RU2007115200A - Способ получения газообразного фтора - Google Patents
Способ получения газообразного фтора Download PDFInfo
- Publication number
- RU2007115200A RU2007115200A RU2007115200/15A RU2007115200A RU2007115200A RU 2007115200 A RU2007115200 A RU 2007115200A RU 2007115200/15 A RU2007115200/15 A RU 2007115200/15A RU 2007115200 A RU2007115200 A RU 2007115200A RU 2007115200 A RU2007115200 A RU 2007115200A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- fluorine
- fluoride
- producing
- gas
- gaseous fluorine
- Prior art date
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J7/00—Apparatus for generating gases
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J19/24—Stationary reactors without moving elements inside
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J19/24—Stationary reactors without moving elements inside
- B01J19/248—Reactors comprising multiple separated flow channels
- B01J19/2495—Net-type reactors
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B7/00—Halogens; Halogen acids
- C01B7/19—Fluorine; Hydrogen fluoride
- C01B7/20—Fluorine
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/4401—Means for minimising impurities, e.g. dust, moisture or residual gas, in the reaction chamber
- C23C16/4405—Cleaning of reactor or parts inside the reactor by using reactive gases
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J2219/00049—Controlling or regulating processes
- B01J2219/00051—Controlling the temperature
- B01J2219/00074—Controlling the temperature by indirect heating or cooling employing heat exchange fluids
- B01J2219/00076—Controlling the temperature by indirect heating or cooling employing heat exchange fluids with heat exchange elements inside the reactor
- B01J2219/00085—Plates; Jackets; Cylinders
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/0318—Processes
- Y10T137/0324—With control of flow by a condition or characteristic of a fluid
- Y10T137/0329—Mixing of plural fluids of diverse characteristics or conditions
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/6416—With heating or cooling of the system
- Y10T137/6525—Air heated or cooled [fan, fins, or channels]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/6416—With heating or cooling of the system
- Y10T137/6606—With electric heating element
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8593—Systems
- Y10T137/87571—Multiple inlet with single outlet
- Y10T137/87652—With means to promote mixing or combining of plural fluids
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
- Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
Abstract
1. Способ получения газообразного фтора, включающий стадию (1) генерирования газообразного фтора путем разделения на секции внутреннего пространства оборудованного нагревающими средствами контейнера для генерирования газообразного фтора с помощью проницаемого для газа конструктивного элемента, заполнения каждой секции фторидом металла с высокой валентностью и нагревания фторида металла с высокой валентностью.2. Способ получения газообразного фтора, включающий стадию (1) генерирования газообразного фтора путем разделения на секции внутреннего пространства оборудованного нагревающими средствами контейнера для генерирования газообразного фтора с помощью теплопроводящего конструктивного элемента, включающего проницаемый для газа конструктивный элемент и теплопроводящий элемент, заполнения каждой секции фторидом металла с высокой валентностью и нагревания фторида металла с высокой валентностью.3. Способ получения газообразного фтора по п.1 или 2, где проницаемый для газа конструктивный элемент представляет собой пористый металл.4. Способ получения газообразного фтора по п.2, где теплопроводящий элемент представляет собой металлическую перфорированную пластину.5. Способ получения газообразного фтора по п.2, где теплопроводящий конструктивный элемент представляет собой конструктивный элемент, в котором пористый металл расположен между перфорированными пластинами.6. Способ получения газообразного фтора по п.1 или 2, где фторид металла с высокой валентностью содержит, по крайней мере, одну смесь, выбранную из MnF(x=3-4) и KNiF(у=6-7).7. Способ получения газообразного фтора по п.1 или 2, где фторид металла с высоко
Claims (16)
1. Способ получения газообразного фтора, включающий стадию (1) генерирования газообразного фтора путем разделения на секции внутреннего пространства оборудованного нагревающими средствами контейнера для генерирования газообразного фтора с помощью проницаемого для газа конструктивного элемента, заполнения каждой секции фторидом металла с высокой валентностью и нагревания фторида металла с высокой валентностью.
2. Способ получения газообразного фтора, включающий стадию (1) генерирования газообразного фтора путем разделения на секции внутреннего пространства оборудованного нагревающими средствами контейнера для генерирования газообразного фтора с помощью теплопроводящего конструктивного элемента, включающего проницаемый для газа конструктивный элемент и теплопроводящий элемент, заполнения каждой секции фторидом металла с высокой валентностью и нагревания фторида металла с высокой валентностью.
3. Способ получения газообразного фтора по п.1 или 2, где проницаемый для газа конструктивный элемент представляет собой пористый металл.
4. Способ получения газообразного фтора по п.2, где теплопроводящий элемент представляет собой металлическую перфорированную пластину.
5. Способ получения газообразного фтора по п.2, где теплопроводящий конструктивный элемент представляет собой конструктивный элемент, в котором пористый металл расположен между перфорированными пластинами.
6. Способ получения газообразного фтора по п.1 или 2, где фторид металла с высокой валентностью содержит, по крайней мере, одну смесь, выбранную из MnFx(x=3-4) и K3NiFy(у=6-7).
7. Способ получения газообразного фтора по п.1 или 2, где фторид металла с высокой валентностью включает MnFx(x=3-4).
8. Способ получения газообразного фтора по п.1 или 2, где температура для нагревания фторида металла с высокой валентностью на стадии (1) находится в диапазоне 300-450°С.
9. Способ получения газообразного фтора по п.1 или 2, включающий стадию (2) поглощения газообразного фтора фторидом металла с высокой валентностью, из которого был генерирован газообразный фтор на стадии (1).
10. Способ получения газообразного фтора по п.9, включающий стадию удаления фторида марганца, содержащегося в газообразном фторе, генерированном путем нагревания фторида металла с высокой валентностью.
11. Способ получения газообразного фтора по п.9, где стадию удаления фторида марганца проводят путем охлаждения газообразного фтора, содержащего фторид марганца.
12. Способ получения газообразного фтора по п.9, где температура для охлаждения газообразного фтора, содержащего фторид марганца, находится в диапазоне от -50 до 200°С.
13. Способ получения газообразного фтора по п.9, где стадию удаления фторида марганца проводят путем контактирования газообразного фтора, содержащего фторид марганца, с фторидом металла.
14. Способ получения газообразного фтора по п.9, где фторид металла, используемый на стадии удаления фторида марганца, содержит, по крайней мере, один металл, выбранный из группы, состоящей из щелочного металла, щелочноземельного металла, Al, Cu, Zn и Fe.
15. Способ получения газообразного фтора по п.9, где фторид металла, используемый на стадии удаления фторида марганца, представляет собой NaF.
16. Аппарат для производства газообразного фтора, включающий контейнер генерирующего фтор агента, средства для нагревания контейнера и теплопроводящий, проницаемый для газа конструктивный элемент для разделения на секции внутреннего пространства контейнера.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004277382 | 2004-09-24 | ||
| JP2004-277382 | 2004-09-24 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2007115200A true RU2007115200A (ru) | 2008-10-27 |
| RU2397143C2 RU2397143C2 (ru) | 2010-08-20 |
Family
ID=38357480
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2007115200A RU2397143C2 (ru) | 2004-09-24 | 2005-09-22 | Способ получения газообразного фтора |
Country Status (10)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7572428B2 (ru) |
| EP (1) | EP1848662B1 (ru) |
| JP (1) | JP4828185B2 (ru) |
| KR (1) | KR101199130B1 (ru) |
| CN (1) | CN101027248B (ru) |
| AT (1) | ATE489330T1 (ru) |
| DE (1) | DE602005025023D1 (ru) |
| RU (1) | RU2397143C2 (ru) |
| TW (1) | TWI385121B (ru) |
| WO (1) | WO2006033474A1 (ru) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TW200932681A (en) * | 2007-12-11 | 2009-08-01 | Solvay Fluor Gmbh | Method for preparing manganese tetrafluoride |
| US20110097253A1 (en) * | 2009-10-27 | 2011-04-28 | Fluoromer Llc | Fluorine purification |
| JP6867581B2 (ja) | 2016-02-09 | 2021-04-28 | セントラル硝子株式会社 | フッ素ガスの精製方法 |
| JP6792158B2 (ja) | 2016-02-09 | 2020-11-25 | セントラル硝子株式会社 | フッ素化合物ガスの精製方法 |
| JP6678489B2 (ja) * | 2016-03-28 | 2020-04-08 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
| JP7527237B2 (ja) * | 2021-04-01 | 2024-08-02 | 東京エレクトロン株式会社 | ガス供給装置、ガス供給方法、および基板処理装置 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4284617A (en) * | 1979-11-30 | 1981-08-18 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Solid compositions for generation fluorine and gaseous fluorine compounds |
| US4506140A (en) * | 1982-11-15 | 1985-03-19 | Armstrong Richard M | Electric immersion heater assembly having an isolated terminal box |
| SU1432001A1 (ru) | 1986-11-12 | 1988-10-23 | Московский химико-технологический институт им.Д.И.Менделеева | Способ получени чистого газообразного фтора |
| GB9011535D0 (en) * | 1990-05-23 | 1990-07-11 | Oxford Lasers Ltd | Gas management system |
| US6609540B1 (en) * | 1999-06-24 | 2003-08-26 | Showa Denko Kabushiki Kaisha | Method and apparatus for supplying fluorine gas |
| US6911563B2 (en) * | 2001-01-05 | 2005-06-28 | National Institute Of Advanced Industrial Science | Reaction method utilizing diaphram type catalyst and apparatus therefor |
| JP4145081B2 (ja) * | 2001-06-29 | 2008-09-03 | 昭和電工株式会社 | 高純度フッ素ガスおよびその製造方法並びにその用途 |
| CN1639058A (zh) * | 2001-06-29 | 2005-07-13 | 昭和电工株式会社 | 高纯氟气体、其生产方法和用途和分析高纯氟气体中的痕量不纯物的方法 |
| JP4230169B2 (ja) * | 2002-05-13 | 2009-02-25 | セントラル硝子株式会社 | フッ素の発生方法 |
| RU2221739C1 (ru) | 2002-12-20 | 2004-01-20 | Закрытое акционерное общество "АСТОР ЭЛЕКТРОНИКС" | Способ получения фтора |
-
2005
- 2005-09-09 JP JP2005261919A patent/JP4828185B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2005-09-22 EP EP20050787668 patent/EP1848662B1/en not_active Not-in-force
- 2005-09-22 AT AT05787668T patent/ATE489330T1/de not_active IP Right Cessation
- 2005-09-22 WO PCT/JP2005/018065 patent/WO2006033474A1/en active Application Filing
- 2005-09-22 RU RU2007115200A patent/RU2397143C2/ru not_active IP Right Cessation
- 2005-09-22 TW TW94132898A patent/TWI385121B/zh not_active IP Right Cessation
- 2005-09-22 DE DE200560025023 patent/DE602005025023D1/de active Active
- 2005-09-22 KR KR1020077009136A patent/KR101199130B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2005-09-22 CN CN2005800322945A patent/CN101027248B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2005-09-22 US US11/663,635 patent/US7572428B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN101027248B (zh) | 2010-06-16 |
| JP4828185B2 (ja) | 2011-11-30 |
| KR20070061891A (ko) | 2007-06-14 |
| CN101027248A (zh) | 2007-08-29 |
| EP1848662A1 (en) | 2007-10-31 |
| DE602005025023D1 (de) | 2011-01-05 |
| WO2006033474A1 (en) | 2006-03-30 |
| US20080102021A1 (en) | 2008-05-01 |
| TWI385121B (zh) | 2013-02-11 |
| US7572428B2 (en) | 2009-08-11 |
| TW200628403A (en) | 2006-08-16 |
| JP2006117509A (ja) | 2006-05-11 |
| RU2397143C2 (ru) | 2010-08-20 |
| KR101199130B1 (ko) | 2012-11-09 |
| ATE489330T1 (de) | 2010-12-15 |
| EP1848662B1 (en) | 2010-11-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2007115200A (ru) | Способ получения газообразного фтора | |
| KR101126655B1 (ko) | 플루오르-함유 화합물을 포함하는 가스의 처리 방법 및처리 장치 | |
| US7074377B2 (en) | Production of tetrafluorosilane | |
| KR20040014989A (ko) | 고순도 불소가스, 그 제조방법 및 그 용도와 고순도불소가스 중의 미량 불순물의 분석방법 | |
| TWI525043B (zh) | Recovery method and recovery unit of iodinated iodide compound derived from iodine iodide | |
| JPH02201984A (ja) | エキシマーレーザーガスの精製法並びにその装置 | |
| JP2020105135A (ja) | ヘキサフルオロブタジエンの精製方法 | |
| JP5216220B2 (ja) | ネオン回収方法 | |
| TWI294405B (en) | Process for refining nitrogen trifluoride gas using alkali earth metal exchanged zeolite | |
| Mosser-Ruck et al. | Experimental illitization of smectite in a K-rich solution | |
| JP2008006436A (ja) | 固体酸触媒の製造方法 | |
| KR20040065154A (ko) | 반도체 제조장치용 클리닝가스 및 이 가스를 사용한클리닝방법 | |
| JPS62289230A (ja) | 融剤使用の立方晶窒化硼素の製造方法及びこの方法で製造した立方晶窒化硼素 | |
| TWI322030B (en) | Exhaust gas treating agent, process for treating exhaust gas and treating apparatus of exhaust gas | |
| JPS6274430A (ja) | 希ガスハライドエキシマ−レ−ザ−ガスの精製法 | |
| JP5626849B2 (ja) | ゼオライトによるフッ素系ガスの分解処理方法 | |
| JP3434315B2 (ja) | フッ素系エキシマレーザ装置における不純物除去装置の再生方法 | |
| JP2000119024A (ja) | 六弗化タングステンの製造方法 | |
| JP2003081614A (ja) | 高純度フッ素ガスおよびその製造方法並びにその用途 | |
| JP2010158619A (ja) | フッ素含有化合物処理剤及び排ガスの処理方法 | |
| Nistor et al. | Optimized procedure for clay pillaring with aluminum species used in depollution | |
| JP2006131478A (ja) | 次亜塩素酸ソーダ水溶液の製造方法 | |
| JP2010147304A (ja) | エッチング液の再生方法 | |
| JP2002361041A (ja) | Ｐｆｃ混合排ガスの回収前処理方法 | |
| JP2016019964A (ja) | ハイポフルオライトの湿式除去方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20110923 |