JP2006117509A - フッ素ガスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
半導体や液晶等の製造工程においてエッチングガスまたはクリーニングガスとして使用することができる高純度フッ素ガスを、安価に、かつ、大量に製造する方法を提供すること。
【解決手段】
本発明のフッ素ガスの製造方法は、加熱手段が設けられたフッ素ガス発生容器の内部を通気性を有する構造体により区画し、該区画内に高原子価フッ化金属を充填して加熱することにより、フッ素ガスを発生させる工程(1)を含むことを特徴とする。また、前記工程(1)でフッ素ガスを発生させた高原子価フッ化金属にフッ素ガスを吸蔵させる工程(2)を含んでもよい。
【選択図】 図1
Description
フッ素ガスの工業的製造方法としては、KF・2HF溶融塩を電気分解することによって製造する方法が一般的であるが、このような従来の方法で製造した場合、HF、O2、
N2、CO2、CF4およびSiF4などの電極もしくは原料由来の不純物ガスが、発生するフッ素ガスに含まれることがあり、高純度のフッ素ガスを得ることが難しいといった問題がある。これらの不純物ガスのうち、HFは多孔性のNaFを用いることにより比較的簡単に除去することができ、その他の不純物は蒸留を繰り返すことで除去することは可能である。
しかしながら、上記方法で得られるフッ素ガスの純度は、用途によっては不充分であった。そこで、本発明者らは、上記特許文献1における不具合点の改良を行い、より高純度のフッ素ガスを製造する方法を確立した(特許文献2参照)。
の発生速度や純度、さらには工業的なレベル(kg単位以上)でフッ素ガスを発生させるための方法は、これまで検討されてこなかった。
MnF4の揮散および捕集を繰り返さなければならず、非常に複雑なシステムになってし
まうため、非常に高価なフッ素ガスになってしまうという問題がある。さらに、前記特許文献3に記載の内容から、MnF4が昇華性を有することが推測されることから、MnF4を加熱して発生させたフッ素ガスにMnF4が混入するのを防止する必要がある。
。
[1]加熱手段が設けられたフッ素ガス発生容器の内部を、通気性を有する構造体により区画し、該区画内に高原子価フッ化金属を充填して加熱することにより、フッ素ガスを発生させる工程(1)を含むことを特徴とするフッ素ガスの製造方法。
[4]前記伝熱体が金属パンチングプレートである[2]に記載のフッ素ガスの製造方法。
[6]前記高原子価フッ化金属が、MnFx(x=3〜4)およびK3NiFy(y=6
〜7)から選ばれる少なくとも一つの組成を含む[1]〜[5]のいずれかに記載のフッ素ガスの製造方法。
れかに記載のフッ素ガスの製造方法。
[8]前記工程(1)で高原子価フッ化金属を加熱する温度が300〜450℃である[1]〜[7]のいずれかに記載のフッ素ガスの製造方法。
[10]前記高原子価フッ化金属を加熱することにより発生させたフッ素ガス中に含まれるフッ化マンガンを除去する工程を含む[7]に記載のフッ素ガスの製造方法。
[12]前記フッ化マンガンを含むフッ素ガスの冷却温度が−50〜200℃である[11]に記載のフッ素ガスの製造方法。
[14]前記フッ化マンガンの除去工程に用いられるフッ化金属が、アルカリ金属、アルカリ土類金属、Al、Cu、ZnおよびFeからなる群より選ばれる少なくとも一種類の金属を含有する[13]に記載のフッ素ガスの製造方法。
[16]フッ素発生剤充填容器、該容器を加熱する手段、ならびに、通気性および伝熱性を有し、該容器の内部を区画する構造体を含むことを特徴とするフッ素ガスの製造装置。
低減された、純度が99.9%以上の高純度フッ素ガスを安価に製造することができる。
また、本発明によれば、発生したフッ素ガスの流通経路が確保されていることから、フッ素ガスの再吸収やフッ化金属からなる固相による圧損の影響を受けることがないため、フッ素ガスの発生速度を向上させることができるため、高純度のフッ素ガスを大量に供給することができる。
本発明に係るフッ素ガスの製造方法は、加熱手段が設けられたフッ素ガス発生容器の内部を、通気性を有する構造体、あるいは、通気性を有する構造体と伝熱体とからなる伝熱性構造体によって区画し、該区画内に高原子価フッ化金属を充填して加熱することにより、フッ素ガスを発生させる工程(1)を含む。
〜7)から選ばれる少なくとも一つの組成を含むことが好ましく、加熱により10質量%以上のフッ素ガスを発生させることが可能であることから、MnF4がさらに好ましい。
ここで、反応式(II)におけるMnF4のフッ素ガス発生量は15質量%である。し
たがって、昇温のエネルギーや降温の手間、フッ素ガス発生容器の材質にかかるコストの点からもMnF4が好ましい。
が整数ではなく、小数点を含む数字で表記される場合もあるため、本明細書ではMnFx
(x=3〜4)と表記することがある。他のフッ化金属についても同様である。
ましい。フッ素ガスの発生温度が、上記範囲にあることにより、フッ素ガスが発生し、圧力および流量の制御が容易になり、フッ素ガスの供給を好適に行うことができるとともに、フッ素ガス発生容器の高額化を抑制することができる。
(III)と、F2とMnF3が反応する下記反応式(IV)とは平衡反応であるので、発生
したフッ素ガスとMnF3とが接触することにより、再吸収されることが考えられる。
MnF3 + 1/2F2 → MnF4 ・・・(IV)
そのため、フッ素ガス発生量を多くするためには、発生したフッ素ガスの流通経路を確保することが必要である。フッ素ガスの流通経路を確保するための手段としては、たとえば、フッ素ガス発生容器の内部を通気性を有する構造体により区画し、それぞれの区画内に、該通気性を有する構造体を埋めてしまわないようにして高原子価フッ化金属を充填する方法が挙げられる。通常は、高原子価フッ化金属からなる固体充填相上部のみが気相と接触していることになるが、このように容器内を通気性を有する構造体で区画することにより、該通気性を有する構造体を通じて、固体充填相下部と上部気相とが繋がるため、発生したフッ素ガスの流通が、フッ化金属からなる固相の圧損により阻害されるのを防止することができるとともに、発生したフッ素ガスが平衡反応により再吸収されるのを防止することができ、工業上実用的なレベルのフッ素ガス発生速度が得られる。
していっても、容器内に充填された高原子価フッ化金属に充分な伝熱が行われ、フッ素ガスを効率的に発生させることができ、たとえばMnF4の場合、MnF41kg当たりのフッ素ガス発生速度は、通常100ml/min以上、好ましくは200ml/min以上を保持することができる。
度において、MnF4が、わずかではあるが昇華することがあるため、発生するフッ素ガ
スにはフッ化マンガンが含有されている可能性がある。フッ素ガスにフッ化マンガンが含まれていると、用途によっては悪影響を与えるため、予め除去することが好ましい。
にしたがって複合フッ化物が形成され、フッ素ガス中に含まれる昇華したフッ化マンガンを除去することができる。
十分な接触時間を確保できる大きさであればよく、たとえば、SV(空間速度)が1000hr-1以下、好ましくは500hr-1以下であることが望ましい。MnF4とフッ化金
属との反応温度は、反応を促進させるために、50〜400℃が好ましく、80〜300℃がさらに好ましく、100〜200℃が特に好ましい。
することができる。
本発明のフッ素ガスの製造方法は、フッ素ガス発生容器に充填したフッ化マンガンを加熱してフッ素ガスを発生させる工程(1)を含み、フッ化マンガンにフッ素ガスを吸蔵する工程(2)を含むことが好ましく、さらに、容器に充填したフッ化マンガンを300〜600℃に加熱し、かつ、該容器内の圧力を0.01MPa(絶対圧)以下に減圧する工程(3)を含むことがより好ましい。
フッ素ガスを吸蔵する場合の化学的変化を反応式で表せば次式のようになる。
また、「フッ素ガスの発生」とは、吸蔵とは逆の反応によりフッ素ガスを放出する現象を意味し、例えば、上記のようにしてフッ素ガスを吸蔵したフッ化マンガン(MnF4)
が、フッ素ガスを発生する場合の化学的変化を反応式で表せば次式のようになる。
また、本明細書においては、フッ素ガス中に含まれる不純物ガスについて「吸着」および「放散」という用語を用いてその動向を表現するが、「吸着」とは、例えば、不純物ガスがフッ化マンガンの表面に、主に結合力の弱い分子間力で引きつけられた物理吸着の状態を意味し、「放散」とは、例えば、フッ化マンガンの表面に吸着していた不純物ガスが、フッ化マンガンから脱離して拡散することを意味する。
スの吸蔵が妨げられることなく、O2ガスやCO2ガスをはじめとする不純物ガスの除去を容易にすることができる。
濃度は200volppm、CO2ガスの濃度は250volppm、N2ガスの濃度は500volppm、CF4ガスの濃度は400volppm、SiF4ガスの濃度は250volppmであった。したがって、本発明のフッ素ガスは不純物ガスの含有量が少ない高純度フッ素ガスであることが分かる。
物の生成がなく、より高品質の製品を製造することが可能となる。
以下、実施例に基づいて本発明を具体的に説明するが、本発明はこれら実施例に何ら限定されるものではない。
金属39をパンチングプレート40および41の間に挟み込んだ構造を有する伝熱性構造体38を取り付けた充填容器とともに、発泡金属39の効果を比較するため、発泡金属を除いた伝熱体を取り付けた充填容器および伝熱体を取り付けていない充填容器も準備した。
図1に示すようなフッ素ガス発生・吸蔵装置に、MnF4を10kg充填した、発泡金
属をパンチングプレートで挟み込んだ伝熱性構造体を有するフッ素発生剤充填容器10を接続後、バルブ3およびバルブ8を用いて接続口の真空蓄圧パージを実施し、接続口の乾燥を行った。その後、加熱ヒーター9により充填容器10を400℃に加熱するとともに、発生したフッ素ガスを真空ポンプ11で真空引きして除去した。このときのフッ素ガスを分析するとHFが0.5vol%であった。この操作については、発泡金属を除いた伝熱体を取り付けたフッ素発生剤充填容器および伝熱体を取り付けていないフッ素発生剤充填容器についても行った。各充填容器におけるフッ素ガス放出時間を表1に示す。
実施例1と同様の操作を行った後、フッ素ガス発生後に残存するMnF3にフッ素ガス
を吸蔵させた。吸蔵用フッ素ガスとしては純度99.5%のフッ素ガスを使用した。このとき、フッ素ガスをNaF充填筒7に流通させることにより、フッ素ガス中に含まれるHFを除去した。フッ素ガスをマスフローコントローラー5により流量制御しながら、バルブ4より、350℃に温度制御した充填容器10に0.4MPa(ゲージ圧)で供給した。この操作については、発泡金属を除いた伝熱体を取り付けたフッ化物充填容器および伝熱体を取り付けていない充填容器についても行った。フッ素ガス供給時間(吸蔵時間)を表2に示す。
実施例2においてフッ素ガス発生後のフッ化マンガンにフッ素ガスを吸蔵させてMnF4としたフッ素発生剤が充填された充填容器を、図2に示すようなフッ素ガス供給装置に
接続した後、充填容器14(または21)を400℃に加熱して、フッ素ガスを発生させた。このときのフッ素ガスの圧力は0.8MPa(ゲージ圧)であった。マスフローコントローラー29により最大流量を測定しながら、発生したフッ素ガスの供給を行った。この操作については、発泡金属を除いた伝熱体を取り付けたフッ化物充填容器および伝熱体を取り付けていない充填容器についても行った。このときのフッ素ガス発生速度を表3に示す。なお、MnF4からMnF3への転化率は、MnF3を硝酸水溶液に溶解し、Mn濃度
をICP分析し、F濃度をイオンクロマトにより分析してMnF3の割合を求めた。また
、途中経過については充填剤の重量から算出した。また、このとき(発泡金属をパンチングプレートで挟み込んだ伝熱性構造体ありの場合)に発生したフッ素ガスについては、ガスクロマトグラフィーとFT−IRにより純度の分析を行った。フッ素ガス中に含まれる不純物ガスの分析結果を表4に示す。
実施例3と同様にして図2に示すようなフッ素ガス供給装置に接続したフッ素発生剤充填容器14(または21)を400℃に加熱してフッ素ガスを発生させ、マスフローメーター29により流量を1L/minに制御してフッ素ガスの供給を行った。このときのフッ素ガス中のMn濃度を供給出口で測定した。
実施例3と同様にして、図2に示すようなフッ素ガス供給装置に接続したフッ素発生剤充填容器14(または21)を400℃に加熱してフッ素ガスを発生させ、マスフローメーターにより流量を1L/minに制御して供給した。このときのフッ素ガス中のMn濃度を供給出口で測定した。
kg充填した。充填容器50の大きさ、材質等は実施例1〜4で用いた充填容器と同じである。実施例1および2と同様にしてフッ素ガスの発生および吸蔵を行った後、実施例3と同様にして図2に示すようなフッ素ガス供給装置に接続した充填容器14(または21)を400℃に加熱してフッ素ガスを発生させ、マスフローメーターにより流量を1L/minに制御して供給した。このときのフッ素ガス中のMn濃度を供給出口で測定した。
2.圧力計
3.ストップバルブ
4.ストップバルブ
5.マスフローコントローラー
6.クッションタンク
7.NaF充填筒
8.ストップバルブ
9.加温ヒーター
10.フッ素発生剤充填容器
11.真空ポンプ
12.除害筒
13.容器元弁
14.フッ素発生剤充填容器
15.加温ヒーター
16.圧力計
17.ストップバルブ
18.ストップバルブ
19.ストップバルブ
20.容器元弁
21.フッ素発生剤充填容器
22.加温ヒーター
23.圧力計
24.ストップバルブ
25.ストップバルブ
26.ストップバルブ
27.ストップバルブ
28.ストップバルブ
29.マスフローコントローラー
30.ラインフィルター
31.ストップバルブ
32.真空ポンプ
33.除害筒
34.容器元弁
35.伝熱体
36.フッ素発生剤
37.フッ素発生剤充填容器
38.伝熱性構造体
39.発泡金属
40.パンチングプレート
41.パンチングプレート
42.フッ化金属充填容器
43.フッ化金属充填容器
44.容器元弁
45.冷風機
46.フィルター
47.除去用フッ化金属
48.伝熱体
49.フッ素発生剤
50.フッ素発生剤充填容器
Claims (16)
- 加熱手段が設けられたフッ素ガス発生容器の内部を、通気性を有する構造体により区画し、該区画内に高原子価フッ化金属を充填して加熱することにより、フッ素ガスを発生させる工程(1)を含むことを特徴とするフッ素ガスの製造方法。
- 加熱手段が設けられたフッ素ガス発生容器の内部を、通気性を有する構造体と伝熱体とからなる伝熱性構造体により区画し、該区画内に高原子価フッ化金属を充填して加熱することにより、フッ素ガスを発生させる工程(1)を含むことを特徴とするフッ素ガスの製造方法。
- 前記通気性を有する構造体が発泡金属である請求項1または2に記載のフッ素ガスの製造方法。
- 前記伝熱体が金属パンチングプレートである請求項2に記載のフッ素ガスの製造方法。
- 前記伝熱性構造体が、発泡金属を金属パンチングプレートで挟み込んだ構造体である請求項2に記載のフッ素ガスの製造方法。
- 前記高原子価フッ化金属が、MnFx(x=3〜4)およびK3NiFy(y=6〜7)
から選ばれる少なくとも一つの組成を含む請求項1〜5のいずれかに記載のフッ素ガスの製造方法。 - 前記高原子価フッ化金属がMnFx(x=3〜4)を含む請求項1〜5のいずれかに記
載のフッ素ガスの製造方法。 - 前記工程(1)で高原子価フッ化金属を加熱する温度が300〜450℃である請求項1〜7のいずれかに記載のフッ素ガスの製造方法。
- 前記工程(1)でフッ素ガスを発生させた高原子価フッ化金属にフッ素ガスを吸蔵させる工程(2)を含む請求項1〜8のいずれかに記載のフッ素ガスの製造方法。
- 前記高原子価フッ化金属を加熱することにより発生させたフッ素ガス中に含まれるフッ化マンガンを除去する工程を含む請求項7に記載のフッ素ガスの製造方法。
- 前記フッ化マンガンの除去工程が、該フッ化マンガンを含むフッ素ガスを冷却することにより行われる請求項10に記載のフッ素ガスの製造方法。
- 前記フッ化マンガンを含むフッ素ガスの冷却温度が−50〜200℃である請求項11に記載のフッ素ガスの製造方法。
- 前記フッ化マンガンの除去工程が、該フッ化マンガンを含むフッ素ガスをフッ化金属に接触させることにより行われる請求項10に記載のフッ素ガスの製造方法。
- 前記フッ化マンガンの除去工程に用いられるフッ化金属が、アルカリ金属、アルカリ土類金属、Al、Cu、ZnおよびFeからなる群より選ばれる少なくとも一種類の金属を含有する請求項13に記載のフッ素ガスの製造方法。
- 前記フッ化マンガンの除去工程に用いられるフッ化金属がNaFである請求項13に記載のフッ素ガスの製造方法。
- フッ素発生剤充填容器、該容器を加熱する手段、ならびに、通気性および伝熱性を有し、該容器の内部を区画する構造体を含むことを特徴とするフッ素ガスの製造装置。
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