JP4499578B2 - 光照射装置、結晶化装置、結晶化方法 - Google Patents
光照射装置、結晶化装置、結晶化方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4499578B2 JP4499578B2 JP2005013498A JP2005013498A JP4499578B2 JP 4499578 B2 JP4499578 B2 JP 4499578B2 JP 2005013498 A JP2005013498 A JP 2005013498A JP 2005013498 A JP2005013498 A JP 2005013498A JP 4499578 B2 JP4499578 B2 JP 4499578B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- light intensity
- optical modulation
- modulation element
- birefringent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Description
表面科学Vol.21, No.5, pp.278-287, 2000
この光学変調素子を介した光束を非干渉性の異なる2つの光束に分割するための光束分割素子と、
前記光学変調素子および/又は前記光束分割素子を介した光束に基づいて、互いに離間した2つの逆ピーク状の光強度分布の合成に対応する所定の光強度分布を所定面に形成するための結像光学系とを備えてなることを特徴とする光照射装置を提供する。
本発明の第2形態では、入射光束から逆ピーク状の光強度分布を形成するための光学変調素子と、
この光学変調素子を介した光束を非干渉性の異なる2つの光束に分割し、互いに離間した2つの逆ピーク状の光強度分布を得るための光束分割素子と、
この光束分割素子を介した光束に基づいて前記互いに離間した2つの逆ピーク状の光強度分布の合成に対応する所定の光強度分布を所定面に形成するための結像光学系とを備えてなることを特徴とする光照射装置を提供する。
本発明の第3形態では、入射光束から逆ピーク状の光強度分布を形成するための光学変調素子と、
この光学変調素子を介した光束を偏光状態の異なる2つの光束に分割するための光束分割素子と、
前記光学変調素子および/又は前記光束分割素子を介した光束に基づいて、互いに離間した2つの逆ピーク状の光強度分布の合成に対応する所定の光強度分布を所定面に形成するための結像光学系とを備えていることを特徴とする光照射装置を提供する。
本発明の第4形態では、入射光束から逆ピーク状の光強度分布を形成するための光学変調素子と、
この光学変調素子を介した光束を偏光状態の異なる2つの光束に分割し、互いに離間した2つの逆ピーク状の光強度分布を得るための光束分割素子と、
この光束分割素子を介した光束に基づいて、前記互いに離間した2つの逆ピーク状の光強度分布の合成に対応する所定の光強度分布を所定面に形成するための結像光学系とを備えていることを特徴とする光照射装置を提供する。
本発明の第8形態では、入射光束から逆ピーク状の光強度分布を形成するための光学変調手段と、
この光学変調手段を介した光束を非干渉性の異なる2つの光束に分割するための光束分割手段と、
この光束分割手段を介した光束に基づいて前記互いに離間した2つの逆ピーク状の光強度分布の合成に対応する所定の光強度分布を所定面に形成するための結像光学系とを備えてなることを特徴とする光照射装置を提供する。
本発明の第9形態では、入射光束から逆ピーク状の光強度分布を形成するための光学変調手段と、
この光学変調手段を介した光束を偏光状態の異なる2つの光束に分割するための光束分割手段と、
この光束分割手段の透過光路に設けられ前記偏光状態の異なる2つの光束を所定面に形成するための結像光学系とを備えていることを特徴とする光照射装置を提供する。
図1は、本発明の実施形態にかかる結晶化装置の構成を概略的に示す図である。また、図2は、図1の照明系の内部構成を概略的に示す図である。図1および図2を参照すると、本実施形態の結晶化装置は、入射光束から逆ピーク状の光強度分布を形成するための光学変調素子1と、非干渉性の異なる2つの光束に分割する手段例えば入射光束を偏光状態の異なる2つの光束に分割するための光束分割素子2(例えば複屈折素子2E)とを備えている。
d=tanφ×t (1)
ただし、tanφ=(no2−ne2)sinθ・cosθ/(ne2cos2θ+no2sin2θ)
sinθw=2(ne−no)tanθw{1−(ne−no)2・tan2θw/2+・・・}(2)
光束分割素子2としてウォラストンプリズム22を用いる場合、分離角θwを適宜設定することにより、上述の実施形態と同様の効果を得ることができる。なお、ウォラストンプリズムと同様に偏光方向により角度分離する素子としてローションプリズムやセナルモンプリズムがあり、これらも用いることができる。また、右回り偏光と左回り偏光に角度分離する素子としてフレネルの(多重)プリズムがあるが、これも用いることができる。なお、これらの素子やサバール板などは、これを通すことにより物体が二つに見えるため総称して複像子と呼ばれている。
2,20〜22 複屈折素子
3 照明系
3a KrFエキシマレーザ光源
3b ビームエキスパンダ
3c,3e フライアイレンズ
3d,3f コンデンサー光学系
4 結像光学系
4c 開口絞り
5 被処理基板
6 基板ステージ
7 制御素子(1/2波長板)
Claims (21)
- レーザ光源と、
入射光束から逆ピーク状の光強度分布を形成するための光学変調素子と、
前記光学変調素子と所定面とを光学的に共役に配置する結像光学系と、
前記所定面に非単結晶半導体膜を有する被処理基板を設けるための支持台と、
前記光学変調素子と前記所定面との間の光路中に配置されて、入射光束を非干渉性の異なる2つの光束に分割するための複屈折素子とを備え、
互いに離間した2つの逆ピーク状の光強度分布の合成に対応する所定の光強度分布を前記所定面に形成することを特徴とする光照射装置。 - レーザ光源と、
入射光束から逆ピーク状の光強度分布を形成するための光学変調素子と、
前記光学変調素子と所定面とを光学的に共役に配置する結像光学系と、
前記所定面に非単結晶半導体膜を有する被処理基板を設けるための支持台と、
前記光学変調素子と前記所定面との間の光路中に配置されて、入射光束を偏光状態の異なる2つの光束に分割するための複屈折素子とを備え、
互いに離間した2つの逆ピーク状の光強度分布の合成に対応する所定の光強度分布を前記所定面に形成することを特徴とする光照射装置。 - 前記複屈折素子は、前記光学変調素子と前記結像光学系との間または前記結像光学系と前記所定面との間に配置されていることを特徴とする請求項1または2に記載の光照射装置。
- 前記複屈折素子は、結晶光学軸が光軸に対して所定の角度をなすように設定された複屈折性の平行平面板を有することを特徴とする請求項3に記載の光照射装置。
- 前記複屈折素子は、結晶光学軸が光軸に対してそれぞれ所定の角度をなすように設定された複屈折性の一対の平行平面板からなるサバール板を有することを特徴とする請求項3に記載の光照射装置。
- 前記複屈折素子は、結晶光学軸が光軸に対してそれぞれ所定の角度をなすように設定された複屈折性の一対の平行平面板と、該一対の平行平面板の間に設けられた1/2波長板とを有することを特徴とする請求項3に記載の光照射装置。
- 前記複屈折素子は、前記光学変調素子と一体化されたものであることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の光照射装置。
- 前記複屈折素子は、前記結像光学系の瞳面またはその近傍に配置されていることを特徴とする請求項1または2に記載の光照射装置。
- 前記複屈折素子は、結晶光学軸が光軸に対してそれぞれ垂直をなすように設定された複屈折性の一対の偏光プリズムからなるウォラストンプリズムを有することを特徴とする請求項8に記載の光照射装置。
- 前記光学変調素子は、180度の位相差を有することを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の光照射装置。
- 前記光学変調素子は、所定周期にしたがって配置された180度の位相差線を含むパターンを有し、
前記互いに離間した2つの逆ピーク状の光強度分布の距離は、前記位相差線のピッチの半分の奇数倍に対応していることを特徴とする請求項10に記載の光照射装置。 - 前記光学変調素子は、180度の位相差線が1点において3つ以上交わるようなパターンを有し、
前記非干渉性の異なる2つの光束間の前記所定面における距離は、前記位相差線の交点のピッチの半分の奇数倍に対応していることを特徴とする請求項11に記載の光照射装置。 - 前記光学変調素子は、3種類以上の位相差領域が1点において接するようなパターンを有し、
前記非干渉性の異なる2つの光束間の前記所定面における距離は、前記位相差領域の接点のピッチの半分の奇数倍に対応していることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の光照射装置。 - 前記複屈折素子により分割された2つの光束の強度が互いにほぼ等しくなるように、前記複屈折素子への入射光束の偏光状態を制御するための制御素子をさらに備えていることを特徴とする請求項1乃至13のいずれか1項に記載の光照射装置。
- 前記制御素子は、前記複屈折素子の入射側に配置された1/4波長板を有することを特徴とする請求項14に記載の光照射装置。
- 前記光学変調素子は、入射光束に基づいて光強度勾配分布を形成するパターンをさらに有することを特徴とする請求項1乃至15のいずれか1項に記載の光照射装置。
- 前記複屈折素子による光束の分割方向は、前記光強度勾配分布の勾配方向とほぼ直交していることを特徴とする請求項16に記載の光照射装置。
- 前記複屈折素子による光束の分割は、光強度が均等な2分割であることを特徴とする請求項1乃至17のいずれか1項に記載の光照射装置。
- 前記複屈折素子は、水晶、方解石、またはフッ化マグネシウムにより形成されていることを特徴とする請求項1乃至18のいずれか1項に記載の光照射装置。
- 請求項1乃至19のいずれか1項に記載の光照射装置の前記結像光学系の結像面に非単結晶半導体膜を有する被処理基板を設け、前記非単結晶半導体膜に前記所定の光強度分布の最小光強度が非単結晶半導体膜の融点近傍となるようにレーザ光を照射して前記非単結晶半導体膜の照射面を溶融させ、この溶融領域を結晶化半導体膜に生成することを特徴とする結晶化装置。
- 請求項1乃至19のいずれか1項に記載の光照射装置を用いて、前記所定面に非単結晶半導体膜を有する被処理基板を設け、
前記非単結晶半導体膜に前記所定の光強度分布の最小光強度が非単結晶半導体膜の融点近傍となるようにレーザ光を照射して前記非単結晶半導体膜の照射面を溶融させ、この溶融領域を結晶化半導体膜に生成することを特徴とする結晶化方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005013498A JP4499578B2 (ja) | 2004-01-27 | 2005-01-21 | 光照射装置、結晶化装置、結晶化方法 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004017945 | 2004-01-27 | ||
JP2005013498A JP4499578B2 (ja) | 2004-01-27 | 2005-01-21 | 光照射装置、結晶化装置、結晶化方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005244194A JP2005244194A (ja) | 2005-09-08 |
JP4499578B2 true JP4499578B2 (ja) | 2010-07-07 |
Family
ID=35025553
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005013498A Expired - Fee Related JP4499578B2 (ja) | 2004-01-27 | 2005-01-21 | 光照射装置、結晶化装置、結晶化方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4499578B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5235073B2 (ja) * | 2007-03-05 | 2013-07-10 | 株式会社アルバック | レーザーアニール装置及びレーザーアニール方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000306859A (ja) * | 1999-04-19 | 2000-11-02 | Sony Corp | 半導体薄膜の結晶化方法及びレーザ照射装置 |
WO2004008511A1 (ja) * | 2002-07-11 | 2004-01-22 | Advanced Lcd Technologies Development Center Co., Ltd. | 結晶化装置および結晶化方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60113147A (ja) * | 1983-11-24 | 1985-06-19 | Kobe Steel Ltd | 渦流探傷におけるリフトオフ指示の消去、感度補正方法 |
-
2005
- 2005-01-21 JP JP2005013498A patent/JP4499578B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000306859A (ja) * | 1999-04-19 | 2000-11-02 | Sony Corp | 半導体薄膜の結晶化方法及びレーザ照射装置 |
WO2004008511A1 (ja) * | 2002-07-11 | 2004-01-22 | Advanced Lcd Technologies Development Center Co., Ltd. | 結晶化装置および結晶化方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005244194A (ja) | 2005-09-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100922638B1 (ko) | 광 조사장치, 결정화 장치 및 광학변조소자 어셈블리 | |
US7803520B2 (en) | Crystallization apparatus, crystallization method, device and phase modulation element | |
JP4278940B2 (ja) | 結晶化装置および結晶化方法 | |
KR20040002803A (ko) | 결정화 장치, 결정화 장치에 사용되는 광학부재, 결정화방법, 박막 트랜지스터의 제조 방법 및 표시 장치의매트릭스 회로 기판의 제조 방법 | |
KR20040002802A (ko) | 결정화 장치, 결정화 장치에 사용되는 광학부재, 결정화방법,박막트랜지스터 및 디스플레이 | |
KR20060045044A (ko) | 결정화장치, 결정화방법, 디바이스, 광변조소자, 및표시장치 | |
KR20060047347A (ko) | 결정화장치 | |
KR20060050246A (ko) | 광조사장치, 결정화장치, 결정화방법, 및 디바이스 | |
JP2004111800A (ja) | 結晶化装置および結晶化方法 | |
JP4499578B2 (ja) | 光照射装置、結晶化装置、結晶化方法 | |
JP4657774B2 (ja) | 光照射装置、結晶化装置、結晶化方法、半導体デバイス、及び光変調素子 | |
JP4567474B2 (ja) | 光照射装置、結晶化装置、および結晶化方法 | |
JP2005317938A (ja) | 結晶化装置、結晶化方法、デバイス、光変調素子、及び表示装置 | |
JP4492946B2 (ja) | 光照射装置、結晶化装置、結晶化方法 | |
KR20040084787A (ko) | 반도체막의 결정화 방법 및 장치 | |
JP2003318127A (ja) | 結晶化半導体膜の製造装置および製造方法ならびに位相シフトマスク | |
JP4711166B2 (ja) | 結晶化装置、および結晶化方法 | |
US20080254645A1 (en) | Light irradiation apparatus, crystallization apparatus, crystallization method, and device | |
JP2008103692A (ja) | 光照射装置、結晶化装置、結晶化方法、およびデバイス | |
JP2009094121A (ja) | 光照射装置、結晶化装置、結晶化方法、およびデバイス | |
JP2005032847A (ja) | 結晶化装置、結晶化方法およびデバイス | |
JP2009094329A (ja) | 結晶化装置、結晶化方法、およびデバイス | |
JP2005216893A (ja) | 光照射装置、結晶化装置、結晶化方法、デバイス、および光学変調素子 | |
JP2004186449A (ja) | 結晶化装置および結晶化方法 | |
KR20070089072A (ko) | 광조사장치, 광조사방법, 결정화장치, 결정화방법, 반도체디바이스, 및 광변조소자 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070808 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090331 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100128 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100323 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100412 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100415 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130423 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4499578 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130423 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130423 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140423 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |