JP2006120824A - 磁気記憶装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ビット線10の配線幅および厚さをそれぞれW1およびT1とし、ディジット線5の厚さをT2とし、ディジット線5の厚み方向中心からMTJ素子8のフリー層の厚み方向中心までの距離をL1とする。ディジット線5の配線幅をW2とし、ビット線10の厚み方向中心からMTJ素子8のフリー層の厚み方向中心までの距離をL2とする。そして、L1/L2≧1の場合には(1/3)・(L1/L2)≦S2/S1≦1を、L1/L2≦1の場合には1≦S2/S1≦3(L1/L2)を満足するように距離L1、L2、配線断面積S1およびS2を設定する。
【選択図】図6
Description
<A.装置構成>
まず、図1を用いて本発明の実施の形態に係るMRAM100の断面構成を説明する。なお、図1はMRAM100を構成する複数のメモリセルのうち、1つのメモリセルについてのみ示している。なお、MRAM100においては、1つのMOSトランジスタに対して1つのMTJ素子8を有するメモリセルを前提としている。
図2に示すように、MTJ素子8は極薄膜の絶縁体膜81を強磁性体膜82および83で挟んだ構造を有している。なお、強磁性体膜82がディジット線5線側となるように配設される。
次に、MRAM100の基本的動作について説明する。
まず、MRAM100の平面構成を示す図3を用いて、MRAM100のデータの書き込みおよび読み出しについて説明する。
以上説明したMRAM100の基本的な動作を踏まえ、MRAM100の最適化された構造について図6および図7を用いて説明する。ここで、図6は図5におけるB−B線での矢視方向断面を表す図であり、図7は図5におけるC−C線での矢視方向断面を表す図である。
Iy=Jy(W1・T1)・・・(2)
Hy=k・Ix/L1・・・(3)
Ix=Jx(W2・T2)・・・(4)
なお、上記数式(1)および(2)において、kは比例定数である。
Hy=k・Jx(W2・T2)/L1・・・(6)
そして、Hx=Hyの条件から、以下の数式(7)〜(9)が得られる。
Jx/Jy=(W1・T1)/L2/[(W2・T2)/L1]
=[(W1・T1)/(W2・T2)](L1/L2)・・・(8)
(W2・T2)/(W1・T1)=(L1/L2)・(Jy/Jx)・・・(9)
MRAM100において、ビット線10およびディジット線5の両方の信頼性を同時に確保するためには、一方が他方に対して極端に寿命が短くなるような構造は適用できない。理想的には、Jy/Jx=1とし、両書き込み配線の寿命を同じにするのが最適であるが、構造設計に対する余地を確保するため、一方が他方に対して3倍以内の電流密度となるように制限する。この制限は、両書き込み配線の寿命差を1桁程度に収める条件である。
同様に、(W2・T2)≧(W1・T1)の場合は、ビット線10の配線断面積がディジット線DLの配線断面積よりも小さいため、ビット線書き込み電流密度Jyがディジット線書き込み電流密度Jxよりも大きくなり、Jy/Jx≦3となる。この状況下でHx=Hyを満たすためには、L1≦L2としなければならない。
ここで、ステップ関数H(x)を使用し、H(x)=0の場合はx<0とし、H(x)=1の場合はx≧0と定義すると、上記数式(10)および(11)を統合することができ、メモリセル構造の設計条件を以下の数式(12)で表すことができる。
≦(W2・T2)/(W1・T1)≦3・[(1/3)・H(L1−L2)+(L1/L2)・H(L2−L1)]・・・(12)
なお、上記数式を得るにあたっては、書き込み磁場は先に説明したようにHx=Hyを満たすものとし、書き込み電流密度は1/3≦Jy/Jx≦3の範囲にあるもとのした。
≦S2/S1≦3・[(1/3)・H(L1−L2)+(L1/L2)・H(L2−L1)]・・・(13)
なお、ディジット線およびビット線が、1つのメモリセルに対して1本ずつ配設されている場合には、上記数式(13)におけるS1は、ディジット線1本の断面の面積となり、S2はビット線1本の断面の面積となることは言うまでもない。
1≦S2/S1≦3(L1/L2)・・・(15)
なお、数式(14)はL1/L2≧1の場合の条件であり、数式(15)はL1/L2≦1の場合の条件である。
<D−1.第1の選定方法>
上記条件を満足する場合でも、なるべくビット線10の配線幅W1とディジット線5の配線幅W2とが近い値とする方が、メモリセルのレイアウトも容易で、メモリセルサイズを小さくするようにレイアウトできる。
ディジット線材料 ビット線材料
Al系 Cu系
Al系 W系、Ti系
Cu系 W系、Ti系
(L1<L2の場合)
ディジット線材料 ビット線材料
Cu系 Al系
W系、Ti系 Al系
W系、Ti系 Cu系
上記の説明においては、ビット線10の配線断面積S1とディジット線5の配線断面積S2とが等しいことを前提としたが、S2<S1であれば、ディジット線5の電流密度が大きくなって信頼性の確保が厳しくなり、逆に、S2>S1であれば、ビット線5の電流密度が大きくなって信頼性の確保が厳しくなる。
ディジット線材料 ビット線材料
Cu系 Al系
W系、Ti系 Al系
W系、Ti系 Cu系
(S2>S1の場合)
ディジット線材料 ビット線材料
Al系 Cu系
Al系 W系、Ti系
Cu系 W系、Ti系
Claims (3)
- 非接触で交差する第1および第2の書き込み配線と、
前記第1および第2の書き込み配線の交差部に配設され、磁気トンネル接合を含む磁気トンネル接合素子とを備えた磁気記憶装置であって、
前記磁気トンネル接合素子は、磁化の方向が、前記第1および第2の書き込み配線に流れる電流によって発生する磁場によって変更可能な強磁性体で構成されるフリー層を有し、
前記第1の書き込み配線の厚さ方向の中心と前記フリー層の厚さ方向の中心との距離をL1、
前記第2の書き込み配線の厚さ方向の中心と前記フリー層の厚さ方向の中心との距離をL2、
前記第1の書き込み配線の幅方向の断面積をS2、
前記第2の書き込み配線の幅方向の断面積をS1とする場合、
前記距離L2に対する前記距離L1の比がL1/L2≧1の場合、
(1/3)・(L1/L2)≦S2/S1≦1を満足し、
前記距離L2に対する前記距離L1の比がL1/L2≦1の場合、
1≦S2/S1≦3(L1/L2)を満足するように、前記距離L1、前記距離L2、前記断面積S1および前記断面積S2が設定される、磁気記憶装置。 - 前記距離L1と前記距離L2との大小関係がL1>L2である場合は、
前記第2の書き込み配線を、前記第1の書き込み配線より融点の高い金属材料で構成し、
前記距離L1と前記距離L2との大小関係がL1<L2である場合は、
前記第1の書き込み配線を、前記第2の書き込み配線より融点の高い金属材料で構成する、請求項1記載の磁気記憶装置。 - 前記断面積S1と前記断面積S2との大小関係がS1>S2である場合は、
前記第1の書き込み配線を、前記第2の書き込み配線より融点の高い金属材料で構成し、
前記断面積S1と前記断面積S2との大小関係がS1<S2である場合は、
前記第2の書き込み配線を、前記第1の書き込み配線より融点の高い金属材料で構成する、請求項1記載の磁気記憶装置。
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