた場合に
は、この不良のアドレス及びその内容がテスター３０よ
りコントローラ４２を介してメモリ４６に記憶されるこ
とになる。

全検査が終了した場合には、このＬＣＤ基板１０に対し
て不良があるか否かを判別しくステップ８）、不良が生
じた場合には次にリペア装置３での動作が開始される。

すなわち、この不良特に短絡の生じているＬＣＤ基板１
０をステージ４０の駆動によってリペア装置３のレーザ
ーイニシャル位置にロードする（ステップ９）。

次に、上記メモリ４６の内のアドレス情報にしたがって
ステージ４０を移動させ、最初の不良パターン位置がレ
ーザスポット位置に一致するように設定する（ステップ
１０）。ここで、オートかマニュアルかが判別され（ス
テップ１１）、マニュアルの場合には２軸移動スイツチ
７７によってステージ４０をＺ方向に駆動してリペアモ
ニタカメラ６０の焦点合わせを行って焦点が合うまでこ
れを繰り返す（ステップ１２．１３＞。

マニュアルモードにて焦点が合った場合及びオートモー
ドが選択されている場合には、次にジョイスティック７
９によってレーザースポット位置と不良パターン位置と
のファインアライメントを実行する（ステップ１４）。

このファインアライメントにあたって、リペアモニタカ
メラ６０によって不良パターンを拡大して撮影し、これ
をモニターＴＶ６に表示し、このモニターＴＶ６に重畳
して表示されているカーソル５ａの交点に前記不良パタ
ーンが一致するように、ジョイスティック７９を操作す
ることになる。

位置があった場合には（ステップ１６）、次にカットモ
ードが選択され、レーザーカットスイッチ７０が押下さ
れる（ステップ１７）。

次に、ステップ駆動か又は連続駆動かが判断され、連続
駆動であればカット後にさらに不良パターンがあるか否
かが判断され（ステップ２０）、不良パターンが存在す
る場合にはステップ１０に戻って同様な動作を繰り返す
。

ステップ駆動の場合には、カットＯＫか否かが判断され
（ステップ１８）、ＯＫであればスタートスイッチ７６
を押下することで（ステップ１つ）ステップ２０に移行
し、不良パターンが存在する場合にはステップ１０に戻
って同様な動作を繰り返すことになる。

なお、上述したレーザー光によるパターンカットにあた
っては、本実施例の場合アライメントカメラ６０を使用
して行った不良パターンのアライメント位置に確実にレ
ーザーを照射することかでき、したがってレーサー照射
の位置ずれがないので確実なレーザーカットを実行する
ことができる。

これは、上記アライメントカメラ６０の光軸と、レーザ
ー光の光軸とが、第４図に示すように同軸となっている
からであり、しかも光軸の一致により光学系の構成が一
部共通化されるので、装置の小型化とコストダウンとを
図ることができる。

また、ライン交点の配線の絶縁不良が発生した場合には
、片側のラインがレーザーカットされ、後に別の工程に
おいてワイヤボンディング等の方法により再配線処理が
必要となる。この後工程を確実に実行するために、何等
らかの媒体（フロッピディスク、プリンター用紙）等に
より伝達すると、管理が煩雑であり不便であるばかりか
、後工程の実施ミスが生じ易い。

そこで、本実施例ではこのようにライン交点の絶縁不良
により一方のラインをレーザーカットした場合には、そ
のカットされたラインの例えば端部（パターン以外の領
域）にレーザー光を照射し、これをマーカーとして使用
するようにしている。

そして、後工程によってこのマーカーを識別して不良ア
ドレスを認識することができるので、何等の媒体を要せ
ずに確実に再配線工程を実施することが可能となる。な
お、後工程用のマーカーとして切断用レーザーを用いる
場合、そのマーキング位置は種々の変形実施が可能であ
り、少なくともラインカットがあったことと、そのカッ
ト位置を容易に判別できるような位置であればよい。

全ての不良パターンについてのレーザーカットが終了し
た場合には、ステージ４０の駆動によってこのＬＣＤ基
板１０をプローブ装置２に戻し搬送し、不良パターンで
あった場所のみ再テストを実行する（ステップ２１）。

このようにして検査、リペアが終了し、かつ、再テスト
ＯＫの場合には（ステップ２２）、基板１０をロータ装
置１のキャリアカセットに戻し搬送しくステップ２３）
、ロータ装置内にセットされた全基板１０に対して同様
な検査、リペアを繰り返し、全ロットが終了することで
シーケンスが終了する（ステップ２４）。

なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、
本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。

本発明は必ずしもＬＣＤのレーザーリペア装置に適用さ
れるものではなく、１０一ブ装置単体のものであっても
よく、さらに被検査基板としてはＬＣＤに限定されるも
のではない。

［発明の効果コ以上説明したように、本発明によればプロービングポジ
ションとアライメントポジションとを共用することで、
プロービングポジションでのアライメント実行後に、何
等の搬送を要せずに続いてプロービング動作を開始する
ことができるので、被検査基板の電極に対する探針位置
精度を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明を適用したＬＣＤ基板の検査・リペア
装置の外観斜視図、第２図は、ＬＣＤの電極領域を説明するための概略説明
図、第３図（Ａ）、（Ｂ）は、それぞれ２種のプローブボー
ドを説明するため概略説明図、第４図は、第１図に示す
装置のブロック図、第５図は、リペア装置用の操作パネ
ルを示す概略平面図、第６図は（Ａ）、（Ｂ）は、イニシャル時のレーザース
ポットとカーソル交点とを一致させる動作を説明するた
めの概略説明図、第７図は、実施例装置の動作を説明するためのフローチ
ャート、第８図は、ＬＣＤ基板のパターン構成を説明するための
概略説明図である。１・・・ロータ装置、２・・・プローブ装置、８・・・マイクロスコープ、４０・・・ステージ、４１・・・アライメント用カメラ、Ａ・・・プロービングポジション。

Claims

【特許請求の範囲】

ロータ装置より供給される被検査基板を、プロービング
位置でステージ上に支持し、このステージ上の被検査基
板の電極に通電して、被検査基板の電気的特性を検査す
るプローブ装置において、上記プロービング位置上方に
アライメント用のカメラを配置し、アライメントポジシ
ョンをプロービングポジションとして共用したことを特
徴とするプローブ装置。