JP2010045123A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
半導体装置およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010045123A JP2010045123A JP2008207250A JP2008207250A JP2010045123A JP 2010045123 A JP2010045123 A JP 2010045123A JP 2008207250 A JP2008207250 A JP 2008207250A JP 2008207250 A JP2008207250 A JP 2008207250A JP 2010045123 A JP2010045123 A JP 2010045123A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- type region
- electrode
- region
- forming
- type
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 55
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 30
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 8
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims abstract description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 20
- ZXEYZECDXFPJRJ-UHFFFAOYSA-N $l^{3}-silane;platinum Chemical compound [SiH3].[Pt] ZXEYZECDXFPJRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 229910021339 platinum silicide Inorganic materials 0.000 claims description 9
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 5
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 19
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 19
- 230000008569 process Effects 0.000 description 13
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 9
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 7
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 7
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 3
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 3
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 3
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 2
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 2
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 2
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000002648 laminated material Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/70—Bipolar devices
- H01L29/72—Transistor-type devices, i.e. able to continuously respond to applied control signals
- H01L29/739—Transistor-type devices, i.e. able to continuously respond to applied control signals controlled by field-effect, e.g. bipolar static induction transistors [BSIT]
- H01L29/7393—Insulated gate bipolar mode transistors, i.e. IGBT; IGT; COMFET
- H01L29/7395—Vertical transistors, e.g. vertical IGBT
- H01L29/7396—Vertical transistors, e.g. vertical IGBT with a non planar surface, e.g. with a non planar gate or with a trench or recess or pillar in the surface of the emitter, base or collector region for improving current density or short circuiting the emitter and base regions
- H01L29/7397—Vertical transistors, e.g. vertical IGBT with a non planar surface, e.g. with a non planar gate or with a trench or recess or pillar in the surface of the emitter, base or collector region for improving current density or short circuiting the emitter and base regions and a gate structure lying on a slanted or vertical surface or formed in a groove, e.g. trench gate IGBT
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/0405—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising semiconducting carbon, e.g. diamond, diamond-like carbon
- H01L21/041—Making n- or p-doped regions
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/0445—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising crystalline silicon carbide
- H01L21/0455—Making n or p doped regions or layers, e.g. using diffusion
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/06—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions
- H01L29/08—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions with semiconductor regions connected to an electrode carrying current to be rectified, amplified or switched and such electrode being part of a semiconductor device which comprises three or more electrodes
- H01L29/083—Anode or cathode regions of thyristors or gated bipolar-mode devices
- H01L29/0834—Anode regions of thyristors or gated bipolar-mode devices, e.g. supplementary regions surrounding anode regions
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/41—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions
- H01L29/423—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions not carrying the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/42312—Gate electrodes for field effect devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/41—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions
- H01L29/423—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions not carrying the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/42312—Gate electrodes for field effect devices
- H01L29/42316—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors
- H01L29/4232—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors with insulated gate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/43—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed
- H01L29/47—Schottky barrier electrodes
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Abstract
【解決手段】p型領域2、4は第1のn型領域1上に設けられている。第2のn型領域3は、p型領域2、4によって第1のn型領域1と隔てられ、p型領域2、4上に設けられている。ゲート電極8は第1および第2のn型領域1、3の間にnチャネルを形成するためのものである。第1の電極6は、p型領域4と第2のn型領域3との各々に電気的に接続されている。第2の電極11は、第1のn型領域1によってp型領域2と隔てられかつ少なくとも一部が第1のn型領域1に接するように第1のn型領域1上に設けられている。第2の電極11は、金属および合金のいずれかからなり、第1のn型領域1にホールを注入するためのものである。
【選択図】図1
Description
まず、第1のn型領域を有する半導体基板が準備される。第1のn型領域上にp型領域が形成される。p型領域によって第1のn型領域と隔てられるように、p型領域上に第2のn型領域が形成される。p型領域上にゲート絶縁膜を介して、第1および第2のn型領域の間にnチャネルを形成するためのゲート電極が形成される。p型領域と第2のn型領域との各々に電気的に接続されるように第1の電極が形成される。金属および合金のいずれかからなる、第1のn型領域にホールを注入するための第2の電極が、第1のn型領域によってp型領域と隔てられかつ少なくとも一部が第1のn型領域に接するように第1のn型領域上に形成される。
(実施の形態1)
図1は、本発明の実施の形態1における半導体装置の構成を概略的に示す部分断面図である。図1を参照して、本実施の形態の半導体装置は、絶縁ゲート型トランジスタTRである。絶縁ゲート型トランジスタTRは、n−領域1(第1のn型領域)と、n型エミッタ領域3(第2のn型領域)と、pベース領域2と、p+コンタクト領域4と、ゲート絶縁膜7と、ゲート電極8と、エミッタ電極6(第1の電極)と、コレクタ電極11(第2の電極)と、層間絶縁膜5とを有する。
なお絶縁ゲート型トランジスタTRにおいて、p型およびn型のそれぞれの導電型を得るための不純物としては、たとえばボロンおよび砒素を用いることができる。
第1に、ターンオン動作について説明する。コレクタ電極11の電位がエミッタ電極6の電位よりも高くなるように、エミッタ電極6とコレクタ電極11との間に所定の電圧が印加される。この状態で、ゲート電極8に閾値以上の正バイアスが印加される。これにより絶縁ゲート型トランジスタTRは順方向に導通する。
図5は、本発明の実施の形態2における半導体装置の構成を概略的に示す断面図である。図5を参照して、本実施の形態の半導体装置は、絶縁ゲート型トランジスタTRVであり、実施の形態1の絶縁ゲート型トランジスタTR(図1)とほとんど同様の構成を有する。また絶縁ゲート型トランジスタTRVは、絶縁膜77Vおよび層間絶縁膜55vの積層膜を有する。この積層膜はn−領域1とエミッタ電極6とを絶縁している。
図7を参照して、n−領域1上にレジストパターン21が形成される。レジストパターン21をマスクとして用いた不純物注入I1により、n−領域1上にp型の導電型不純物(図中X)が選択的に注入される。この不純物は、たとえばボロン(B)である。次にレジストパターン21が除去される。
Claims (14)
- 第1のn型領域と、
前記第1のn型領域上に設けられたp型領域と、
前記p型領域によって前記第1のn型領域と隔てられ、前記p型領域上に設けられた第2のn型領域と、
前記p型領域上にゲート絶縁膜を介して設けられた、前記第1および第2のn型領域の間にnチャネルを形成するためのゲート電極と、
前記p型領域と前記第2のn型領域との各々に電気的に接続された第1の電極と、
前記第1のn型領域によって前記p型領域と隔てられかつ少なくとも一部が前記第1のn型領域に接するように前記第1のn型領域上に設けられ、金属および合金のいずれかからなる、前記第1のn型領域にホールを注入するための第2の電極とを備えた、半導体装置。 - 前記第2の電極は4.8eV以上の仕事関数を有する、請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第2の電極は白金シリサイド層を含む、請求項1または2に記載の半導体装置。
- 前記第2の電極と前記第1のn型領域との間にp型半導体からなる領域が設けられていない、請求項1〜3のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記ゲート電極はトレンチゲート構造を有する、請求項1〜4のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記p型領域は、
前記第1のn型領域側に位置する第1のp型領域と、
前記第1の電極側に位置し、かつ前記第1のp型領域よりも高濃度の第2のp型領域とを含む、請求項1〜5のいずれかに記載の半導体装置。 - 第1のn型領域を有する半導体基板を準備する工程と、
前記第1のn型領域上にp型領域を形成する工程と、
前記p型領域によって前記第1のn型領域と隔てられるように、前記p型領域上に第2のn型領域を形成する工程と、
前記p型領域上にゲート絶縁膜を介して、前記第1および第2のn型領域の間にnチャネルを形成するためのゲート電極を形成する工程と、
前記p型領域と前記第2のn型領域との各々に電気的に接続されるように第1の電極を形成する工程と、
金属および合金のいずれかからなる、前記第1のn型領域にホールを注入するための第2の電極を、前記第1のn型領域によって前記p型領域と隔てられかつ少なくとも一部が前記第1のn型領域に接するように前記第1のn型領域上に形成する工程とを備えた、半導体装置の製造方法。 - 前記第2の電極は4.8eV以上の仕事関数を有する、請求項7に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2の電極は白金シリサイド層を含む、請求項7または8に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1のn型領域はシリコンを含み、
前記第2の電極を形成する工程は、前記第1のn型領域上に白金を含む金属層を形成する工程と、前記金属層が含む白金と前記n型領域が含むシリコンとを反応させることで前記白金シリサイド層を形成する工程とを含む、請求項9に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第2の電極を形成する工程は、前記第1のn型領域上に蒸着法およびスパッタ法のいずれかにより前記白金シリサイド層を成膜する工程を含む、請求項9に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2の電極と前記第1のn型領域との間にp型領域を形成しない、請求項7〜11のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ゲート電極を形成する工程は、
前記第1および第2のn型領域と前記p型領域との各々を露出する内面を有するトレンチを形成する工程と、
前記内面を覆うように前記ゲート絶縁膜を形成する工程と、
前記ゲート絶縁膜上にゲート電極を形成する工程とを含む、請求項7〜12のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。 - 前記p型領域を形成する工程は、前記第1のn型領域上に第1のp型領域を形成する工程と、前記第1のn型領域上に前記第1のp型領域よりも高濃度の第2のp型領域を形成する工程と含み、
前記第1の電極を形成する工程は、前記第2のp型領域と前記第2のn型領域との各々に電気的に接続されるように前記第1の電極を形成することにより行なわれる、請求項7〜13のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008207250A JP2010045123A (ja) | 2008-08-11 | 2008-08-11 | 半導体装置およびその製造方法 |
US12/344,947 US20100032711A1 (en) | 2008-08-11 | 2008-12-29 | Semiconductor device and method of manufacturing the same |
KR1020090027968A KR101052498B1 (ko) | 2008-08-11 | 2009-04-01 | 반도체장치 및 그 제조방법 |
CN200910135466A CN101651138A (zh) | 2008-08-11 | 2009-04-28 | 半导体装置及其制造方法 |
DE102009019234A DE102009019234A1 (de) | 2008-08-11 | 2009-04-28 | Halbleitervorrichtung und Verfahren zu ihrer Herstellung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008207250A JP2010045123A (ja) | 2008-08-11 | 2008-08-11 | 半導体装置およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010045123A true JP2010045123A (ja) | 2010-02-25 |
JP2010045123A5 JP2010045123A5 (ja) | 2011-01-06 |
Family
ID=41606278
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008207250A Pending JP2010045123A (ja) | 2008-08-11 | 2008-08-11 | 半導体装置およびその製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20100032711A1 (ja) |
JP (1) | JP2010045123A (ja) |
KR (1) | KR101052498B1 (ja) |
CN (1) | CN101651138A (ja) |
DE (1) | DE102009019234A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014030457A1 (ja) * | 2012-08-22 | 2014-02-27 | 富士電機株式会社 | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
US9337185B2 (en) | 2013-12-19 | 2016-05-10 | Infineon Technologies Ag | Semiconductor devices |
US9337270B2 (en) | 2013-12-19 | 2016-05-10 | Infineon Technologies Ag | Semiconductor device |
WO2023233262A1 (en) * | 2022-05-29 | 2023-12-07 | Soreq Nuclear Research Center | Silicon controlled rectifier with schottky anode contact |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03155677A (ja) * | 1989-08-19 | 1991-07-03 | Fuji Electric Co Ltd | 伝導度変調型mosfet |
JPH0677489A (ja) * | 1992-06-26 | 1994-03-18 | Fuji Electric Co Ltd | 伝導度変調型mosfet |
JP2003133553A (ja) * | 2001-10-26 | 2003-05-09 | Shindengen Electric Mfg Co Ltd | 絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ及びその製造方法 |
JP2003257888A (ja) * | 2002-03-06 | 2003-09-12 | Shindengen Electric Mfg Co Ltd | 半導体装置の製造方法、ショットキーバリアダイオードの製造方法及び絶縁ゲート型バイポーラトランジスタの製造方法並びに半導体装置 |
JP2004253416A (ja) * | 2003-02-18 | 2004-09-09 | Shindengen Electric Mfg Co Ltd | ショットキーバリアダイオードの製造方法、絶縁ゲート型バイポーラトランジスタの製造方法及び半導体装置 |
Family Cites Families (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5397716A (en) * | 1993-05-03 | 1995-03-14 | Motorola, Inc. | Method of forming an insulated gate semiconductor device |
JP3502531B2 (ja) * | 1997-08-28 | 2004-03-02 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体装置の製造方法 |
JP4090516B2 (ja) * | 1998-01-22 | 2008-05-28 | 三菱電機株式会社 | 絶縁ゲート型バイポーラ半導体装置 |
JP2000058819A (ja) * | 1998-08-06 | 2000-02-25 | Mitsubishi Electric Corp | 電力用半導体装置 |
US6635535B2 (en) * | 2001-11-20 | 2003-10-21 | Fairchild Semiconductor Corporation | Dense trench MOSFET with decreased etch sensitivity to deposition and etch processing |
US7652326B2 (en) * | 2003-05-20 | 2010-01-26 | Fairchild Semiconductor Corporation | Power semiconductor devices and methods of manufacture |
US6974743B2 (en) * | 2004-02-02 | 2005-12-13 | Infineon Technologies Ag | Method of making encapsulated spacers in vertical pass gate DRAM and damascene logic gates |
JP4176734B2 (ja) * | 2004-05-14 | 2008-11-05 | 株式会社東芝 | トレンチmosfet |
US7417266B1 (en) * | 2004-06-10 | 2008-08-26 | Qspeed Semiconductor Inc. | MOSFET having a JFET embedded as a body diode |
US7667264B2 (en) * | 2004-09-27 | 2010-02-23 | Alpha And Omega Semiconductor Limited | Shallow source MOSFET |
JP4939760B2 (ja) * | 2005-03-01 | 2012-05-30 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
JP5008046B2 (ja) * | 2005-06-14 | 2012-08-22 | ローム株式会社 | 半導体デバイス |
US7635637B2 (en) * | 2005-07-25 | 2009-12-22 | Fairchild Semiconductor Corporation | Semiconductor structures formed on substrates and methods of manufacturing the same |
JP2008066694A (ja) * | 2006-03-16 | 2008-03-21 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JP5222466B2 (ja) * | 2006-08-09 | 2013-06-26 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
JP5303839B2 (ja) * | 2007-01-29 | 2013-10-02 | 富士電機株式会社 | 絶縁ゲート炭化珪素半導体装置とその製造方法 |
JP5767430B2 (ja) * | 2007-08-10 | 2015-08-19 | ローム株式会社 | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
US20090053869A1 (en) * | 2007-08-22 | 2009-02-26 | Infineon Technologies Austria Ag | Method for producing an integrated circuit including a trench transistor and integrated circuit |
JP2008053752A (ja) | 2007-11-08 | 2008-03-06 | Mitsubishi Electric Corp | 電力用半導体装置 |
US8294208B2 (en) * | 2008-03-04 | 2012-10-23 | International Rectifier Corporation | Semiconductor device having a gate contact on one surface electrically connected to a gate bus on an opposing surface |
WO2009151657A1 (en) * | 2008-06-11 | 2009-12-17 | Maxpower Semiconductor Inc. | Super self-aligned trench mosfet devices, methods and systems |
WO2010008617A1 (en) * | 2008-07-15 | 2010-01-21 | Maxpower Semiconductor Inc. | Mosfet switch with embedded electrostatic charge |
-
2008
- 2008-08-11 JP JP2008207250A patent/JP2010045123A/ja active Pending
- 2008-12-29 US US12/344,947 patent/US20100032711A1/en not_active Abandoned
-
2009
- 2009-04-01 KR KR1020090027968A patent/KR101052498B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2009-04-28 DE DE102009019234A patent/DE102009019234A1/de not_active Withdrawn
- 2009-04-28 CN CN200910135466A patent/CN101651138A/zh active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03155677A (ja) * | 1989-08-19 | 1991-07-03 | Fuji Electric Co Ltd | 伝導度変調型mosfet |
JPH0677489A (ja) * | 1992-06-26 | 1994-03-18 | Fuji Electric Co Ltd | 伝導度変調型mosfet |
JP2003133553A (ja) * | 2001-10-26 | 2003-05-09 | Shindengen Electric Mfg Co Ltd | 絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ及びその製造方法 |
JP2003257888A (ja) * | 2002-03-06 | 2003-09-12 | Shindengen Electric Mfg Co Ltd | 半導体装置の製造方法、ショットキーバリアダイオードの製造方法及び絶縁ゲート型バイポーラトランジスタの製造方法並びに半導体装置 |
JP2004253416A (ja) * | 2003-02-18 | 2004-09-09 | Shindengen Electric Mfg Co Ltd | ショットキーバリアダイオードの製造方法、絶縁ゲート型バイポーラトランジスタの製造方法及び半導体装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20100032711A1 (en) | 2010-02-11 |
KR101052498B1 (ko) | 2011-08-01 |
KR20100019944A (ko) | 2010-02-19 |
CN101651138A (zh) | 2010-02-17 |
DE102009019234A1 (de) | 2010-03-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN103986447B (zh) | 双极半导体开关及其制造方法 | |
US9882037B2 (en) | IGBT-free wheeling diode combination with field stop layer in drift region | |
US12021118B2 (en) | Semiconductor device | |
JP6144510B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
US9362349B2 (en) | Semiconductor device with charge carrier lifetime reduction means | |
JP2017147431A (ja) | 半導体装置 | |
JP2012227335A (ja) | 半導体装置 | |
JP2005317751A (ja) | 逆導通型半導体素子とその製造方法 | |
CN110610981A (zh) | 功率半导体器件及其形成方法 | |
US20150187877A1 (en) | Power semiconductor device | |
JP6245087B2 (ja) | 逆阻止igbtおよびその製造方法 | |
CN112563321A (zh) | 半导体装置及其制造方法 | |
KR20150051067A (ko) | 전력 반도체 소자 및 그의 제조 방법 | |
US20150144989A1 (en) | Power semiconductor device and method of manufacturing the same | |
JP6353804B2 (ja) | 半導体装置及びそれを用いた電力変換装置 | |
WO2021220965A1 (ja) | 半導体装置 | |
JP2010045123A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP2017092378A (ja) | 半導体装置 | |
JP2007116160A (ja) | 大容量性負荷のためのトレンチigbt | |
CN109616518B (zh) | 一种mos栅控晶闸管 | |
JPH023980A (ja) | 縦型電界効果トランジスタ | |
EP2761661A2 (en) | Mct device with base-width-determined latching and non-latching states | |
US8878238B2 (en) | MCT device with base-width-determined latching and non-latching states | |
JPWO2015107614A1 (ja) | 電力用半導体装置 | |
JP2017157673A (ja) | 半導体装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101111 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20101111 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130129 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130131 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20130806 |