JP2013059711A

JP2013059711A - 洗浄方法

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Publication number: JP2013059711A
Application number: JP2011198329A
Authority: JP
Inventors: Emiko Nakagawa; 恵美子中川; Setsuro Kobayashi; 節朗小林; Shinji Tanabe; 伸二田辺
Original assignee: Japan Display East Inc
Current assignee: Japan Display Inc
Priority date: 2011-09-12
Filing date: 2011-09-12
Publication date: 2013-04-04
Also published as: CN102989719A; US20130061877A1

Abstract

【課題】効率良く、ＵＶ樹脂をはがし取ることが可能なドライアイスペレットを用いた洗浄方法を提供する。
【解決手段】固定治具に固定される洗浄対象物に対して、ドライエアーを用いて、ドライアイスペレットを吹き付け、前記対象物の表面を洗浄する。前記ドライエアーは、露点が、−６０°ないし−８０°である。前記ドライエアーと前記ドライアイスペレットを前記対象物の表面に噴射するノズルを有し、前記ノズルと前記対象物の表面との間の間隔は、５ｍｍないし７０ｍｍである。前記ノズルの断面形状は、円形形状、あるいは、楕円形状、あるいは長方形である。前記ドライアイスペレットは、直径が１ｍｍないし３ｍｍで、長さが１ｍｍないし５ｍｍ、より好ましくは、長さが１ｍｍないし５ｍｍである。前記対象物は、製品分解後の液晶表示パネルの上偏光板、タッチパネル、あるいは、フロントウィンドウのいずれかである。
【選択図】図３

Description

本発明は、洗浄方法に係わり、特に、製品分解後の液晶表示パネルの各部材に対して、ドライエアーを用いてドライアイスペレットを吹き付けて、各部材の表面を洗浄する洗浄方法に関する。

近年、フロントパネルと液晶表示パネルとを貼り合せたハイブリッド製品、あるいは、フロントパネルと液晶表示パネルとタッチパネルとを貼り合せたハイブリッド製品が多数量産されている。
一般に、ハイブリッド製品における貼り合わせには紫外線硬化樹脂（以下、ＵＶ樹脂という）が主流として使用されている。このようなハイブリッド製品において、点灯・外観検査等により不良となった場合に、ＵＶ樹脂は硬化膜で除去が非常に困難なため、ＵＶ樹脂付着部材はリペアを行わず、ＵＶ樹脂付着部材を破棄している。
例えば、フロントパネルと液晶表示パネルとを貼り合せたハイブリッド製品において、点灯・外観検査において不良となった場合には、液晶表示パネルのみを再利用し、液晶表示パネルの上偏光板、フロントパネルは、ＵＶ樹脂の除去が非常に困難なため、現在はリペアを行わず破棄している。また、液晶表示パネルのバックライト、上フレームなどは、分解により変形するため、リペアを行わず破棄している。

特開２００４−００８９９５号公報

前述したように、ハイブリッド製品では、部材の貼り付けにＵＶ樹脂を使用しているが、ＵＶ樹脂は除去が困難なため、ＵＶ樹脂付着部材はほぼ全て破棄していた。
また、リペア用の液晶表示パネルの製品周辺に付着したＵＶ樹脂は、作業者が手作業により溶剤を浸み込ませた、繊維屑が発生しくに布や、面棒を用いて、製品が破壊しないよう丁寧に掃除している。
このため、部材の破棄量も多く、また、ＵＶ樹脂付着品の掃除に時間を要するという問題点があった。
本発明は、前記従来技術の問題点を解決するためになされたものであり、本発明の目的は、効率良く、ＵＶ樹脂をはがし取ることが可能なドライアイスペレットを用いた洗浄方法を提供することにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らかにする。

本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、下記の通りである。
本発明は、固定治具に固定された洗浄対象物を洗浄する洗浄方法であって、ドライエアーを用いて、ドライアイスペレットを前記洗浄対象物の表面に吹き付け、前記洗浄対象物の表面を洗浄することを特徴とする。
また、本発明では、前記ドライエアーは、露点が、−６０°Ｃないし−８０°Ｃである。
また、本発明では、前記ドライエアーと前記ドライアイスペレットを前記洗浄対象物の表面に噴射するノズルを有し、前記ノズルと前記洗浄対象物の表面との間の間隔は、５ｍｍないし７０ｍｍである。
また、本発明では、前記ノズルの断面形状は、円形形状、あるいは、楕円形状であり、前記洗浄対象物の表面に対する前記ノズルの角度は、３０°ないし８０°である。
また、本発明では、前記洗浄対象物を前記固定治具に固定する固定手段と、前記洗浄対象物の表面を、２０°Ｃないし８０°Ｃの温度に加熱する加熱手段を有する。より好ましくは、４０℃から８０℃の温度で加熱する加熱手段を有する。
また、本発明では、前記ドライアイスペレットは、直径が１ｍｍないし３ｍｍ、長さが１ｍｍないし５ｍｍ、より好ましくは、長さが１ｍｍないし３ｍｍである。
また、本発明では、前記洗浄対象物は、製品分解後の液晶表示パネルの上偏光板、タッチパネル、あるいは、フロントウィンドウのいずれかである。

本願において開示される発明のうち代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下記の通りである。
本発明のドライアイスペレットを用いた洗浄方法によれば、効率良く、ＵＶ樹脂をはがし取ることが可能となる。

フロントパネルと液晶表示パネルとを貼り合せたハイブリッド製品を説明するための概念図である。フロントパネルと液晶表示パネルとタッチパネルとを貼り合せたハイブリッド製品を説明するための概念図である。本発明の実施例のドライアイスペレットを用いた洗浄方法を実施するための模式機構図である。本発明の実施例のドライアイスペレットを用いた洗浄方法を説明するための図である。本発明の実施例のドライアイスペレットを用いた洗浄方法のより具体的な構成を説明するための図である。本発明の実施例のドライアイスペレットを用いた洗浄方法のより具体的な構成を説明するための図である。図３に示すノズルの断面形状を示す図である。従来の液晶表示パネルのリペア方法を説明するための図である。

以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する。
なお、実施例を説明するための全図において、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は省略する。また、以下の実施例は、本発明の特許請求の範囲の解釈を限定するためのものではない。
［従来の液晶表示装置］
図１は、フロントパネルと液晶表示パネルとを貼り合せたハイブリッド製品を説明するための概念図であり、図２は、フロントパネルと液晶表示パネルとタッチパネルとを貼り合せたハイブリッド製品を説明するための概念図である。
図１、図２において、ＦＷはフロントパネル（あるいは、フロントウィンドウともいう）、ＬＣＤは液晶表示パネル、ＴＰはタッチパネル、ＢＬはバックライトである。
液晶表示パネル（ＬＣＤ）は、第１基板（例えば、ガラス基板；ＳＵＢ１）と、第２基板（例えば、ガラス基板；ＳＵＢ２）と、第１基板（ＳＵＢ１）と第２基板（ＳＵＢ２）との間に挟持される液晶層（図示せず）を有する。また、第１基板（ＳＵＢ１）の上（バックライト（ＢＬ）側）には、下偏光板（ＰＯＬ１）が形成され、第２基板（ＳＵＢ２）の上（観察者側）には、上偏光板（ＰＯＬ２）が形成される。
図１では、液晶表示パネル（ＬＣＤ）の上偏光板（ＰＯＬ２）上に、フロントパネル（ＦＷ）が、紫外線硬化樹脂（以下、ＵＶ樹脂という；ＵＶＰ）により張り合わされている。また、図２では、液晶表示パネル（ＬＣＤ）の上偏光板（ＰＯＬ２）上に、タッチパネル（ＴＰ）が、ＵＶ樹脂（ＵＶＰ）により張り合わされているとともに、タッチパネル（ＴＰ）上に、フロントパネル（ＦＷ）が、ＵＶ樹脂（ＵＶＰ）により張り合わされている。

ここで、第１基板（ＳＵＢ１）の液晶層側には、第１基板（ＳＵＢ１）から液晶層に向かって順に、走査線（ゲート線ともいう）、対向電極（共通電極ともいう）、層間絶縁膜、映像線（ソース線またはドレイン線ともいう）、薄膜トランジスタ、画素電極、配向膜が形成される。
第２基板（ＳＵＢ２）の液晶層側には、第２基板から液晶層に向かって順に、遮光膜、赤・緑・青のカラーフィルタ、平坦化膜、配向膜が形成される。
液晶表示パネル（ＬＣＤ）は、画素電極、薄膜トランジスタ等が形成される第１基板（ＳＵＢ１）と、カラーフィルタ等が形成される第２基板（ＳＵＢ２）とを、所定の間隙を隔てて重ね合わせ、該両基板間の周縁部近傍に枠状に設けたシール材により、両基板を貼り合わせると共に、シール材の一部に設けた液晶封入口から両基板間のシール材の内側に液晶を封入、封止し、さらに、両基板の外側に偏光板を貼り付けて構成される。
なお、対向電極は、ＴＮ（Twisted Nematic）方式、ＶＡ（Vertically Aligned）方式の液晶表示装置にも適用可能である。ＴＮ方式やＶＡ方式の液晶表示パネルであれば第２基板側に設けられる。ＩＰＳ方式の場合は、第１基板側に設けられる。
また、本発明は、液晶パネルの内部構造とは関係がないので、液晶パネルの内部構造の詳細な説明は省略する。さらに、本発明は、どのような構造の液晶パネルであっても適用可能である。

［従来技術の問題点］
例えば、図１に示す、フロントパネル（ＦＷ）と液晶表示パネル（ＬＣＤ）とを一貼り合せたハイブリッド製品において、点灯・外観検査において不良となった場合には、図８に示すように、液晶表示パネル（ＬＣＤ）のみを再利用し、上偏光板（ＰＯＬ２）、フロントパネル（ＦＷ）は、ＵＶ樹脂の除去が非常に困難なため、現在はリペアを行わず破棄している。また、液晶表示パネルのバックライト（ＢＬ）は、分解により変形するため、リペアを行わず破棄している。
さらに、リペア用の液晶表示パネル（ＬＣＤ）の製品周辺に付着したＵＶ樹脂（ＵＶＰ）は、作業者が手作業により溶剤を浸み込ませた、繊維屑が発生しくに布や、面棒を用いて、製品が破壊しないよう丁寧に掃除している。
このため、部材の破棄量も多く、また、リペア用の液晶表示パネル（ＬＣＤ）の製品周辺に付着したＵＶ樹脂（ＵＶＰ）の掃除に時間を要するという問題点があった。

［本発明の特徴］
本実施例では、例えば、図１に示す、フロントパネル（ＦＷ）と液晶表示パネル（ＬＣＤ）とを貼り合せたハイブリッド製品において、点灯・外観検査において不良となった場合には、フロントパネル（ＦＷ）と液晶表示パネル（ＬＣＤ）とを貼り合わせているＵＶ樹脂（ＵＶＰ）を接着面で分断し、液晶表示パネル（ＬＣＤ）の上偏光板（ＰＯＬ２）と、フロントパネル（ＦＷ）の接着面に残っているＵＶ樹脂（ＵＶＰ）をドライアイスペレット用いて、除去することを特徴とする。
図３は、本発明の実施例のドライアイスペレットを用いた洗浄方法を説明するための模式機構図である。
図３において、１００はドライアイスブラスト装置であり、このドライアイスブラスト装置１００には、ドライエアー配管１０１を介してドライエアーが供給される。また、ドライアイスブラスト装置１００のドライアイス投入口１０２から投入されたドライアイスペレットは、投入量制限装置１０３により、予め設定された量だけ、ドライアイスブラスト装置１００に投入される。
ドライアイスブラスト装置１００は、ドライエアーのエアー風量を調整し、ドライアイスペレットとドライエアーとを圧送ホース１０４に出力し、ノズル１１０から、固定治具１２０上に固定された洗浄対象物（図３では、液晶表示パネル（ＬＣＤ）；以下、単に対象物という）に吹き付ける。これにより、液晶表示パネル（ＬＣＤ）の残留しているＵＶ樹脂（ＵＶＰ）を除去する。
除去されたＵＶ樹脂（ＵＶＲ）は、エアダクト配管１０７を介して吸引される空気と一緒に、エアダクト１０５から吸引され、フィルタ１０６で捕獲される。

図４は、本発明の実施例の洗浄方法を説明するための図である。以下、図４を用いて本実施例の洗浄方法について説明する。
始めに、ドライアイスブラスト装置１００の圧送ホース１０４の先に設けられたノズル１１０から、ドライエアーによりドライアイスペレット（ＤＰＲ）を加速して、対象物（ＢＵＨ）の表面に対して噴射する。（図４（ａ）参照）
これにより、ドライアイスペレット（ＤＰＲ）は、対象物（ＢＵＨ）の表面上に付着したＵＶ樹脂（ＵＶＰ）に侵入する。（図４（ｂ）参照）このとき、ＵＶ樹脂（ＵＶＰ）は急激に冷却され、この急激な温度差により付着物である、ＵＶ樹脂（ＵＶＰ）を剥離させる効果が生まれる。
ドライアイスペレット（ＤＰＲ）は、モース硬度が２以下なので、ドライアイスペレット（ＤＰＲ）は、対象物（ＢＵＨ）の表面に衝突すると横方向に広がり、ＵＶ樹脂（ＵＶＰ）と対象物（ＢＵＨ）との間に入り込み、急激に気化し、その体積が膨張する。この体積変化により隙間を広げ、ＵＶ樹脂（ＵＶＰ）を吹き飛ばす。（図４（ｃ）参照）
ノズル１１０から噴射されたドライアイスペレット（ＤＰＲ）は、瞬時に昇華して２酸化炭素となるので、残留物が残ることがない。（図４（ｄ）参照）

図５、図６は、本発明の実施例のドライアイスペレットを用いた洗浄方法のより具体的な構成を説明するための図である。
この図５、図６は、フロントパネル（ＦＷ）と液晶表示パネル（ＬＣＤ）とを貼り合せたハイブリッド製品において、点灯・外観検査において不良となった場合に、フロントパネル（ＦＷ）と液晶表示パネル（ＬＣＤ）とを貼り合わせているＵＶ樹脂（ＵＶＰ）を接着面で分断し、液晶表示パネル（ＬＣＤ）の上偏光板（ＰＯＬ２）に接着面に残っているＵＶ樹脂（ＵＶＰ）を、ドライアイスペレット（ＤＰＲ）を吹き付けて、除去する様子（図５）と、フロントパネル（ＦＷ）の接着面に残っているＵＶ樹脂（ＵＶＰ）をドライアイスペレット（ＤＰＲ）を吹き付けて、除去する様子（図６）を説明するための図である。
図５、図６において、１２０は固定治具であり、この固定治具１２０には、ドライアイスペレットに接触する面の結露防止を目的として、対象物（図５では、液晶表示パネル（ＬＣＤ））を加熱するための加熱機構１２１と、ドライエアーによりドライアイスペレット（ＤＰＲ）を加速して、対象物の表面に対して噴射するときに、対象物が飛ばないように、固定するための吸着機構（例えば、真空吸着機構）１２２を有する。

図５では、ドライアイスブラスト装置１００が、ドライエアーのエアー風量と、ドライアイスペレット（ＤＰＲ）の量を調整し、ドライアイスペレット（ＤＰＲ）とドライエアーとを圧送ホース１０４に出力し、ノズル１１０から、固定治具１２０上に固定された液晶表示パネル（ＬＣＤ）の上偏光板（ＰＯＬ２）に吹き付け、これにより、液晶表示パネル（ＬＣＤ）の上偏光板（ＰＯＬ２）に残留しているＵＶ樹脂（ＵＶＰ）を除去する。
但し、図５では、ドライアイスペレット（ＤＰＲ）の摩擦帯電による液晶表示パネル（ＬＣＤ）のチャージアップ破壊を防止するために、第１基板（ＳＵＢ１）の一辺に電気的・機械的に固定され、ドライバ（Ｄｒ）に表示データ、制御信号などを入力するフレキシブル配線基板（ＦＰＣ）の端子部を接地電位（ＧＮＤ）に接続し、帯電した電荷を常時接地電位（ＧＮＤ）に流すようにしている。
また、図６では、ドライアイスブラスト装置１００が、ドライエアーのエアー風量と、ドライアイスペレット（ＤＰＲ）の量を調整し、ドライアイスペレット（ＤＰＲ）とドライエアーとを圧送ホース１０４に出力し、ノズル１１０から、固定治具１２０上に固定されたフロントパネル（ＦＷ）に吹き付け、これにより、フロントパネル（ＦＷ）に残留しているＵＶ樹脂（ＵＶＰ）を除去する。
以上説明したように、図５、図６では、ドライアイスペレット（ＤＰＲ）を用いることで、液晶表示パネル（ＬＣＤ）の上偏光板（ＰＯＬ２）、および、フロントパネル（ＦＷ）の表面を傷つけず、かつ、結露させず、効率よく、ＵＶ樹脂（ＵＶＰ）を剥がし取ることが可能となる。

以下、本発明の実施例の、ドライアイスペレットを用いた洗浄方法の条件について説明する。
（１）ノズル１１０の断面形状
ノズル１１０の断面形状が、図７（ａ）に示すように、円形状の場合、周辺部、及び微小部分、ポイント部の除去に有効であり、図７（ｂ）、図７（ｃ）に示すように、楕円形状あるいは長方形の場合、広範囲の除去に有効で、ノズル１１０の往復回数を減らし、短時間での除去が可能となる。
（２）ノズル１１０と対象物までの距離
ノズル１１０と洗浄対象物までの距離は、５ｍｍ〜７０ｍｍが最適であり、ノズル１１０と対象物までの距離が５ｍｍ以下の場合、対象物の表面にキズが発生する、あるいは、対象物の表面に印刷された印刷パターンが剥がれるという危険がある。さらに、対象物の表面温度が低下するため結露する、または、ドライアイスペレット（ＤＰＲ）による除去面積が小さく、除去効率が悪くなるという欠点がある。
さらに、ノズル１１０と対象物までの距離が７０ｍｍ以上の場合、ドライアイスペレット（ＤＰＲ）の衝突衝撃が弱まり、除去効率が減少するという欠点がある。
（３）ノズル１１０の角度（図６のθ）
除去する付着物の位置、及び面積に対応し、ノズル１１０の角度は適宜決定する必要があるが、対象物の表面に対して、ノズル１１０の角度が垂直（９０°）では、ノズル１１０から噴出し、対象物表面と衝突したドライアイスペレット（ＤＰＲ）が拡散してしまうという欠点がある。さらに、ノズル１１０の角度が小さいときは、対象物面とドライアイスペレット（ＤＰＲ）の接触角度が小さくなるため、除去効率が低下するという欠点がある。そのため、ノズル１１０の角度は、３０°〜８０°が最適である。

（４）加熱温度
対象物の表面（図５、図６では、ＵＶ樹脂（ＵＶＰ）の除去面）が結露しないように、対象物の表面は、最低２０°Ｃ〜８０°Ｃの温度に保つ必要がある。
そのため、図５、図６では、固定治具１２０に、加熱機構１２１を設けているが、対象物の表面側から加熱することも可能である。例えば、温風エアーを対象物の表面に直接当てて加熱、あるいは、光（赤外線ランプ、蛍光ランプ）を対象物の表面に直接当てて加熱、または、エアコン、ストーブなどにより、対象物周りの空気全体温度を加熱（大気加熱）するようにしてもよい。
（５）ドライエアー露点
ドライエアーは、露点が、−６０°Ｃ〜−８０°Ｃのドライエアーが最適である。ドライアイスの昇華温度は、−７９°Ｃのため、露点温度が高いとドライアイスペレット（ＤＰＲ）がノズル１１０から噴出する時に、ドライエアーに含まれる水分が結露する。そのため洗浄効率が低下する。
（６）ドライアイスペレット（ＤＰＲ）の形状
ドライアイスペレット（ＤＰＲ）は、直径がφ１ｍｍ〜φ３ｍｍが適当である。ドライアイスペレット（ＤＰＲ）の直径が、φ１ｍｍ以下の場合、ドライアイスペレット（ＤＰＲ）の表面積が小さいため、除去効率が低下するという欠点がある。
また、ドライアイスペレット（ＤＰＲ）の直径が、φ３ｍｍ以上の場合、ドライアイスペレット（ＤＰＲ）の表面積が大きいため、ブラスト時の接触点が大きく、除去時に除去ムラが発生しやすい。
また、ドライアイスペレット（ＤＰＲ）の長さは、１ｍｍ〜５ｍｍ、より好ましくは、１ｍｍ〜３ｍｍが好ましい。

なお、前述の説明では、本発明のドライアイスペレットを用いた洗浄方法を、フロントパネル（ＦＷ）と液晶表示パネル（ＬＣＤ）とを貼り合せたハイブリッド製品のリペア方法に適用した実施例について説明したが、本発明は、これに限らず、フロントパネル（ＦＷ）とタッチパネル（Ｔ／Ｐ）と液晶表示パネル（ＬＣＤ）とを貼り合せたハイブリッド製品のリペア方法にも適用可能である。
この場合は、図５に示す液晶表示パネル（ＬＣＤ）の上偏光板（ＰＯＬ２）上に残留するＵＶ樹脂（ＵＶＰ）と、図６に示すフロントパネル（ＦＷ）上に残留するＵＶ樹脂（ＵＶＰ）に加え、タッチパネル（Ｔ／Ｐ）の両面に残留するＵＶ樹脂（ＵＶＰ）を、本発明のドライアイスペレットを用いた洗浄方法により除去する必要がある。

また、本発明のドライアイスペレットを用いた洗浄方法は、以下の液晶表示パネル（ＬＣＤ）の各部の洗浄にも使用可能である。
（１）液晶表示パネル（ＬＣＤ）の基板として使用されるガラス基板上の表面異物、洗浄残り、汚れの除去
（２）液晶表示パネル（ＬＣＤ）の偏光板（ＰＯＬ１，ＰＯＬ２）上の粘着剤の除去
（３）タッチパネル（Ｔ／Ｐ）上の粘着剤の除去
（４）液晶表示パネル（ＬＣＤ）上、あるいは、タッチパネル（Ｔ／Ｐ）上のマーキング（印字）の表面汚れの除去
（５）液晶表示パネル（ＬＣＤ）に使用される導通テープの表面汚れ、粘着剤の除去
さらに、本発明のドライアイスペレットを用いた洗浄方法は、以下の液晶表示パネル（ＬＣＤ）の製造工程における洗浄にも使用可能である。
（６）液晶表示パネル（ＩＣＤ）の配光膜、カラーフィルタ膜、ＩＴＯ膜、シール材、絶縁層、および、スペーサの表面の洗浄
以上、本発明者によってなされた発明を、前記実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であることは勿論である。

１００ドライアイスブラスト装置
１０１ドライエアー配管
１０２ドライアイス投入口
１０３投入量制限装置
１０４圧送ホース
１０５エアダクト
１０６フィルタ
１０７エアダクト配管
１１０ノズル
１２０固定治具
１２１加熱機構
１２２吸着機構
Ｄｒドライバ
ＦＰＣフレキシブル配線基板
ＦＷフロントパネル（あるいは、フロントウィンドウともいう）
ＬＣＤ液晶表示パネル
ＴＰタッチパネル
ＢＬバックライト
ＳＵＢ１第１基板（例えば、ガラス基板）
ＳＵＢ２第２基板（例えば、ガラス基板）
ＰＯＬ１下偏光板
ＰＯＬ２上偏光板
ＵＶＰ紫外線硬化樹脂
ＵＤＲ除去された紫外線硬化樹脂
ＤＰＲドライアイスペレット
ＢＵＨ対象物

Claims

固定治具に固定される洗浄対象物を洗浄する洗浄方法であって、
ドライエアーを用いて、ドライアイスペレットを前記洗浄対象物の表面に吹き付け、前記対象物の表面を洗浄することを特徴とする洗浄方法。
前記ドライエアーは、露点が、−６０°Ｃないし―８０°Ｃであることを特徴とする請求項１に記載の洗浄方法。
前記ドライエアーと前記ドライアイスペレットを前記洗浄対象物の表面に噴射するノズルを有し、
前記ノズルと前記洗浄対象物の表面との間の間隔は、５ｍｍないし７０ｍｍであることを特徴とする請求項１に記載の洗浄方法。
前記ドライエアーと前記ドライアイスペレットを前記洗浄対象物の表面に吹き付けるノズルを有し、
前記ノズルの断面形状は、円形形状、あるいは、楕円形状であることを特徴とする請求項１に記載の洗浄方法。
前記ドライエアーと前記ドライアイスペレットを前記洗浄対象物の表面に吹き付けるノズルを有し、
前記洗浄対象物の表面に対する前記ノズルの角度は、３０°ないし８０°であることを特徴とする請求項１に記載の洗浄方法。
前記洗浄対象物を前記固定治具に固定する固定手段と、
前記洗浄対象物の表面を、２０°Ｃないし８０°Ｃの温度に加熱する加熱手段を有することを特徴とする洗浄方法。
前記ドライアイスペレットは、直径が１ｍｍないし３ｍｍ、長さが１ｍｍないし５ｍｍであることを特徴とする請求項１に記載の洗浄方法。
前記ドライアイスペレットは、長さが１ｍｍないし３ｍｍであることを特徴とする請求項７に記載の洗浄方法。
前記洗浄対象物は、製品分解後の液晶表示パネルの上偏光板、タッチパネル、あるいは、フロントウィンドウのいずれかであることを特徴とする請求項１に記載の洗浄方法。