JPS60113147A - 渦流探傷におけるリフトオフ指示の消去、感度補正方法 - Google Patents
渦流探傷におけるリフトオフ指示の消去、感度補正方法Info
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- JPS60113147A JPS60113147A JP22188083A JP22188083A JPS60113147A JP S60113147 A JPS60113147 A JP S60113147A JP 22188083 A JP22188083 A JP 22188083A JP 22188083 A JP22188083 A JP 22188083A JP S60113147 A JPS60113147 A JP S60113147A
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/72—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables
- G01N27/82—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws
- G01N27/90—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws using eddy currents
- G01N27/9046—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws using eddy currents by analysing electrical signals
- G01N27/9053—Compensating for probe to workpiece spacing
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、渦流探傷におけるリフトオフ指示の消去、感
度補正方法に関するものである。
度補正方法に関するものである。
今日、各種金属材料の表面ないし表面近傍に存在する欠
陥を非破壊的に検出する方法として、渦流探傷法（以下
ＥＣＴと称する）が多用されている。このＥＣＴの基本
原理は、「交流電流（同波数１００Ｈｚ〜数ＭＨｚ）を
流したコイルを金属材料に近接させることにより、金属
材料に誘導電流（渦電流）を生成し、欠陥が存在する場
合に生ずる誘導電流の乱れをコイルのインピーダンス変
化（又は誘導電圧の変化）を検知することにより欠陥を
知る」とい９ものである。
陥を非破壊的に検出する方法として、渦流探傷法（以下
ＥＣＴと称する）が多用されている。このＥＣＴの基本
原理は、「交流電流（同波数１００Ｈｚ〜数ＭＨｚ）を
流したコイルを金属材料に近接させることにより、金属
材料に誘導電流（渦電流）を生成し、欠陥が存在する場
合に生ずる誘導電流の乱れをコイルのインピーダンス変
化（又は誘導電圧の変化）を検知することにより欠陥を
知る」とい９ものである。
ところで、コイルのインピーダンス変化△Ｚは、上述の
欠陥の存在のみならず、金属材料の材質（導電率、透磁
率）の変化、コイル温度、金属材料とコイルとの距離等
、種々の因子の影響を受ける。
欠陥の存在のみならず、金属材料の材質（導電率、透磁
率）の変化、コイル温度、金属材料とコイルとの距離等
、種々の因子の影響を受ける。
従って、欠陥を検出する場合に鉱、種々の因子がノイズ
として混入することになる。コイルのインピーダンス変
化をインピーダンス平面（横軸・・・実抵抗、縦軸・・
・リアクタンス）の上で考察すると、上述の種々の因子
による寄与は、大々固有の向き（位相）を持つ。この位
相に基づいてＥＣＴの信号全要因解析する方法が位相解
析であり、ＥＣＴの高精度化を目指す上で近年、多用さ
れている方法である。
として混入することになる。コイルのインピーダンス変
化をインピーダンス平面（横軸・・・実抵抗、縦軸・・
・リアクタンス）の上で考察すると、上述の種々の因子
による寄与は、大々固有の向き（位相）を持つ。この位
相に基づいてＥＣＴの信号全要因解析する方法が位相解
析であり、ＥＣＴの高精度化を目指す上で近年、多用さ
れている方法である。
特に、コイルのインピーダンス変化の位相は、ＷＩＪ１
図に示すよりに欠陥深さによっても異なる。
図に示すよりに欠陥深さによっても異なる。
これは、被検材に誘導される電流の位相ダ（ラジアン）
が グ（χｌ＝、 ■ ここで、χは被検材表面ｋｏとした深さ方向の距離（厘
） δは浸透深さく酊） で表わされるように、深さによって遅れるため生じるも
のである。以上のことから、ＥＣＴの信号の位相を正確
に検出できれば、ノイズ要因のみならず、第２上人及び
（Ｂｌに示す如く欠陥の深さく欠陥の有害度と密接な関
係をもつ重要なパラメータ〕の検知が可能となる。即ち
、Ｗ１２図囚上程々の深さのスリット状欠陥（１ａＸ１
ｂＸｌｃ） ｔ”持つ被検材（２）を示し、これを渦流
探傷法で探傷した際の探傷出力のＸ−Ｙパターンを同図
（Ｂｌに示す。
が グ（χｌ＝、 ■ ここで、χは被検材表面ｋｏとした深さ方向の距離（厘
） δは浸透深さく酊） で表わされるように、深さによって遅れるため生じるも
のである。以上のことから、ＥＣＴの信号の位相を正確
に検出できれば、ノイズ要因のみならず、第２上人及び
（Ｂｌに示す如く欠陥の深さく欠陥の有害度と密接な関
係をもつ重要なパラメータ〕の検知が可能となる。即ち
、Ｗ１２図囚上程々の深さのスリット状欠陥（１ａＸ１
ｂＸｌｃ） ｔ”持つ被検材（２）を示し、これを渦流
探傷法で探傷した際の探傷出力のＸ−Ｙパターンを同図
（Ｂｌに示す。
ところで、ＥＣＴの信号に影響を及ぼす各種のノイズ要
因の中で、被検材とコイルとの距離（ＪＪ下、リフトオ
フと称する）は、コイルの走行時、或いは被検材の走行
時に生ずる振動や揺動により生ずる場合と、被検材表面
自体が平坦でなく、凹凸のあるときに生ずる場合とがあ
るが、ＥＣＴを実施する際には常につきまとう因子であ
る。なお、被検材とコイルとの距離は、グローブコイル
法ではリフトオフと呼ばれ、貫通コイル法、内挿コイル
法ではガタやクオプリングと称されているが、これらを
便宜上リフトオフと総称する。
因の中で、被検材とコイルとの距離（ＪＪ下、リフトオ
フと称する）は、コイルの走行時、或いは被検材の走行
時に生ずる振動や揺動により生ずる場合と、被検材表面
自体が平坦でなく、凹凸のあるときに生ずる場合とがあ
るが、ＥＣＴを実施する際には常につきまとう因子であ
る。なお、被検材とコイルとの距離は、グローブコイル
法ではリフトオフと呼ばれ、貫通コイル法、内挿コイル
法ではガタやクオプリングと称されているが、これらを
便宜上リフトオフと総称する。
探傷中に、このり７トオフが変動すると、欠陥によるコ
イルのインピーダンス変化の感度が変動するのみならず
、リフトオフ−変動によるコイルのインピーダンス変化
が欠陥によるコイルのインピーダンスＶＣ重畳し、第６
図に示す如く欠陥によるインピーダンス変化の位相が不
明となってし貞う。
イルのインピーダンス変化の感度が変動するのみならず
、リフトオフ−変動によるコイルのインピーダンス変化
が欠陥によるコイルのインピーダンスＶＣ重畳し、第６
図に示す如く欠陥によるインピーダンス変化の位相が不
明となってし貞う。
その結果、位相解析によるノイズ因子の分離や欠陥の深
さの判別も困難になる。
さの判別も困難になる。
そこで、従来技術ではコイルのインピーダンス変化を平
衡器により検出した後、第４図の如くす７トオ７変化に
よる指示が抑圧される方向（位相）で同期検波を行ない
、リフトオフ指示し欠陥の指示とを分離している。しか
し、このような検波方法を採用することによって、リフ
トオフ変動による雑音指示は抑圧可能であるが、もはや
得られる情報は１種（第６図の場合にはＹ方向の情報の
み〕になってしまい、位相解析は不可能となっている。
衡器により検出した後、第４図の如くす７トオ７変化に
よる指示が抑圧される方向（位相）で同期検波を行ない
、リフトオフ指示し欠陥の指示とを分離している。しか
し、このような検波方法を採用することによって、リフ
トオフ変動による雑音指示は抑圧可能であるが、もはや
得られる情報は１種（第６図の場合にはＹ方向の情報の
み〕になってしまい、位相解析は不可能となっている。
このように従来の技術では、コイル走行ないし被検材走
行状態か悪くリフトオフ変動の激しい場合や、被検材の
表面状態が悪く凹凸の多い場合には、位相解析を用いた
高精度の渦流探傷は不可能となっている。
行状態か悪くリフトオフ変動の激しい場合や、被検材の
表面状態が悪く凹凸の多い場合には、位相解析を用いた
高精度の渦流探傷は不可能となっている。
本発明は、このような従来の問題点に鑑み、ＥＣＴにお
ける位相解析ケ起伏の多い金属材料表面に適用するため
に、起伏によって生ずるＩＪラフト７変動の影響を補正
することを目的として提供されたものであって、その特
徴とする処は、平板状の金属材料を渦流探傷法により検
査するに際し、材料表面の起伏やプローブコイルの振動
によって生ずるリフトオフの変動に起因する雑音指示の
欠陥指示への重畳及び／又は欠陥指示の感度変イしを、
２種の試験同波数で同時に渦流探傷して得られる２種の
位相検波出力を線形結合することによって消去及び／又
は補正する点にある。
ける位相解析ケ起伏の多い金属材料表面に適用するため
に、起伏によって生ずるＩＪラフト７変動の影響を補正
することを目的として提供されたものであって、その特
徴とする処は、平板状の金属材料を渦流探傷法により検
査するに際し、材料表面の起伏やプローブコイルの振動
によって生ずるリフトオフの変動に起因する雑音指示の
欠陥指示への重畳及び／又は欠陥指示の感度変イしを、
２種の試験同波数で同時に渦流探傷して得られる２種の
位相検波出力を線形結合することによって消去及び／又
は補正する点にある。
以下、本発明のす７トオフ指示の消去、感度補正方法に
ついて詳１ｍＶＣ説明する。
ついて詳１ｍＶＣ説明する。
本発明においては、金属材料の材料表面の起伏等によっ
て生ずるり７トオフ変動による雑音指示と、割れ等の欠
陥の存在による欠陥指示とについての次の２点の性質に
基づいて、リフトオフ指示の消去を行なっている。
て生ずるり７トオフ変動による雑音指示と、割れ等の欠
陥の存在による欠陥指示とについての次の２点の性質に
基づいて、リフトオフ指示の消去を行なっている。
レ リフトオフ指示と欠陥等の指示とは全指示の中に加
算的に合成されている。
算的に合成されている。
１１）リフトオフ指示と欠陥等の指示とは試験同波数に
対する依存性が異なる。
対する依存性が異なる。
上記性質１）に基づくと、２種の試験同波数の内、低い
方の同波数（以下へという）ＶＣおいて得られる渦流探
傷の位相検波出力Ｑノ１）、ＱＹ（Ｌ）は、Ｑ（Ｌｌ
＝ ＤＸ（Ｌｌ＋ＬＸ（Ｌ） ■ＱＹ（Ｌ）＝ＤＹ（Ｌ
） ■ ここで、Ｄ、ＦＪ、、 、ｆＬ における欠陥等の指示
のＸ成分Ｄ４ｒａ・・ｆＬ における欠陥等の指示のＹ
成分り茫１．・・、ｆＬ におけるり７トオ７指示のＸ
成分 ただし、す７トオ７指示はＸ軸方向に振るように予め位
相の調整を行なっているので、ＱＹＶｃはｆＬにおける
り７ト指示のＹ成分Ｌ！−Ｌ）は現われない同様に高い
方の周波数／ＨＶＣ対しても、渦流探傷の位相検波出力
ＱＪｕ１． ＱＰｌは、ＱノＨＬ Ｄ！Ｈ１＋ Ｌノ句
■ Ｑ、＄ｂＬ Ｄ、ＪＨＩ ■ ここで、Ｄ、（ｍｌ・・・ｆＨＩＣおける欠陥等の指示
のＸ成分 り、Ｊｌ、、 ｊＨにおける欠陥等の指示のＹＫ分Ｌ）
Ｈ）・・・ｆＬ における欠陥等の指示のＸ成分だだし
、す７トオ７指示は、Ｘ軸方向に振るように予め位相の
調！Ｉを行なっているので、ＱＩＨｌＶｃは、／ＨＶＣ
おけるす７トオ７指示のＹＪｉ分り一鉱現われない〇 上記性質１１）に関し、例えば５ＵＳ３（１４の板材に
放電加工によりスリット状の人工欠陥を付したテストピ
ースについて、Ｄ）Ｈ）とＤＸ（Ｌ）の関係及びＬＸ（
Ｈ）とＬ戸の関係を測定したデークｔｌ−第５図及び処
６図に示す。ただし、ここではグローブコイルの直径は
２２ｍ、／ ＩＤ０ＫＨｚ、／Ｌ＝１０ＫＨｚである。
方の同波数（以下へという）ＶＣおいて得られる渦流探
傷の位相検波出力Ｑノ１）、ＱＹ（Ｌ）は、Ｑ（Ｌｌ
＝ ＤＸ（Ｌｌ＋ＬＸ（Ｌ） ■ＱＹ（Ｌ）＝ＤＹ（Ｌ
） ■ ここで、Ｄ、ＦＪ、、 、ｆＬ における欠陥等の指示
のＸ成分Ｄ４ｒａ・・ｆＬ における欠陥等の指示のＹ
成分り茫１．・・、ｆＬ におけるり７トオ７指示のＸ
成分 ただし、す７トオ７指示はＸ軸方向に振るように予め位
相の調整を行なっているので、ＱＹＶｃはｆＬにおける
り７ト指示のＹ成分Ｌ！−Ｌ）は現われない同様に高い
方の周波数／ＨＶＣ対しても、渦流探傷の位相検波出力
ＱＪｕ１． ＱＰｌは、ＱノＨＬ Ｄ！Ｈ１＋ Ｌノ句
■ Ｑ、＄ｂＬ Ｄ、ＪＨＩ ■ ここで、Ｄ、（ｍｌ・・・ｆＨＩＣおける欠陥等の指示
のＸ成分 り、Ｊｌ、、 ｊＨにおける欠陥等の指示のＹＫ分Ｌ）
Ｈ）・・・ｆＬ における欠陥等の指示のＸ成分だだし
、す７トオ７指示は、Ｘ軸方向に振るように予め位相の
調！Ｉを行なっているので、ＱＩＨｌＶｃは、／ＨＶＣ
おけるす７トオ７指示のＹＪｉ分り一鉱現われない〇 上記性質１１）に関し、例えば５ＵＳ３（１４の板材に
放電加工によりスリット状の人工欠陥を付したテストピ
ースについて、Ｄ）Ｈ）とＤＸ（Ｌ）の関係及びＬＸ（
Ｈ）とＬ戸の関係を測定したデークｔｌ−第５図及び処
６図に示す。ただし、ここではグローブコイルの直径は
２２ｍ、／ ＩＤ０ＫＨｚ、／Ｌ＝１０ＫＨｚである。
−
このデータに代表されるように、適当な同波数。 の対
を選択すれば近似的に定数α、βを用いてα ÷ β
■ とすることができる。式■■を式■に代入すると、Ｑノ
旬＝αＤ嘔＋βＬ騙〕 Ｃノ・ となる。そこで■×β−〇により ｔｔ ＱＪ”ンーｑ、！ｈン＝（／１−ＣＬ）ＤＪ”
（１）となり、式［Ｆ］ノによってα＋βであるからが
得られる。更に式Ｏｒ式■に代入してが得らｎる。
を選択すれば近似的に定数α、βを用いてα ÷ β
■ とすることができる。式■■を式■に代入すると、Ｑノ
旬＝αＤ嘔＋βＬ騙〕 Ｃノ・ となる。そこで■×β−〇により ｔｔ ＱＪ”ンーｑ、！ｈン＝（／１−ＣＬ）ＤＪ”
（１）となり、式［Ｆ］ノによってα＋βであるからが
得られる。更に式Ｏｒ式■に代入してが得らｎる。
となり、す７トオ７指示は消去され、欠陥単独の一指示
（Ｄ騙）、Ｄ（Ｌ＋、及びＣＤ、）”）、 ＤＰ’）が
渦流探傷出力り、Ｊｒ、ｌ或−はＤＪＨＩ Ｄ、５ｕｌ
ヶ用い−ＵＸ−Ｙ／、ツーツケ示せば、す７トオ７指示
の重畳しない場合の欠陥の指示バクーンが得られ、位相
の情報も復元ｇｎる。
（Ｄ騙）、Ｄ（Ｌ＋、及びＣＤ、）”）、 ＤＰ’）が
渦流探傷出力り、Ｊｒ、ｌ或−はＤＪＨＩ Ｄ、５ｕｌ
ヶ用い−ＵＸ−Ｙ／、ツーツケ示せば、す７トオ７指示
の重畳しない場合の欠陥の指示バクーンが得られ、位相
の情報も復元ｇｎる。
次に、上の導出の過程で式■×α−■によシαＱｌ”−
Ｑノ刊＝（α−β）ＬｆＬ）が得られ、更に式０を式の
に代入し が得られる。
Ｑノ刊＝（α−β）ＬｆＬ）が得られ、更に式０を式の
に代入し が得られる。
す７トオ７指示量ＬノＬ）或いＦｉＬ、（”）と実際の
り７トオ７量！との関係は、第７図（Ａ） （Ｂ）に示
すような関係が既知ゆえ、式＠＠でめたＬｎＬｌ 、
Ｌ４”Ｊを用いてり７トオ７ｆｉＡ’に推定することが
できる。す７トオ７量！としては、Ｌ、Ｊｈｌ、用いて
氷めたものと、Ｌ、＜ｍ、用いてめたものとの２種が得
られるが、一般にり、（Ｈｌからの方が確度は高く、そ
ｔｌ、紮採用するのが望ましい。実際のり７トオ７量！
が宸まると、＠８図（Ａｌ（親に示すｌとり、ｆＬ）、
Ｄノ町の関係を用いて感度補正を行なりことが可能とな
る。
り７トオ７量！との関係は、第７図（Ａ） （Ｂ）に示
すような関係が既知ゆえ、式＠＠でめたＬｎＬｌ 、
Ｌ４”Ｊを用いてり７トオ７ｆｉＡ’に推定することが
できる。す７トオ７量！としては、Ｌ、Ｊｈｌ、用いて
氷めたものと、Ｌ、＜ｍ、用いてめたものとの２種が得
られるが、一般にり、（Ｈｌからの方が確度は高く、そ
ｔｌ、紮採用するのが望ましい。実際のり７トオ７量！
が宸まると、＠８図（Ａｌ（親に示すｌとり、ｆＬ）、
Ｄノ町の関係を用いて感度補正を行なりことが可能とな
る。
第９図は本発明方法を実施するための装＠を示し、（３
１は１０−プで、高低２種の試験同波数に対応して２種
のドライブコイル＋４１［５１と１種のサーチコイル１
Ｂ＋ １７３とを大々有し、そのサーチコイル＋８１
＋７１にプリアンプ＋８１ ＋９１が接続される。（１
０）はドライブ装置で、ドライブコイル（４）ｆｆｉｌ
ｋ ２種の試験周波数で駆動する２組の発振器（ＩＩ
） ｔｌりを有する。α尋はし〉が装置で、各サーチコ
イル＋８＋ ［９）から送られる２目波混合誘導電圧の
フィルタリング、差動増幅、自動平衡、同調増幅、位相
検波を行ない各チャンネル毎Ｇ’ＣＱ、Ｆ？ ｃｉＹｉ
ｌｌ、 ｑｘ！”、 ｑｙＦを出力するようにバンドパ
スフィルター（１４１１１１５１、差動増幅器（１６１
ｕ′Ｑ、自動平衡器（Ｉ８１川、周波増幅器−ンＢ１位
相検波器曽■）、ローテーク（２４１（２５１１ＤＣ増
幅器＠回等から構成されている。銘は信号処理装置で、
レシーバ装置（１譜にて位相検波されたＱＸ昌ＱＹと１
、ＱＸ、［Ｌｌ、ＱＹ針１を入力してＡ／Ｄ変換した後
、２同波演算によるり７トス７消去、及び振幅−位相面
での位相解析による欠陥の性状判定を行なう。
１は１０−プで、高低２種の試験同波数に対応して２種
のドライブコイル＋４１［５１と１種のサーチコイル１
Ｂ＋ １７３とを大々有し、そのサーチコイル＋８１
＋７１にプリアンプ＋８１ ＋９１が接続される。（１
０）はドライブ装置で、ドライブコイル（４）ｆｆｉｌ
ｋ ２種の試験周波数で駆動する２組の発振器（ＩＩ
） ｔｌりを有する。α尋はし〉が装置で、各サーチコ
イル＋８＋ ［９）から送られる２目波混合誘導電圧の
フィルタリング、差動増幅、自動平衡、同調増幅、位相
検波を行ない各チャンネル毎Ｇ’ＣＱ、Ｆ？ ｃｉＹｉ
ｌｌ、 ｑｘ！”、 ｑｙＦを出力するようにバンドパ
スフィルター（１４１１１１５１、差動増幅器（１６１
ｕ′Ｑ、自動平衡器（Ｉ８１川、周波増幅器−ンＢ１位
相検波器曽■）、ローテーク（２４１（２５１１ＤＣ増
幅器＠回等から構成されている。銘は信号処理装置で、
レシーバ装置（１譜にて位相検波されたＱＸ昌ＱＹと１
、ＱＸ、［Ｌｌ、ＱＹ針１を入力してＡ／Ｄ変換した後
、２同波演算によるり７トス７消去、及び振幅−位相面
での位相解析による欠陥の性状判定を行なう。
次に本発明方法を連鋳スラブの熱間渦流探傷に適用した
場合の例を示す。
場合の例を示す。
対象材・・・ 連鋳スラブ
表面温度・・・ ８５０℃
グローブコイル径・・・３０ａ＋
試験同波数・・・／Ｌ−１ｏｉｃ Ｈｚ ’ 、ｆＨＨ
Ｉ３ｕ ＯＫＨｚ定 数・・・ α＝１．２６ ： β
−１６８２〔結 果〕 連鋳スラブの表面には様々の起伏があり、第１０上回に
見られるようにす７トオ７の変動に対応して、水平方向
に大きな指示が重畳しておシ、欠陥指示の位相は不明の
状態となっている。このデータを本発明によるリフトオ
フ指示消去法によって消去した結果が＠１０図（Ｂｌで
あり、第１１図に示すリフトオフ変動がない平坦な材面
上での欠陥指示と同様な位相が復元されていることがわ
かる。
Ｉ３ｕ ＯＫＨｚ定 数・・・ α＝１．２６ ： β
−１６８２〔結 果〕 連鋳スラブの表面には様々の起伏があり、第１０上回に
見られるようにす７トオ７の変動に対応して、水平方向
に大きな指示が重畳しておシ、欠陥指示の位相は不明の
状態となっている。このデータを本発明によるリフトオ
フ指示消去法によって消去した結果が＠１０図（Ｂｌで
あり、第１１図に示すリフトオフ変動がない平坦な材面
上での欠陥指示と同様な位相が復元されていることがわ
かる。
さらに、本発明による方法では、リフトオフ指示消去後
にも、ＤＸ％ＤＹ及びＤＬｌ、Ｄ（１という２種口 凹 の試験同波数でのＸ−Ｙパターンが得られることによシ
、例えば低い同波数では表層下の欠陥全検出しやすく、
２種のＸ−Ｙパターンの組合せから関口欠陥か皮下欠陥
かの弁別が可能になる等の効果もある。
にも、ＤＸ％ＤＹ及びＤＬｌ、Ｄ（１という２種口 凹 の試験同波数でのＸ−Ｙパターンが得られることによシ
、例えば低い同波数では表層下の欠陥全検出しやすく、
２種のＸ−Ｙパターンの組合せから関口欠陥か皮下欠陥
かの弁別が可能になる等の効果もある。
以上実施例に詳述したように本発明では、２種の試験局
波数で同時に渦流探傷して得られる２種の位相検波出力
を線形結合することによって、材料表面の起伏やプロー
ブコイルの振動によって生ずるリフトオフの変動に起因
する雑音指示の欠陥指示への重畳及び／又は欠陥指示の
感度変化を消去及び／又は補正するので、渦流探傷にお
けるその価値は極めて大である。
波数で同時に渦流探傷して得られる２種の位相検波出力
を線形結合することによって、材料表面の起伏やプロー
ブコイルの振動によって生ずるリフトオフの変動に起因
する雑音指示の欠陥指示への重畳及び／又は欠陥指示の
感度変化を消去及び／又は補正するので、渦流探傷にお
けるその価値は極めて大である。
第１図は渦電流の位相遅れの深さ依存性を示す図、第２
図（Ｎは種々の深さのスリント状欠陥を持つ被検材の断
面図、同ＣＢ）はその渦流探傷出力のＸ−Ｙパターンを
示す図、第６図は探傷中にす７トオ７が変動した場合の
割れの指示を示す図、第４図は従来のリフトオフ指示の
抑圧法を示す図、第５図はＤＰとＤＰ１の関儒パラメー
タ：欠陥深Φを示す図、１１ｇ６図はＬ望と、４Ｊｌの
関係（パラメータ：す７トオフ釦孕示す図、第７上人は
す７トオ７ｔｉとＬ￥１の関係を示す図、同（Ｂは、す
７トオ７量とＬＸとの関係を示す図、第８図（Ａｌはり
７トオ７量！とＤ！？の関係會示す図、同（Ｂｌはす７
トオ７量！とＤＷの関係を示す図、第９図は本発明方法
の一実施金示すブロック図、Ｉ！１０図（５）はり７ト
オ７指示消去前のパターン會示す図、同（刑は消去後の
）櫂ターンを示す図、 ＠１１図はり７トオ７変動がな
い場合の欠陥指示を示す図である。 １３１・・・プローグ、［４Ｈ５１・・・ドライブコイ
ル、＋６１［７１・・・サーチコイル、 １０１・・・
ドライブ装置、崗・・・レシーノ）装置、２＆・・・信
号処理装置。 ニ第２図つ （Ａ） （Ｂ） 第３図 第５図 第６図 「第７図つ （Ａ） （Ｂノ ニ第δ図っ
図（Ｎは種々の深さのスリント状欠陥を持つ被検材の断
面図、同ＣＢ）はその渦流探傷出力のＸ−Ｙパターンを
示す図、第６図は探傷中にす７トオ７が変動した場合の
割れの指示を示す図、第４図は従来のリフトオフ指示の
抑圧法を示す図、第５図はＤＰとＤＰ１の関儒パラメー
タ：欠陥深Φを示す図、１１ｇ６図はＬ望と、４Ｊｌの
関係（パラメータ：す７トオフ釦孕示す図、第７上人は
す７トオ７ｔｉとＬ￥１の関係を示す図、同（Ｂは、す
７トオ７量とＬＸとの関係を示す図、第８図（Ａｌはり
７トオ７量！とＤ！？の関係會示す図、同（Ｂｌはす７
トオ７量！とＤＷの関係を示す図、第９図は本発明方法
の一実施金示すブロック図、Ｉ！１０図（５）はり７ト
オ７指示消去前のパターン會示す図、同（刑は消去後の
）櫂ターンを示す図、 ＠１１図はり７トオ７変動がな
い場合の欠陥指示を示す図である。 １３１・・・プローグ、［４Ｈ５１・・・ドライブコイ
ル、＋６１［７１・・・サーチコイル、 １０１・・・
ドライブ装置、崗・・・レシーノ）装置、２＆・・・信
号処理装置。 ニ第２図つ （Ａ） （Ｂ） 第３図 第５図 第６図 「第７図つ （Ａ） （Ｂノ ニ第δ図っ
Claims (1)
- ｔ 平板状の金属材料を渦流探傷法により検査するに際
し、材料表面の起伏やプローブコイルの振動によって生
ずるり７トオ７の変動に起因する雑音指示の欠陥指示へ
の重畳及び／又は欠陥指示の感度変化を、２種の試験同
波数で同時に渦流探傷して得られる２種の位相検波出力
全線形結合することによって消去及び／又は補正するこ
とを特徴とする渦流探傷におけるリフトオフ指示の消去
、感度補正方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22188083A JPS60113147A (ja) | 1983-11-24 | 1983-11-24 | 渦流探傷におけるリフトオフ指示の消去、感度補正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22188083A JPS60113147A (ja) | 1983-11-24 | 1983-11-24 | 渦流探傷におけるリフトオフ指示の消去、感度補正方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60113147A true JPS60113147A (ja) | 1985-06-19 |
Family
ID=16773624
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22188083A Pending JPS60113147A (ja) | 1983-11-24 | 1983-11-24 | 渦流探傷におけるリフトオフ指示の消去、感度補正方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60113147A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005244194A (ja) * | 2004-01-27 | 2005-09-08 | Advanced Lcd Technologies Development Center Co Ltd | 光照射装置、結晶化装置、結晶化方法、およびデバイス |
| JP2006024796A (ja) * | 2004-07-08 | 2006-01-26 | Advanced Lcd Technologies Development Center Co Ltd | 光照射装置、結晶化装置、結晶化方法、およびデバイス |
-
1983
- 1983-11-24 JP JP22188083A patent/JPS60113147A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005244194A (ja) * | 2004-01-27 | 2005-09-08 | Advanced Lcd Technologies Development Center Co Ltd | 光照射装置、結晶化装置、結晶化方法、およびデバイス |
| JP2006024796A (ja) * | 2004-07-08 | 2006-01-26 | Advanced Lcd Technologies Development Center Co Ltd | 光照射装置、結晶化装置、結晶化方法、およびデバイス |
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