KR200446580Y1 - 프로브 카드의 니들 고정용 지그 - Google Patents

프로브 카드의 니들 고정용 지그 Download PDF

Info

Publication number
KR200446580Y1
KR200446580Y1 KR2020070008566U KR20070008566U KR200446580Y1 KR 200446580 Y1 KR200446580 Y1 KR 200446580Y1 KR 2020070008566 U KR2020070008566 U KR 2020070008566U KR 20070008566 U KR20070008566 U KR 20070008566U KR 200446580 Y1 KR200446580 Y1 KR 200446580Y1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
fixing
needle
support plate
insertion block
needles
Prior art date
Application number
KR2020070008566U
Other languages
English (en)
Other versions
KR20080005733U (ko
Inventor
여동구
Original Assignee
주식회사 코리아 인스트루먼트
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 코리아 인스트루먼트 filed Critical 주식회사 코리아 인스트루먼트
Priority to KR2020070008566U priority Critical patent/KR200446580Y1/ko
Publication of KR20080005733U publication Critical patent/KR20080005733U/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR200446580Y1 publication Critical patent/KR200446580Y1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
    • G01R31/2601—Apparatus or methods therefor
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/04—Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
    • G01R1/0408—Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets
    • G01R1/0491—Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets for testing integrated circuits on wafers, e.g. wafer-level test cartridge
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/073—Multiple probes
    • G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

소정 간격으로 니들들을 삽입하고 서로 고정하기 위하여 프로브 카드의 니들 고정용 지그는 베이스 플레이트, 지지 플레이트, 각도 조절 유닛 및 가열 유닛을 포함한다. 상기 지지 플레이트는 상기 베이스 플레이트에 회전 가능하게 연결되고, 다수의 니들들이 배치된 니들 삽입용 블록을 지지한다. 상기 각도 조절 유닛은 상기 지지 플레이트를 상기 베이스 플레이트에 일정 각도를 이룬 상태로 고정시킨다. 상기 가열 유닛은 상기 지지 플레이트에 형성되며, 상기 니들 삽입용 블록을 가열한다. 따라서, 상기 팁들의 정렬 작업을 수행하는 중에, 상기 니들 삽입용 블록을 가열한다. 이후, 상기 니들들 상에 상기 니들들을 서로 고정시키기 위한 수지를 도포하여, 상기 니들들을 서로 고정시키는 시간을 단축시킬 수 있다.

Description

프로브 카드의 니들 고정용 지그{Jig for fixing a needle of a probe card}
도 1은 종래의 프로브 카드를 나타내는 평면도이다.
도 2는 본 고안의 일 실시예에 따른 프로브 카드의 니들 고정용 지그를 나타내는 사시도이다.
도 3은 도 2의 니들 고정용 지그를 나타내는 단면도이다.
도 4는 본 고안의 다른 실시예에 따른 프로브 카드의 니들 고정용 지그를 나타내는 사시도이다.
도 5는 도 2의 니들 고정용 지그 상에 장착되는 니들 삽입용 블록을 나타내는 단면도이다.
도 6은 도 2의 니들 고정용 지그 상에 장착되는 니들 삽입용 블록을 나타내는 사시도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
10 : 프로브 카드 11 : 인쇄회로기판
20 : 고정판 30, 160 : 니들
40 : 절연 필름
100, 101 : 프로브 카드의 니들 고정용 지그
110 : 베이스 플레이트 115 : 가이드 홈
120 : 지지 플레이트 125 : 고정 부재
130, 200 : 각도 조절 유닛 132, 212 : 제1 고정부
134 : 연결부 136, 216 : 제2 고정부
140 : 가열 유닛 150 : 니들 삽입용 블록
152 : 베이스 블록 154 : 삽입 블록
156 : 지지 블록 162 : 팁
164 : 몸체 170 : 정렬 필름
180 : 수지 210 : 제1 각도 유닛
214 : 제1 연결부 220 : 제2 각도 유닛
222 : 제3 고정부 224 : 제2 연결부
226 : 제4 고정부 228 : 고정용 레버
본 고안은 프로브 카드의 니들 고정용 지그에 관한 것으로, 보다 상세하게는 소정 간격으로 니들들을 삽입하고 서로 고정하기 위한 프로브 카드의 니들 고정용 지그에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 장치는 반도체 웨이퍼으로 사용되는 실리콘웨이퍼 상에 전기 소자들을 포함하는 전기적인 회로를 형성하는 팹(Fab) 공정과, 상기 팹 공정에서 형성된 반도체 장치들의 전기적인 특성을 검사하기 위한 EDS(electrical die sorting) 공정과, 상기 반도체 장치들을 각각 에폭시 수지로 봉지하고 개별화시키기 위한 패키지 조립 공정을 통해 제조된다.
상기 EDS 공정은 웨이퍼를 구성하고 있는 칩들 중에서도 특히 불량 칩을 판별하기 위한 공정으로, 즉 웨이퍼를 구성하고 있는 각 칩들에 전기적 신호를 인가하여 인가된 전기적 신호로부터 체크되는 신호에 의해서 불량 여부를 판단하도록 하는 것이며, 이러한 공정 수행을 위해 구비되는 설비가 프로브 장치이다.
프로브 장치의 프로브 카드는 웨이퍼 상이 각 칩들의 패턴과 직접적으로 접촉되면서 전기적 신호를 인가한다. 프로브 카드를 이용한 전기적 특성 검사에 있어서, 통상 웨이퍼의 각 디바이스의 전극패드에 프로브 카드의 니들이 접촉하게 되고, 상기 니들을 통해 특정의 전류를 통전시켜 전기적 특성을 측정하게 된다.
한편 최근의 반도체 장치는 고집적화와 동시에 소형화되는 추세에 있으며, 이러한 반도체 장치의 검사를 위해 프로브 카드 역시 소형화되면서 한번에 보다 많은 양을 검사할 수 있도록 개발되고 있다.
도 1은 종래의 프로브 카드(10)를 나타내는 평면도이다.
도 1을 참조하면, 프로브 카드(10)는 인쇄회로기판(11), 인쇄회로기판의 상부면에 구비되는 보강판(도시되지 않음), 인쇄회로기판(11)의 하부면에 구비되는 고정판(20)과 고정판(20)에 고정되는 니들(30)들을 포함한다.
일반적으로, 니들(30)들은 고정판(20)에서 양측으로 서로 대칭이 되게 형성되고, 절연 필름(40)에 의해 고정판(20)에 고정된다. 니들(30)의 팁은 하향 절곡되도록 형성되어 웨이퍼의 상면에 형성되는 전극 패드에 접촉됨으로써 웨이퍼의 각 칩에 전류를 통전시켜 전기적인 특성 검사를 수행하게 된다.
프로브 카드(10)를 제조하는 데 있어서, 상기 전극 패드들의 위치에 대응하는 홀들을 갖는 정렬 필름을 니들 삽입용 블록 상에 배치시키고, 상기 정렬 필름의 홀들에 니들(30)들의 팁들을 삽입한다. 이 후, 삽입된 니들(30)들은 도포된 수지 등과 같은 절연 물질에 의해 서로 고정된다. 이어서, 서로 고정된 니들(30)들은 상기 니들 삽입용 블록으로부터 분리된 후 프로브 카드(10)의 고정판(20)에 고정되게 된다.
한편, 상기 정렬 필름의 홀들에 삽입된 니들(30)들은 상기 니들 삽입용 블록 상에 미세한 간격으로 배치된다. 따라서, 삽입된 니들(30)들을 서로 고정시키기 전에, 니들(30)들의 팁들이 웨이퍼의 전극 패드와 수직에 가깝도록 접촉시키기 위해 팁들의 정렬(align) 작업을 수행한다.
상기 정렬 작업이 수행된 후, 상기 니들 삽입용 블록을 히터로 이동시키고, 상기 니들 삽입용 블록을 가열한다. 상기 니들 삽입용 블록이 소정의 온도로 가열되면, 상기 니들 삽입용 블록의 니들들 상에 상기 니들들을 서로 고정시키기 위한 고정용 수지를 도포한다. 이 때, 상기 수지는 상기 히터에 의해 가열되어 유동성을 갖게 되고, 상기 니들들 상에 얇고 일정한 두께로 도포된다. 이 후, 상기 수지는 상온 상태에서 고체로 변화되어 상기 니들들을 서로 고정시키게 된다.
그러나, 종래의 팁들의 고정 작업에 있어서, 상기 정렬된 니들들이 배치된 니들 삽입용 블록을 다른 장소에 있는 히터로 이동시키고 적정 온도로 상승시키기 위한 시간이 소요된다. 따라서, 상기 소요 시간으로 인해 작업 대기 시간이 필요하 게 되어 생산성을 감소시키는 문제점이 있다.
본 고안의 목적은 니들 교정용 지그에 정확하고 빠르게 니들들을 삽입하고 서로 고정할 수 있는 프로브 카드의 니들 고정용 지그를 제공하는 데 있다.
상기 본 고안의 목적을 달성하기 위해 본 고안에 따른 프로브 카드의 니들 고정용 지그는 베이스 플레이트, 지지 플레이트, 각도 조절 유닛 및 가열 유닛을 포함한다. 상기 지지 플레이트는 상기 베이스 플레이트에 회전 가능하게 연결되고, 다수의 니들들이 배치된 니들 삽입용 블록을 지지한다. 상기 각도 조절 유닛은 상기 지지 플레이트를 상기 베이스 플레이트에 일정 각도를 이룬 상태로 고정시킨다. 상기 가열 유닛은 상기 지지 플레이트에 형성되며, 상기 니들 삽입용 블록을 가열한다.
본 고안의 일 실시예에 있어서, 상기 니들들에는 소정 온도로 가열할 때 액상으로 변화는 수지가 도포될 수 있다. 이 경우에 있어서, 상기 수지는 70℃ 내지 90℃의 온도로 가열될 수 있다. 또한, 상기 수지는 에폭시를 포함할 수 있다.
또한, 상기 베이스 플레이트의 일단부와 상기 지지 플레이트의 일단부는 힌지 결합될 수 있다.
본 고안의 일 실시예에 있어서, 상기 각도 조절 유닛은 상기 베이스 플레이트의 일측에 형성된 가이드 홈을 따라 이동 가능하며 상기 일정 각도에서 고정되는 제1 고정부, 상기 지지 플레이트의 일측에 회전 가능하도록 고정되는 제2 고정부 및 상기 제1 고정부와 상기 제2 고정부를 연결하는 연결부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 지지 플레이트는 상기 니들 삽입용 블록을 고정시키기 위한 고정 부재를 더 포함할 수 있다.
상기 본 고안의 다른 목적을 달성하기 위해 본 고안에 따른 프로브 카드의 니들 고정용 지그는 베이스 플레이트, 지지 플레이트, 니들 삽입용 블록, 각도 조절 유닛 및 가열 유닛을 포함한다. 상기 지지 플레이트는 상기 베이스 플레이트에 회전 가능하게 연결된다. 상기 니들 삽입용 블록은 상기 지지 플레이트 상에 장착되고, 상기 니들 삽입용 블록 상에는 다수의 니들들이 배치되고 상기 니들들의 팁들을 소정 간격으로 삽입시키기 위해 사용된다. 상기 각도 조절 유닛은 상기 팁들의 배열 상태를 일정한 각도로 관찰하기 위하여, 상기 베이스 플레이트와 상기 지지 플레이트에 연결되고, 상기 지지 플레이트를 상기 베이스 플레이트에 일정 각도를 이룬 상태로 고정시킨다. 상기 가열 유닛은 상기 지지 플레이트에 형성되며, 상기 니들 삽입용 블록을 가열한다.
본 고안의 일 실시예에 있어서, 상기 니들 삽입용 블록은 상기 지지 플레이트에 지지되는 베이스 블록, 상기 베이스 블록 상에 설치되며 상기 팁들이 삽입되는 공간을 제공하는 홈을 갖는 삽입 블록 및 상기 삽입 블록의 측면에 설치되며 상기 니들의 몸체를 지지하는 지지 블록을 포함할 수 있다. 이 경우에 있어서, 상기 삽입 블록 상에는 소정 간격으로 배치된 홀들을 갖는 정렬 필름이 배치되고, 상기 팁들은 상기 홀들에 삽입될 수 있다.
이와 같이 구성된 본 고안에 따른 프로브 카드의 니들 고정용 지그는 베이스 플레이트에 회전 가능하게 연결되고 다수의 니들들의 팁들을 소정 간격으로 삽입시키기 위한 니들 삽입용 블록을 지지하는 지지 플레이트를 일정 각도를 이룬 상태로 고정시킬 수 있는 각도 조절 유닛을 포함한다. 또한, 상기지지 플레이트에 형성되며 상기 니들 삽입용 블록을 가열하기 위한 가열 유닛을 포함한다.
이리하여, 상기 팁들의 정렬 작업을 수행하는 중에, 상기 니들 삽입용 블록을 가열하고, 이후, 니들들 상에 상기 니들들을 서로 고정시키기 위한 수지를 도포하여, 상기 니들들을 서로 고정시키는 시간을 단축시킬 수 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 고안의 실시예에 따른 프로브 카드의 니들 고정용 지그에 대해 상세히 설명한다. 본 고안은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 고안을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 고안의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 고안의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 고안의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 고안을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 고안이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 2는 본 고안의 일 실시예에 따른 프로브 카드의 니들 고정용 지그(100)를 나타내는 사시도이고, 도 3은 본 고안의 일 실시예에 따른 프로브 카드의 니들 고정용 지그(100)를 나타내는 단면도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 본 고안에 따른 프로브 카드의 니들 교정용 지그(100)는 베이스 플레이트(110), 지지 플레이트(120), 각도 조절 유닛(130) 및 가열 유닛(140)을 포함한다.
본 고안의 일 실시예에 따르면, 베이스 플레이트(110)와 지지 플레이트(120)는 직사각형 형상을 가질 수 있다. 또한, 베이스 플레이트(110)는 프로브 카드의 니들들을 제조하기 위한 작업대 위에 배치될 수 있다.
베이스 플레이트(110)와 지지 플레이트(120)는 서로 회전 가능하게 연결된다. 구체적으로, 베이스 플레이트(110)의 일단부와 지지 플레이트(120)의 일단부는 제1 결합핀(122)에 의해 힌지 결합된다. 이리하여, 지지 플레이트(120)는 작업대에 배치되는 베이스 플레이트(110)와 일정한 경사 각도를 가지도록 회전 가능하게 연결된다.
도면에 도시되는 않았지만, 베이스 플레이트(110)의 일단부와 지지 플레이트(120)의 일단부는 동일한 축을 갖는 베어링에 의해 연결될 수 있다. 따라서, 지지 플레이트(120)는 베이스 플레이트(110) 상에서 상기 축을 따라서 선형 이동하게 된다.
지지 플레이트(110) 상에는 니들 삽입용 블록(150, 도 5 참조)이 배치된다. 또한, 지지 플레이트(110)의 일단부에는 상기 니들 삽입용 블록을 고정시키기 위한 고정 부재(125)가 형성될 수 있다. 이리하여, 지지 플레이트(110)는 상기 니들 삽입용 블록을 지지하게 된다. 상기 니들 삽입용 블록에 대해서는 이후에 설명하기로 한다.
각도 조절 유닛(130)은 베이스 플레이트(110)와 지지 플레이트(120)에 연결된다. 각도 조절 유닛(130)은 지지 플레이트(120)를 베이스 플레이트(110)에 일정 각도를 이룬 상태로 고정시킨다.
본 고안의 일 실시예에 따르면, 각도 조절 유닛(130)은 제1 고정부(132), 제2 고정부(136) 및 연결부(134)를 포함한다. 또한, 각도 조절 유닛(130)은 베이스 플레이트(110)와 지지 플레이트(120)의 한쪽 또는 양쪽에 각각 설치될 수 있다.
구체적으로, 베이스 플레이트(110)의 일측에는 가이드 홈(115)이 형성된다. 제1 고정부(132)는 가이드 홈(115)을 따라 이동 가능하도록 가이드 홈(115)에 결합된다. 또한, 제1 고정부(132)는 지지 플레이트(120)가 베이스 플레이트(110)에 대하여 일정 각도에서 고정되도록 가이드 홈(115)과 나사 결합할 수 있다.
제 2 고정부(136)는 지지 플레이트(120)의 일측에 회전 가능하도록 고정된다. 제2 고정부(136)는 지지 플레이트(120)의 일측에 고정되는 결합핀에 의해 힌지 결합될 수 있다.
연결부(134)는 제1 고정부(132)와 제2 고정부(136)를 연결한다. 예를 들면, 연결부(134)의 일단은 제1 고정부(132)와 연결되며 연결부(134)의 타단은 제2 고정부(136)와 연결된다. 예를 들면, 연결부(134)는'ㄷ'자 형상으로 굴곡되어 형성될 수 있다. 이리하여, 연결부(134)는 작업자가 쉽게 각도를 조절하도록 손잡이 역할을 하게 된다.
또한, 작업자는 연결부(134)를 좌우로 이동시켜 지지 플레이트(120)를 베이스 플레이트(120) 상에서 선형 이동시킬 수 있다. 구체적으로, 각도 조절 유닛(130)의 제1 고정부(132)는 가이드 홈(115)이 형성된 베이스 플레이트(110)의 일측부 상에서 수직이동 가능하도록 형성된다. 따라서, 연결부(134)는 베이스 플레이트(110)의 일측부와 가까워지거나 멀어지도록 선형 이동할 수 있다. 이에 따라, 작 업자는 연결부(134)를 좌우로 이동시켜 지지 플레이트(120)를 베이스 플레이트(110) 의 일단부와 결합된 축을 따라서 선형 이동시킬 수 있게 된다.
가열 유닛(140)은 지지 플레이트(120)에 형성된다. 가열 유닛(140)은 저항체(142)를 포함할 수 있다. 상기 니들 삽입용 블록은 지지 플레이트(120) 상에 배치되고, 가열 유닛(140)은 상기 니들 삽입용 블록을 일정한 온도로 가열한다. 예를 들면, 가열 유닛(140)은 상기 니들 삽입용 블록을 70℃ 내지 90℃의 온도로 가열할 수 있다.
도 4는 본 고안의 다른 실시예에 따른 프로브 카드의 니들 고정용 지그(101)를 나타내는 사시도이다. 본 실시예에 따른 프로브 카드의 니들 고정용 지그(101)는 각도 조절 유닛을 제외하고는 도 2의 실시예의 프로브 카드의 니들 교정용 지그(100)와 실질적으로 동일한 구성요소들을 포함한다. 따라서, 동일한 구성요소들에 대해서는 동일한 참조부호들로 나타내고, 또한 동일한 구성요소들에 대한 반복 설명은 생략한다.
도 4를 참조하면, 본 고안의 다른 실시예에 있어서, 각도 조절 유닛(200)은 지지 플레이트(120)의 각도 조절을 위한 제1 각도 유닛(210)과 지지 플레이트(120)의 각도 고정을 위한 제2 각도 유닛(220)을 포함할 수 있다.
제1 각도 유닛(210)은 제1 고정부(212), 제2 고정부(216) 및 제1 연결부(214)를 포함하고, 제2 각도 유닛(220)은 제3 고정부(222), 제4 고정부(226), 제2 연결부(224) 및 고정용 레버(228)를 포함한다.
구체적으로, 베이스 플레이트(110)의 일측과 타측에는 각각 가이드 홈들이 형성된다. 상기 가이드 홈들에는 상기 가이드 홈들을 따라 이동 가능한 제1 고정부(212)와 제3 고정부(222) 각각이 결합한다.
제 2 고정부(216)와 제4 고정부(226)는 지지 플레이트(120)의 일측과 타측에 회전 가능하도록 각각 고정된다. 제2 고정부(216)와 제4 고정부(226)는 지지 플레이트(120)의 일측과 타측에 고정되는 결합핀에 의해 각각 힌지 결합될 수 있다.
제1 연결부(214)는 제1 고정부(212)와 제2 고정부(216)를 연결하고, 제2 연결부(224)는 제3 고정부(222)와 제4 고정부(226)를 연결한다. 예를 들면, 제1 연결부(214)의 일단은 제1 고정부(212)와 연결되며 제1 연결부(214)의 타단은 제2 고정부(216)와 연결되고, 제1 연결부(214)는'ㄷ'자 형상으로 굴곡되어 형성될 수 있다. 제2 연결부(224)의 일단은 제3 고정부(222)와 연결되며 제2 연결부(224)의 타단은 제4 고정부(226)와 연결되고, 제2 연결부(224)는 'ㅡ'자 형상으로 형성될 수 있다.
이 때, 제1 고정부(212)와 제3 고정부(222)는 상기 가이드 홈들을 따라 이동 가능하고, 제3 고정부(222)는 고정용 레버(228)와 연결된다. 고정용 레버(228)가 고정 방향으로 일정 각도만큼 회전하게 되면 제3 고정부(222)가 고정된다. 이와 달리, 고정용 레버(228)가 상기 고정 방향의 반대 방향인 해제 방향으로 일정 각도만큼 회전하게 되면 제3 고정부(222)의 고정은 해제되어, 제3 고정부(222)가 상기 가이드 홈을 따라 이동 가능하게 된다.
이리하여, 작업자는 고정용 레버(228)를 해제 방향으로 회전시킨 후, 제1 유닛(210)의 제1 연결부(214)를 이용하여 지지 플레이트(120)를 원하는 각도만큼 회전시킬 수 있게 된다. 지지 플레이트(120)가 원하는 각도만큼 회전되면, 작업자는 고정용 레버(228)를 고정 방향으로 회전시켜 지지 플레이트(120)를 일정 각도에서 고정시킬 수 있게 된다.
또한, 제1 각도 유닛(210)의 제1 고정부(212)와 제2 각도 유닛(220)의 제3 고정부(222) 각각은 상기 가이드 홈들이 형성된 베이스 플레이트(110)의 일측부 상에서 수직이동 가능하도록 형성된다. 따라서, 작업자는 제1 각도 유닛(210)의 제1 연결부(214)를 좌우로 이동시켜 지지 플레이트(120)를 베이스 플레이트(110)의 일단부와 결합된 축을 따라서 선형 이동시킬 수 있게 된다. 따라서, 제1 각도 유닛(210)은 각도 조절뿐만 아니라 지지 플레이트(120)를 베이스 플레이트(110) 상에서 좌우로 이동시키기 위한 손잡이 역할을 하게 된다.
도 5는 도 2의 프로브 카드의 니들 고정용 지그 상에 장착되는 니들 삽입용 블록을 나타내는 단면도이고, 도 6은 도 2의 프로브 카드의 니들 고정용 지그 상에 장착되는 니들 삽입용 블록을 나타내는 사시도이다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 다수의 니들(160)들의 팁(162)들을 소정 간격으로 삽입시키기 위한 니들 삽입용 블록(150)은 지지 플레이트(120)에 장착되어 지지된다.
니들 삽입용 블록(150)은 베이스 블록(152), 삽입 블록(154) 및 지지 블록(156)을 포함한다. 베이스 블록(152)은 지지 플레이트(120)에 장착되어 지지된다. 삽입 블록(154)은 베이스 블록(152) 상에 설치되며, 팁(162)들이 삽입되는 공간을 제공하는 홈(155)을 구비한다. 지지 블록(156)은 삽입 블록(154)의 측면에 설치되며, 니들(160)의 몸체(164)를 지지한다.
삽입 블록(154) 상에는 정렬 필름(170)이 배치된다. 정렬 필름(170)은 웨이퍼의 단자 패드들의 좌표에 따라 일정 간격으로 펀칭된 홀(172)들을 구비한다.
프로브 카드의 제조를 위한 니들(160)들을 삽입하고 삽입된 니들(160)들을 정렬하기 위하여, 먼저, 지지 플레이트(120) 상에 장착된 니들 삽입용 블록(150) 상에 이형제를 도포한 후, 니들(160)들의 팁(162)들을 정렬 필름(170)의 홀들에 삽입한다. 이 후, 팁(162)들의 배열 상태를 일정한 각도로 관찰하기 위하여, 지지 플레이트(120)를 베이스 플레이트(110)에 일정 각도를 이룬 상태로 고정시킨다.
지지 플레이트(120)가 원하는 각도로 고정되면, 니들 삽입용 지그(150)에 삽입된 니들(160)들의 팁(162)들의 정렬 상태를 검사하게 된다.
작업자는 일정 각도를 이룬 상태로 니들 삽입용 블록(150)에 삽입된 니들(160)들의 팁(162)들을 관찰한다. 따라서, 팁(162)들의 배열을 더 큰 시야각을 확보하여 관찰함으로써, 더 정확하고 빠르게 팁(162)들의 위치를 정렬할 수 있게 된다. 이 때, 작업자는 연결부(134)를 이용하여 일정 각도로 고정된 지지 플레이트(120)를 베이스 플레이트(110) 상에서 좌우로 선형 이동시키면서 팁(162)들을 관찰하고, 정렬할 수 있다.
팁(162)들의 정렬 작업을 수행한 후, 니들(160)들에 수지(180)를 도포하여 니들(160)들을 서로 고정시키는 작업을 수행한다. 구체적으로, 니들(160)들에는 소정 온도로 가열할 때 액상으로 변화하는 수지(180)가 도포된다.
수지(180)가 도포되기 전에, 가열 유닛(140)은 니들 삽입용 블록(150)을 가열한다. 예를 들면,가열 유닛(140)에 의해 니들(160)들에 도포된 수지(180)는 70℃ 내지 90℃의 온도로 가열될 수 있다. 바람직하게는, 수지(180)는 약 90℃의 온도로 가열될 수 있다. 예를 들면, 수지(180)는 에폭시를 포함할 수 있다. 상기 에폭시는 상기 온도, 특히 약 90℃의 온도에서 작업성이 좋은 유체로 변화하게 되고, 니들(160)들 상에 얇고 균일하게 도포될 수 있다.
이 때, 작업자는 연결부(134)를 이용하여 일정 각도로 고정된 지지 플레이트(120)를 베이스 플레이트(110) 상에서 좌우로 선형 이동시키면서 니들(160)들에 수지(180)를 도포할 수 있다.
본 고안의 일 실시예에 따르면, 팁(160)들의 정렬 작업을 수행할 때, 가열 유닛(140)을 작동시킬 수 있다. 일반적으로, 가열 유닛(140)이 니들 삽입용 블록(160)을 가열하는 데에는 일정한 시간이 소요된다. 따라서, 상기 정렬 작업을 수행하는 중에, 니들 삽입용 블록(160)을 가열함으로써 상기 소요되는 시간을 단축시킬 수 있게 된다.
니들(160)들 상에 도포된 후 가열된 수지(180)는 상온에서 다시 고체로 변화하게 된다. 따라서, 니들(160)들은 고체 상태의 수지(180)에 의해 서로 고정되게 된다. 이 후, 서로 고정된 니들(160)들은 상기 이형제에 의해 니들 삽입용 블록(150)으로부터 쉽게 분리되고, 프로브 카드의 고정판에 결합하게 된다.
또한, 프로브 카드가 다층 구조인 경우에는, 상기 고정된 니들들은 한 층을 이루게 되고, 상기 한 층의 니들들 상에 다른 니들들을 삽입하고 고정하는 작업을 반복하여 수행하게 된다. 이리하여, 복수의 층을 갖는 프로브 카드를 제조할 수 있게 된다.
상술한 바와 같이, 본 고안의 바람직한 실시예에 따른 프로브 카드의 니들 고정용 지그는 베이스 플레이트에 회전 가능하게 연결되고 다수의 니들들의 팁들을 소정 간격으로 삽입시키기 위한 니들 삽입용 블록을 지지하는 지지 플레이트를 일정 각도를 이룬 상태로 고정시킬 수 있는 각도 조절 유닛을 포함한다. 또한, 상기지지 플레이트에 형성되며 상기 니들 삽입용 블록을 가열하기 위한 가열 유닛을 포함한다.
이리하여, 상기 팁들의 정렬 작업을 수행하는 중에, 상기 니들 삽입용 블록을 가열하고, 이후, 니들들 상에 상기 니들들을 서로 고정시키기 위한 수지를 도포하여, 상기 니들들을 서로 고정시키는 시간을 단축시킬 수 있다.
상기에서는 본 고안의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 고안의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 고안을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (10)

  1. 베이스 플레이트;
    상기 베이스 플레이트에 회전 가능하게 연결되는 지지 플레이트;
    상기 지지 플레이트 상에 장착되고, 다수의 니들(needle)들이 배치되고 상기 니들들의 팁(tip)들을 소정 간격으로 삽입시키기 위한 니들 삽입용 블록;
    상기 팁들의 배열 상태를 일정한 각도로 관찰하기 위하여, 상기 베이스 플레이트와 상기 지지 플레이트에 연결되고, 상기 지지 플레이트를 상기 베이스 플레이트에 일정 각도를 이룬 상태로 고정시키기 위한 각도 조절 유닛; 및
    상기 지지 플레이트에 형성되며, 상기 니들 삽입용 블록을 가열하기 위한 가열 유닛을 포함하고,
    상기 니들 삽입용 블록은
    상기 지지 플레이트에 지지되는 베이스 블록;
    상기 베이스 블록 상에 설치되며, 상기 팁들이 삽입되는 공간을 제공하는 홈을 갖는 삽입 블록; 및
    상기 삽입 블록의 측면에 설치되며, 상기 니들의 몸체를 지지하는 지지 블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드의 니들 고정용 지그.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 니들들에는 소정 온도로 가열할 때 액상으로 변화는 수지가 도포되고, 상기 수지는 70℃ 내지 90℃의 온도로 가열되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드의 니들 고정용 지그.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 수지는 에폭시를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드의 니들 고정용 지그.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 베이스 플레이트의 일단부와 상기 지지 플레이트의 일단부는 힌지 결합되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드의 니들 고정용 지그.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 각도 조절 유닛은
    상기 베이스 플레이트의 일측에 형성된 가이드 홈을 따라 이동 가능하며, 상기 일정 각도에서 고정되는 제1 고정부;
    상기 지지 플레이트의 일측에 회전 가능하도록 고정되는 제2 고정부; 및
    상기 제1 고정부 및 상기 제2 고정부를 연결하는 연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드의 니들 고정용 지그.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 지지 플레이트는 상기 니들 삽입용 블록을 고정시키기 위한 고정 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드의 니들 고정용 지그.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 제 1 항에 있어서, 상기 삽입 블록 상에는 소정 간격으로 배치된 홀들을 갖는 정렬 필름이 배치되고, 상기 팁들은 상기 홀들에 삽입되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드의 니들 고정용 지그.
  10. 삭제
KR2020070008566U 2007-05-25 2007-05-25 프로브 카드의 니들 고정용 지그 KR200446580Y1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2020070008566U KR200446580Y1 (ko) 2007-05-25 2007-05-25 프로브 카드의 니들 고정용 지그

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2020070008566U KR200446580Y1 (ko) 2007-05-25 2007-05-25 프로브 카드의 니들 고정용 지그

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20080005733U KR20080005733U (ko) 2008-11-28
KR200446580Y1 true KR200446580Y1 (ko) 2009-11-11

Family

ID=41326473

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR2020070008566U KR200446580Y1 (ko) 2007-05-25 2007-05-25 프로브 카드의 니들 고정용 지그

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR200446580Y1 (ko)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5316964B2 (ja) * 2010-11-15 2013-10-16 ワイアイケー株式会社 半導体試験装置のベースユニット
KR102314083B1 (ko) * 2015-03-16 2021-10-15 삼성에스디아이 주식회사 지그 장치

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980058766U (ko) * 1997-02-27 1998-10-26 남재우 경사형 수직니들을 가지는 프로브카드의 니들모듈
KR200432983Y1 (ko) * 2006-09-20 2006-12-07 김충연 휴대용 컴퓨터 받침장치

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980058766U (ko) * 1997-02-27 1998-10-26 남재우 경사형 수직니들을 가지는 프로브카드의 니들모듈
KR200432983Y1 (ko) * 2006-09-20 2006-12-07 김충연 휴대용 컴퓨터 받침장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR20080005733U (ko) 2008-11-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6906546B2 (en) Semiconductor device inspection apparatus and inspection method
US7452438B2 (en) Method of fixing a probe needle to a needle fixture of a probe card in semiconductor inspection equipment
KR20080018775A (ko) 온도-조정 기구를 가진 집적 회로 검사 장치
US10295590B2 (en) Probe card with temperature control function, inspection apparatus using the same, and inspection method
KR19980032057A (ko) 프로브 카드 및 그것을 이용한 시험장치
JP2006515067A (ja) プローブポジショニング及びボンディング装置並びにプローブボンディング方法
JP7119310B2 (ja) 半導体試験装置
TWI402932B (zh) 具有多軸載台之半導體元件測試裝置
TW201530166A (zh) 半導體元件對準插座單元以及含其之半導體元件測試裝置
KR102411561B1 (ko) 온도 측정 부재, 검사 장치 및 온도 측정 방법
JP2001118890A (ja) プローブカード解析及びスクラブマーク解析データを最適化するための方法
TW202201017A (zh) 檢查輔助具、檢查輔助具套組、及基板檢查裝置
KR200446580Y1 (ko) 프로브 카드의 니들 고정용 지그
KR200446581Y1 (ko) 프로브 카드의 니들 삽입 장치
TW201339585A (zh) 板狀構件之定位方法及電連接裝置之製造方法
KR20210058641A (ko) 프로브 어레이 및 그를 이용한 프로브 카드의 프로브 헤드 제조 방법
JP2000346875A (ja) プローブカードおよびこれを用いたｉｃ試験装置
KR100725838B1 (ko) 웨이퍼 테스트용 프로브 카드
JP3828299B2 (ja) ウェーハテストシステムでのｚ軸の高さ設定装置及び方法
JP2008175656A (ja) プローブカード及びその製造方法
JPH04326540A (ja) プローバ
JP3193659B2 (ja) プロービング方法
JP2003255023A (ja) プローブカード及びプローブカード試験方法
KR20080103669A (ko) 프로브 카드의 니들 검사 장치
KR100911453B1 (ko) 프로브 카드

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
N231 Notification of change of applicant
REGI Registration of establishment
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20121031

Year of fee payment: 4

LAPS Lapse due to unpaid annual fee