JP2008043909A - ドライアイススノー洗浄装置および方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】加圧液化炭酸ガスを断熱膨張させることにより形成されたドライアイススノーを噴射ノズル1から被洗浄物に対して噴射して洗浄をする装置であって、供給された液化炭酸ガスを断熱膨張させるオリフィス3と、上記オリフィス3から噴射ノズル1に至る流通管2とを備え、上記流通管2の先端部よりも噴射ノズル1側の部分から分岐して流通管2とは離隔した状態で噴射ガス供給管4が連通し、上記流通管2の内径Dに対し長さLが(D2×1000)±(D2×125)未満となるよう設定した。
【選択図】図1
Description
○:3秒以内
△:3〜6秒
×:6秒以上
○:安定したスノー量で噴射された。
△:断続的な閉塞が見られた。
×:完全な閉塞が認められた。
○:40MPa以上
△:10〜40MPa
×:10MPa以下
2:流通管
3:オリフィス
4:噴射ガス供給管
6:供給路
8:炭酸ガス供給弁
9:圧力ゲージ
10:ノズルユニットケース
12:圧力調整弁
13:圧力ゲージ
14:噴射ガス供給弁
15:一次ヒータ
16:温度計
17:温度コントローラ
18:二次ヒータ
19:温度計
20:温度コントローラ
Claims (6)
- 加圧液化炭酸ガスを断熱膨張させることにより形成されたドライアイススノーを噴射ノズルから被洗浄物に対して噴射して洗浄をする装置であって、
供給された液化炭酸ガスを断熱膨張させる絞り部と、上記絞り部から噴射ノズルに至る流通管とを備え、
上記噴射ノズルの噴射口近傍に噴射ガスを供給する噴射ガス供給管が上記流通管とは熱的に隔離された状態で存在しており、上記流通管の内径をφ2mm以上φ2.5mm以内となるよう設定し、上記流通管の内径Dに対する長さLが(D2×1000)±(D2×125)未満となるよう設定されていることを特徴とするドライアイススノー洗浄装置。 - 加圧液化炭酸ガスを断熱膨張させることにより形成されたドライアイススノーを噴射ノズルから被洗浄物に対して噴射して洗浄をする装置であって、
供給された液化炭酸ガスを断熱膨張させる絞り部と、上記絞り部から噴射ノズルに至る流通管とを備え、
上記噴射ノズルの噴射口近傍に噴射ガスを供給する噴射ガス供給管が上記流通管とは熱的に隔離された状態で存在しており、上記流通管の内径をφ1.5mm以上φ2mm未満となるよう設定し、上記流通管の内径Dに対する長さLが(D2×1080)±(D2×108)未満となるよう設定されていることを特徴とするドライアイススノー洗浄装置。 - 上記絞り部の開口面積を0.018mm2±0.008mm2以内となるよう設定した請求項1または2記載のドライアイススノー洗浄装置。
- 液化炭酸ガスの供給圧力を7MPa±1MPa以内となるよう設定した請求項1〜3のいずれか一項に記載のドライアイススノー洗浄装置。
- 加圧液化炭酸ガスを断熱膨張させることにより形成されたドライアイススノーを噴射ノズルから被洗浄物に対して噴射して洗浄をする方法であって、
供給された液化炭酸ガスを絞り部で断熱膨張させ、上記絞り部から噴射ノズルに至る流通管内を流通させて噴射ノズルより噴射する際、
上記噴射ノズルの噴射口近傍に、流通管とは熱的に隔離した状態で配置されて連通する噴射ガス供給管から噴射ガスを供給し、上記流通管の内径をφ2mm以上φ2.5mm以内となるよう設定し、上記流通管の内径Dに対する長さLを(D2×1000)±(D2×125)未満としたことを特徴とするドライアイススノー洗浄方法。 - 加圧液化炭酸ガスを断熱膨張させることにより形成されたドライアイススノーを噴射ノズルから被洗浄物に対して噴射して洗浄をする方法であって、
供給された液化炭酸ガスを絞り部で断熱膨張させ、上記絞り部から噴射ノズルに至る流通管内を流通させて噴射ノズルより噴射する際、
上記噴射ノズルの噴射口近傍に、流通管とは熱的に隔離した状態で配置されて連通する噴射ガス供給管から噴射ガスを供給し、上記流通管の内径をφ1.5mm以上φ2mm未満となるよう設定し、上記流通管の内径Dに対する長さLが(D2×1080)±(D2×108)未満としたことを特徴とするドライアイススノー洗浄方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006223740A JP2008043909A (ja) | 2006-08-21 | 2006-08-21 | ドライアイススノー洗浄装置および方法 |
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2006
- 2006-08-21 JP JP2006223740A patent/JP2008043909A/ja active Pending
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