JP2006332346A - 基板、電子部品、及び、これらの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 電子部品の基材22に形成された開口部28に導電材料を充填するには、まず、上部導体24の開口24aを囲むように溝部24bを形成し、上部導体24を第1の導電部24cと、第1の導電部24cを囲む第2の導電部24dとに分割する。次に、開口部28に充填される導電体30が第2の導電部24dに接触しないように、マスク32を形成する。続いて、下部導体26を電極として、開口部28の下部導体26側から金属めっきを成長させ、開口部28に金属めっきを充填する。そして、上部導体24または下部導体26を電極として、開口部28に充填された金属めっきと上部導体24とをめっき接続する。
【選択図】 図5
Description
また、本発明は、電気的信頼性が高い基板及び電子部品を提供することを目的とする。
さらに、本発明は、高密度、且つ、多数の開口部を有し、小型化、モジュール化、高密度化等に対応可能な基板、電子部品、及び、これらの製造方法を提供することを目的とする。
開口を有する第1の導電部材と第2の導電部材とに挟まれた第1の絶縁部材に、前記第1の導電部材の開口から前記第2の導電部材側に前記第1の絶縁部材を貫通する開口部を形成し、該開口部に導電材料を電気めっき法により充填する基板の製造方法であって、
前記第1の導電部材に絶縁用の溝を形成して電気的に絶縁された複数の導電部を形成する導電部形成工程と、
前記導電部形成工程により複数の導電部を形成した後に、前記第2の導電部材を電気めっき時の給電用の電極として、前記開口部の前記第2の導電部材側から電気めっきにより金属めっきを成長させ、前記開口部に金属めっきを充填する金属めっき充填工程と、
を備える、ことを特徴とする。
前記金属めっき充填工程により前記開口部に金属めっきが充填された後、前記第2の絶縁部材を除去する絶縁部材除去工程と、
をさらに備え、
前記金属めっき充填工程では、前記絶縁部材形成工程で前記絶縁用の溝に前記第2の絶縁部材を形成した後に、前記開口部に金属めっきを充填してもよい。
開口を有する第1の導電部材と第2の導電部材とに挟まれた第1の絶縁部材に、前記第1の導電部材の開口から前記第2の導電部材側に前記第1の絶縁部材を貫通する開口部が形成され、該開口部に導電材料が電気めっき法により充填された基板であって、
前記第1の導電部材は、絶縁用の溝により電気的に絶縁された複数の導電部から構成され、
前記導電材料は、前記第2の導電部材を電気めっき時の給電用の電極として、前記開口部の前記第2の導電部材側から電気めっきにより充電された金属めっきである、ことを特徴とする。
22 基材(第1の絶縁部材)
24 上部導体(第1の導電部材)
24a 開口
24b 溝部
24c 第1の導電部
24d 第2の導電部
26 下部導体(第2の導電部材)
28 開口部
30 導体部(穴埋め金属めっき)
32 マスク(第2の絶縁部材)
32a 穴
36 導体部(金属めっき)
Claims (18)
- 開口を有する第1の導電部材と第2の導電部材とに挟まれた第1の絶縁部材に、前記第1の導電部材の開口から前記第2の導電部材側に前記第1の絶縁部材を貫通する開口部を形成し、該開口部に導電材料を電気めっき法により充填する基板の製造方法であって、
前記第1の導電部材に絶縁用の溝を形成して電気的に絶縁された複数の導電部を形成する導電部形成工程と、
前記導電部形成工程により複数の導電部を形成した後に、前記第2の導電部材を電気めっき時の給電用の電極として、前記開口部の前記第2の導電部材側から電気めっきにより金属めっきを成長させ、前記開口部に金属めっきを充填する金属めっき充填工程と、
を備える、ことを特徴とする基板の製造方法。 - 前記導電部形成工程では、前記第1の導電部材の開口を囲むように溝を形成した第1の導電部と、前記第1の導電部材の開口を含まない第2の導電部とに分割する、ことを特徴とする請求項1に記載の基板の製造方法。
- 前記導電部形成工程では、前記第2の導電部が前記第1の導電部を囲むように形成する、ことを特徴とする請求項2に記載の基板の製造方法。
- 前記導電部形成工程では、前記第1の導電部が前記第2の導電部より小さくなるように形成する、ことを特徴とする請求項2または3に記載の基板の製造方法。
- 前記導電部形成工程では、形成される複数の導電部が配線パターンとなるように、前記第1の導電部材に絶縁用の溝を形成する、ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の基板の製造方法。
- 前記金属めっき充填工程により前記開口部に金属めっきが充填された後、前記第1の導電部材または第2の導電部材を電気めっき時の給電用の電極として、前記第1の導電部材に形成された絶縁用の溝に金属めっきを充填し、前記複数の導電部を電気的に接続する接続工程をさらに備える、ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の基板の製造方法。
- 前記導電部形成工程により複数の導電部を形成した後に、当該複数の導電部が電気的に接続されないように、前記絶縁用の溝に第2の絶縁部材を形成する絶縁部材形成工程と、
前記金属めっき充填工程により前記開口部に金属めっきが充填された後、前記第2の絶縁部材を除去する絶縁部材除去工程と、
をさらに備え、
前記金属めっき充填工程では、前記絶縁部材形成工程で前記絶縁用の溝に前記第2の絶縁部材を形成した後に、前記開口部に金属めっきを充填する、ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の基板の製造方法。 - 前記絶縁部材形成工程では、前記第2の導電部を完全に覆うように前記第2の絶縁部材を形成する、ことを特徴とする請求項7に記載の基板の製造方法。
- 前記導電部形成工程では、前記絶縁用の溝を、その幅が前記第1の導電部材の厚さの2〜20倍となるように形成する、ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の基板の製造方法。
- 前記第1の絶縁部材の開口部は、前記第1の導電部材の開口よりも小さく、かつ、該第1の導電部材の開口から所定の距離を有するように形成されている、ことを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の基板の製造方法。
- 前記金属めっき充填工程により前記開口部に金属めっきを充填する前に、前記開口部及び当該開口部によって露出された第2の導電部材の表面を清浄化する清浄化工程を、さらに備える、ことを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載の基板の製造方法。
- 請求項1乃至11のいずれか1項に記載の方法により製造された基板を積層する、ことを特徴とする電子部品の製造方法。
- 開口を有する第1の導電部材と第2の導電部材とに挟まれた第1の絶縁部材に、前記第1の導電部材の開口から前記第2の導電部材側に前記第1の絶縁部材を貫通する開口部が形成され、該開口部に導電材料が電気めっき法により充填された基板であって、
前記第1の導電部材は、絶縁用の溝により電気的に絶縁された複数の導電部から構成され、
前記導電材料は、前記第2の導電部材を電気めっき時の給電用の電極として、前記開口部の前記第2の導電部材側から電気めっきにより充電された金属めっきである、ことを特徴とする基板。 - 前記第1の導電部材は、前記第1の導電部材の開口を囲むように溝を形成した第1の導電部と、前記第1の導電部材の開口を含まない第2の導電部と、からなる、ことを特徴とする請求項13に記載の基板。
- 前記第2の導電部は、前記第1の導電部を囲むように形成されている、ことを特徴とする請求項14に記載の基板。
- 前記第1の導電部は、前記第2の導電部より小さくなるように形成されている、ことを特徴とする請求項14または15に記載の基板。
- 前記第1の導電部材は、形成される複数の導電部が配線パターンとなるように形成されている、ことを特徴とする請求項13乃至16のいずれか1項に記載の基板。
- 請求項13乃至17のいずれか1項に記載の基板が積層されている、ことを特徴とする電子部品。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005154087A JP4227973B2 (ja) | 2005-05-26 | 2005-05-26 | 基板、電子部品、及び、これらの製造方法 |
US11/420,219 US7589416B2 (en) | 2005-05-26 | 2006-05-24 | Substrate, electronic component, and manufacturing method of these |
CN2006100784457A CN1870861B (zh) | 2005-05-26 | 2006-05-26 | 基板、电子元件及它们的制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005154087A JP4227973B2 (ja) | 2005-05-26 | 2005-05-26 | 基板、電子部品、及び、これらの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006332346A true JP2006332346A (ja) | 2006-12-07 |
JP4227973B2 JP4227973B2 (ja) | 2009-02-18 |
Family
ID=37444382
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005154087A Expired - Fee Related JP4227973B2 (ja) | 2005-05-26 | 2005-05-26 | 基板、電子部品、及び、これらの製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7589416B2 (ja) |
JP (1) | JP4227973B2 (ja) |
CN (1) | CN1870861B (ja) |
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JPH05335713A (ja) | 1992-05-28 | 1993-12-17 | Fuji Kiko Denshi Kk | 片側閉塞微小スルホール付きプリント基板用積層板、およびそのプリント基板用積層板への導通メッキ方法 |
JP3236352B2 (ja) | 1992-06-11 | 2001-12-10 | 日東電工株式会社 | 回路基板の製造方法 |
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-
2005
- 2005-05-26 JP JP2005154087A patent/JP4227973B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-05-24 US US11/420,219 patent/US7589416B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2006-05-26 CN CN2006100784457A patent/CN1870861B/zh not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4227973B2 (ja) | 2009-02-18 |
CN1870861A (zh) | 2006-11-29 |
US7589416B2 (en) | 2009-09-15 |
US20060270095A1 (en) | 2006-11-30 |
CN1870861B (zh) | 2010-11-17 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080812 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081010 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20081111 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20081201 |
|
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