JP2006317302A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7471078B2 (en) * 2006-12-29 2008-12-30 Formfactor, Inc. Stiffener assembly for use with testing devices
KR100851392B1 (ko) * 2007-03-16 2008-08-11 (주)엠투엔 평탄화 수단을 구비한 프로브 카드
JP4209457B1 (ja) 2008-02-29 2009-01-14 三菱重工業株式会社 常温接合装置
JP5074974B2 (ja) * 2008-03-25 2012-11-14 東京エレクトロン株式会社 プローブ方法及びプローブ方法を記録したプログラム記録媒体
JP4875678B2 (ja) * 2008-09-01 2012-02-15 三菱重工業株式会社 常温接合装置
JP4875676B2 (ja) * 2008-09-01 2012-02-15 三菱重工業株式会社 常温接合装置
JP2011064467A (ja) * 2009-09-15 2011-03-31 Tokyo Electron Ltd ヘッドプレートのレベリング機構及びプローブ装置
JP5826466B2 (ja) * 2010-06-25 2015-12-02 東京エレクトロン株式会社 プローブカードの平行調整機構及び検査装置
JP5196334B2 (ja) * 2010-11-29 2013-05-15 ワイアイケー株式会社 プローブカード固着ユニット
CN103869270B (zh) * 2012-12-12 2016-09-28 颀中科技（苏州）有限公司 探针卡自动维修设备及方法
KR20180075021A (ko) * 2016-12-26 2018-07-04 에스케이실트론 주식회사 회전 샤프트를 포함하는 웨이퍼 지지대
KR102115179B1 (ko) * 2018-11-20 2020-06-08 주식회사 탑 엔지니어링 프로브장치 및 프로브 자세 보정 방법
CN112053966B (zh) * 2019-06-06 2025-07-04 盛合晶微半导体(江阴)有限公司 Cp探针机及其调节方法
CN114019334B (zh) * 2020-07-16 2024-09-20 京元电子股份有限公司 具有水平调整模块的测试设备
KR102272994B1 (ko) * 2021-02-23 2021-07-05 주식회사 프로이천 미끄럼 체결식 범용 핀보드 조립체
CN114352945B (zh) * 2021-12-31 2023-11-21 核动力运行研究所 一种candu堆燃料通道压力管检查端部件对接抱卡结构
CN117832152A (zh) * 2023-12-18 2024-04-05 深圳镁伽科技有限公司 调整机构及加工装置

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3163221B2 (ja) * 1993-08-25 2001-05-08 東京エレクトロン株式会社 プローブ装置

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