JP2012146922A - プラズマ処理システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ドライエッチング装置1は、基板を載置したトレイを収納するトレイストック部とプラズマ処理部11の間で前記トレイを搬送する搬送機構15と、アラインメント部14においてトレイを所定の位置に位置決めするセンタリング機構27と、位置決めされた前記トレイの前記所定の位置の高さを計測する高さ計測センサー37と、を備え、計測された前記高さからトレイ厚さ計測処理部49が前記トレイの厚さデータを算出する。消耗状態判定部51が前記厚さデータに基づいてトレイの消耗状態を判断する。
【選択図】図2
Description
2 基板
3 トレイ
3a 表側
3b 裏側
3c ノッチ
4 基板収容孔
5 基板支持部
6 識別情報保持部
11 プラズマ処理部
12 搬送部
12a 搬送室
13 トレイストック部
13a 収容室
14 アラインメント部
14a アラインメント室
15 搬送機構
15a 支持フォーク
16 真空チャンバ
16a 処理室
17A,17B,17C 連通口
18 ゲートバルブ
19 扉
21 カセット
23 ステージ
23a 上端面
23b 基板保持部
24 トレイリフター
25 回転ステージ駆動機構
26 回転ステージ
26a 回転軸
27 センタリング機構
28 開閉駆動部
29A,29B アーム
30 当接部材
32A,32B 基板検出センサー
33 ノッチ検出センサー
34A,34B,34C 光反射部
36 トレイ識別情報読取部
37 高さ計測センサー
40 制御部
41 真空ポンプ
42 表示部
43 操作・入力部
45 トレイ搬送処理部
46 アラインメント処理部
47 基板有無確認処理部
48 トレイ識別情報読取処理部
49 トレイ厚さ計測処理部
50 トレイ厚さデータ記憶部
51 消耗状態判定部
52 トレイ情報記憶部
53 トレイ情報表示処理部
61 プラズマ処理
62 管理装置
63 通信ネットワーク
64,65 通信処理部
66 トレイ情報表示処理部
67 表示部
68 操作・入力部
71 移載部
71a 移載室
72 移載ロボット
Claims (8)
- 基板を載置したトレイを収納するトレイストック部と、
前記トレイを収納可能な真空チャンバを有し、この真空チャンバ内でプラズマを発生して前記基板に対してエッチング処理を行うプラズマ処理部と、
前記トレイストック部と前記プラズマ処理部の間で前記トレイを搬送する搬送機構を備えたプラズマ処理システムであって、
前記トレイの所定の位置の厚さを計測する厚さ計測手段と、
前記厚さ計測手段によって得られたトレイの厚さデータに基づいて当該トレイの消耗状態を判断する消耗状態判定部と
を備えたことを特徴とするプラズマ処理システム。 - 前記トレイを所定の位置に位置決めするトレイ位置決め手段をさらに備え、
前記厚さ計測手段は前記トレイ位置決め手段で位置決めされた前記トレイの前記所定の位置の厚さを計測する、請求項1に記載のプラズマ処理システム。 - 個別の前記トレイを識別するためのトレイ識別情報を読み取るトレイ識別情報読取部と、
前記厚さ計測手段によって計測されたトレイの厚さデータを前記トレイ識別情報に関連付けて記憶する厚さデータ記憶部と
をさらに備え、
前記消耗状態判定部は、前記厚さデータ記憶部に記憶された前記トレイ識別情報に関連付けられた前記トレイの厚さデータに基づいて前記トレイの消耗状態を判断することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のプラズマ処理システム。 - 前記消耗状態判定部の判断に関する情報を表示する処理を実行する情報表示処理部をさらに備える、請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のプラズマ処理システム。
- 前記消耗状態判定部は、前記厚さデータ記憶部に記憶された前記トレイの厚さデータが、交換が必要な厚さに余裕量を加えた厚さに相当する第一の閾値未満であって、かつ交換が必要な厚さに相当する第二の閾値以上であれば、前記情報表示処理部に交換奨励の表示を実行させる、請求項4に記載のプラズマ処理システム。
- 前記消耗状態判定部は、前記厚さデータ記憶部に記憶された前記トレイの厚さデータが前記第二の閾値未満であれば、前記情報表示処理部に交換準備の表示を実行させる、請求項5に記載にプラズマ処理システム。
- 前記消耗状態判定部は、前記厚さデータ記憶部に記憶された前記トレイの厚さデータに基づいて前記トレイの厚さが前記第二の閾値に減少するまでの使用回数を推定し、前記表示処理部に表示させる、請求項4から請求項6のいずれか1項に記載のプラズマ処理システム。
- 前記トレイ識別情報読取部は前記トレイから読み取った前記トレイ識別情報と、予め登録された複数のトレイ識別情報とを照合し、読み取った前記トレイ識別情報が予め登録された複数のトレイ識別情報のいずれとも一致しなければ、前記情報表示処理部にエラー表示を実行させる請求項4から請求項7のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。
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- 2011-01-14 JP JP2011005992A patent/JP5631755B2/ja active Active
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