JP2006024796A - 光照射装置、結晶化装置、結晶化方法、およびデバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 入射光束を位相変調する位相領域を有する光学変調素子(1)と、光学変調素子の位相領域(1a)を介して所定の偏光状態で入射する光束を2つの非干渉性の光束に分割するための光束分割素子(2E)と、光束分割素子を介した光束に基づいて所定の光強度分布を所定面に形成するための結像光学系と、光学変調素子の位相領域以外の特定領域(1b)を介して光束分割素子に入射する光束の偏光状態を、光束分割素子において実質的に分割されない偏光状態に設定するための偏光状態設定手段(7,8,9)とを備えている。
【選択図】 図7
Description
表面科学Vol.21, No.5, pp.278-287, 2000
前記光学変調素子の前記位相領域を介して所定の偏光状態で入射する光束を2つの非干渉性の光束に分割するための光束分割素子と、
前記光束分割素子を介した光束に基づいて所定の光強度分布を所定面に形成するための結像光学系と、
前記光学変調素子の前記位相領域以外の特定領域を介して前記光束分割素子に入射する光束の偏光状態を、前記光束分割素子において実質的に分割されない偏光状態に設定するための偏光状態設定手段とを備えていることを特徴とする光照射装置を提供する。
図1は、本発明の実施形態にかかる結晶化装置の基本構成を概略的に示す図である。また、図2は、図1の照明系の内部構成を概略的に示す図である。図1および図2を参照すると、本実施形態の結晶化装置は、入射光束から逆ピーク状の光強度分布を形成するための光学変調素子1と、入射光束を偏光状態の異なる非干渉性の2つの光束に分割するための光束分割素子2(本実施形態では複屈折素子2E)とを備えている。
d=tanφ×t (1)
ただし、tanφ=(no2−ne2)sinθ・cosθ/(ne2cos2θ+no2sin2θ)
sinθw=2(ne−no)tanθw{1−(ne−no)2・tan2θw/2+・・・}(2)
2 光束分割素子
2E 複屈折素子
3 照明系
3a KrFエキシマレーザ光源
3b ビームエキスパンダ
3c,3e フライアイレンズ
3d,3f コンデンサー光学系
4 結像光学系
4c 開口絞り
5 被処理基板
6 基板ステージ
7 直線偏光器
8 1/4波長板
9〜12 偏光素子
13 デポラライザ
14 1/2波長板
Claims (18)
- 入射光束を位相変調する位相領域を有する光学変調素子と、
前記光学変調素子の前記位相領域を介して所定の偏光状態で入射する光束を2つの非干渉性の光束に分割するための光束分割素子と、
前記光束分割素子を介した光束に基づいて所定の光強度分布を所定面に形成するための結像光学系と、
前記光学変調素子の前記位相領域以外の特定領域を介して前記光束分割素子に入射する光束の偏光状態を、前記光束分割素子において実質的に分割されない偏光状態に設定するための偏光状態設定手段とを備えていることを特徴とする光照射装置。 - 前記偏光状態設定手段は、入射するランダム偏光状態の光を円偏光状態の光に変換するための円偏光変換手段と、該円偏光変換手段と前記光学変調素子との間に配置された偏光素子とを有し、
前記偏光素子は、円偏光状態で入射した光を円偏光状態のまま前記位相領域へ導くための無変換領域と、円偏光状態で入射した光を直線偏光状態に変換して前記特定領域へ導くための変換領域とを有することを特徴とする請求項1に記載の光照射装置。 - 前記円偏光変換手段は、光の入射側から順に、直線偏光器と、1/4波長板とを有することを特徴とする請求項2に記載の光照射装置。
- 前記偏光状態設定手段は、入射するランダム偏光状態の光をランダム偏光状態のまま前記位相領域へ導き且つ入射するランダム偏光状態の光を直線偏光状態の光に変換して前記特定領域へ導くための偏光素子を有することを特徴とする請求項1に記載の光照射装置。
- 前記偏光状態設定手段は、入射するランダム偏光状態の光を直線偏光状態の光に変換するための直線偏光器と、該直線偏光器と前記光学変調素子との間に配置された偏光素子とを有し、
前記偏光素子は、直線偏光状態で入射した光を偏光方向の同じ直線偏光状態のまま前記位相領域へ導くための無変換領域と、直線偏光状態で入射した光を偏光方向の異なる別の直線偏光状態に変換して前記特定領域へ導くための変換領域とを有することを特徴とする請求項1に記載の光照射装置。 - 前記偏光状態設定手段は、入射するランダム偏光状態の光を直線偏光状態の光に変換するための直線偏光器と、該直線偏光器と前記光学変調素子との間に配置された偏光素子とを有し、
前記偏光素子は、直線偏光状態で入射した光を偏光方向の異なる別の直線偏光状態に変換して前記位相領域へ導くための変換領域と、直線偏光状態で入射した光を偏光方向の同じ直線偏光状態のまま前記特定領域へ導くための無変換領域とを有することを特徴とする請求項1に記載の光照射装置。 - 前記偏光状態設定手段は、入射するランダム偏光状態の光を直線偏光状態の光に変換するための直線偏光器と、該直線偏光器と前記光学変調素子との間に配置された偏光素子とを有し、
前記偏光素子は、直線偏光状態で入射した光を円偏光状態に変換して前記位相領域へ導くための変換領域と、直線偏光状態で入射した光を偏光方向の同じ直線偏光状態のまま前記特定領域へ導くための無変換領域とを有することを特徴とする請求項1に記載の光照射装置。 - 前記偏光状態設定手段は、入射する直線偏光状態の光を円偏光状態の光に変換するための1/4波長板と、該1/4波長板と前記光学変調素子との間に配置された偏光素子とを有し、
前記偏光素子は、円偏光状態で入射した光を円偏光状態のまま前記位相領域へ導くための無変換領域と、円偏光状態で入射した光を直線偏光状態に変換して前記特定領域へ導くための変換領域とを有することを特徴とする請求項1に記載の光照射装置。 - 前記偏光状態設定手段は、入射する直線偏光状態の光をランダム偏光状態の光に変換するためのデポラライザと、該デポラライザと前記光学変調素子との間に配置された偏光素子とを有し、
前記偏光素子は、ランダム偏光状態で入射した光をランダム偏光状態のまま前記位相領域へ導くための無変換領域と、ランダム偏光状態で入射した光を直線偏光状態に変換して前記特定領域へ導くための変換領域とを有することを特徴とする請求項1に記載の光照射装置。 - 前記偏光状態設定手段は、入射する直線偏光状態の光を偏光方向の異なる別の直線偏光状態の光に変換するための1/2波長板と、該1/2波長板と前記光学変調素子との間に配置された偏光素子とを有し、
前記偏光素子は、直線偏光状態で入射した光を偏光方向の同じ直線偏光状態のまま前記位相領域へ導くための無変換領域と、直線偏光状態で入射した光を偏光方向の異なる別の直線偏光状態に変換して前記特定領域へ導くための変換領域とを有することを特徴とする請求項1に記載の光照射装置。 - 前記偏光状態設定手段は、入射する直線偏光状態の光を偏光方向の異なる別の直線偏光状態の光に変換して前記位相領域へ導き且つ入射する直線偏光状態の光を偏光方向の同じ直線偏光状態のまま前記特定領域へ導くための偏光素子を有することを特徴とする請求項1に記載の光照射装置。
- 前記偏光状態設定手段は、入射する直線偏光状態の光を円偏光状態の光に変換して前記位相領域へ導き且つ入射する直線偏光状態の光を偏光方向の同じ直線偏光状態のまま前記特定領域へ導くための偏光素子を有することを特徴とする請求項1に記載の光照射装置。
- 前記光束分割素子は、前記光学変調素子と前記所定面との間に配置された複屈折素子を有することを特徴とする請求項1乃至12のいずれか1項に記載の光照射装置。
- 前記複屈折素子は、結晶光学軸が光軸に対して所定の角度をなすように設定された複屈折性の平行平面板を有することを特徴とする請求項13に記載の光照射装置。
- 前記複屈折素子は、結晶光学軸が光軸に対してそれぞれ所定の角度をなすように設定された複屈折性の一対の平行平面板からなるサバール板を有することを特徴とする請求項13に記載の光照射装置。
- 前記光束分割素子は、前記結像光学系の瞳面またはその近傍に配置された複屈折素子を有することを特徴とする請求項1乃至12のいずれか1項に記載の光照射装置。
- 請求項1乃至16のいずれか1項に記載の光照射装置の前記結像光学系の結像面に非単結晶半導体膜を有する被処理基板を設けるためのステージを備え、前記非単結晶半導体膜に前記所定の光強度分布を有する光を照射して結晶化半導体膜を生成することを特徴とする結晶化装置。
- 請求項1乃至16のいずれか1項に記載の光照射装置を用いて、前記所定面に非単結晶半導体膜を有する被処理基板を設け、前記非単結晶半導体膜に前記所定の光強度分布を有する光を照射して結晶化半導体膜を生成することを特徴とする結晶化方法。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007281444A (ja) * | 2006-03-17 | 2007-10-25 | Advanced Lcd Technologies Development Center Co Ltd | 結晶化方法、薄膜トランジスタの製造方法、薄膜トランジスタ、表示装置、半導体装置 |
JP2007311479A (ja) * | 2006-05-17 | 2007-11-29 | Ulvac Japan Ltd | レーザーアニール装置及びその方法 |
JP2016183957A (ja) * | 2015-02-16 | 2016-10-20 | ライトハウス フォトニクス,ピーティーイー.リミテッド. | コンパクトな分光計 |
JP2017158764A (ja) * | 2016-03-09 | 2017-09-14 | ソニー株式会社 | 画像処理装置、画像処理方法、及び記録媒体 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60113147A (ja) * | 1983-11-24 | 1985-06-19 | Kobe Steel Ltd | 渦流探傷におけるリフトオフ指示の消去、感度補正方法 |
JPS60113417A (ja) * | 1983-11-24 | 1985-06-19 | Nec Corp | ビ−ム形状成形器 |
JP2000306859A (ja) * | 1999-04-19 | 2000-11-02 | Sony Corp | 半導体薄膜の結晶化方法及びレーザ照射装置 |
JP2004031841A (ja) * | 2002-06-28 | 2004-01-29 | Advanced Lcd Technologies Development Center Co Ltd | 結晶化装置および結晶化方法 |
JP2004072103A (ja) * | 2002-07-24 | 2004-03-04 | Advanced Lcd Technologies Development Center Co Ltd | 結晶化装置、結晶化方法、薄膜トランジスタ及び表示装置 |
JP2005051208A (ja) * | 2003-07-16 | 2005-02-24 | Advanced Lcd Technologies Development Center Co Ltd | 薄膜半導体基板、薄膜半導体基板の製造方法、結晶化方法、結晶化装置、薄膜半導体装置、および薄膜半導体装置の製造方法 |
-
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60113147A (ja) * | 1983-11-24 | 1985-06-19 | Kobe Steel Ltd | 渦流探傷におけるリフトオフ指示の消去、感度補正方法 |
JPS60113417A (ja) * | 1983-11-24 | 1985-06-19 | Nec Corp | ビ−ム形状成形器 |
JP2000306859A (ja) * | 1999-04-19 | 2000-11-02 | Sony Corp | 半導体薄膜の結晶化方法及びレーザ照射装置 |
JP2004031841A (ja) * | 2002-06-28 | 2004-01-29 | Advanced Lcd Technologies Development Center Co Ltd | 結晶化装置および結晶化方法 |
JP2004072103A (ja) * | 2002-07-24 | 2004-03-04 | Advanced Lcd Technologies Development Center Co Ltd | 結晶化装置、結晶化方法、薄膜トランジスタ及び表示装置 |
JP2005051208A (ja) * | 2003-07-16 | 2005-02-24 | Advanced Lcd Technologies Development Center Co Ltd | 薄膜半導体基板、薄膜半導体基板の製造方法、結晶化方法、結晶化装置、薄膜半導体装置、および薄膜半導体装置の製造方法 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007281444A (ja) * | 2006-03-17 | 2007-10-25 | Advanced Lcd Technologies Development Center Co Ltd | 結晶化方法、薄膜トランジスタの製造方法、薄膜トランジスタ、表示装置、半導体装置 |
JP2007311479A (ja) * | 2006-05-17 | 2007-11-29 | Ulvac Japan Ltd | レーザーアニール装置及びその方法 |
JP2016183957A (ja) * | 2015-02-16 | 2016-10-20 | ライトハウス フォトニクス,ピーティーイー.リミテッド. | コンパクトな分光計 |
JP2017158764A (ja) * | 2016-03-09 | 2017-09-14 | ソニー株式会社 | 画像処理装置、画像処理方法、及び記録媒体 |
JP2021094421A (ja) * | 2016-03-09 | 2021-06-24 | ソニーグループ株式会社 | 画像処理装置、画像処理方法、及び記録媒体 |
US11642004B2 (en) | 2016-03-09 | 2023-05-09 | Sony Corporation | Image processing device, image processing method and recording medium |
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