JP2005519150A - 有機スペーサーを含有する接着剤組成物およびそれを用いた方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明によれば、少なくとも1つの熱硬化性のモノマー、少なくとも1つの硬化開始剤、1または複数の有機ポリマーから構成される複数個のスペーサーを含む接着剤組成物およびそれを用いた方法が提供される。ボンドラインの厚さは主として組成物中のスペーサー要素のサイズで決められる。本発明の組成物は、積層配置における複数の半導体ダイを含む構造を製作するのにも有用である。
Description
(a) キャリヤー材料の第1の側に、100℃に加熱されたときに、軟化して流動し、予熱温度まで冷却されたときに、予熱温度における状態に戻る物理的性質を有する物理的性質を有する熱可塑性物を塗布する工程;
(b) キャリヤー材料の第2の側に接着剤を塗布する工程;
(c) キャリヤー材料の第2の側をリードフレームのリードと接続する工程;
(d) 半導体ダイをキャリヤー材料の第1の側に置く工程;
(e)熱可塑性物をその軟化な状態へ加熱する工程;および
(f) 熱可塑性物をその予熱状態まで冷やし、ダイとリードを支持するキャリヤー材料にダイとリードを接続する工程。
熱可塑性接着剤または熱硬化性接着剤から成る群より選ばれる接着剤をダイ上に配置し、接着剤をパターニングして接着剤がないダイのボンディングパッドをダイの表面にプレ塗布されたパターン化された接着剤層を形成する工程;
パッケージング・プロセス間に接着剤層を加熱する工程;
パッケージング・プロセスの間に、ダイ、熱した接着剤層およびリードフレームのフィンガーを一緒に押し付けて、接着剤層をリードフィンガーに接着し、リードフィンガーをダイに取り付ける工程。
マルチチップ・モジュール基板;
第1のチップ(反対にベース面とボンディング面を有し、ベース面はマルチチップモジュール基板に接着されており、第1チップボンディング面は中央のエリア、および中央のエリアの横周辺に配された複数のボンディングパッドを有している);
第2のチップ(反対にベース面とボンディング面を有し、第2チップボンディング面は中央のエリア、および複数の周辺ボンディングパッドを有している);
第1チップボンディング面と第2のチップベース面を接続する接着剤層であって、ある厚さと横周囲の境界を有し、横周囲境界が、周辺のボンディングパッドの内側で完全に中央のエリア内に位置している接着剤層;
それぞれの第1チップボンディングパッドとマルチチップ・モジュール基板に対して且つその間に接続される複数の第1のループボンディングワイヤーであって、この第1のループボンディングワイヤーは外側に突き出た特定のループ高さを有しており、ループ高さは、第1のチップボンディング面と、外側に突き出た第1のループ・ボンディングワイヤーのループの頂点の間の距離によって定められ、接着剤層の厚さはループ高さより大きく、それにより第2のチップベース面を第1のワイヤに関して接触しない関係にする第1のループボンディングワイヤー;
複数の第2のチップボンディング・パッドおよびマルチチップ・モジュール基板に対して且つ間に接続される第2のループ・ボンディングワイヤー
を有している。
(a) 表面と裏面と、表面上のコンタクトを有する第1の半導体チップ;
(b)表面と裏面と、表面上のコンタクトを有し、第2の半導体チップの裏面が、第1の半導体チップの表面と並列になっている第2の半導体チップ;
(c) 電気的に伝導性の第1のターミナルを有する第1の裏当素子であって、この裏当素子が第1の半導体チップの裏面と並列して少なくともターミナルのうちのいくつかが第1の半導体チップの裏面に重なり、すくなくとも第1および第2の半導体チップが電気的にすくなくともいくつかのターミナルに接続されている第1の裏当素子;および
(d)コンタクトパッドが載った基板であって、第1のターミナルが基板のコンタクトパッドに接続され、基板が回路の別のアセンブリと接続するように適合されており、すくなくとも第1のターミナルのいくつかが第1の半導体チップの裏面に重なる基板
を有している。
本発明の実施で使用するために意図された熱硬化性のモノマーは、例えば、マレイミド−、ナジイミド−またはイタコンイミド−含有モノマー類、不飽和の酸無水物類、(メタ)アクリレート類、スチレン類、シアネートエステル類、ビニルエステル類、ジビニール化合物類、アクリルアミド類、アクリロニトリル類、アリルアミド類、エポキシ樹脂類等を挙げることができる。本発明の実施で使用するために意図された好ましい熱硬化性のモノマーは、上述のマレイミド類、ナジイミド類またはイタコンイミド類の1種または2種以上の混合物であり、任意成分として1以上の不飽和の酸無水物類、(メタ)アクリレート類、スチレン類、シアネートエステル類、ビニルエステル類、ジビニール化合物類、アクリルアミド類、アクリロニトリル類、アリルアミド類、エポキシ樹脂等の1種または2種以上を組み合わせてもよい。
発明の1つの態様では、マレイミド、ナジイミドまたはイタコンイミドがそれぞれ室温で液体の状態になるように、Jの長さおよび分岐が決められる。
ここで、「アリールアルキニル」は、アリール置換されたアルキニルを意味し、「置換されたアリールアルキニル」は、上述の置換基を有するアリールアルキニルを意味する。
ここで「ヒドロカルビレン」は、二価の直鎖または分岐鎖のヒドロカルビル・グループを意味し、アルキレン基、アルケニレン基、アルキニレン基、シクロアルキレン基、ヘテロシクロアルキレン基、アリーレン基、アルキルアリーレン基、アリールアルキレン基、アリールアルケニレン基、アリールアルキニレン基、アルケニルアリーレン基、アルキニルアリーレン基等を包含する。「置換されたヒドロカルビレン」は、前述の1つ以上の置換基を有するヒドロカルビルレン基を意味する。
ここで「アルキニレン」は、少なくとも1つの炭素−炭素三重結合を有する2価の直鎖または分岐鎖のヒドロカルビルグループを意味し、典型的には約2から500までの範囲の炭素原子を有し、「置換されたアルキニレン」は上述の置換基を有するアルキニレンを意味する。
(i)アルキレン鎖の上の置換基として、あるいはアルキレン鎖の主鎖の一部として飽和の環部分構造を含んでいてもよい直鎖アルキレンまたは分岐アルキレン、もしくは
(ii) −[(CR2)r−O−]q−(CR2)s−
(但し、各Rは独立して上に定義したとおりであり、r=1−10、s=1−10およびq=1−50である。)で表される構造を有するポリアルキレンオキシド
を示す。}
で示される構造を有する芳香族基。
(但し、各Rは独立に上に定義したとおりであり、t=2−10、a=2−10、Arは上に定義したとおりである)
で表される構造を有する2または3置換芳香族部分構造。
u=1,2または3、
g=1から約50、
各Rは独立して上に定義した通りであり、
各Arは独立して上に定義した通りであり、
Eは、−O−または−NR5− (ここでR5は水素または低級アルキル)であり、
Wは、
(i)直鎖または分岐鎖のアルキル、アルキレン、オキシアルキレン、アルケニル、アルケニレン、オキシアルケニレン、エステル、またはポリエステルであり、任意にヒドロキシ、アルコキシ、カルボキシ、ニトリル、シクロアルキルまたはシクロアルケニルから選ばれた置換基を含んでいてもよい;
(ii)−(C(R3)2)d−[Si(R4)2−O]f−Si(R4)2−(C(R3)2)e−、−(C(R3)2)d−C(R3)−C(O)O−(C(R3)2)d−[Si(R4)2−O]f−Si(R4)2−(C(R3)2)e−O(O)C−(C(R3)2)e−、または−(C(R3)2)d−C(R3)−O(O)C−(C(R3)2)d−[Si(R4)2−O]f−Si(R4)2−(C(R3)2)e−C(O)O−(C(R3)2)e− (但し、各R3は独立して水素、アルキルまたは置換アルキルを表し、各R4は独立して水素、低級アルキルまたはアリールを表し、d=1−10、e=1−10、およびf=1−50を表す)で示される構造を有するシロキサン;または
(iii)−[(CR2)r−O−]f−(CR2)s−構造(但し、Rは独立して水素、アルキルまたは置換されたアルキル、r=1−10、s=1−10を表し、fは上に定義されたとおりである)を有するポリアルキレンオキシド
を表し、Wは任意にヒドロキシ、アルコキシ、カルボキシ、二トリル、シクロアルキルまたはシクロアルケニルから選ばれた置換基を有していてもよい。}
で示される構造を有する芳香族基。
{但し、各R6は独立して水素または低級アルキルであり、各R7は独立して、1〜18の炭素原子を有するアルキル、アリールまたはアリールアルキルであり、各R8は鎖に100個までの原子を有するアルキルまたはアルキルオキシ鎖であって任意にArで置換されていてもよく、Uは−O−、−S−、−N(R)−、または−P(L)1,2− (但し、Rは上に定義したとおりであり、Lは独立して=O、=S、−ORまたは−Rであり)、v=0−50である}
で表される構造を有するウレタングループ。
を有している。
(a)式:
R10は1〜16炭素原子を有するアルキル、シクロアルキル、アルケニル、シクロアルケニル、アルカリール、アラルキルまたはアリールであり、任意に、シラン、ケイ素、酸素、ハロゲン、カルボニル、水酸基、エステル、カルボン酸、尿素、ウレタン、カーバメート、アミン、アミド、硫黄、スルホネートまたはスルホンで置換または中断されていてもよい。)
(b)式:
R11は2価のアルキル、シクロアルキル、芳香族あるいはアリールアルキル基であって、−O−原子、および−X−原子または基に結合している炭素原子を通して結合しており、
Xは−O−、−NH−、あるいは−N(アルキル)−(但し、アルキルは、1から8炭素原子を有している。)であり、
zは2から6であり、
R12は、z価のシクロアルキル、芳香族あるいはアリールアルキル基であって、1または2以上のNH基に結合する炭素原子を通して結合している。}
または、
(c)ポリエチレングリコール−ジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールA−ジ(メタ)アクリレート、テトラヒドロフラン−ジ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオール−ジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレートなど、およびその任意の2以上の組み合わせから選ばれるジ−またはトリ−(メタ)アクリレート。
このようなシアネートエステルの例としては、1,3−ジシアナトベンゼン;1,4−ジシアナトベンゼン;1,3,5−トリシアナトベンゼン;1,3−、1,4−、1,6−、1,8−、2,6−または2,7−ジシアナトナフタレン;1,3,6−トリシアナトナフタレン;4,4’−ジシアナト−ビフェニル;ビス(4−シアナトフェニル)メタンおよび3,3’,5,5’−テトラメチルビス(4−シアナトフェニル)メタン;2,2−ビス(3,5−ジクロロ−4−シアナトフェニル)プロパン;2,2−ビス(3,5−ジブロモ−4−ジシアナトフェニル)プロパン;ビス(4−シアナトフェニル)エーテル;ビス(4−シアナトフェニル)スルフィド;2,2−ビス(4−シアナトフェニル)プロパン;トリス(4−シアナトフェニル)−ホスファイト;トリス(4−シアナトフェニル)ホスフェート;ビス(3−クロロ−4−シアナトフェニル)メタン;シアネート化ノボラック;1,3−ビス[4−シアナトフェニル−1−(メチルエチリデン)]ベンゼン、シアネート化ビスフェノール末端ポリカーボネートもしくは他の熱可塑性のオリゴマー等およびそれらの2以上の任意の組み合わせをあげることができる。
(各R9は独立して水素、低級アルキルまたはアリールであり、
各Mは独立して−O−、−OC(O)−、−C(O)−または−C(O)O−、および
Dは、有機基またはオルガノシロキサン基、またはそれらの2以上の組合わせを含む1価または多価の部分構造である。)
ひとつの実施形態において、Dは一価の部分構造あるいは多価の部分構造であって、ヒドロカルビル(炭化水素基)、置換されたヒドロカルビル、ヘテロ原子を含んでいるヒドロカルビル、置換されたヘテロ原子含有ヒドロカルビル、ヒドロカルビレン、置換されたヒドロカルビレン、ヘテロ原子を含んでいるヒドロカルビレン、置換されたヘテロ原子含有ヒドロカルビレン、ポリシロキサン、ポリシロキサン−ポリウレタンブロック共重合体またはこれらの2種以上組合わせから選ばれ、任意に共有結合、−O−、−S−、−NR−、−O−C(O)−、−O−C(O)−O−、−O−C(O)−NR−、−NR−C(O)−、−NR−C(O)−O−、−NR−C(O)−NR−、−S−C(O)−、−S−C(O)−O−、−S−C(O)−NR−、−O−S(O)2−、−O−S(O)2−O−、−O−S(O)2−NR−、−O−S(O)−、−O−S(O)−O−、−O−S(O)−NR−、−O−NR−C(O)−、−O−NR−C(O)−O−、−O−NR−C(O)−NR−、−NR−O−C(O)−、−NR−O−C(O)−O−、−NR−O−C(O)−NR−、−O−NR−C(S)−、−O−NR−C(S)−O−、−O−NR−C(S)−NR−、−NR−O−C(S)−、−NR−O−C(S)−O−、−NR−O−C(S)−NR−、−O−C(S)−、−O−C(S)−O−、−O−C(S)−NR−、−NR−C(S)−、−NR−C(S)−O−、−NR−C(S)−NR−、−S−S(O)2−、−S−S(O)2−O−、−S−S(O)2−NR−、−NR−O−S(O)−、−NR−O−S(O)−O−、−NR−O−S(O)−NR−、−NR−O−S(O)2−、−NR−O−S(O)2−O−、−NR−O−S(O)2−NR−、−O−NR−S(O)−、−O−NR−S(O)−O−、−O−NR−S(O)−NR−、−O−NR−S(O)2−O−、−O−NR−S(O)2−NR−、−O−NR−S(O)2−、−O−P(O)R2−、−S−P(O)R2−、−NR−P(O)R2−(ここで各Rは、独立して水素、アルキル基または置換されたアルキル基、またはそれらの任意の2以上の組合わせを表す)からなる群より選ばれる1種または2種以上の結合基を含んでいてもよい。
(i)アルキレン鎖の上の置換基として、あるいはアルキレン鎖の主鎖の一部として飽和の環部分構造を含んでいてもよい直鎖アルキレンまたは分岐アルキレン、もしくは
(ii) −[(CR2)r−O−]q−(CR2)s−
(但し、各Rは独立して上に定義したとおりであり、rおよびsはそれぞれ上に定義したとおりであり、qは1から50の範囲である。)で表される構造を有するポリアルキレンオキシド
を示す。}
で示される構造を有する芳香族基。
で表される構造を有する2または3置換芳香族部分構造。
t=2−10、
k=1,2または3、
g=1から約50、
各Arは独立して上に定義した通りであり、
Eは、−O−または−NR5− (ここでR5は水素または低級アルキル)であり、
Wは、
(i)直鎖または分岐鎖のアルキル、アルキレン、オキシアルキレン、アルケニル、アルケニレン、オキシアルケニレン、エステル、またはポリエステル;
(ii)−(C(R3)2)d−[Si(R4)2−O]f−Si(R4)2−(C(R3)2)e−、 −(C(R3)2)d−C(R3)−C(O)O−(C(R3)2)d−[Si(R4)2−O]f−Si(R4)2−(C(R3)2)e−O(O)C−(C(R3)2)e−、または−(C(R3)2)d−C(R3)−O(O)C−(C(R3)2)d−[Si(R4)2−O]f−Si(R4)2−(C(R3)2)e−C(O)O−(C(R3)2)e− (但し、各R3は独立して水素、アルキルまたは置換アルキルを表し、各R4は独立して水素、低級アルキルまたはアリールを表し、d=1−10、e=1−10、およびf=1−50を表す)で示される構造を有するシロキサン;または
(iii)−[(CR2)r−O−]f−(CR2)s−構造(但し、Rは独立して水素、アルキルまたは置換されたアルキル、r=1−10、s=1−10を表し、fは上に定義されたとおりである)を有するポリアルキレンオキシド
を表し、Wは任意にヒドロキシ、アルコキシ、カルボキシ、二トリル、シクロアルキルまたはシクロアルケニルから選ばれた置換基を有していてもよい。}
で示される構造を有する芳香族基。
{但し、各R6は独立して水素または低級アルキルであり、各R7は独立して、1〜18の炭素原子を有するアルキル、アリールまたはアリールアルキルであり、各R8は鎖に100個までの原子を有するアルキルまたはアルキルオキシ鎖であって任意にArで置換されていてもよく、Uは−O−、−S−、−N(R)−、または−P(L)1,2− (但し、Rは上に定義したとおりであり、Lは独立して=O、=S、−ORまたは−Rである。)、v=0−50である。}
で表される構造を有するウレタングループ。;
(h) 多環アルケニル。
発明のさらに別の態様では、発明の接着剤組成物と、必要により、1つまたは2以上の有機重合体から構築されたスペーサーとは異なる充填材を含むダイ接着ペーストが提供される。ダイ接着ペースト中に充填材が存在する場合には、それは典型的にはダイ接着剤ペーストの合計の約10から90 wt%の範囲で存在し、発明の接着剤組成物は約10から80 wt%の範囲でダイ接着ペースト中に存在する。
本発明はここで、次に示す限定されない例を参照して、詳細に説明される。
Claims (52)
- 少なくとも1つの熱硬化性のモノマー、複数個のスペーサー、および含有されていてもよい少なくとも1つの硬化開始剤を含み、前記スペーサーが1または複数の有機ポリマーから構成される接着剤組成物。
- さらに無機充填剤材料を含む請求項1記載の接着剤組成物。
- 前記スペーサーが実質的に球である請求項1記載の接着剤組成物。
- 前記スペーサーが約0.02から25ミルの範囲の粒径を有する請求項3記載の接着剤組成物。
- 前記スペーサーが約0.1から15ミルの範囲の粒径を有する請求項4記載の接着剤組成物。
- 前記有機ポリマーが実質的に非架橋である請求項1記載の接着剤組成物。
- 前記有機ポリマーが部分的に架橋している請求項1記載の接着剤組成物。
- 前記有機ポリマーが実質的に完全に架橋している請求項1記載の接着剤組成物。
- 前記有機ポリマーが置換基を有していてもよいエチレン性不飽和モノマーの重合物である請求項1記載の接着剤組成物。
- 前記有機ポリマーがα−オレフィン類、(メタ)アクリレート類、ビニルエステル類、アクリルアミド類およびアクリロニトリル類の単独または共重合体である請求項1記載の接着剤組成物。
- 前記有機ポリマーが(メタ)アクリレート類の単独または共重合体である請求項1記載の接着剤組成物。
- 前記有機ポリマーがポリメチルメタクリレートである請求項1記載の接着剤組成物。
- 前記ポリメチルメタクリレートが約50,000から約1,500,000の範囲の分子量を有する請求項12記載の接着剤組成物。
- 前記ポリメチルメタクリレートが約400,000から約500,000の範囲の分子量を有する請求項12記載の接着剤組成物。
- 前記熱硬化性モノマーが、マレイミド−、ナジイミド−またはイタコンイミド−含有モノマー類、不飽和の酸無水物類、(メタ)アクリレート類、スチレン類、シアネートエステル類、ビニルエステル類、ジビニール化合物類、アクリルアミド類、アクリロニトリル類、アリルアミド類、およびエポキシ樹脂類からなる群より選ばれる請求項1記載の接着剤組成物。
- 前記Jが、ヒドロカルビル、置換されたヒドロカルビル、ヘテロ原子含有ヒドロカルビル、置換されたヘテロ原子含有ヒドロカルビル、ヒドロカルビレン、置換されたヒドロカルビレン、ヘテロ原子含有ヒドロカルビレン、置換されたヘテロ原子含有ヒドロカルビレン、ポリシロキサン、ポリシロキサン−ポリウレタンブロック共重合体またはこれらの2種以上組合わせからなる群
{但しこれらは、共有結合、−O−、−S−、−NR−、−O−C(O)−、−O−C(O)−O−、−O−C(O)−NR−、−NR−C(O)−、−NR−C(O)−O−、−NR−C(O)−NR−、−S−C(O)−、−S−C(O)−O−、−S−C(O)−NR−、−O−S(O)2−、−O−S(O)2−O−、−O−S(O)2−NR−、−O−S(O)−、−O−S(O)−O−、−O−S(O)−NR−、−O−NR−C(O)−、−O−NR−C(O)−O−、−O−NR−C(O)−NR−、−NR−O−C(O)−、−NR−O−C(O)−O−、−NR−O−C(O)−NR−、−O−NR−C(S)−、−O−NR−C(S)−O−、−O−NR−C(S)−NR−、−NR−O−C(S)−、−NR−O−C(S)−O−、−NR−O−C(S)−NR−、−O−C(S)−、−O−C(S)−O−、−O−C(S)−NR−、−NR−C(S)−、−NR−C(S)−O−、−NR−C(S)−NR−、−S−S(O)2−、−S−S(O)2−O−、−S−S(O)2−NR−、−NR−O−S(O)−、−NR−O−S(O)−O−、−NR−O−S(O)−NR−、−NR−O−S(O)2−、−NR−O−S(O)2−O−、−NR−O−S(O)2−NR−、−O−NR−S(O)−、−O−NR−S(O)−O−、−O−NR−S(O)−NR−、−O−NR−S(O)2−O−、−O−NR−S(O)2−NR−、−O−NR−S(O)2−、−O−P(O)R2−、−S−P(O)R2−、−NR−P(O)R2−(ここで各Rは、独立して水素、アルキル基または置換されたアルキル基、またはそれらの任意の2以上の組合わせを表す)からなる群より選ばれる1種または2種以上の結合基を含んでいてもよい。}
から選ばれる請求項16記載の接着剤組成物。 - m=1〜6、p=0〜6で、Jが以下の(a)、(b)、(c)、(d)、(e)、(f)、(g)、(h)、(i)または(j)である請求項16記載の接着剤組成物。
(a)ヒドロキシ、アルコキシ、カルボキシ、ニトリル、シクロアルキル、シクロアルケニルから選ばれる置換基を有していてもよく、あるいはアルキル基上の置換基または主鎖の一部として、アリール部分構造で置換されていてもよい、アルキル基の鎖が約20までの炭素原子を有する飽和直鎖アルキルまたは分岐鎖アルキル。
(b)ヒドロキシ、アルコキシ、カルボキシ、ニトリル、シクロアルキルあるいはシクロアルケニルから選ばれた置換基を含んでいてもよい、アルキレン、オキシアルキレン、アルケニル、アルケニレン、オキシアルケニレン、エステルまたはポリエステル。
(c) −(C(R3)2)d−[Si(R4)2−O]f−Si(R4)2−(C(R3)2)e−、−(C(R3)2)d−C(R3)−C(O)O−(C(R3)2)d−[Si(R4)2−O]f−Si(R4)2−(C(R3)2)e−O(O)C−(C(R3)2)e−、または−(C(R3)2)d−C(R3)−O(O)C−(C(R3)2)d−[Si(R4)2−O]f−Si(R4)2−(C(R3)2)e−C(O)O−(C(R3)2)e−構造(但し、各R3は独立して、水素、アルキルまたは置換されたアルキルを表し、各R4は独立して、水素、低級アルキルまたはアリールを表し、d=1〜10、e=1〜10、およびf=1〜50である。)で示されるシロキサン。
(d) [(CR2)r−O−]f−(CR2)S−構造(但し、Rは独立して水素、アルキルまたは置換されたアルキル、r=1〜10、s=1〜10であり、fは上に定義されたとおりである)を有するポリアルキレンオキシド。
(e)
Zは、
(i)アルキレン鎖の上の置換基として、あるいはアルキレン鎖の主鎖の一部として飽和の環部分構造を含んでいてもよい直鎖アルキレンまたは分岐アルキレン、もしくは
(ii) −[(CR2)r−O−]q−(CR2)s−
(但し、各Rは独立して上に定義したとおりであり、r=1〜10、s=1〜10およびq=1〜50である。)で表される構造を有するポリアルキレンオキシド
を示す。}
で示される構造を有する芳香族基。
(f) (CR2)t−O−(C=O)−Ar−[(C=O)−O−(CR2)a]1,2−
(但し、各Rは独立に上に定義したとおりであり、t=2〜10、a=2〜10、Arは上に定義したとおりである)
で表される構造を有する2または3置換芳香族部分構造。
(g)
t=2〜10、
u=1,2または3、
g=1から約50、
各Rは独立して上に定義した通りであり、
各Arは上に定義した通りであり、
Eは、−O−または−NR5− (ここでR5は水素または低級アルキル)であり、
そして
Wは、
(i)直鎖または分岐鎖のアルキル、アルキレン、オキシアルキレン、アルケニル、アルケニレン、オキシアルケニレン、エステル、またはポリエステルであり、任意にヒドロキシ、アルコキシ、カルボキシ、ニトリル、シクロアルキルまたはシクロアルケニルから選ばれた置換基を含んでいてもよい;
(ii)−(C(R3)2)d−[Si(R4)2−O]f−Si(R4)2−(C(R3)2)e−、−(C(R3)2)d−C(R3)−C(O)O−(C(R3)2)d−[Si(R4)2−O]f−Si(R4)2−(C(R3)2)e−O(O)C−(C(R3)2)e−、または−(C(R3)2)d−C(R3)−O(O)C−(C(R3)2)d−[Si(R4)2−O]f−Si(R4)2−(C(R3)2)e−C(O)O−(C(R3)2)e− (但し、各R3は独立して水素、アルキルまたは置換アルキルを表し、各R4は独立して水素、低級アルキルまたはアリールを表し、d=1〜10、e=1〜10、およびf=1〜50である。)で示される構造を有するシロキサン;または
(iii)−[(CR2)r−O−]f−(CR2)s−構造(但し、Rは独立して水素、アルキルまたは置換されたアルキル、r=1〜10、s=1〜10を表し、fは上に定義されたとおりである。)を有するポリアルキレンオキシド
を表す。ここでWはヒドロキシ、アルコキシ、カルボキシ、ニトリル、シクロアルキルまたはシクロアルケニルから選ばれる置換基を有していてもよい。}
で示される構造を有する芳香族基。
(h) R7−U−C(O)−NR6−R8−NR6−C(O)−(O−R8−O−C(O)−NR6−R8−NR6−C(O))v−U−R8−
{但し、各R6は独立して水素または低級アルキルであり、各R7は独立して、1〜18の炭素原子を有するアルキル、アリールまたはアリールアルキルであり、各R8は鎖に100個までの原子を有するアルキルまたはアルキルオキシ鎖であって任意にArで置換されていてもよく、Uは−O−、−S−、−N(R)−、または−P(L)1,2− (但し、Rは上に定義したとおりであり、Lは独立して=O、=S、−ORまたは−Rである。)、v=0〜50である。}
で表される構造を有するウレタングループ。
(i) 多環アルケニル。
(j) これらの任意の2種以上の混合物。 - 前記マレイミド−、ナジイミド−、イタコンイミド−含有モノマーまたはそれらの2つ以上の混合物が常温で液状である請求項18記載の接着剤組成物。
- 前記Jが、形成されるモノマーが室温または約室温において液状となるのに十分な長さと分岐とを有している請求項18記載の接着剤組成物。
- 前記硬化開始剤が、フリーラジカル硬化開始剤である請求項1記載の接着剤組成物。
- 前記フリーラジカル硬化開始剤が、パーオキシエステル類、パーオキシカーボネート類、ヒドロパーオキサイド類、アルキルパーオキサイド類、アリールパーオキサイド類、およびアゾ化合物からなる群より選ばれる請求項21記載の接着剤組成物。
- 約1wt%から約95wt%の範囲のすくなくとも1種の熱硬化性のモノマー、約0.2wt%から約2.0wt%の範囲のすくなくとも1種の硬化開始剤、および約0.05wt%から約95wt%の範囲のすくなくとも1種の有機スペーサーを含む請求項1記載の接着剤組成物。
- すくなくとも1種のカップリング剤をさらに含む請求項1記載の接着剤組成物。
- 前記無機充填剤材料が伝導性である請求項2記載の接着剤組成物。
- 前記無機充填剤材料が電気伝導性である請求項25記載の接着剤組成物。
- 前記無機充填剤材料が熱伝導性である請求項25記載の接着剤組成物。
- 前記無機充填剤材料が非伝導性である請求項2記載の接着剤組成物。
- フッ素化された炭化水素ポリマーで構成される充填剤材料をさらに含む請求項2記載の接着剤組成物。
- 前記無機充填剤材料が、約1wt%から約95wt%の範囲で存在する請求項2記載の接着剤組成物。
- 約1wt%から約95wt%の範囲中の少なくとも1種のマレイミド−、ナジイミド−またはイタコンイミド−含有モノマー類、約0.2wt%から約2.0wt%の範囲の少なくとも1種の開始開始剤、約0.5wt%から約5wt%の範囲の少なくとも1種のカップリング剤、約1wt%から約95wt%の範囲のすくなくとも1種の充填剤、および約0.05wt%から約50wt%の範囲の1種または2種以上の有機ポリマーで構成されたスペーサーを含む接着剤組成物。
- 装置と基板の間に実質的に均一なボンドラインを形成する方法であって、前記基板と前記装置の間に配した十分な量の請求項1の接着剤組成物を、この接着剤組成物を硬化させるのに適切な条件へ曝す工程を含み、それによって前記スペーサーが装置と基板の間のボンドライン厚さを制御する方法。
- 前記ボンドラインの厚さが前記スペーサーのサイズで決められる請求項32記載の方法。
- 前記装置が半導体ダイである請求項32記載の方法。
- 装置と基板の間の接着剤のギャップ厚を制御する方法であって、前記装置と前記基板の間に配した十分な量の請求項1の接着剤組成物を、前記接着剤組成物を硬化させるのに適切な条件へ曝す工程を含み、それによって前記スペーサーが装置と基板の間の接着剤ギャップ厚さを制御する方法。
- 前記装置が半導体ダイである請求項35記載の方法。
- 接着剤のボンドライン全体に渡る平面性を維持する方法であって、基板と装置の間に配した十分な量の請求項1の接着剤組成物を、前記接着剤組成物を硬化させるのに適切な条件へ曝す工程を含み、それによりスペーサーが装置と基板の間のボンドライン全体に渡る平面性を維持する方法。
- 積層配置において基板に付けられた少なくとも2つの半導体ダイ間に実質的に均一のボンドラインを形成する方法であって、前記基板と前記各ダイの間に配した十分な量の請求項1の接着剤組成物を、前記接着剤組成物を硬化させるのに適切な条件へ曝す工程を含む方法。
- スペーサー・ダイの必要なしに積み重ねられた配置において、基板に少なくとも2つの半導体ダイを接着的に付ける方法であって、基板と各ダイの間に配した十分な量の請求項1の接着剤組成物を、接着剤組成物を硬化させるのに適切な条件へ曝す工程を含む方法。
- 前記接着剤組成物が、接着的にくっつけられる表面間のギャップを実質的に完全に満たす請求項39の方法。
- 前記接着剤組成物が、接着的にくっつけられる表面間のギャップを完全には満たさない請求項39の方法。
- 積層配置での複数の半導体ダイを含むアセンブリにおいて、半導体ダイの間のボンドライン厚さを制御する方法であって、前記各ダイの間に配した十分な量の請求項1の接着剤組成物を、前記接着剤組成物を硬化させるのに適切な条件へ曝す工程を含む方法。
- 第2の部品に対して請求項1の接着剤組成物の硬化部材によって接着された第1の部品を含むアセンブリー。
- アセンブリーにおけるボンドラインであって、前記アセンブリが少なくとも1つの半導体ダイ、少なくとも1つの基板およびそれらの間に配された接着剤組成物を有し、そこでボンドラインの厚さは、接着剤配合中の複数のスペーサーによって決定されるボンドライン。
- 前記ボンドラインが約1ミルから約8ミルの範囲の厚さである請求項44記載のボンドライン。
- 前記スペーサーがすくなくとも1つの反応性部分構造を有する請求項1記載の接着剤組成物。
- 請求項1の接着剤組成物と、1種または2種以上の有機ポリマーで構成された前記スペーサーとは異なる充填剤を含んでいてもよいダイ接着ペースト。
- 積層配置で基板に置かれた基板および複数の半導体ダイを含むアセンブリーであって、請求項1の接着剤組成物の硬化部材によって各半導体ダイが、基板または異なるダイに接着されているアセンブリー。
- (a)請求項1記載の接着剤組成物、および
(b)一般式(A−B)または(A−B−A)の少なくとも1つのユニットを有しているブロック共重合体(ここでAは非エラストマーの重合体ブロックで、Bは置換されていてもよいオレフィン・モノマーおよび/または置換されていてもよい共役ジエンモノマーの重合生成物であるエラストマーの重合体ブロックである)
を含有する接着剤フィルム組成物。 - 接着的に装置を基板に付ける方法であって、前記装置表面と基板表面の間に接して配された請求項49の接着性フィルム組成物を硬化させる工程を含む方法。
- 前記装置が半導体ダイであり、前記基板がリードフレームである請求項50記載の方法。
- 請求項50の方法で基板に対して接着された装置を含むアセンブリー。
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