JP2021093505A - 基板処理装置用の部品及び基板処理システム - Google Patents
基板処理装置用の部品及び基板処理システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021093505A JP2021093505A JP2019224852A JP2019224852A JP2021093505A JP 2021093505 A JP2021093505 A JP 2021093505A JP 2019224852 A JP2019224852 A JP 2019224852A JP 2019224852 A JP2019224852 A JP 2019224852A JP 2021093505 A JP2021093505 A JP 2021093505A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- component
- marker
- substrate processing
- dimensional code
- code information
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 84
- 239000003550 marker Substances 0.000 claims abstract description 112
- 239000003086 colorant Substances 0.000 claims abstract description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 13
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 claims description 8
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 6
- 238000002845 discoloration Methods 0.000 claims description 5
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 4
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 15
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 6
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 2
- 239000011796 hollow space material Substances 0.000 description 2
- 239000000047 product Substances 0.000 description 2
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 2
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 2
- BSYNRYMUTXBXSQ-UHFFFAOYSA-N Aspirin Chemical compound CC(=O)OC1=CC=CC=C1C(O)=O BSYNRYMUTXBXSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003190 augmentative effect Effects 0.000 description 1
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000007790 scraping Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06K—GRAPHICAL DATA READING; PRESENTATION OF DATA; RECORD CARRIERS; HANDLING RECORD CARRIERS
- G06K19/00—Record carriers for use with machines and with at least a part designed to carry digital markings
- G06K19/06—Record carriers for use with machines and with at least a part designed to carry digital markings characterised by the kind of the digital marking, e.g. shape, nature, code
- G06K19/06009—Record carriers for use with machines and with at least a part designed to carry digital markings characterised by the kind of the digital marking, e.g. shape, nature, code with optically detectable marking
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67294—Apparatus for monitoring, sorting or marking using identification means, e.g. labels on substrates or labels on containers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/36—Removing material
- B23K26/362—Laser etching
- B23K26/364—Laser etching for making a groove or trench, e.g. for scribing a break initiation groove
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/0093—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring combined with mechanical machining or metal-working covered by other subclasses than B23K
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/36—Removing material
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06K—GRAPHICAL DATA READING; PRESENTATION OF DATA; RECORD CARRIERS; HANDLING RECORD CARRIERS
- G06K7/00—Methods or arrangements for sensing record carriers, e.g. for reading patterns
- G06K7/10—Methods or arrangements for sensing record carriers, e.g. for reading patterns by electromagnetic radiation, e.g. optical sensing; by corpuscular radiation
- G06K7/14—Methods or arrangements for sensing record carriers, e.g. for reading patterns by electromagnetic radiation, e.g. optical sensing; by corpuscular radiation using light without selection of wavelength, e.g. sensing reflected white light
- G06K7/1404—Methods for optical code recognition
- G06K7/1408—Methods for optical code recognition the method being specifically adapted for the type of code
- G06K7/1417—2D bar codes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32623—Mechanical discharge control means
- H01J37/32642—Focus rings
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67063—Apparatus for fluid treatment for etching
- H01L21/67069—Apparatus for fluid treatment for etching for drying etching
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
- H01L21/67161—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the layout of the process chambers
- H01L21/67167—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the layout of the process chambers surrounding a central transfer chamber
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
- H01L21/67207—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations comprising a chamber adapted to a particular process
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67282—Marking devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/544—Marks applied to semiconductor devices or parts, e.g. registration marks, alignment structures, wafer maps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Artificial Intelligence (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- General Factory Administration (AREA)
Abstract
Description
まず、実施形態に係る部品へのマーカーの刻印について、図1を用いて説明する。図1は、実施形態に係る部品に刻印されたマーカーの一例を示す図である。図1の部品は、基板処理装置に配置されるエッジリング25であり、基板処理装置用の部品の一例である。
次に、部品の材料と刻印方法について、図2を参照しながら説明する。図2は、実施形態に係る部品Pの材料と刻印された状態を示す図である。図2では、図1にてマーカー25cで示した領域の一部の領域Paを簡略化して示す。
以上に説明したマーカーが刻印された部品が配置された基板処理装置と、基板処理装置に基板を搬送する搬送室とを有する基板処理システムについて、図3を参照して説明する。また、基板処理装置について、図4を参照して説明する。図3は、実施形態に係る基板処理システム1を示す図である。図4は、実施形態に係る基板処理装置11を示す断面模式図である。図3及び図4はリーダーを搭載した実施形態であるが、リーダーは基板処理システム及び基板処理装置に搭載せずにポータブルのタイプを用いることも可能である。
次に、基板処理装置11の構成について、図4を参照しながら説明する。基板処理装置11は内部空間10sを持つチャンバ10を有し、これにより、例えば図3に示す処理室111〜114が形成される。チャンバ10は、略円筒形状のチャンバ本体12を有する。チャンバ本体12の側壁には、通路12pが形成されている。基板Wは、内部空間10sとチャンバ10の外部との間で搬送されるときに通路12pを通過する。通路12pは、ゲートバルブ12gにより開閉可能となっている。ゲートバルブ12gは、チャンバ本体12の側壁に沿って設けられている。通路12pは、基板Wやエッジリング25が搬送される通路であり、リーダーRが配置されている。リーダーRはゲートバルブ12gに配置されてもよい。
次に、基板処理装置11を制御するコンピュータ80及び基板処理システム1を制御するコンピュータ81が接続される部品管理システムの一例について、図5を参照しながら説明する。図5は、実施形態に係る部品管理システムの一例を示す図である。
11 基板処理装置
14 載置台
14c マーカー
25 エッジリング
25c マーカー
34 天板
34c マーカー
80,81 コンピュータ
100 ホストコンピュータ
111〜114 処理室
120 真空搬送室
P 部品
R リーダー
Claims (10)
- 基板処理装置用の部品であって、
前記部品の表面及び/又は内部を加工したマーカーを有し、
前記マーカーは、加工により前記部品に形成した溝及び/又は2種類以上の色によって2次元コード情報を読取可能に構成される、
基板処理装置用の部品。 - 前記マーカーは、前記部品の表面及び/又は内部に形成した溝に入射した光のコントラストにより前記2次元コード情報を読取可能に構成される、
請求項1に記載の部品。 - 前記マーカーは、前記部品の表面及び/又は内部に形成した2種類以上の色のコントラストにより前記2次元コード情報を読取可能に構成される、
請求項1又は2に記載の部品。 - 前記部品は石英であり、
前記マーカーは、レーザー加工により前記部品に形成された溝により構成される、
請求項1〜3のいずれか一項に記載の部品。 - 前記部品はセラミックであり、
前記マーカーは、レーザー加工により前記部品に形成された溝、及びレーザー加工により変色した色と変色前の前記部品の色とにより構成される、
請求項1〜3のいずれか一項に記載の部品。 - 前記部品はアルミニウム、ステンレス、表面がアルマイト処理されたアルミニウム、又はシリコンであり、
前記マーカーは、レーザー加工により前記部品に形成された溝、及び前記溝の表面の凹凸により構成される、
請求項1〜3のいずれか一項に記載の部品。 - 前記部品はアルミニウム、又はステンレスであり、
前記マーカーは、レーザー加工により前記部品に形成された酸化膜の色と変色前の前記部品の色とにより構成される、
請求項1〜3のいずれか一項に記載の部品。 - 前記マーカーは、リーダーにより前記2次元コード情報を読取可能に構成される、
請求項1〜7のいずれか一項に記載の部品。 - 前記マーカーは、前記2次元コード情報の誤り訂正が可能なように構成される、
請求項1〜8のいずれか一項に記載の部品。 - 請求項1〜9のいずれか一項に記載の部品が配置された基板処理装置と、前記基板処理装置に基板を搬送する搬送室と、制御部と、を有する基板処理システムであって、
前記基板が前記搬送室を介して前記基板処理装置に搬送される経路のいずれかに配置されるリーダーを有し、
前記リーダーは、前記基板処理装置に設けられた前記部品及び/又は前記経路を搬送される前記部品に形成されたマーカーから2次元コード情報を読み取り、
前記制御部は、読み取った前記2次元コード情報に含まれる前記部品に関する情報を取得し、前記部品に関する情報を記録媒体に記録する、
基板処理システム。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019224852A JP7401284B2 (ja) | 2019-12-12 | 2019-12-12 | 基板処理装置 |
TW109141972A TW202137369A (zh) | 2019-12-12 | 2020-11-30 | 基板處理裝置用零件及基板處理系統 |
CN202011388754.0A CN112992725A (zh) | 2019-12-12 | 2020-12-02 | 基片处理装置用的部件和基片处理系统 |
US17/118,158 US20210178523A1 (en) | 2019-12-12 | 2020-12-10 | Part for substrate processing apparatus and substrate processing system |
KR1020200173097A KR20210075025A (ko) | 2019-12-12 | 2020-12-11 | 기판 처리 장치용 부품 및 기판 처리 시스템 |
JP2023206097A JP2024026286A (ja) | 2019-12-12 | 2023-12-06 | 基板処理システム、及び消耗部品 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019224852A JP7401284B2 (ja) | 2019-12-12 | 2019-12-12 | 基板処理装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023206097A Division JP2024026286A (ja) | 2019-12-12 | 2023-12-06 | 基板処理システム、及び消耗部品 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021093505A true JP2021093505A (ja) | 2021-06-17 |
JP7401284B2 JP7401284B2 (ja) | 2023-12-19 |
Family
ID=76312783
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019224852A Active JP7401284B2 (ja) | 2019-12-12 | 2019-12-12 | 基板処理装置 |
JP2023206097A Pending JP2024026286A (ja) | 2019-12-12 | 2023-12-06 | 基板処理システム、及び消耗部品 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023206097A Pending JP2024026286A (ja) | 2019-12-12 | 2023-12-06 | 基板処理システム、及び消耗部品 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20210178523A1 (ja) |
JP (2) | JP7401284B2 (ja) |
KR (1) | KR20210075025A (ja) |
CN (1) | CN112992725A (ja) |
TW (1) | TW202137369A (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7345382B2 (ja) * | 2018-12-28 | 2023-09-15 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置及び制御方法 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000298698A (ja) * | 1999-02-10 | 2000-10-24 | Tohken Co Ltd | マーク読取装置 |
JP2004268258A (ja) * | 2003-01-16 | 2004-09-30 | Shiseido Co Ltd | 情報を刻印した積層材料、それを貼付した物品、及び情報コードの観察方法 |
JP2007030378A (ja) * | 2005-07-27 | 2007-02-08 | Ngk Insulators Ltd | セラミックス製品及びその製造方法 |
JP2012129342A (ja) * | 2010-12-15 | 2012-07-05 | Panasonic Corp | 基板のプラズマ処理方法 |
JP2012146922A (ja) * | 2011-01-14 | 2012-08-02 | Panasonic Corp | プラズマ処理システム |
JP2012174997A (ja) * | 2011-02-23 | 2012-09-10 | Mitsubishi Materials Corp | プラズマ処理装置用部品及び識別表示の刻印方法 |
JP2018089646A (ja) * | 2016-12-01 | 2018-06-14 | 日本電産コパル株式会社 | 2次元コードマーキング装置 |
JP2018205834A (ja) * | 2017-05-30 | 2018-12-27 | マークテック株式会社 | 二次元コードのマーキング装置、及び二次元コードのマーキング方法 |
JP2019084577A (ja) * | 2017-11-09 | 2019-06-06 | 東芝テック株式会社 | マーキング装置及びマーキングシステム |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04146649A (ja) | 1990-10-08 | 1992-05-20 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 半導体チップの製造方法及びその装置 |
US8176814B1 (en) * | 2009-08-19 | 2012-05-15 | Steven J Bernstein | Wire forming plier and electrical multi-tool |
JP5469271B2 (ja) * | 2013-04-22 | 2014-04-16 | リンテック株式会社 | 識別記号付ダイシングシートおよびその製造方法 |
US10438795B2 (en) * | 2015-06-22 | 2019-10-08 | Veeco Instruments, Inc. | Self-centering wafer carrier system for chemical vapor deposition |
CN106127276B (zh) * | 2016-06-27 | 2018-12-21 | 福建联迪商用设备有限公司 | 一种量化污损QRCode的方法及系统 |
WO2019222855A1 (en) * | 2018-05-25 | 2019-11-28 | Laserax Inc. | Metal workpieces with shot blast resistant identifiers, methods and systems for laser-marking such identifiers |
-
2019
- 2019-12-12 JP JP2019224852A patent/JP7401284B2/ja active Active
-
2020
- 2020-11-30 TW TW109141972A patent/TW202137369A/zh unknown
- 2020-12-02 CN CN202011388754.0A patent/CN112992725A/zh active Pending
- 2020-12-10 US US17/118,158 patent/US20210178523A1/en active Pending
- 2020-12-11 KR KR1020200173097A patent/KR20210075025A/ko active IP Right Grant
-
2023
- 2023-12-06 JP JP2023206097A patent/JP2024026286A/ja active Pending
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000298698A (ja) * | 1999-02-10 | 2000-10-24 | Tohken Co Ltd | マーク読取装置 |
JP2004268258A (ja) * | 2003-01-16 | 2004-09-30 | Shiseido Co Ltd | 情報を刻印した積層材料、それを貼付した物品、及び情報コードの観察方法 |
JP2007030378A (ja) * | 2005-07-27 | 2007-02-08 | Ngk Insulators Ltd | セラミックス製品及びその製造方法 |
JP2012129342A (ja) * | 2010-12-15 | 2012-07-05 | Panasonic Corp | 基板のプラズマ処理方法 |
JP2012146922A (ja) * | 2011-01-14 | 2012-08-02 | Panasonic Corp | プラズマ処理システム |
JP2012174997A (ja) * | 2011-02-23 | 2012-09-10 | Mitsubishi Materials Corp | プラズマ処理装置用部品及び識別表示の刻印方法 |
JP2018089646A (ja) * | 2016-12-01 | 2018-06-14 | 日本電産コパル株式会社 | 2次元コードマーキング装置 |
JP2018205834A (ja) * | 2017-05-30 | 2018-12-27 | マークテック株式会社 | 二次元コードのマーキング装置、及び二次元コードのマーキング方法 |
JP2019084577A (ja) * | 2017-11-09 | 2019-06-06 | 東芝テック株式会社 | マーキング装置及びマーキングシステム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7401284B2 (ja) | 2023-12-19 |
US20210178523A1 (en) | 2021-06-17 |
JP2024026286A (ja) | 2024-02-28 |
TW202137369A (zh) | 2021-10-01 |
CN112992725A (zh) | 2021-06-18 |
KR20210075025A (ko) | 2021-06-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101989324B1 (ko) | 포커스 링 및 이 포커스 링을 구비하는 기판 처리 장치 | |
JP2024026286A (ja) | 基板処理システム、及び消耗部品 | |
JP5719599B2 (ja) | 基板処理装置 | |
US10607845B1 (en) | Patterned atomic layer etching and deposition using miniature-column charged particle beam arrays | |
KR100724173B1 (ko) | 기판 처리 장치의 복구 처리 방법 및 기판 처리 장치 및프로그램을 기록한 기록매체 | |
US10921251B2 (en) | Chamber component part wear indicator and a system for detecting part wear | |
KR102219726B1 (ko) | 예측 시스템들에서 이득을 최적화하기 위한 방법 및 장치 | |
US20080237182A1 (en) | Substrate processing apparatus and substrate processing method | |
TWI756516B (zh) | 智慧型腔室及智慧型腔室元件 | |
KR20060108612A (ko) | 개선된 포커스 링을 위한 방법 및 장치 | |
TWI442500B (zh) | Processing vessel and plasma processing device | |
JP2001326270A (ja) | 基板保持装置、半導体製造装置および半導体デバイス製造方法 | |
US8141514B2 (en) | Plasma processing apparatus, plasma processing method, and storage medium | |
JP2009231614A (ja) | 電子ビーム描画装置および電子ビーム描画方法 | |
JP7241519B2 (ja) | 基板載置台、基板処理装置及び基板載置台の製造方法 | |
US11183374B2 (en) | Wastage determination method and plasma processing apparatus | |
JP2010515263A (ja) | プラズマを用いた基板処理方法および装置 | |
JP2009064726A (ja) | 基板検査装置及び基板検査方法並びに記憶媒体 | |
JP6156850B2 (ja) | プラズマ処理装置及びプラズマ処理装置の部材の交換判断方法 | |
US10937637B2 (en) | Determining susceptor service life in a plasma processing chamber | |
US20240128064A1 (en) | Component replacement method, component replacement device, and component replacement system | |
CN112017938A (zh) | 燕尾槽加工方法以及基板处理装置 | |
TW202233371A (zh) | 用於若發生處理轉移時使用調整的夾持電壓進行夾持操作的方法、系統及設備 | |
JP2023130163A (ja) | クリーニング方法、半導体装置の製造方法、プラズマ処理装置、及び外周リングセット | |
JP2010147335A (ja) | 残留液体除去方法、それを用いた露光装置及びデバイスの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220826 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230530 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230731 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20231107 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20231207 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7401284 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |