JP2006196892A - 磁気トンネル接合素子の磁化自由層の形成方法ならびにトンネル接合型再生ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】コバルト、鉄およびニッケルのうちの少なくとも1種を含む第1強磁性層21と、60at%以上80at%以下の鉄ニッケル合金からなり厚みが0.2nm以上8.0nm以下である第2強磁性層22と、鉄含有率が50at%のNiFeからなる第3強磁性層23とによって3層構造の磁化フリー層17を構成する。これにより、磁化フリー層17の保磁力および磁歪定数の適正化により軟磁性特性を改善し、GMR比の向上を実現することができる。
【選択図】図1
Description
「デモンストレーション・ア・トンネリング・マグネトレジスティブ・リードヘッド」,IEEEトランザクション・オン・マグネティクス,2000年,第36巻,第5号,p.2545("Demonstrating a Tunneling Magneto-Resistive Read Head" ,IEEE Transactions On Magnetics,Vol.36,No.5,2000,p2545.)
「ローレジスタンス・トンネル・マグネトレジスティブ・ヘッド」,IEEEトランザクション・オン・マグネティクス,2000年,第36巻,第5号,p.2549("Low-Resistance Tunnele Magnetoresistive Head" ,IEEE Transactions On Magnetics,Vol.36,No.5,2000,p2549.)
「ローレジスタンス・トンネル・マグネトレジスティブ・ヘッド」,IEEEトランザクション・オン・マグネティクス,2000年,第36巻,第5号,p.2796("Spin-dependent Tunnel Junctions for Memory and Read-Head applications",IEEE Transactions On Magnetics,Vol.36,No.5,2000,p2796.)
また、評価項目は、飽和磁化膜厚Ms・t[emu/cm2]、面積抵抗R・A(単位面積あたりの抵抗値RとMTJ素子の形成面積Aとの積)[Ω・μm2]および抵抗変化率(MR比)dR/R[%]とした。
Claims (15)
- 磁気トンネル接合素子の磁化自由層を形成する方法であって、
基体を用意したのち、前記基体上にコバルト(Co)、鉄(Fe)およびニッケル(Ni)のうちの少なくとも1種を含む第1の強磁性層と、鉄含有率が少なくとも50原子パーセント(at%)の合金からなる第2の強磁性層とを順に積層する
ことを特徴とする磁気トンネル接合素子の磁化自由層の形成方法。 - 磁気トンネル接合素子の磁化自由層を形成する方法であって、
基体を用意したのち、前記基体上に、コバルト(Co)、鉄(Fe)およびニッケル(Ni)のうちの少なくとも1種を含む第1の強磁性層と、鉄含有率が60原子パーセント(at%)以上80原子パーセント(at%)以下の鉄ニッケル合金(FeXNi1-X,0.6≦X≦0.8)からなる第2の強磁性層とを順に積層する
ことを特徴とする磁気トンネル接合素子の磁化自由層の形成方法。 - 磁気トンネル接合素子の磁化自由層を形成する方法であって、
基体を用意したのち、前記基体上に、コバルト(Co)、鉄(Fe)およびニッケル(Ni)のうちの少なくとも1種を含む第1の強磁性層と、鉄含有率が少なくとも50原子パーセント(at%)の合金からなると共に厚みが0.2nm以上8.0nm以下である第2の強磁性層を有する強磁性層群とを順に積層する
ことを特徴とする磁気トンネル接合素子の磁化自由層の形成方法。 - 0.2nm以上3.0nm以下の厚みとなるように前記第1の強磁性層を形成することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の磁気トンネル接合素子の磁化自由層の形成方法。
- 0.2nm以上8.0nm以下の厚みとなるように前記第2の強磁性層を形成することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の磁気トンネル接合素子の形成方法。
- 全体の厚みが1.0nm以上11.0nm以下となるように前記磁化自由層を形成することを特徴とする請求項3に記載の磁気トンネル接合素子の磁化自由層の形成方法。
- 下部リード層と、シード層と、ピンニング層とを順に積層する工程と、
前記ピンニング層の上にピンド層を形成する工程と、
前記ピンド層の上にトンネルバリア層を形成する工程と、
前記トンネルバリア層の上に、コバルト(Co)、鉄(Fe)およびニッケル(Ni)のうちの少なくとも1種を含む第1の強磁性層と、鉄含有率が少なくとも50原子パーセント(at%)の合金からなる第2の強磁性層とを順に積層することにより磁化自由層を形成する工程と、
前記磁化自由層の上にキャップ層と上部リード層とを順に積層する工程と
を含むことを特徴とするトンネル接合型再生ヘッドの製造方法。 - 下部リード層と、シード層と、ピンニング層とを順に積層する工程と、
前記ピンニング層の上にピンド層を形成する工程と、
前記ピンド層の上にトンネルバリア層を形成する工程と、
前記トンネルバリア層の上に、コバルト(Co)、鉄(Fe)およびニッケル(Ni)のうちの少なくとも1種を含む第1の強磁性層と、鉄含有率が60原子パーセント(at%)以上80原子パーセント(at%)以下の鉄ニッケル合金(FeXNi1-X,0.6≦X≦0.8)からなる第2の強磁性層とを順に積層することにより磁化自由層を形成する工程と、
前記磁化自由層の上にキャップ層と上部リード層とを順に積層する工程と
を含むことを特徴とするトンネル接合型再生ヘッドの製造方法。 - 下部リード層と、シード層と、ピンニング層とを順に積層する工程と、
前記ピンニング層の上にピンド層を形成する工程と、
前記ピンド層の上にトンネルバリア層を形成する工程と、
前記トンネルバリア層の上に、コバルト(Co)、鉄(Fe)およびニッケル(Ni)のうちの少なくとも1種を含む第1の強磁性層と、鉄含有率が少なくとも50原子パーセント(at%)の合金からなると共に厚みが0.2nm以上8.0nm以下である第2の強磁性層を有する強磁性層群とを順に積層することにより磁化自由層を形成する工程と、
前記磁化自由層の上にキャップ層と上部リード層とを順に積層する工程と
を含むことを特徴とするトンネル接合型再生ヘッドの製造方法。 - 0.2nm以上3.0nm以下の厚みとなるように前記第1の強磁性層を形成することを特徴とする請求項7から請求項9のいずれか1項に記載のトンネル接合型再生ヘッドの製造方法。
- 0.2nm以上8.0nm以下の厚みとなるように前記第2の強磁性層を形成することを特徴とする請求項7から請求項9のいずれか1項に記載のトンネル接合型再生ヘッドの製造方法。
- 全体の厚みが1.0nm以上11.0nm以下となるように前記磁化自由層を形成することを特徴とする請求項9に記載のトンネル接合型再生ヘッドの製造方法。
- 下部リード層と、シード層と、ピンニング層と、ピンド層と、トンネルバリア層と、磁化自由層と、キャップ層と、上部リード層とが順に積層されてなるトンネル接合型再生ヘッドであって、
前記磁化自由層が、前記トンネルバリア層の側から、コバルト(Co)、鉄(Fe)およびニッケル(Ni)のうちの少なくとも1種を含む第1の強磁性層と、鉄含有率が少なくとも50原子パーセント(at%)の合金からなる第2の強磁性層とを順に有している
ことを特徴とするトンネル接合型再生ヘッド。 - 下部リード層と、シード層と、ピンニング層と、ピンド層と、トンネルバリア層と、磁化自由層と、キャップ層と、上部リード層とが順に積層されてなるトンネル接合型再生ヘッドであって、
前記磁化自由層が、前記トンネルバリア層の側から、コバルト(Co)、鉄(Fe)およびニッケル(Ni)のうちの少なくとも1種を含む第1の強磁性層と、鉄含有率が60原子パーセント(at%)以上80原子パーセント(at%)以下の鉄ニッケル合金(FeXNi1-X,0.6≦X≦0.8)からなる第2の強磁性層とを順に有している
ことを特徴とするトンネル接合型再生ヘッド。 - 下部リード層と、シード層と、ピンニング層と、ピンド層と、トンネルバリア層と、磁化自由層と、キャップ層と、上部リード層とが順に積層されてなるトンネル接合型再生ヘッドであって、
前記磁化自由層が、前記トンネルバリア層の側から、コバルト(Co)、鉄(Fe)およびニッケル(Ni)のうちの少なくとも1種を含む第1の強磁性層と、鉄含有率が少なくとも50原子パーセント(at%)の合金からなると共に厚みが0.2nm以上8.0nm以下である第2の強磁性層を有する強磁性層群とを順に有している
ことを特徴とするトンネル接合型再生ヘッド。
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