JP2006253624A - 半導体素子の素子分離膜形成方法 - Google Patents
半導体素子の素子分離膜形成方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006253624A JP2006253624A JP2005172541A JP2005172541A JP2006253624A JP 2006253624 A JP2006253624 A JP 2006253624A JP 2005172541 A JP2005172541 A JP 2005172541A JP 2005172541 A JP2005172541 A JP 2005172541A JP 2006253624 A JP2006253624 A JP 2006253624A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- forming
- trench
- sacrificial
- active region
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/76—Making of isolation regions between components
- H01L21/762—Dielectric regions, e.g. EPIC dielectric isolation, LOCOS; Trench refilling techniques, SOI technology, use of channel stoppers
- H01L21/76224—Dielectric regions, e.g. EPIC dielectric isolation, LOCOS; Trench refilling techniques, SOI technology, use of channel stoppers using trench refilling with dielectric materials
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/76—Making of isolation regions between components
- H01L21/762—Dielectric regions, e.g. EPIC dielectric isolation, LOCOS; Trench refilling techniques, SOI technology, use of channel stoppers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Element Separation (AREA)
Abstract
【解決手段】パターニングされたパッド膜が形成された半導体基板の所定の領域にパターニング工程を行い、非活性領域と活性領域を画定するトレンチを形成する段階と、前記トレンチが含まれた結果物の全面にライナー膜を形成する段階と、前記トレンチの内部にのみトレンチ埋め込み用絶縁膜を形成する段階と、前記トレンチの内部以外に形成されたライナー膜および前記ライナー膜の下部に形成された、パターニングされたパッド膜を除去する段階と、前記結果物の全面に犠牲膜を形成する段階と、前記犠牲膜が形成された結果物の全面に、前記活性領域の半導体基板が露出するまで平坦化工程を行い、前記活性領域の半導体基板と段差のない素子分離膜を形成する段階とを含む。
【選択図】図5
Description
14 パッド窒化膜
16 ウォール酸化膜
18 窒化ライナー膜
20 トレンチ埋め込み用絶縁膜
20a,20b,20c 素子分離膜(HDP酸化膜)
Claims (21)
- パターニングされたパッド膜が形成された半導体基板の所定の領域にパターニング工程を行い、非活性領域と活性領域を画定するトレンチを形成する段階と、
前記トレンチが含まれた結果物の全面にライナー膜を形成する段階と、
前記トレンチの内部にのみトレンチ埋め込み用絶縁膜を形成する段階と、
前記トレンチの内部以外に形成されたライナー膜および前記ライナー膜の下部に形成された、パターニングされたパッド膜を除去する段階と、
前記結果物の全面に犠牲膜を形成する段階と、
前記犠牲膜が形成された結果物の全面に、前記活性領域の半導体基板が露出するまで平坦化工程を行い、前記活性領域の半導体基板と段差のない素子分離膜を形成する段階とを含むことを特徴とする半導体素子の素子分離膜形成方法。 - 前記パッド膜は、パッド窒化膜であることを特徴とする請求項1記載の半導体素子の素子分離膜形成方法。
- 前記パッド膜は、パッド酸化膜、パッド窒化膜が順次形成されることを特徴とする請求項1記載の半導体素子の素子分離膜形成方法。
- 前記トレンチの形成後、
前記形成されたトレンチの側壁にウォール酸化膜を形成する段階をさらに含むことを特徴とする請求項1記載の半導体素子の素子分離膜形成方法。 - 前記ライナー膜は、窒化ライナー膜であることを特徴とする請求項1記載の半導体素子の素子分離膜形成方法。
- 前記トレンチの内部にのみトレンチ埋め込み用絶縁膜を形成する段階は、
前記ライナー膜が形成された半導体基板の全面にトレンチ埋め込み用絶縁膜を形成した後、前記パッド膜が露出するまで平坦化工程を行って形成することを特徴とする請求項1記載の半導体素子の素子分離膜形成方法。 - 前記トレンチの内部以外に形成されたライナー膜および前記パターニングされたパッド膜を除去する段階は、
前記ライナー膜およびパッド膜が除去されると同時に、トレンチの内部側壁に形成されたライナー膜も所定の深さ除去され、前記非活性領域と前記活性領域との界面にはモウトが形成されることを特徴とする請求項1記載の半導体素子の素子分離膜形成方法。 - 前記犠牲膜は、前記非活性領域と前記活性領域との界面に形成されたモウトを充填しながら形成されることを特徴とする請求項1または7記載の半導体素子の素子分離膜形成方法。
- 前記犠牲膜は、CVD方式またはPVD方式のいずれか一つの蒸着方法によって形成される犠牲酸化膜、または酸素雰囲気の成長工程によって形成される犠牲酸化膜からなることを特徴とする請求項1記載の半導体素子の素子分離膜形成方法。
- 前記犠牲酸化膜は、3〜5時間の時間、10〜100Torrの圧力、H2とO2ガスを用いたドライ酸化工程またはウェット酸化工程によって形成されることを特徴とする請求項9記載の半導体素子の素子分離膜形成方法。
- 前記平坦化工程は、ドライエッチング工程、CMP工程およびウェットエッチング工程のいずれか一つで行われることを特徴とする請求項1記載の半導体素子の素子分離膜形成方法。
- 前記ドライエッチング工程は、前記犠牲膜と前記トレンチ埋め込み用絶縁膜間の選択比が高いガスを用いて行われることを特徴とする請求項11記載の半導体素子の素子分離膜形成方法。
- 前記ドライエッチング工程は、CH3ガスとCF4ガスとの混合ガスを使用し、200Wの高バイアスパワーで行われることを特徴とする請求項11または12記載の半導体素子の素子分離膜形成方法。
- 前記CMP工程は、前記犠牲膜と前記トレンチ埋め込み用絶縁膜間の選択比が高いスラリーを用いて行われることを特徴とする請求項11記載の半導体素子の素子分離膜形成方法。
- 活性領域と不活性領域間の界面にモウトが形成されており且つ前記非活性領域にはトレンチ埋め込み用絶縁膜で埋め込まれた素子分離膜が備えられた半導体基板を提供する段階と、
前記結果物の全面に犠牲膜を形成する段階と、
前記犠牲膜の形成された結果物の全面に前記活性領域の半導体基板が露出するまで平坦化工程を行い、前記活性領域の半導体基板と段差のない素子分離膜を形成する段階とを含むことを特徴とする半導体素子の素子分離膜形成方法。 - 前記犠牲膜は、CVD方式またはPVD方式のいずれか一つの蒸着方法によって形成される犠牲酸化膜、または酸素雰囲気の成長工程によって形成される犠牲酸化膜からなることを特徴とする請求項15記載の半導体素子の素子分離膜形成方法。
- 前記犠牲酸化膜は、3〜5時間の時間、10〜100Torrの圧力、H2とO2ガスを用いたドライ酸化工程またはウェット酸化工程によって形成されることを特徴とする請求項16記載の半導体素子の素子分離膜形成方法。
- 前記平坦化工程は、ドライエッチング工程、CMP工程およびウェットエッチング工程のいずれか一つで行われることを特徴とする請求項15記載の半導体素子の素子分離膜形成方法。
- 前記ドライエッチング工程は、前記犠牲膜と前記トレンチ埋め込み用絶縁膜間の選択比が高いガスを用いて行われることを特徴とする請求項18記載の半導体素子の素子分離膜形成方法。
- 前記ドライエッチング工程は、CH3ガスとCF4ガスとの混合ガスを使用し、200Wの高バイアスパワーで行われることを特徴とする請求項15または19記載の半導体素子の素子分離膜形成方法。
- 前記CMP工程は、前記犠牲膜と前記トレンチ埋め込み用絶縁膜間の選択比が高いスラリーを用いて行われることを特徴とする請求項15記載の半導体素子の素子分離膜形成方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050019636A KR100590383B1 (ko) | 2005-03-09 | 2005-03-09 | 반도체 소자의 소자분리막 형성방법 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006253624A true JP2006253624A (ja) | 2006-09-21 |
Family
ID=36971565
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005172541A Pending JP2006253624A (ja) | 2005-03-09 | 2005-06-13 | 半導体素子の素子分離膜形成方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US7429520B2 (ja) |
JP (1) | JP2006253624A (ja) |
KR (1) | KR100590383B1 (ja) |
CN (1) | CN1832124A (ja) |
TW (1) | TWI303079B (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4756926B2 (ja) * | 2005-06-17 | 2011-08-24 | Okiセミコンダクタ株式会社 | 素子分離構造部の製造方法 |
KR100700284B1 (ko) * | 2005-12-28 | 2007-03-26 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 반도체소자의 트랜치 소자분리막 형성방법 |
US8012846B2 (en) * | 2006-08-04 | 2011-09-06 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Isolation structures and methods of fabricating isolation structures |
DE102007008530B4 (de) * | 2007-02-21 | 2015-11-12 | Infineon Technologies Ag | Verfahren zum Herstellen einer nichtflüchtigen Speichervorrichtung, nichtflüchtige Speichervorrichtung, Speicherkarte mit einer nichtflüchtigen Speichervorrichtung und elektrisches Gerät mit einer Speicherkarte |
CN102814727B (zh) * | 2012-08-13 | 2015-05-06 | 无锡华润上华科技有限公司 | 一种用于浅沟槽隔离结构的化学机械研磨方法 |
CN103855072B (zh) * | 2012-12-06 | 2016-08-17 | 中国科学院微电子研究所 | 等平面场氧化隔离结构及其形成方法 |
US9502499B2 (en) * | 2015-02-13 | 2016-11-22 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Semiconductor device structure having multi-layered isolation trench structures |
KR20180068229A (ko) * | 2016-12-13 | 2018-06-21 | 삼성전자주식회사 | 반도체 장치 및 이의 제조 방법 |
CN110943033B (zh) * | 2018-09-25 | 2022-04-26 | 长鑫存储技术有限公司 | 一种浅沟槽隔离结构衬垫的制备方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1187490A (ja) * | 1997-07-14 | 1999-03-30 | Sony Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JPH11340313A (ja) * | 1998-05-07 | 1999-12-10 | Samsung Electronics Co Ltd | トレンチ隔離形成方法 |
JP2002270824A (ja) * | 2001-03-07 | 2002-09-20 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路装置の製造方法 |
JP2004179301A (ja) * | 2002-11-26 | 2004-06-24 | Renesas Technology Corp | 半導体集積回路装置の製造方法 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5273915A (en) * | 1992-10-05 | 1993-12-28 | Motorola, Inc. | Method for fabricating bipolar junction and MOS transistors on SOI |
US7235856B1 (en) * | 1997-12-18 | 2007-06-26 | Micron Technology, Inc. | Trench isolation for semiconductor devices |
KR100322531B1 (ko) * | 1999-01-11 | 2002-03-18 | 윤종용 | 파임방지막을 이용하는 반도체소자의 트랜치 소자분리방법 및이를 이용한 반도체소자 |
JP3443358B2 (ja) * | 1999-03-24 | 2003-09-02 | シャープ株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
US6255194B1 (en) * | 1999-06-03 | 2001-07-03 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Trench isolation method |
US6413828B1 (en) * | 2000-03-08 | 2002-07-02 | International Business Machines Corporation | Process using poly-buffered STI |
KR100386946B1 (ko) * | 2000-08-01 | 2003-06-09 | 삼성전자주식회사 | 트렌치 소자 분리형 반도체 장치의 형성방법 |
US6348380B1 (en) * | 2000-08-25 | 2002-02-19 | Micron Technology, Inc. | Use of dilute steam ambient for improvement of flash devices |
US20020197823A1 (en) * | 2001-05-18 | 2002-12-26 | Yoo Jae-Yoon | Isolation method for semiconductor device |
KR100861290B1 (ko) * | 2002-07-08 | 2008-10-01 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 소자의 소자분리막 형성방법 |
US6833322B2 (en) * | 2002-10-17 | 2004-12-21 | Applied Materials, Inc. | Apparatuses and methods for depositing an oxide film |
JP2004288965A (ja) | 2003-03-24 | 2004-10-14 | Texas Instruments Inc | Stiナノギャップ充填および堀の窒化物のプルバックを改良するための方法 |
KR20050012652A (ko) * | 2003-07-26 | 2005-02-02 | 매그나칩 반도체 유한회사 | 반도체 소자의 소자분리막 형성방법 |
-
2005
- 2005-03-09 KR KR1020050019636A patent/KR100590383B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2005-06-13 JP JP2005172541A patent/JP2006253624A/ja active Pending
- 2005-06-20 US US11/156,998 patent/US7429520B2/en active Active
- 2005-06-23 TW TW094120981A patent/TWI303079B/zh not_active IP Right Cessation
- 2005-08-04 CN CNA2005100910525A patent/CN1832124A/zh active Pending
-
2008
- 2008-04-30 US US12/112,679 patent/US20080242046A1/en not_active Abandoned
- 2008-04-30 US US12/112,725 patent/US20080206955A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1187490A (ja) * | 1997-07-14 | 1999-03-30 | Sony Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JPH11340313A (ja) * | 1998-05-07 | 1999-12-10 | Samsung Electronics Co Ltd | トレンチ隔離形成方法 |
JP2002270824A (ja) * | 2001-03-07 | 2002-09-20 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路装置の製造方法 |
JP2004179301A (ja) * | 2002-11-26 | 2004-06-24 | Renesas Technology Corp | 半導体集積回路装置の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100590383B1 (ko) | 2006-06-19 |
TWI303079B (en) | 2008-11-11 |
US20080242046A1 (en) | 2008-10-02 |
US7429520B2 (en) | 2008-09-30 |
TW200633006A (en) | 2006-09-16 |
US20080206955A1 (en) | 2008-08-28 |
CN1832124A (zh) | 2006-09-13 |
US20060205173A1 (en) | 2006-09-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2006253624A (ja) | 半導体素子の素子分離膜形成方法 | |
JP2004311487A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2003092346A (ja) | トレンチ素子分離膜を備えるsoi素子及びその製造方法 | |
KR100825014B1 (ko) | 반도체 소자의 소자분리막 제조방법 | |
KR20020096334A (ko) | 트렌치 소자분리 구조를 가지는 반도체 소자의 제조방법 | |
JP5013708B2 (ja) | 半導体素子の製造方法 | |
TW200727389A (en) | Method of forming a shallow trench isolation structure with reduced leakage current in a semiconductor device | |
JP2006190937A (ja) | 半導体素子の素子分離膜形成方法 | |
KR100703836B1 (ko) | 반도체 소자의 트렌치형 소자분리막 형성방법 | |
JP2007134559A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
KR20080084256A (ko) | 반도체 소자의 sti 형성공정 | |
JP2009117799A (ja) | 半導体メモリ素子の素子分離膜形成方法 | |
JP2009158916A (ja) | 半導体素子のトレンチ形成方法 | |
KR20090074341A (ko) | 반도체 소자의 제조방법 | |
KR20070058122A (ko) | 반도체 소자의 소자분리막 형성방법 | |
KR101026375B1 (ko) | 반도체 소자의 소자분리막 및 그 형성 방법 | |
KR100653704B1 (ko) | 반도체 소자의 트렌치 소자분리 방법 및 그에 의해 제조된트렌치 소자분리 구조 | |
KR20040058798A (ko) | 반도체 소자의 소자 분리막 형성 방법 | |
KR100806793B1 (ko) | 반도체 소자의 제조 방법 | |
JP2001338975A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
KR100550635B1 (ko) | 반도체소자 및 그의 제조 방법 | |
KR20040002241A (ko) | 반도체소자의 소자분리막 형성방법 | |
KR20060134320A (ko) | 반도체소자의 트랜치 소자분리막 및 그 제조방법 | |
KR20080061515A (ko) | 반도체 소자의 소자 분리막 형성 방법 | |
KR20040036752A (ko) | 반도체 소자의 소자분리막 형성방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080424 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111226 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120110 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120405 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120814 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20130129 |