JP2005354037A - トレンチmosfet - Google Patents
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Abstract
【解決手段】トレンチゲート構造を有するゲート電極と、ゲート電極を取り囲むように形成されたゲート絶縁膜と、トレンチの上部においてゲート電極にゲート絶縁膜を介して対向して形成されたn型拡散層と、トレンチの上部より下の部位においてゲート電極にゲート絶縁膜を介して対向して形成されたp型ベース層と、トレンチの上記下の部位よりさらに下の部位においてゲート電極にゲート絶縁膜を介して対向して位置するn型エピタキシャル層と、トレンチの深さ方向と平行にトレンチから離間してn型拡散層およびp型ベース層を貫通しn型エピタキシャル層に達するように形成された金属層と、p型ベース層と金属層とに接触するように位置するp型ベース層より高不純物濃度のp型層とを具備する。
【選択図】図2
Description
Claims (5)
- トレンチゲート構造を有するゲート電極と、
前記ゲート電極を取り囲むように形成されたゲート絶縁膜と、
前記トレンチの上部において前記ゲート電極に前記ゲート絶縁膜を介して対向して形成されたn型拡散層と、
前記トレンチの前記上部より下の部位において前記ゲート電極に前記ゲート絶縁膜を介して対向して形成されたp型ベース層と、
前記トレンチの前記下の部位よりさらに下の部位において前記ゲート電極に前記ゲート絶縁膜を介して対向して位置するn型エピタキシャル層と、
前記トレンチの深さ方向と平行に前記トレンチから離間して前記n型拡散層および前記p型ベース層を貫通し前記n型エピタキシャル層に達するように形成された金属層と、
前記p型ベース層と前記金属層とに接触するように位置する前記p型ベース層より高不純物濃度のp型層と
を具備することを特徴とするトレンチMOSFET。 - 前記p型ベース層の最深部の深さが、前記トレンチの深さおよび前記金属層の深さより深いことを特徴とする請求項1記載のトレンチMOSFET。
- トレンチ(第1のトレンチ)ゲート構造を有するゲート電極と、
前記ゲート電極を取り囲むように形成されたゲート絶縁膜と、
前記第1のトレンチの上部において前記ゲート電極に前記ゲート絶縁膜を介して対向して形成されたn型拡散層と、
前記第1のトレンチの前記上部より下の部位において前記ゲート電極に前記ゲート絶縁膜を介して対向して形成されたp型ベース層と、
前記第1のトレンチに前記p型ベース層を介して対向して位置し、側壁面に絶縁膜を、底面にp型半導体層をそれぞれ有し、かつ導電体層が埋め込み形成されている第2のトレンチと、
前記第1のトレンチの前記下の部位よりさらに下の部位において前記ゲート電極に前記ゲート絶縁膜を介して対向して位置し、かつ前記第2のトレンチの前記p型ベース層が位置する側とは反対側にも位置するn型エピタキシャル層と、
前記第2のトレンチの前記p型ベース層が位置する側とは反対側の部位の前記n型エピタキシャル層の上面に接触形成された金属層と
を具備することを特徴とするトレンチMOSFET。 - 前記第2のトレンチの前記導電体層が、p型多結晶シリコンであることを特徴とする請求項3記載のトレンチMOSFET。
- トレンチゲート構造を有するゲート電極と、
前記ゲート電極を取り囲むように形成されたゲート絶縁膜と、
前記トレンチの上部において前記ゲート電極に前記ゲート絶縁膜を介して対向して形成されたn型拡散層と、
前記トレンチの前記上部より下の部位において前記ゲート電極に前記ゲート絶縁膜を介して対向して形成されたp型ベース層と、
前記トレンチに前記p型ベース層を介して対向しかつ該トレンチより深くまで達して形成されたp型半導体層と、
前記トレンチの前記下の部位よりさらに下の部位において前記ゲート電極に前記ゲート絶縁膜を介して対向して位置し、かつ前記p型半導体層の前記p型ベース層が位置する側とは反対側にも位置するn型エピタキシャル層と、
前記p型半導体層の前記p型ベース層が位置する側とは反対側の部位の前記n型エピタキシャル層の上面に接触形成された金属層と
を具備することを特徴とするトレンチMOSFET。
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