JP2006054467A - 基板のソルダーボールの形成方法及び基板 - Google Patents
基板のソルダーボールの形成方法及び基板 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006054467A JP2006054467A JP2005233760A JP2005233760A JP2006054467A JP 2006054467 A JP2006054467 A JP 2006054467A JP 2005233760 A JP2005233760 A JP 2005233760A JP 2005233760 A JP2005233760 A JP 2005233760A JP 2006054467 A JP2006054467 A JP 2006054467A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solder ball
- conductive pad
- forming
- substrate
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01019—Potassium [K]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01046—Palladium [Pd]
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
【解決手段】 基板の導電性パッドにエッチングを進めるが、導電性パッドの厚さの50%よりは大きく、100%よりは小さい深さで導電性パッドをエッチングし、エッチングが進められた導電性パッドにソルダーボールを形成することを特徴とする基板のソルダーボールの形成方法である。また、導電性パッドは、銅でありうる。
【選択図】 図4
Description
Cu酸化:Cu+H2O2→CuO+H2O
Cu溶解:CuO+2NaHSO4→CuSO4+Na2SO4+H2O
総反応:Cu+Na2S2O8→CuSO4+Na2SO4
102、202 絶縁層
106、206 導電性パッド
108、208 PSR
110 ソルダーボール
200 モジュール基板
Claims (25)
- 基板の導電性パッドにエッチングを進めるが、前記導電性パッドの厚さの50%より大きく、100%より小さい深さでエッチングを進め、
前記エッチングが進められた導電性パッドにソルダーボールを形成することを特徴とする基板のソルダーボールの形成方法。 - 前記エッチングを進める深さは、導電性パッドの厚さの60〜90%であることを特徴とする請求項1に記載の基板のソルダーボールの形成方法。
- 前記ソルダーボールは、鉛を含んでいない無鉛ソルダーボールであることを特徴とする請求項2に記載の基板のソルダーボールの形成方法。
- 前記ソルダーボールは、スズ、銅及び銀からなる導電物質群から選択された何れか一つを含むことを特徴とする請求項3に記載の基板のソルダーボールの形成方法。
- 前記ソルダーボールの形成前に前記エッチングが進められた導電性パッドに金、銀及び白金からなる導電物質のうちから選択された何れか一つを利用してインターフェース層を形成する工程をさらに進めることを特徴とする請求項2に記載の基板のソルダーボールの形成方法。
- 前記導電性パッドは、銅からなることを特徴とする請求項5に記載の基板のソルダーボールの形成方法。
- 前記インターフェース層を形成する工程は、
前記銅材質の導電性パッド上に金(Au)層を0.2μm以下の厚さでメッキする工程であることを特徴とする請求項6に記載の基板のソルダーボールの形成方法。 - 前記ソルダーボールを形成する工程後に、
前記基板の下部に前記ソルダーボールを覆うポリマー層を形成し、
前記ソルダーボールの一部が露出されるように前記ポリマー層の一部を除去する工程をさらに進めることを特徴とする請求項2に記載の基板のソルダーボールの形成方法。 - 前記露出されたソルダーボールの一部は、前記ソルダーボールの直径より小さいことを特徴とする請求項8に記載の基板のソルダーボールの形成方法。
- 前記ポリマー層の形成方法は、
スクリーンプリンティング方法、スピンコーティング方法、液体溶液に基板を浸漬する方法及び液状のポリマーをディスペンシングする方法のうちから選択された何れか一つであることを特徴とする請求項8に記載の基板のソルダーボールの形成方法。 - 前記ポリマー層は、感光性ポリマー層であることを特徴とする請求項8に記載の基板のソルダーボールの形成方法。
- 前記感光性ポリマー層は、ポリイミド及びポリベンズオキサゾールのうちから選択された一つであることを特徴とする請求項11に記載の基板のソルダーボールの形成方法。
- 前記導電性パッドのエッチング方法は、異方性エッチングであることを特徴とする請求項2に記載の基板のソルダーボールの形成方法。
- 前記導電性パッドのエッチング方法は、等方性エッチングであることを特徴とする請求項2に記載の基板のソルダーボールの形成方法。
- 前記導電性パッドのエッチング前に、
前記基板にフォトソルダーレジストを基板の全面に塗布し、導電性パッドを露出させ、前記露出された導電性パッドの一部にエッチングを進めることを特徴とする請求項2に記載の基板のソルダーボールの形成方法。 - 前記基板は、モジュール基板及び半導体パッケージ用の基板のうち何れか一つであることを特徴とする請求項2に記載の基板のソルダーボールの形成方法。
- 前記導電性パッドは、銅層及びニッケル層を含むことを特徴とする請求項2に記載の基板のソルダーボールの形成方法。
- 前記導電性パッドは、銅層のみ含むことを特徴とする請求項17に記載の基板のソルダーボールの形成方法。
- 第1層と前記第1層上に形成された第2層とを含む基板の導電性パッドを形成し、
前記導電性パッドの第2層の厚さよりは深く、前記導電性パッドの全体厚さよりは薄く、前記導電性パッドをエッチングすることを特徴とする基板のソルダーボールの形成方法。 - 前記導電性パッドは、銅を材質とすることを特徴とする請求項19に記載の基板のソルダーボールの形成方法。
- 前記導電性パッドの第2層は、電解メッキ及び無電解メッキ方式のうち一つの方式で形成されることを特徴とする請求項20に記載の基板のソルダーボールの形成方法。
- 前記第1層の形成方法は、無電解メッキ法で形成することを特徴とする請求項21に記載の基板のソルダーボールの形成方法。
- 前記第2層の形成方法は、電解メッキ方式で形成することを特徴とする請求項22に記載の基板のソルダーボールの形成方法。
- 基板上に形成され、全体厚さの50%以上100%以下でリセスされた部分を有する導電性パッドと、
前記導電性パッドのリセス部分に配置されたソルダーボールと、を備えることを特徴とする基板。 - 前記ソルダーボールは、前記導電性パッドの表面から前記ソルダーボールに拡散された金、銀、白金及びパラジウム原子からなる金属原子群のうちから選択された何れか一つを含むことを特徴とする請求項24に記載の基板。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR20040064118 | 2004-08-14 | ||
KR1020050051263A KR100618901B1 (ko) | 2004-08-14 | 2005-06-15 | 비선형적 충격 특성을 갖는 반도체 패키지 및 그 제조방법 |
US11/196,243 US7213329B2 (en) | 2004-08-14 | 2005-08-04 | Method of forming a solder ball on a board and the board |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006054467A true JP2006054467A (ja) | 2006-02-23 |
Family
ID=36031688
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005233760A Pending JP2006054467A (ja) | 2004-08-14 | 2005-08-11 | 基板のソルダーボールの形成方法及び基板 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006054467A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011086854A (ja) * | 2009-10-19 | 2011-04-28 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置 |
JP2013086077A (ja) * | 2011-10-21 | 2013-05-13 | Pureson Corp | 銅化合物の溶解方法及び水処理方法並びに水処理剤 |
WO2017122750A1 (ja) | 2016-01-15 | 2017-07-20 | 千住金属工業株式会社 | フラックス |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1032280A (ja) * | 1996-04-01 | 1998-02-03 | Anam Ind Co Inc | Bga半導体パッケージのソルダボールランドメタル構造 |
JPH11243157A (ja) * | 1998-02-26 | 1999-09-07 | Hitachi Chem Co Ltd | 半導体搭載用基板とその製造法 |
JPH11297873A (ja) * | 1998-04-13 | 1999-10-29 | Seiko Epson Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
-
2005
- 2005-08-11 JP JP2005233760A patent/JP2006054467A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1032280A (ja) * | 1996-04-01 | 1998-02-03 | Anam Ind Co Inc | Bga半導体パッケージのソルダボールランドメタル構造 |
JPH11243157A (ja) * | 1998-02-26 | 1999-09-07 | Hitachi Chem Co Ltd | 半導体搭載用基板とその製造法 |
JPH11297873A (ja) * | 1998-04-13 | 1999-10-29 | Seiko Epson Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011086854A (ja) * | 2009-10-19 | 2011-04-28 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置 |
JP2013086077A (ja) * | 2011-10-21 | 2013-05-13 | Pureson Corp | 銅化合物の溶解方法及び水処理方法並びに水処理剤 |
WO2017122750A1 (ja) | 2016-01-15 | 2017-07-20 | 千住金属工業株式会社 | フラックス |
KR20180096798A (ko) | 2016-01-15 | 2018-08-29 | 센주긴조쿠고교 가부시키가이샤 | 플럭스 |
US11571772B2 (en) | 2016-01-15 | 2023-02-07 | Senju Metal Industry Co., Ltd. | Flux |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7213329B2 (en) | Method of forming a solder ball on a board and the board | |
US8399779B2 (en) | Wiring board and method of manufacturing the same | |
KR101593280B1 (ko) | 코어리스 기판을 형성하기 위한 방법 | |
TWI437668B (zh) | 佈線板、半導體裝置、佈線板之製造方法及半導體裝置之製造方法 | |
JP5808403B2 (ja) | はんだ堆積物を基板上に形成する方法 | |
JP2008300507A (ja) | 配線基板とその製造方法 | |
JP2005175128A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
US8456003B2 (en) | Package substrate capable of controlling the degree of warpage | |
JP2017073520A (ja) | 配線基板、半導体装置及び配線基板の製造方法 | |
JP6075825B2 (ja) | パッド形成方法 | |
TW200404344A (en) | Connection terminals and manufacturing method of the same, semiconductor device and manufacturing method of the same | |
US20040045738A1 (en) | Audio coding and decoding | |
JP6181441B2 (ja) | パッド構造、実装構造、及び、製造方法 | |
JP2010062517A (ja) | ニッケル−金メッキ方法及び印刷回路基板 | |
JP2006054467A (ja) | 基板のソルダーボールの形成方法及び基板 | |
JP2001118872A (ja) | バンプの形成方法 | |
JP2002231871A (ja) | リードフレームの製造方法及びリードフレーム | |
JP3918803B2 (ja) | 半導体装置用基板及びその製造方法 | |
CN100553406C (zh) | 形成集成电路基片的方法 | |
JP2002270715A (ja) | 半導体装置の製造方法および半導体装置 | |
JP2001144398A (ja) | 配線基板および配線基板の製造方法 | |
JP6087061B2 (ja) | バンプ及びバンプ形成方法 | |
JP4157693B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP4730071B2 (ja) | 回路基板の製造方法 | |
JP4591098B2 (ja) | 半導体素子搭載用基板の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080723 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110531 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110607 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110907 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20120417 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |