JP2005322612A - 有機el素子の製造方法及び製造装置 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 77
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 184
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims abstract description 165
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 153
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 109
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 claims abstract description 89
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 74
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 407
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 98
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 40
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims description 32
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 17
- 239000012788 optical film Substances 0.000 claims description 16
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 claims description 13
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 12
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 claims description 8
- 239000011368 organic material Substances 0.000 claims description 4
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 67
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 28
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 18
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 17
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 16
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 13
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 13
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 11
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 11
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 description 10
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 8
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 7
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 6
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 6
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 5
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000007781 pre-processing Methods 0.000 description 4
- 238000000391 spectroscopic ellipsometry Methods 0.000 description 4
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 3
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- -1 SiN Chemical class 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 2
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 230000005281 excited state Effects 0.000 description 2
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 2
- 230000005283 ground state Effects 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 2
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001774 Perfluoroether Polymers 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 150000004703 alkoxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 150000002222 fluorine compounds Chemical class 0.000 description 1
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- UJMWVICAENGCRF-UHFFFAOYSA-N oxygen difluoride Chemical compound FOF UJMWVICAENGCRF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 125000002080 perylenyl group Chemical group C1(=CC=C2C=CC=C3C4=CC=CC5=CC=CC(C1=C23)=C45)* 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 1
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/18—Tiled displays
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- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B17/00—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres
- B32B17/06—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material
- B32B17/10—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin
- B32B17/10005—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin laminated safety glass or glazing
- B32B17/1055—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin laminated safety glass or glazing characterized by the resin layer, i.e. interlayer
- B32B17/10779—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin laminated safety glass or glazing characterized by the resin layer, i.e. interlayer containing polyester
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- B32B17/00—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres
- B32B17/06—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material
- B32B17/10—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin
- B32B17/10005—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin laminated safety glass or glazing
- B32B17/10165—Functional features of the laminated safety glass or glazing
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- B32B37/00—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding
- B32B37/12—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by using adhesives
- B32B37/1207—Heat-activated adhesive
- B32B2037/1215—Hot-melt adhesive
- B32B2037/1223—Hot-melt adhesive film-shaped
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K2102/00—Constructional details relating to the organic devices covered by this subclass
- H10K2102/301—Details of OLEDs
- H10K2102/351—Thickness
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Abstract
【解決手段】 基板上の下部電極等を成膜する前処理工程S1と、この前処理工程S1後に下部電極上に少なくとも有機発光機能層を有する有機層と上部電極を成膜する成膜工程S2と、成膜工程S2後に有機層及び上部電極を封止する封止工程S3とを有する有機EL素子の製造方法において、前処理工程S1後から上部電極形成前までに検査工程SSを行う。
【選択図】図1
Description
S2 成膜工程
S3 封止工程
SS 検査工程
10,10A,20,20A 成膜装置
11,12,13,22,23,24 蒸着室(クラスタ型)
12A,13A,14A,22A,23A,24A,25A 蒸着室(インライン型)
35A 予備蒸着室
15,15A,25 検査室
30 封止装置
41 基板搬入室
42,42A,43,43A 受渡室
44,44A 排出室
G 真空ゲート
P,PA データ送信手段
Claims (16)
- 基板上に少なくとも下部電極を形成する前処理工程と、該前処理工程後に前記下部電極上に少なくとも有機発光機能層を有する有機層と上部電極を成膜する成膜工程と、該成膜工程後に前記有機層及び前記上部電極を封止する封止工程とを有する有機EL素子の製造方法において、
前記前処理工程後から前記上部電極形成前までに検査工程を行うことを特徴とする有機EL素子の製造方法。 - 前記検査工程は、前記下部電極の膜厚測定を行うことを特徴とする請求項1に記載された有機EL素子の製造方法。
- 前記検査工程は、前記有機層の成膜前に行われ、該検査工程の検査結果に基づいて前記有機層の膜厚調整が行われることを特徴とする請求項1又は2に記載された有機EL素子の製造方法。
- 前記検査工程は、前記有機層の成膜工程中に行うことを特徴とする請求項1に記載された有機EL素子の製造方法。
- 前記検査工程は、前記有機層の膜厚測定を行うことを特徴とする請求項4に記載された有機EL素子の製造方法。
- 前記成膜工程では、少なくとも一つの第1の有機層を成膜後に前記検査工程が行われ、該検査工程の検査結果に基づいて前記第1の有機層上に積層される有機層の膜厚調整がなされることを特徴とする請求項4又は5に記載された有機EL素子の製造方法。
- 前記成膜工程では、少なくとも一つの第1の有機層を成膜後に前記検査工程が行われ、該検査工程の検査結果に基づいて前記第1の有機層の膜厚調整が行われることを特徴とする請求項4〜6のいずれかに記載された有機EL素子の製造方法。
- 前記検査工程は、前記有機層の成膜前に第1の検査工程が行われ、前記有機層の成膜工程中に第2の検査工程が行われることを特徴とする請求項1に記載された有機EL素子の製造方法。
- 前記第1の検査工程は前記下部電極の膜厚を測定し、前記第2の検査工程は成膜された前記有機層の膜厚を測定して、前記第1及び第2の検査工程の検査結果に基づいて、成膜された前記有機層上に積層される有機層の膜厚調整がなされることを特徴とする請求項8に記載された有機EL素子の製造方法。
- 前記膜厚調整によって、当該有機EL素子における発光色の色度調整が行われることを特徴とする請求項3,6,7,9のいずれかに記載された有機EL素子の製造方法。
- 前記検査工程は、光学的膜厚測定法を利用して行われることを特徴とする請求項1〜9のいずれかに記載された有機EL素子の製造方法。
- 基板上に少なくとも下部電極を形成する前処理工程後に、前記下部電極上に少なくとも有機発光機能層を有する有機層と上部電極を成膜する成膜装置を備えた有機EL素子の製造装置において、
前記成膜装置は、前記前処理工程後の前記基板を成膜工程中に搬入する搬入手段と、前記基板上に有機層を成膜する成膜手段を備えた成膜室と、該成膜室間の前記基板の搬送を行う搬送手段と、前記成膜室で前記基板上に成膜された層の膜厚を測定する膜厚測定手段を備えた検査室とを備えることを特徴とする有機EL素子の製造装置。 - 前記下部電極又は前記有機層のうち少なくともいずれか一方の膜厚を測定する膜厚測定手段を備えた検査室を備えることを特徴とする請求項12に記載された有機EL素子の製造方法。
- 前記膜厚測定手段は、光学的膜厚測定装置からなることを特徴とする請求項12又は13に記載された有機EL素子の製造装置。
- 少なくとも一つの前記蒸着室と前記検査室とは、前記検査室での膜厚測定結果を送信するデータ送信手段で接続されていることを特徴とする請求項12〜14のいずれかに記載された有機EL素子の製造装置。
- 請求項12〜15のいずれかに記載の有機EL素子の製造装置が、クラスタ型、又はインライン型、又はそれらの複合型であることを特徴とする有機EL素子の製造装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004244848A JP4476073B2 (ja) | 2004-04-08 | 2004-08-25 | 有機el素子の製造方法及び製造装置 |
US11/100,503 US7157306B2 (en) | 2004-04-08 | 2005-04-07 | Method of and system for manufacturing organic EL devices |
CNB2005100635087A CN100452480C (zh) | 2004-04-08 | 2005-04-08 | 有机el元件的制造方法及制造装置 |
KR1020050029410A KR101157668B1 (ko) | 2004-04-08 | 2005-04-08 | 유기 el 소자의 제조 방법 및 제조 장치 |
TW094111186A TWI381768B (zh) | 2004-04-08 | 2005-04-08 | 有機el元件的製造方法及製造裝置 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004114387 | 2004-04-08 | ||
JP2004244848A JP4476073B2 (ja) | 2004-04-08 | 2004-08-25 | 有機el素子の製造方法及び製造装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005322612A true JP2005322612A (ja) | 2005-11-17 |
JP2005322612A5 JP2005322612A5 (ja) | 2007-01-11 |
JP4476073B2 JP4476073B2 (ja) | 2010-06-09 |
Family
ID=35061060
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004244848A Active JP4476073B2 (ja) | 2004-04-08 | 2004-08-25 | 有機el素子の製造方法及び製造装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7157306B2 (ja) |
JP (1) | JP4476073B2 (ja) |
KR (1) | KR101157668B1 (ja) |
CN (1) | CN100452480C (ja) |
TW (1) | TWI381768B (ja) |
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KR20210122176A (ko) | 2020-03-31 | 2021-10-08 | 캐논 톡키 가부시키가이샤 | 전자 디바이스의 제조 방법, 측정 방법 및 성막 장치 |
JP7431088B2 (ja) | 2020-03-31 | 2024-02-14 | キヤノントッキ株式会社 | 成膜装置、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 |
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JP7138673B2 (ja) | 2020-03-31 | 2022-09-16 | キヤノントッキ株式会社 | 電子デバイスの製造方法、測定方法、及び、成膜装置 |
KR20230059770A (ko) | 2020-03-31 | 2023-05-03 | 캐논 톡키 가부시키가이샤 | 성막 장치, 성막 방법, 및 전자 디바이스의 제조 방법 |
KR102527120B1 (ko) * | 2020-03-31 | 2023-04-27 | 캐논 톡키 가부시키가이샤 | 성막 장치, 성막 방법, 및 전자 디바이스의 제조 방법 |
KR20220123578A (ko) | 2021-03-01 | 2022-09-08 | 캐논 톡키 가부시키가이샤 | 성막 장치, 성막 방법, 및 전자 디바이스의 제조 방법 |
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KR20220124640A (ko) | 2021-03-03 | 2022-09-14 | 캐논 톡키 가부시키가이샤 | 성막 장치, 성막 장치의 제어 방법, 및 전자 디바이스의 제조 방법 |
KR20230052223A (ko) | 2021-10-12 | 2023-04-19 | 캐논 톡키 가부시키가이샤 | 성막 장치 |
KR20230078525A (ko) | 2021-11-26 | 2023-06-02 | 캐논 톡키 가부시키가이샤 | 성막 장치, 막두께 측정 방법 및 전자 디바이스의 제조 방법 |
KR20230078524A (ko) | 2021-11-26 | 2023-06-02 | 캐논 톡키 가부시키가이샤 | 성막 장치, 막두께 측정 방법 및 전자 디바이스의 제조 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20060046645A (ko) | 2006-05-17 |
TW200534743A (en) | 2005-10-16 |
TWI381768B (zh) | 2013-01-01 |
CN1681362A (zh) | 2005-10-12 |
US7157306B2 (en) | 2007-01-02 |
US20050227385A1 (en) | 2005-10-13 |
CN100452480C (zh) | 2009-01-14 |
JP4476073B2 (ja) | 2010-06-09 |
KR101157668B1 (ko) | 2012-06-20 |
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Legal Events
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
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