JP2005347722A - 表面洗浄用昇華性固体粒子噴射用ノズル及びこれを用いた洗浄方法（ＮｏｚｚｌｅｆｏｒｉｎｊｅｃｔｉｎｇｓｕｂｌｉｍａｂｌｅｓｏｌｉｄｐａｒｔｉｃｌｅｓｅｎｔｒａｉｎｅｄｉｎｇａｓｆｏｒｃｌｅａｎｉｎｇａｓｕｒｆａｃｅａｎｄＭｅｔｈｏｄｆｏｒＣｌｅａｎｉｎｇＳｕｒｆａｃｅｕｓｉｎｇｔｈｅＮｏｚｚｌｅ） - Google Patents

Abstract

【課題】 別途の環境制御がなくても、ノズル及び被洗浄物の表面に結氷が発生することを防止することができる表面洗浄用昇華性固体粒子噴射ノズルを提供すること。
【解決手段】 洗浄媒体供給源から流入される洗浄媒体を、昇華性固体粒子を含むスノー状態に相変化させる洗浄媒体ブロック１１０と、前記洗浄媒体ブロック１１０から流入される洗浄媒体スノーを断熱膨張により成長させて被洗浄物の表面に噴射するノズルブロック１４０と、キャリアガス供給源から流入されるキャリアガスを前記ノズルブロック１４０に供給し、前記洗浄媒体スノーと混合するキャリアガスブロック１３０、及びキャリアガス供給源から供給されるキャリアガスの少なくとも一部を加熱するヒーター１５０を含む。
【選択図】 図１

Description

本発明は、被洗浄物の表面にＣＯ₂スノーやＡｒスノーのような昇華性固体粒子を噴射するノズルに関するものであって、さらに詳細には、ノズル及び被洗浄物の表面で極低温のスノーにより結氷が発生することを防止できる、昇華性固体粒子噴射用ノズルに関するものである。

所謂ＣＯ₂スノーと呼ばれる、固体粒子とガスとが混在された状態の二酸化炭素を利用し、半導体ウェハーやＬＣＤ(Liquid Crystal Display)基板のような被洗浄物の表面に損傷を与えずに被洗浄物の表面から微細な汚染物粒子を除去することができるということが知られている。

ＣＯ₂スノーの場合、ノズル内に備えられたベンチュリを通過しながら固体粒子が生成された後、成長し、被洗浄物の表面に噴射されて、固体粒子が被洗浄物に衝突する時の衝撃エネルギーにより被洗浄物の表面から微細な汚染物粒子が除去される。Ｎ₂のような不活性ガス(通常、キャリアガスという)を利用して、ＣＯ₂スノーを加速することにより、ＣＯ₂スノーの衝撃エネルギーを増大させたりもする。被洗浄物の表面に衝突し汚染物を除去したＣＯ₂スノーは、すぐ昇華されるため、被洗浄物の表面に残存物を残さない長所もある。ＣＯ₂だけではなく、Ａｒなどのような昇華性固体粒子を利用して、このような方式の洗浄を行うことができる。

しかし、このようなＣＯ₂スノーを利用した洗浄において、ＣＯ₂スノーの温度が−６０℃以下であって非常に低いため、ノズルの表面及び被洗浄物の表面で空気中の水分が凝結され結氷が発生する問題がある。結氷が発生すると、空気中の汚染物が基板の表面に残留される虞があって、これは、半導体ウェハーやＬＣＤ基板のような非常に精密な洗浄が要求される状況では致命的である。

これにより、通常的には、ノズルと被洗浄物を密閉されたチャンバー内に収容して、チャンバー内部を高温乾燥の環境に維持し、結氷が発生されるのを防止している。この場合、乾燥した環境から静電気が発生し、被洗浄物の表面から離れた汚染物が被洗浄物の表面に再び付いてしまう虞があるため、静電気の発生を防止するための別途の装置が必要となる。これは、洗浄環境を制限するだけではなく、別途の附属装置を必要とするため、好ましくない。

本発明は、前記のような点を勘案し案出されたもので、別途の環境制御がなくても、ノズル及び被洗浄物の表面に結氷が発生することを防止することができる表面洗浄用昇華性固体粒子噴射ノズルを提供することにその目的がある。

前記のような目的を達成するための本発明は、洗浄媒体供給源から流入される洗浄媒体を、昇華性固体粒子を含むスノー状態に相変化させる洗浄媒体ブロック、前記洗浄媒体ブロックから流入される洗浄媒体スノーを断熱膨張により成長させて被洗浄物の表面に噴射するノズルブロック、キャリアガス供給源から流入されるキャリアガスを洗浄媒体スノーと混合させるために前記ノズルブロックに供給するキャリアガスブロック、及びキャリアガス供給源から供給されるキャリアガスの少なくとも一部を加熱するヒーターを含む。

好ましくは、本発明による噴射ノズルは、洗浄媒体ブロックの入口側に設けられて、洗浄媒体ブロックの出口に供給される洗浄媒体の流量を制御するための流量調節バルブをさらに含む。

前記ノズルブロックは、前記洗浄媒体ブロックから流入される洗浄媒体スノーを断熱膨張させて成長させるベンチュリと、前記ベンチュリを包み込むように形成されて、キャリアガスブロックから流入されるキャリアガスの少なくとも一部が流入される結氷防止通路をさらに有する。キャリアガスブロックから前記ノズルブロックのベンチュリ及び結氷防止通路に各々供給されるキャリアガスの比は、９：１乃至７：３である。

ヒーターは、キャリアガス供給源、キャリアガス供給源からキャリアガスブロックにキャリアガスが供給される経路、及びキャリアガスブロックの少なくとも一側に設けられる。または、ヒーターは、ノズルブロックの結氷防止通路に設けられる。

本発明をマルチノズルに適用する場合、本発明による噴射ノズルは、洗浄媒体供給源と連結される入口と、洗浄媒体を昇華性固体粒子を含むスノー状態に相変化させるために並列に配置される複数のオリフィスからなる出口とを有する洗浄媒体ブロック、洗浄媒体ブロックのオリフィスにより形成された洗浄媒体スノーが流入される複数の入口と、各入口に流入された洗浄媒体スノーを断熱膨張させて成長させるための複数のベンチュリと、ベンチュリにより成長した洗浄媒体スノーを被洗浄物の表面に噴射するための、各ベンチュリと疎通する複数の出口と、を有するノズルブロック、キャリアガス供給源と連結される入口と、キャリアガスが洗浄媒体スノーと混合されるよう、ノズルブロックの複数の入口と疎通する出口と、を有するキャリアガスブロック、及びキャリアガス供給源から供給されるキャリアガスを加熱するためのヒーターを含む。

本発明のマルチノズルは、洗浄媒体ブロックの入口側に設けられて、洗浄媒体ブロックの出口に供給される洗浄媒体の流量を制御するための流量調節バルブをさらに含むことができる。

ノズルブロックの各ベンチュリは、直列に配列される第１ベンチュリ及び第２ベンチュリからなり、洗浄媒体スノーを2回にかけて成長させる。好ましくは、第１ベンチュリと第２ベンチュリとの間に、洗浄媒体スノーとキャリアガスとの混合を促進するために、一定な内径を有する中間通路が設けられる。

キャリアガスブロックと洗浄媒体ブロックの配置において、キャリアガスブロックが前記ノズルブロックの入口側に設けられて、洗浄媒体ブロックは、前記ノズルブロックの上側に設けられて、洗浄媒体ブロックのオリフィスと疎通するノズルブロックの入口は、ベンチュリのスロットル後端と疎通できる。代案的に、前記キャリアガスブロックが前記洗浄媒体ブロックを囲むように形成されて、ノズルブロックの前方に結合されてもよい。

ノズルブロックは、ベンチュリを包み込むように形成されて、キャリアガスブロックの出口と疎通する結氷防止通路をさらに有する。ここで、キャリアガスブロックから前記ノズルブロックのベンチュリ及び結氷防止通路に各々供給されるキャリアガスの比は、９：１乃至７：３である。

ヒーターは、ノズルブロックの結氷防止通路に設けられてもよく、またはキャリアガス供給源、キャリアガス供給源からキャリアガスブロックにキャリアガスが供給される経路または前記キャリアガスブロックの少なくとも一側に設けられてもよい。

前述した全ての場合において、洗浄媒体は、ＣＯ₂またはＡｒであり、キャリアガスは、Ｎ₂または空気であることが好ましい。

前記のように、本発明による表面洗浄用昇華性固体粒子噴射ノズルは、高温のキャリアガスを、ノズルを通じて直接またはノズルの表面に沿って噴射することにより、ノズル表面及び被洗浄物の表面で結氷が発生することを防止することができる。このように、結氷が発生する虞がないため、通常の大気中で洗浄作業を実施することができて、これにより、洗浄環境を乾燥に維持するためのチャンバー及び静電気防止のための各種装備が必要なくなるため、装置の構成を非常に単純化することができると共に、昇華性固体粒子を利用した洗浄作業をさらに幅広く、且つ自由に実施することができる。

以下、添付の図面を参照し、本発明の好ましい実施例を詳細に説明する。

（ａ）シングルノズル
図１は、本発明の実施例１による表面洗浄用昇華性固体粒子噴射ノズルを示している。図１のノズルは、昇華性固体粒子の出口が一つであるシングルノズルである。

図示したように、本発明によるシングルノズルは、洗浄媒体ブロック１１０と、流量調節バルブ１２０と、キャリアガスブロック１３０と、ノズルブロック１４０と、ヒーター１５０とを含む。ここで、洗浄媒体は、本発明のノズルを用いて被洗浄物の表面洗浄に使用できる昇華性のＣＯ₂、Ａｒなどの物質を総称する。

洗浄媒体ブロック１１０は、ほぼ円筒管状の部材であって、後端に形成された入口は、管路を通じてＣＯ₂タンクのような洗浄媒体供給源(図示せず)に連結される。洗浄媒体ブロック１１０の前端に形成される出口は、微細な直径を有するオリフィス１１２からなる。好ましくは、オリフィス１１２は、洗浄媒体ブロック１１０の前方に長く針状に突出される。そして、洗浄媒体ブロック１１０の入口から近い一側に流量調節バルブ１２０を設置することにより、出口に供給される洗浄媒体の供給流量を制御することができる。代案的に、流量調節バルブ１２０は、洗浄媒体ブロック１１０の入口に連結される管路上に設置されてもよい。

キャリアガスブロック１３０は、洗浄媒体ブロック１１０の外周を包み込み、その入口は、管路を通じてキャリアガス供給源(図示せず)と連結される。そして、キャリアガスブロック１３０の出口は、後述するように、洗浄媒体ブロック１１０の出口と共にノズルブロック１４０の入口と疎通する。好ましくは、キャリアガスブロック１３０の出口は、洗浄媒体ブロック１１０の出口、即ち、オリフィス１１２より多少後方に片寄る。キャリアガスとしては、窒素(Ｎ₂)のような不活性ガスまたは浄化された空気が利用できる。

ノズルブロック１４０は、その入口が洗浄媒体ブロック１１０の出口及びキャリアガスブロック１３０の出口と同時に疎通するように、洗浄媒体ブロック１１０及びキャリアガスブロック１３０の前側に結合される。従って、洗浄媒体ブロック１１０を通じて供給される洗浄媒体とキャリアガスブロック１３０を通じて供給されるキャリアガスとは、ノズルブロック１４０の入口で混合される。ノズルブロック１４０の出口は、被洗浄物の表面に向かっており、入口と出口との間に、洗浄媒体粒子、即ちＣＯ₂スノーを成長させるためのベンチュリ１４２を有する。

また、ノズルブロック１４０は、ベンチュリ１４２の周りに形成される結氷防止通路１４４を有する。この結氷防止通路１４４は、別の入口及び出口を有して、結氷防止通路１４４の入口は、キャリアガスブロック１３０の出口と疎通し、キャリアガスブロック１３０からノズルブロック１４０に供給されるキャリアガスの一部が結氷防止通路１４４に流入されて、出口は、ノズルブロック１４０の元の出口周りに形成される。キャリアガスブロック１３０からノズルブロック１４０の入口を通じてベンチュリ１４２に供給されるキャリアガスと、結氷防止通路１４４に供給されるキャリアガスとの比は、９：１乃至７：３、好ましくは、８：２である。

ヒーター１５０は、コイル状の電熱線であって、結氷防止通路１４４、好ましくは、通路１４４の入口側に設けられる。これにより、結氷防止通路１４４に沿って流れるキャリアガスは、ヒーター１５０により約１００〜２００℃に加熱された状態で噴射される。

代案的に、ヒーター１５０は、キャリアガス供給源、キャリアガスブロック１３０、またはキャリアガス供給源からキャリアガスブロック１３０にキャリアガスが供給される経路のいずれか一側に設けられてもよい。この場合、高温に加熱されたキャリアガスは、結氷防止通路１４４だけではなく、ベンチュリ１４２にも供給される。このように、高温のキャリアガスがノズルブロック１４０のベンチュリ１４４に供給される場合も、ＣＯ₂スノーの噴射速度が非常に速いため、スノー粒子が高温のキャリアガスにより溶ける前に被洗浄物の表面に到達し、洗浄効果を十分発揮することができる。また、この場合、結氷防止通路１４４が必要ないため、構成がより簡単になる。しかし、ベンチュリ１４４での粒子成長などを考慮すると、高温のキャリアガスがＣＯ₂スノーと混合されない方が全体的な洗浄性能の側面では有利であると判断されるため、図１の実施例がさらに好ましいと考えられる。

このような構成を有する本発明のシングルノズルを利用した被洗浄物の表面洗浄は、次のように成される。

洗浄媒体であるＣＯ₂は、洗浄媒体供給源から洗浄媒体ブロック１１０に供給される。洗浄媒体ブロック１１０に設けられた流量調節バルブ１２０を通じて洗浄媒体の流量を制御することにより、洗浄能力を落すことなく洗浄媒体の消耗量を最少化することができる。洗浄媒体は、洗浄媒体ブロック１１０の出口オリフィス１１２を通じてノズルブロック１４０の入口に抜け出る時、減圧による断熱膨張によりガスと固体粒子とが混在されたスノー状態に変化される。

キャリアガスは、キャリアガス供給源からキャリアガスブロック１３０を通じてノズルブロック１４０に供給されて、ノズルブロック１４０の入口でＣＯ₂スノーと混合される。ＣＯ₂スノーとキャリアガスとが混合されることによりＣＯ₂スノーは加速されて、ベンチュリ１４２を通過しながら膨張されスノー中の固体粒子が成長する。ベンチュリ１４２を通過したＣＯ₂スノーは、ノズルブロック１４０の出口を通じて被洗浄物の表面に噴射されて、運動エネルギーが衝撃エネルギーに変わることにより被洗浄物の表面から汚染物を除去する。

同時に、キャリアガスブロック１３０から供給されるキャリアガスの一部は、ノズルブロック１４０の結氷防止ブロック１４４に沿って流れて、この際、結氷防止通路１４４に設けられたヒーターにより約1００〜２００℃に加熱される。高温のキャリアガスが極低温のＣＯ₂スノーの通過するベンチュリ１４２とノズルブロック１４０の表面との間を流れるため、ノズルの表面で結氷が発生しない。また、ノズルが被洗浄物の表面に沿って移動する時、ＣＯ₂スノーの周りに沿って被洗浄物の表面に噴射される高温のキャリアガスがＣＯ₂スノーによる洗浄の前後に被洗浄物の表面を加熱、乾燥させるため、被洗浄物の表面でも結氷が発生しない。

（ｂ）マルチノズル１
図２は、本発明の実施例２による表面洗浄用昇華性固体粒子噴射ノズルを示して、図３は、図２のIII-III線断面構成を示してしる。図２及び図３の実施例は、本明細書に参照としてその内容が含まれる、本出願人によるＷＯ ０２／０７５７９９ Ａ１(発明の名称：表面洗浄用昇華性固体粒子噴射ノズル)に開示されたマルチノズルに本発明の技術的思想を付加したものである。

図示したように、本発明によるマルチノズルは、洗浄媒体ブロック２１０、キャリアガスブロック２３０、ノズルブロック２４０及びヒーター２５０を含む。ノズルブロック２４０は、第１ベンチュリブロック２４０ａと第２ベンチュリブロック２４０ｃを有するか、または第１及び第２ベンチュリブロック２４０ａ、２４０ｃの間に介在される中間ブロック２４０ｂをさらに有してもよい(本実施例では、中間ブロックを含む)。キャリアガスブロック２３０の出口側からノズルブロック２４０の第１ベンチュリブロック２４０ａが結合されて、中間ブロック２４０ｂ、第２ベンチュリブロック２４０ｃが順に配置される。洗浄媒体ブロック２１０は、第１ベンチュリブロック２４０ａの上部に置かれる。

キャリアガスブロック２３０において、入口はキャリアガス供給源２０２と連結されて、入口から出口までほぼ扇形に拡張される。

ノズルブロック２４０の第１及び第２ベンチュリブロック２４０ａ、２４０ｃは、幅方向に平行に配置される複数のベンチュリ２４２ａ、２４２ｃを有する。中間ブロック２４０ｂの場合、第１ベンチュリブロック２４０ａのベンチュリ２４２ａと第２ベンチュリブロック２４０ｃのベンチュリ２４２ｃとを連結するために一定な内径を有する複数の通路２４２ｂを有する。必要に応じ、図示したように、中間ブロックの複数の通路の入口側が一つの共通空間として形成されてもよい。

そして、ノズルブロック２４０のベンチュリ２４２ａ、２４２ｃ及び通路２４２ｂの周りに沿って延長する結氷防止通路２４４が形成される(図３の断面図参照)。結氷防止通路２４４の入口は、キャリアガスブロック２３０の出口と疎通されて、ベンチュリ２４２ａ及び結氷防止通路２４４に供給されるキャリアガスの比は、９：１乃至７：３、好ましくは８：２である。製造上の問題を考慮し、複数の結氷防止通路２４４がノズルブロック２４０の外周に沿って配列されることが好ましい。

洗浄媒体ブロック２１０の場合、入口が洗浄媒体供給源２０４と連結されて、入口側に近い管路上に流量調節バルブ２２０が設置される。出口は、入口に対し直角に形成されて、キャリアガスブロック２３０と同様に扇形に拡張されて、第１ベンチュリブロック２４０ａの各ベンチュリ２４２ａのスロットル下端と疎通する複数のオリフィス２１２を有する。製造上の問題を考慮し、第１ベンチュリブロック２４０ａの上面に形成される洗浄媒体入口２４６がオリフィス２１２の役割を代わりにすることができる。

ヒーター２５０は、ノズルブロック２４０の結氷防止通路２４４に設置される。複数の結氷防止通路２４４が備えられる場合、ヒーター２５０も、複数の結氷防止通路２４４に各々備えられることが好ましい。

このような構成を有する本発明のマルチノズルの作用は、次のようである。

キャリアガスは、キャリアガス供給源２０２からキャリアガスブロック２３０を通じてノズルブロック２４０に供給される。第１ベンチュリブロック２４０ａの各ベンチュリ２４２ａを通過しながらキャリアガスは加速されて、洗浄媒体ブロック２１０のオリフィス２１２を通じて供給される洗浄媒体は、ＣＯ₂スノーに変わってキャリアガスと混合された後、中間ブロック２４０ｂ及び第２ベンチュリブロック２４０ｃを経て被洗浄物の表面に噴射される。ＣＯ₂スノーは、第１ベンチュリブロック２４０ａのベンチュリ２４２ａで１次断熱膨張された後、中間ブロック２４０ｂの通路２４２ｂを通過しながら粒子が成長してキャリアガスと完全に混合されて、第２ベンチュリブロック２４０ｃのベンチュリ２４２ｃを通過しながら２次断熱膨張され、スノー粒子の大きさは最大化される。

それと同時に、キャリアガスブロック２３０からノズルブロック２４０の結氷防止通路２４４に供給されたキャリアガスは、ヒーター２５０により１００〜２００℃の高温に加熱されて、ノズルブロック２４０を通過して被洗浄物の表面に噴射される。

（ｃ）マルチノズル２
図４は、本発明のまた他の実施例を示して、図５は、図４のV-V線断面構成を示している。図４及び図５の実施例は、図２及び図３のマルチノズルを変形したものである。

即ち、図２及び図３のマルチノズルで、洗浄媒体ブロック２１０’を第１ベンチュリブロック２４０ａの上部から第１ベンチュリブロック２４０ａの入口側に移動させて、キャリアガスブロック２３０’を洗浄媒体ブロック２１０’の外周を囲むように設置することにより、図４及び図５の実施例が成される。このような図４及び図５の実施例の洗浄媒体ブロック２１０’及びキャリアガスブロック２３０’の結合関係は、シングルノズルの場合と類似している。

洗浄媒体ブロック２１０’の出口は、キャリアガスブロック２３０’の出口側に位置して、所定間隔で平行に形成された複数のオリフィス２１２’からなる。これにより、洗浄媒体ブロック２１０’のオリフィス２１２’からキャリアガスブロック２３０’の出口側空間に吐出される洗浄媒体は、圧力降下による断熱膨張によりスノー状態に変換される。

キャリアガスブロック２３０’の入口は、ブロック２３０’の両側に各々一つずつ形成されて、キャリアガス供給源(図示せず)から供給されるキャリアガスは、キャリアガスブロック２３０’の両側に供給される。そして、キャリアガスブロック２３０’の出口は、洗浄媒体ブロック２１０’の出口を包み込む空間として形成されており、ノズルブロック２４０の第１ベンチュリブロック２４０ａのベンチュリ２４２ａ及び結氷防止通路２４４と疎通する。結氷防止通路２４４は、シングルノズルの場合と同様に、洗浄媒体ブロック２１０’の出口より上流側でキャリアガスブロック２３０’の出口側空間と疎通する。これにより、洗浄媒体は、結氷防止通路２４４に流入されず、キャリアガスのみが結氷防止通路２４４に供給される。

一方、第１ベンチュリブロック２４０ａ、中間ブロック２４０ｂ、第２ベンチュリブロック２４０ｃ及び結氷防止通路２４４からなるノズルブロック２４０及びヒーター２５０の構成は、図２及び図３の実施例と同一である。従って、これに対する説明は省略する。

以上、本発明を特定の好ましい実施例により説明したが、本発明は、これら実施例に限定されるものではなく、本発明の属する技術分野で通常の知識を有する者により、特許請求の範囲に記載された本発明の技術的思想から外れない範囲内で多様に変更、実施することができる。

本発明の一実施例による噴射ノズルであって、シングルノズルへの適用例を示した断面図である。 本発明の他の実施例による噴射ノズルであって、マルチノズルへの適用例を示した斜視図である。 図２のIII−III線断面図である。 マルチノズルの変形例を示した斜視図である。 図４のＶ−Ｖ線断面図である。

符号の説明

１１０・・・洗浄媒体ブロック
１１２・・・オリフィス
１２０・・・流量調節バルブ
１３０・・・キャリアガスブロック
１４０・・・ノズルブロック
１４２・・・ベンチュリ
１４４・・・結氷防止ブロック
１５０・・・ヒーター

Claims (15)

1. 洗浄媒体供給源から流入される洗浄媒体を、昇華性固体粒子を含むスノー状態に相変化させる洗浄媒体ブロック、
   前記洗浄媒体ブロックから流入される洗浄媒体スノーを断熱膨張により成長させて被洗浄物の表面に噴射するノズルブロック、
   キャリアガス供給源から流入されるキャリアガスを洗浄媒体スノーと混合させるために前記ノズルブロックに供給するキャリアガスブロック、及び
   キャリアガス供給源から供給されるキャリアガスの少なくとも一部を加熱するヒーターを含む、
   表面洗浄用昇華性固体粒子噴射ノズル。
2. 前記洗浄媒体供給源から流入される洗浄媒体の流量を制御するための流量調節バルブをさらに含むことを特徴とする、請求項１に記載の表面洗浄用昇華性固体粒子噴射ノズル。
3. 前記ノズルブロックは、前記洗浄媒体ブロックから流入される洗浄媒体スノーを断熱膨張させて成長させるベンチュリと、前記ベンチュリを包み込むように形成されて、前記キャリアガスブロックから流入されるキャリアガスの少なくとも一部が流入される結氷防止通路をさらに有することを特徴とする、請求項１に記載の表面洗浄用昇華性固体粒子噴射ノズル。
4. 前記ヒーターは、キャリアガス供給源、キャリアガス供給源から前記キャリアガスブロックにキャリアガスが供給される経路及び前記キャリアガスブロックの少なくとも一側に設けられることを特徴とする、請求項１に記載の表面洗浄用昇華性固体粒子噴射ノズル。
5. 前記ノズルブロックの結氷防止通路にヒーターが設置されることを特徴とする、請求項３に記載の表面洗浄用昇華性固体粒子噴射ノズル。
6. 前記キャリアガスブロックから前記ノズルブロックのベンチュリ及び結氷防止通路に各々供給されるキャリアガスの比は、９：１乃至７：３であることを特徴とする、請求項３に記載の表面洗浄用昇華性固体粒子噴射ノズル。
7. 前記洗浄媒体は、ＣＯ₂またはＡｒであることを特徴とする、請求項１に記載の表面洗浄用昇華性固体粒子噴射ノズル。
8. 前記キャリアガスは、Ｎ₂または空気であることを特徴とする、請求項１に記載の表面洗浄用昇華性固体粒子噴射ノズル。
9. 洗浄媒体供給源と連結される入口と、洗浄媒体を昇華性固体粒子を含むスノー状態に相変化させるために並列に配置される複数のオリフィスからなる出口とを有する洗浄媒体ブロック、
   洗浄媒体ブロックのオリフィスにより形成された洗浄媒体スノーが流入される複数の入口と、前記各入口に流入された洗浄媒体スノーを断熱膨張させて成長させるための複数のベンチュリと、ベンチュリにより成長した洗浄媒体スノーを被洗浄物の表面に噴射するための、各ベンチュリと疎通する複数の出口とを有するノズルブロック、
   キャリアガス供給源と連結される入口と、キャリアガスが洗浄媒体スノーと混合されるよう、ノズルブロックの複数の入口と疎通する出口とを有するキャリアガスブロック、及び
   キャリアガス供給源から供給されるキャリアガスを加熱するためのヒーターを含む、
   表面洗浄用昇華性固体粒子噴射ノズル。
10. 前記ノズルブロックの各ベンチュリは、直列に配列される第１ベンチュリ及び第２ベンチュリからなることを特徴とする、請求項９に記載の表面洗浄用昇華性固体粒子噴射ノズル。
11. 前記第１ベンチュリと第２ベンチュリとの間に、洗浄媒体スノーとキャリアガスとの混合を促進するために、一定な内径を有する中間通路が設けられることを特徴とする、請求項１０に記載の表面洗浄用昇華性固体粒子噴射ノズル。
12. 前記キャリアガスブロックが前記ノズルブロックの入口側に設けられて、前記洗浄媒体ブロックは、前記ノズルブロックの上側に設けられて、前記洗浄媒体ブロックのオリフィスと疎通する前記ノズルブロックの入口は、ベンチュリのスロットル後端と疎通することを特徴とする、請求項９に記載の表面洗浄用昇華性固体粒子噴射ノズル。
13. 前記キャリアガスブロックが前記洗浄媒体ブロックを囲むように形成され前記ノズルブロックの前方に結合されることを特徴とする、請求項９に記載の表面洗浄用昇華性固体粒子噴射ノズル。
14. 前記ノズルブロックは、前記ベンチュリを包み込むように形成されて、前記キャリアガスブロックの出口と疎通する結氷防止通路をさらに有することを特徴とする、請求項９に記載の表面洗浄用昇華性固体粒子噴射ノズル。
15. 洗浄媒体を昇華性固体粒子を含むスノー状態に相変化させた後、キャリアガスと混合し断熱膨張させて被洗浄物の表面に噴射する、昇華性固体粒子を用いた表面洗浄方法において、
    洗浄媒体とキャリアガスとが混合される前にキャリアガスの少なくとも一部を加熱する段階を含むことを特徴とする、
    昇華性固体粒子を用いた表面洗浄方法。
    

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