JP2006066417A - 静電チャックおよび基板搬送用トレー - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明の静電チャック10は、そのチャック台13の上面に、複数のチャック領域16を備えている。各チャック領域16は、チャック台13の上面に複数突出形成された島状部17の各々の上面に形成されている。各島状部17の内部には、基板吸着用の双極型の電極層と、基板冷却用ガスの流出孔18がそれぞれ設けられている。この構成により、複数の基板が載置されたトレー上面にカバーを取り付けて基板をトレー40に保持する作業が不要となるので、作業性および生産性が向上し、基板の冷却効率も高められる。
【選択図】 図9
Description
11 真空槽
12 本体
13 チャック台
16(16A〜16E) チャック領域
17 島状部
18 流出孔
19 流路
20a,20b 電極層
40 トレー
41 トレー本体
42 開口
43 基板支持部
W 基板
Claims (6)
- 上面が基板を静電的に吸着するチャック領域とされている静電チャックであって、
前記上面に、前記チャック領域が複数形成されていることを特徴とする静電チャック。 - 前記各チャック領域は、前記上面に突設された複数の島状部の各々の上面部に形成されている請求項1に記載の静電チャック。
- 前記各チャック領域の面積は、前記基板の面積よりも小さく形成されている請求項1に記載の静電チャック。
- 前記各チャック領域には、前記基板を冷却する冷却用ガスの流路が形成されている請求項1に記載の静電チャック。
- 前記各チャック領域に配置される基板吸着用の電極が、一対の櫛形電極構造を有している請求項1に記載の静電チャック。
- 上面に基板吸着用のチャック領域が島状に複数突出形成された静電チャックに対して、複数枚の基板を搬送するための基板搬送用トレーであって、
前記静電チャックの上面に載置されるトレー本体と、このトレー本体の面内に形成され前記複数のチャック領域をそれぞれ収容できる大きさに形成された複数の開口と、これら複数の開口の各々の周縁に形成され前記基板の下面周縁を支持する基板支持部とを有し、
前記トレー本体の下面に対する前記基板支持部の高さが、前記静電チャック上面に対する前記チャック領域の高さよりも小さく形成されていることを特徴とする基板搬送用トレー。
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